CN220122879U - 声表面波器件、滤波器及射频前端模组 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。在剥离工艺中，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间(即进入反射栅的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离。这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅。

Description

声表面波器件、滤波器及射频前端模组

技术领域

本实用新型属于射频滤波技术领域，尤其涉及一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组。

背景技术

声表面波器件是一种利用材料的压电特性制作的元器件。声表面波器件的叉指换能器(叉指换能器)的制作方法通常采用剥离工艺(lift-off)，该方法先采用光刻工艺在晶片表面形成光刻胶图形，然后在光刻胶图形上镀一层或多层金属薄膜，最后通过去胶液溶解光刻胶并剥离掉不需要的图形形成叉指换能器电极。通常情况下，声表面波器件的反射栅电极也是采用如上的剥离工艺制作而成。

但是，反射栅通常为封闭式结构，去胶液(剥离液)难以进入反射栅内部，无法充分与光刻胶接触发生作用，因此，剥离工艺过程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题，如图1所示，使得反射栅10A存在相邻的两根指条1A之间残留有光刻胶20A，进而导致反射栅20A失效。

实用新型内容

本实用新型提供一种声表面波器件、滤波器及射频前端模组，旨在解决剥离反射栅上的光刻胶时，剥离液难以进入反射栅内部，进而导致程中经常出现光刻胶不能完全被剥离的问题。

为了解决上述问题，本实用新型实施例提供一种声表面波器件，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；所述反射栅包括连接指以及多个指条；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。

可选的，所述连接指的数量为多个；沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个所述连接指分为依次设置的至少一个连接组，一个所述连接组具有至少一个所述连接指，相邻两个所述连接组内的连接指在指条的长度方向上间隔设置。

可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；一个所述连接组中的各连接指均连接所述指条的第一端，或者均连接所述指条的第二端。

可选的，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同。

可选的，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；所述多个连接组中的至少一个连接组的连接指与所述第一端之间存在第一距离，且所述至少一个连接组的连接指与所述第二端之间存在第二距离。

可选的，所述叉指换能器包括边缘区域，所述至少一个连接组的连接指与所述边缘区域相对。

可选的，至少一个相邻的两个所述指条之间设置有连接结构，所述连接结构与相邻两个所述指条中的一个指条连接，并与另一个指条间隔设置；其中，在所述至少一个相邻的两个指条之间的连接结构和连接指之间存在间隔。

可选的，至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构的数量为多个，设置在至少一个相邻两个所述指条的不同指条上的任意两个连接指不连接。

可选的，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构设置在任意指条的一端，和/或，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构与所述至少一个相邻两个所述指条的两端均存在间隔。

为了解决上述问题，本实用新型实施例还提供一种滤波器，包括权上述任意一项所述的声表面波器件。

为了解决上述问题，本实用新型实施例还提供一种射频前端模组，包括权上述的滤波器。

在本实用新型实施例提供的声表面波器件、滤波器及射频前端模组中，邻两个指条以及连接相邻两个指条的连接指所构成的结构在指条的长度方向上具有至少一个开口，去胶液能够从该开口处进入相邻两个指条之间(即进入反射栅的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离，这样也可以同时剥离掉不需要的图形，最终得到需要的反射栅，以此保证反射栅的可靠性。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的现有反射栅的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例提供的声表面波器件的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图一；

图4是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图二；

图5是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图三；

图6是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图四；

图7是本实用新型一实施例提供的反射栅与叉指换能器配合的结构示意图一；

图8是本实用新型一实施例提供的反射栅与叉指换能器配合的结构示意图二；

图9是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图五；

图10是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图六；

图11是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图七；

图12是本实用新型一实施例提供的反射栅的结构示意图八。

说明书中的附图标记如下：

100、声表面波器件；10、叉指换能器；20、反射栅；

1、连接指；1a、连接组；1b、连接指集合；

2、指条；21、第一端；22、第二端；

3、第一开口；

4、第一汇流条；

5、第二汇流条；

6、第一电极指；

7、第二电极指；

8、连接结构。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图2和图3所示，在一实施例中，声表面波器件100是一种利用材料的压电特性制作的元器件，声表面波器件100包括压电基底、叉指换能器10以及设置在叉指换能器10两端的反射栅20。叉指换能器10和反射栅20均设置在压电基底上。制备叉指换能器10和反射栅20时，先在压电基底上设置一层光刻胶层，然后再通过曝光、显影等操作对光刻胶层进行图案化处理，然后再于压电基底上设置金属层，最后通过剥离工艺剥离压电基底上的光刻胶层以及光刻胶上金属材料，便可以得到叉指换能器10和反射栅20的金属图案，其中，剥离工艺中，主要是利用去胶液去除光刻胶。

在剥离工艺时，若光刻胶没有被剥离，则光刻胶上的金属材料也无法去除，因此也会存在金属膜残留，剥离工艺缺陷会使得光刻胶和光刻胶上的金属材料对反射栅的可靠性与性能造成影响，可能造成反射栅失效，或是声表面波器件失效等问题。

