CN220131304U - 半导体线路板送料设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体线路板送料设备，涉及半导体加工传输设备技术领域。其中，该半导体线路板送料设备，包括：机架；第一输送机构，沿第一方向设置于机架；限位机构，沿第一方向分别设置于第一输送机构两侧；两轴线性模组，沿第二方向设置于机架，且位于第一输送机构上方；夹爪机构，沿第三方向与两轴线性模组的输出端相连；及收集机构。本实用新型，解决现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，导致半导体产品生产的良品率下降，同时，实际生产加工过程中，当持续不断地进行人工上料操作时，其员工的劳动强度大的问题。

Description

半导体线路板送料设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工传输设备技术领域，尤其是一种半导体线路板送料设备。

背景技术

目前，随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高，同时对于成本要求也越来越高。

现有技术中，特别是在半导体生产加工自动化产线上，常涉及半导体加工物料在多台加工设备之间的运输及搬运，往往需要将各个部件分别依次在不同的加工设备上进行加工处理，即每台设备分别完成一定的加工工序，本道加工工序完成后便需要将物料流转到下个加工设备上去完成下一道加工工序。

而现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，导致半导体产品生产的良品率下降，同时，实际生产加工过程中，当持续不断地进行人工上料操作时，其员工的劳动强度大，生产效率低下的问题。针对上述出现的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

实用新型目的：提供一种半导体线路板送料设备，以解决现有技术存在的上述问题。

技术方案：半导体线路板送料设备，包括：机架；第一输送机构，沿第一方向设置于所述机架；限位机构，沿所述第一方向分别设置于所述第一输送机构两侧；两轴线性模组，沿第二方向设置于所述机架，且位于所述第一输送机构上方；夹爪机构，沿第三方向与所述两轴线性模组的输出端相连；及收集机构，位于所述夹爪机构下方且与所述机架相连，用于收集线路板。

作为优选，所述机架包括：底板，所述底板的上表面设置有若干根横杆和竖杆，所述横杆与所述竖杆相互垂直设置围合形成若干个支撑架。

作为优选，所述第一输送机构包括：第一驱动装置、第一皮带传动组件和两沿所述第一方向相对设置的轴承传动组件，所述第一驱动装置的输出端通过所述第一皮带传动组件与一所述轴承传动组件相连。

作为优选，所述限位机构包括：第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端与第二皮带传动组件相连，所述第二皮带传动组件与传动组件相连，所述传动组件位于所述第一输送机构下方，所述传动组件两侧分别设置有位于所述第一输送机构两侧的固定块，两所述固定块上分别设置有沿所述第一方向设置的挡板，两所述固定块底部设置有第一滑轨组件，所述第一滑轨组件底部与所述机架相连，且位于所述第一输送机构下方。

作为优选，所述两轴线性模组包括：与所述机架相连且沿所述第二方向移动的第一移动机构，所述第一移动机构上设置有沿所述第三方向移动的第二移动机构。

作为优选，所述夹爪机构包括：与所述两轴线性模组相连的支撑板，所述支撑板底部通过连杆与移动板相连，所述移动板的上表面设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置的输出端设置有第一活动块，所述第一活动块底部设置有第一连接块，所述第一连接块底部两侧分别有第二滑轨组件。

作为优选，所述支撑板沿所述第二方向开设有通槽，所述通槽沿所述第二方向分别相对设置有第四驱动装置和第五驱动装置，所述第四驱动装置与所述第一连接块相连，所述第四驱动装置的输出端垂直设置有贯穿所述通槽的第一传动板，所述第五驱动装置与所述移动板相连，所述第五驱动装置的输出端垂直设置有贯穿所述通槽的第二传动板。

作为优选，所述第一传动板和所述第二传动两侧且位于所述移动板底部分别设置有第三滑轨组件和第四滑轨组件，所述第三滑轨组件和所述第四滑轨组件底部分别设置有第二连接块和第三连接块，所述第二连接块和所述第三连接块两侧且沿所述第一方向分别设置有两第一夹爪和两第二夹爪，两所述第一夹爪和两第二夹爪分别相对设置。

作为优选，所述收集机构包括：与所述机架相连的第六驱动装置，所述第六驱动装置的输出端设置有延伸板，所述延伸板底部两侧且沿所述第二方向分别相对设置有第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板远离所述延伸板一侧分别设置有第一限位板和第二限位板，所述第一限位板和所述第二限位板分别与收集箱一侧相抵设置，所述第一连接板和所述第二连接板底部分别设置有第五滑轨组件和第六滑轨组件。

作为优选，所述机架上设置有沿所述第三方向的线路板拖放机构，所述线路板拖放机构包括：第七驱动装置，所述第七驱动装置的输出端设置有第二活动块，所述第二活动块上设置有拖板，所述拖板沿所述第二方向设置。

有益效果：在本申请实施例中，采用自动送料的方式，通过所述两轴线性模组驱动所述夹爪机构位移和动作，以使所述夹爪机构将线路板由所述第一输送机构抓取至所述收集机构，达到了半导体线路板自动送料的目的，从而实现了提高生产效率、成品率、降低生产成本和减轻人员工作强度的技术效果，进而解决了现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，导致半导体产品生产的良品率下降，同时，实际生产加工过程中，当持续不断地进行人工上料操作时，其员工的劳动强度大，生产效率低下的技术问题。

附图说明

图1是本实用新型的半导体线路板送料设备的立体结构示意图；

图2是本实用新型的半导体线路板送料设备的又一立体结构示意图；

图3是本实用新型的半导体线路板送料设备的平面结构示意图；

图4是本实用新型的半导体线路板送料设备的主要部件立体结构示意图；

图5是本实用新型的半导体线路板送料设备的又一主要部件立体结构示意图；

图6是本实用新型的半导体线路板送料设备的再一主要部件立体结构示意图；

图7是本实用新型的半导体线路板送料设备的限位机构立体示意图；

图8是本实用新型的半导体线路板送料设备的收集机构立体示意图；

图9是本实用新型的半导体线路板送料设备的主要部件平面结构示意图；

图10是本实用新型的半导体线路板送料设备的传动组件立体结构示意图；

图11是本实用新型的半导体线路板送料设备的夹爪机构立体结构示意图；

图12是本实用新型的半导体线路板送料设备的又一夹爪机构立体结构示意图；

图13是本实用新型的半导体线路板送料设备的夹爪机构平面结构示意图。

附图标记为：10、机架；101、底板；102、横杆；103、竖杆；20、第一输送机构；201、第一驱动装置；202、第一皮带传动组件；203、轴承传动组件；203、轴承传动组件；2031、第一传动轴；2032、第一轴承座；2033、第一旋压皮带轮；2034、第一皮带；2035、第二旋压皮带轮；2036、第二传动轴；2037、第二轴承座；30、限位机构；301、第二驱动装置；302、第二皮带传动组件；303、传动组件；303、传动组件；3031、第八驱动装置；3032、第三皮带传动组件；3033、第三传动轴；3034、安装座；3035、第三活动块；304、固定块；305、挡板；306、第一滑轨组件；40、两轴线性模组；401、第一移动机构；402、第二移动机构；50、夹爪机构；501、支撑板；502、连杆；503、移动板；504、第三驱动装置；505、第一活动块；506、第一连接块；507、第二滑轨组件；508、通槽；509、第四驱动装置；510、第五驱动装置；511、第一传动板；512、第二传动板；513、第三滑轨组件；514、第四滑轨组件；515、第二连接块；516、第三连接块；517、第一夹爪；518、第二夹爪；60、收集机构；601、第六驱动装置；602、延伸板；603、第一连接板；604、第二连接板；605、第一限位板；606、第二限位板；607、收集箱；608、第五滑轨组件；609、第六滑轨组件；70、线路板拖放机构；701、第七驱动装置；702、第二活动块；703、拖板；80、滑动组件；801、限位开关。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

如图1-4所示，本申请涉及一种半导体线路板送料设备。该半导体线路板送料设备包括：机架10；机架10是指机器支撑架体，能够实现良好部件的安装和支撑效果，同时还能实现部件之间良好的配合效果。进一步的，机架10包括：底板101，底板101的上表面设置有若干根横杆102和竖杆103，横杆102与竖杆103相互垂直设置围合形成若干个支撑架；通过设置有水平底板101，能够实现良好的底部支撑效果，同时在底板101的上表面固定设置有若干个横杆102和竖杆103，若干个横杆102和竖向相互垂直设置，形成中空立体结构的支撑架，从而能够供其他部件安装的效果；且还能保证足够的结构强度。优选的，底板101底部四周分别设置有万向轮，能够实现良好的移动效果，从而能够实现灵活使用的效果。

第一输送机构20，沿第一方向设置于机架10；将第一输送机构20水平安装在机架10上，能够实现稳定的半导体线路板定向输送效果，从而实现提高工作效率；其中，第一方向是指三坐标体系中的X轴方向。

限位机构30，沿第一方向分别设置于第一输送机构20两侧；通过将限位机构30安装在第一输送机构20两侧，能够实现在线路板输送过程中对其两侧进行限位的效果，从而防止线路板发生掉落的情况，同时，限位机构30还能实现宽度调节效果，从而能够适应多种规格的线路板使用。

两轴线性模组40，沿第二方向设置于机架10，且位于第一输送机构20上方；两轴线性模组40是指Y轴方向和Z轴方向直线移动线性模组，能够实现精准的位置移动效果；将两轴线性模组40安装在机架10上，且位于第一输送机构20上方；能够确保在可控行程内进行移动的效果，从而带动其他部件精准的位置移动效果。其中，第二方向是指三坐标体系中的Y轴方向。

夹爪机构50，沿第三方向与两轴线性模组40的输出端相连；通过设置有夹爪机构50，能够实现对线路板良好的抓取或放置效果，从而实现线路板位置移动的效果；将夹爪机构50与两轴线性模组40中的Z轴相连接，能够实现夹爪机构50上下移动的效果，从而防止发生干涉的情况。其中，第三方向是指三坐标体系中的Z轴方向。

收集机构60，位于夹爪机构50下方且与机架10相连，用于收集线路板；通过将收集机构60安装在机架10上，能够确保结构稳定的效果；同时其位于夹爪机构50下方，能够易于夹爪机构50放置线路板的效果。

从以上的描述中，可以看出，本申请实现了如下技术效果：

在本申请实施例中，采用自动送料的方式，通过两轴线性模组40驱动夹爪机构50位移和动作，以使夹爪机构50将线路板由第一输送机构20抓取至收集机构60，达到了半导体线路板自动送料的目的，从而实现了提高生产效率、成品率、降低生产成本和减轻人员工作强度的技术效果，进而解决了现有的加工设备中，一般仅靠人力将物料在不同加工设备之间运转，对于某些加工设备要求将入料位置控制在一定精度内时，人力转运往往会出现一定误差，导致半导体产品生产的良品率下降，同时，实际生产加工过程中，当持续不断地进行人工上料操作时，其员工的劳动强度大，生产效率低下的技术问题。

如图5-6所示，第一输送机构20包括：第一驱动装置201、第一皮带传动组件202和两沿第一方向相对设置的轴承传动组件203，第一驱动装置201的输出端通过第一皮带传动组件202与一轴承传动组件203相连。

具体地，第一驱动装置201是指交流电机，其采用水平设置，能够确保提供稳定的驱动力；第一驱动装置201通过第一安装座与机架10固定连接，第一驱动装置201的输出端与第一皮带传动组件202的一端相连，第一皮带传动组件202的另一端与其中一轴承传动组件203的一端相连，轴承传动组件203包括：第一传动轴2031，第一传动轴2031两侧分别与第一轴承座2032相连，第一传动轴2031上相对设置有第一旋压皮带轮2033，且位于两第一轴承座2032之间，两第一旋压皮带轮2033上分别设置有沿第一方向设置的第一皮带2034，两第一皮带2034的末端分别与第二旋压皮带轮2035相连，两第二旋压皮带轮2035设置于第二传动轴2036上，第二传动轴2036两端分别与第二轴承座2037相连；第一皮带传动组件202包括：两皮带轮，两皮带轮之间设置有皮带，能够实现良好的动力传动效果。

更进一步的，机架10上设置有滑动组件80，滑动组件80位于两第二轴承座2037之间，且位于轴承传动组件203下方，滑动组件80上设置有限位开关801；通过设置有滑动组件80，能够实现良好的位置调节效果，同时在滑动组件上安装有限位开关801，能够实现良好的位置检测和限位效果。其中，滑动组件可以为滑轨和滑块的组合方式，即滑块在滑轨上定向移动，能够实现稳定的滑动效果即可，本申请不作限定。

如图7所示，限位机构30包括：第二驱动装置301，第二驱动装置301的输出端与第二皮带传动组件302相连，第二皮带传动组件302与传动组件303相连，传动组件303位于第一输送机构20下方，传动组件303两侧分别设置有位于第一输送机构20两侧的固定块304，两固定块304上分别设置有沿第一方向设置的挡板305，两固定块304底部设置有第一滑轨组件306，第一滑轨组件306底部与机架10相连，且位于第一输送机构20下方。其中，第二驱动装置301可以为电机，能够提供良好的旋转驱动效果，从而与其他部件配合并带动其动作的效果。本申请中的滑轨组件可以为滑轨和滑块的组合方式，即滑块在滑轨上定向移动，能够实现稳定的滑动效果。

如图10所示，传动组件303包括：第八驱动装置3031，第八驱动装置3031的输出端设置有第三皮带传动组件3032，第三皮带传动组件3032的另一端与第三传动轴3033一端相连，第三传动轴3033两侧分别通过安装座3034与机架10相连，第三传动轴3033上相对设置有第三活动块3035，第三活动块3035上分别设置有固定块304，两固定块304底部设置有滑轨组件。其中，第八驱动装置3031可以为电机，能够提供稳定的旋转驱动力。

进一步的，两轴线性模组40包括：与机架10相连且沿第二方向移动的第一移动机构401，第一移动机构401上设置有沿第三方向移动的第二移动机构402；通过设置有第一移动机构401，能够实现Y轴方向良好的移动效果，同时在处于第一移动机构401的方向上设置有第二移动机构402，能够实现良好的Z轴方向移动效果，从而能够带动其他部件精准的位置移动效果。其中，两轴线性模组40可以为滑台模组或直角机器人，能够实现线性移动即可，本申请中不作限定。

如图11-13所示，夹爪机构50包括：与两轴线性模组40相连的支撑板501，支撑板501底部通过连杆502与移动板503相连，移动板503的上表面设置有第三驱动装置504，第三驱动装置504的输出端设置有第一活动块505，第一活动块505底部设置有第一连接块506，第一连接块506底部两侧分别有第二滑轨组件507；第三驱动装置504可以为电机和丝杠结构，能够实现良好的往复移动效果，同时还能实现带动其他部件动作的效果。通过在第一连接块506的底部分别设置有第二滑轨组件507，能够确保提高运行的稳定性，同时还能实现良好的同步运动效果。

进一步的，支撑板501沿第二方向开设有通槽508，通槽508沿第二方向分别相对设置有第四驱动装置509和第五驱动装置510，第四驱动装置509与第一连接块506相连，第四驱动装置509的输出端垂直设置有贯穿通槽508的第一传动板511，第五驱动装置510与移动板503相连，第五驱动装置510的输出端垂直设置有贯穿通槽508的第二传动板512；能够提供稳定的驱动力，从而确保其他部件正常运行的效果；同时，还能实现良好的相对运动效果，从而实现带动其他部件动作的效果，进而能够实现良好的相互靠近或分离效果。其中，第四驱动装置509和第五驱动装置510可以为气缸，能够提供良好的驱动效果，且易于实现和操作。

进一步的，第一传动板511和第二传动两侧且位于移动板503底部分别设置有第三滑轨组件513和第四滑轨组件514，第三滑轨组件513和第四滑轨组件514底部分别设置有第二连接块515和第三连接块516，第二连接块515和第三连接块516两侧且沿第一方向分别设置有两第一夹爪517和两第二夹爪518，两第一夹爪517和两第二夹爪518分别相对设置；能够实现对半导体线路板两侧稳定夹持的效果，从而为其精准的位置移动提供保障；且在移动板503底部分别设置有第三滑轨组件513和第四滑轨组件514，能够确保稳定的移动效果，同时还能提供良好的支撑力效果。

如图8-9所示，收集机构60包括：与机架10相连的第六驱动装置601，第六驱动装置601的输出端设置有延伸板602，延伸板602底部两侧且沿第二方向分别相对设置有第一连接板603和第二连接板604，第一连接板603和第二连接板604远离延伸板602一侧分别设置有第一限位板605和第二限位板606，第一限位板605和第二限位板606分别与收集箱607一侧相抵设置，第一连接板603和第二连接板604底部分别设置有第五滑轨组件608和第六滑轨组件609；能够实现良好的线路板收集效果，且自动将线路板放置在收集箱607内；同时，通过水平安装有六驱动装置，并分别带动第一限位板605和第二限位板606在第五滑轨组件608和第六滑轨组件609运动，从而实现将收集箱607的一侧进行限位固定，同时，在收集箱607远离第六驱动装置601一侧固定设置有限位条，能够确保收集箱607良好的位置固定效果，从而确保其Y轴方向不会发生移动，进而确保线路板准确且有序放置在收集箱607内。其中，第六驱动装置601可以为气缸，能够提供良好的驱动效果，且易于实现和操作。

进一步的，机架10上设置有沿第三方向的线路板拖放机构70，线路板拖放机构70包括：第七驱动装置701，第七驱动装置701的输出端设置有第二活动块702，第二活动块702上设置有拖板703，拖板703沿第二方向设置；通过在Z轴方向安装设置有线路板拖放机构70，能够实现当夹爪松开半导体线路板后，半导体线路板被放置在拖板703上，从而通过第七驱动装置701驱动拖板703向下移动，直至收集箱607内放置预定高度的线路板，拖板703移动收集箱607的底部，从而避免在更换收集箱607时发生干涉的情况，更换完成收集箱607后，拖板703再复位至初始高度，不断循环往复运动。其中，第七驱动装置701可以为单一线性模组，能够实现Z轴方向上下移动即可，具体型号本申请中不做限定。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.半导体线路板送料设备，其特征在于，包括：

机架；

第一输送机构，沿第一方向设置于所述机架；

限位机构，沿所述第一方向分别设置于所述第一输送机构两侧；

两轴线性模组，沿第二方向设置于所述机架，且位于所述第一输送机构上方；

夹爪机构，沿第三方向与所述两轴线性模组的输出端相连；及

收集机构，位于所述夹爪机构下方且与所述机架相连，用于收集线路板。

2.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述机架包括：底板，所述底板的上表面设置有若干根横杆和竖杆，所述横杆与所述竖杆相互垂直设置围合形成若干个支撑架。

3.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述第一输送机构包括：第一驱动装置、第一皮带传动组件和两沿所述第一方向相对设置的轴承传动组件，所述第一驱动装置的输出端通过所述第一皮带传动组件与一所述轴承传动组件相连。

4.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述限位机构包括：第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端与第二皮带传动组件相连，所述第二皮带传动组件与传动组件相连，所述传动组件位于所述第一输送机构下方，所述传动组件两侧分别设置有位于所述第一输送机构两侧的固定块，两所述固定块上分别设置有沿所述第一方向设置的挡板，两所述固定块底部设置有第一滑轨组件，所述第一滑轨组件底部与所述机架相连，且位于所述第一输送机构下方。

5.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述两轴线性模组包括：与所述机架相连且沿所述第二方向移动的第一移动机构，所述第一移动机构上设置有沿所述第三方向移动的第二移动机构。

6.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述夹爪机构包括：与所述两轴线性模组相连的支撑板，所述支撑板底部通过连杆与移动板相连，所述移动板的上表面设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置的输出端设置有第一活动块，所述第一活动块底部设置有第一连接块，所述第一连接块底部两侧分别有第二滑轨组件。

7.根据权利要求6所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述支撑板沿所述第二方向开设有通槽，所述通槽沿所述第二方向分别相对设置有第四驱动装置和第五驱动装置，所述第四驱动装置与所述第一连接块相连，所述第四驱动装置的输出端垂直设置有贯穿所述通槽的第一传动板，所述第五驱动装置与所述移动板相连，所述第五驱动装置的输出端垂直设置有贯穿所述通槽的第二传动板。

8.根据权利要求7所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述第一传动板和所述第二传动两侧且位于所述移动板底部分别设置有第三滑轨组件和第四滑轨组件，所述第三滑轨组件和所述第四滑轨组件底部分别设置有第二连接块和第三连接块，所述第二连接块和所述第三连接块两侧且沿所述第一方向分别设置有两第一夹爪和两第二夹爪，两所述第一夹爪和两第二夹爪分别相对设置。

9.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述收集机构包括：与所述机架相连的第六驱动装置，所述第六驱动装置的输出端设置有延伸板，所述延伸板底部两侧且沿所述第二方向分别相对设置有第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板远离所述延伸板一侧分别设置有第一限位板和第二限位板，所述第一限位板和所述第二限位板分别与收集箱一侧相抵设置，所述第一连接板和所述第二连接板底部分别设置有第五滑轨组件和第六滑轨组件。

10.根据权利要求1所述的半导体线路板送料设备，其特征在于，所述机架上设置有沿所述第三方向的线路板拖放机构，所述线路板拖放机构包括：第七驱动装置，所述第七驱动装置的输出端设置有第二活动块，所述第二活动块上设置有拖板，所述拖板沿所述第二方向设置。