在本实施例中，反射栅20包括连接指1以及多个指条2；沿着反射栅20和叉指换能器10的排布方向，多个指条2依次间隔排布；相邻两个指条2通过一个连接指1电连接；相邻两个指条2以及连接相邻两个指条2的连接指1所构成的结构在指条2的长度方向上具有至少一个开口(定义该开口为第一开口3)。“多个”是指大于或者等于两个，其中，“多个”在各实施例中的含义相同，后文不再赘述。

假定相邻两个指条2和连接该相邻两个指条2的连接指所构成一个反射结构，一个反射栅20所具有的反射结构的数量可以是一个也可以是多个。其中，一个反射结构具有一个第一开口3，或者一个反射结构具有两个第一开口3。另外，相邻三个指条2和连接这三个指条2的两个连接指1可以组成两个反射结构。

在图3示出的实施方式中，一个反射栅20中具有多个反射结构，且各反射结构均具有一个开口3。在图4示出的实施方式中，一个反射栅20中具有多个反射结构，且一些反射结构具有一个第一开口3，一些反射结构具有两个第一开口3。当然，在其他实施方式中，一个反射栅20中所具有的多个反射结构均可以是具有两个第一开口3。此外，在其他实施方式中，一个反射栅20中也可以是具有一个反射结构，此方式中，反射栅20具有两个指条2和一个连接指1，且此方式中，反射结构是可以具有一个第一开口3，也可以是具有两个第一开口3。

在剥离工艺过程中，去胶液能够从第一开口3处充分进入相邻两个指条2之间(即进入反射栅20的内部)，使去胶液能迅速有效地溶解相邻两个指条2之间的光刻胶，进而可以使光刻胶被完全剥离。

另外，在设置金属层的操作中，一部分金属材料会附着在光刻胶上，通过本实施例的设置使光刻胶被完全时，也可以剥离掉附着在光刻胶上的金属材料，这样可以完全剥离掉不需要的金属图形，最终得到需要的反射栅20结构。

此外，相邻两个指条均未通过连接指1电连接在一起的反射栅虽然能解决光刻胶剥离的问题，但是该结构中，由于反射栅中的指条均为单独不连接结构，故单个指条2可能存在因累积过多的电荷而损坏的问题。对此，在本实施例中，相邻两个指条2通过一个连接指1电连接，一个反射栅20所包含的所有的指条2都电连接在一起，相比于相邻两个指条2未电连接在一起的反射栅，本实施例的反射栅20中通过连接指1连接相邻两个指条2，可以减少单个指条2电荷累计过多的情况，从而使反射栅20具有更好的静电效应，进而为反射栅20的性能及可靠性提供保障。

如图2所示，叉指换能器(IDT)10包括第一汇流条4、第二汇流条5、第一电极指6以及第二电极指7；第一汇流条4和第二汇流条5沿着指条2的长度方向间隔设置；第一电极指6和第二电极指7均设置在第一汇流条4和第二汇流条5之间，并沿着反射栅20和叉指换能器10的排布方向依次交替间隔排布；第一电极指6与第一汇流条4电连接，并与第二汇流条5间隔设置；第二电极指7与第二汇流条5电连接，并与第一汇流条4间隔设置。

在指条2的长度方向上，第一汇流条4与第二电极指7之间的间隔区域为第一间隙区M1，第二汇流条5与第一电极指6之间的间隔区域为第二间隙区M2；另外，在反射栅20和叉指换能器10的排布方向，各第一电极指6交叠的区域为工作区O，其中，第一间隙区M1和第二间隙区M2分别位于工作区O的两端。

在一实施例中，压电基底1的材质可以具体为石英、氮化铝、蓝宝石、LN(铌酸锂，LiNbO3)、LT(钽酸锂，LiTaO3)等，本施例在此不做具体限定。

在一实施例中，叉指换能器10的材质可以是单一金属材料或者不同金属的复合或者合金材质，可选的，叉指换能器10的材质可以是铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等或以上金属的复合或其合金等中的一者。

在一实施例中，反射栅20的材质可以是单一金属材料或者不同金属的复合或者合金材质，可选的，反射栅20的材质可以是铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等或以上金属的复合或其合金等中的一者。另外，叉指换能器10和反射栅20可以是在一个工序中同时制备，也可以是在不同的工序中制备，本施例在此不做具体限定。

如图5和图6所示，在一实施例中，一个反射栅20所包含的连接指1的数量为多个；沿着反射栅20和叉指换能器10的排布方向，多个连接指1分为依次设置的至少一个连接组1a，一个连接组1a具有至少一个连接指1；连接组1a的数量为多个时，多个连接组1a沿着反射栅20和叉指换能器10的排布方向依次设置，相邻两个连接组1a内的连接指在指条2长度方向上的间隔设置。

其中，在指条2的长度方向上，指条2具有相背设置的第一端21和第二端22，当一个连接组1a内具有多个连接指1时，在指条2的长度方向(该长度方向可以视为第一端21指向第二端22的方向，也可以视为第二端22指向第一端21的方向)上，该连接组1a内的各连接指1与指条的第一端21的间距可以相同，且该连接组1a内的各连接指1与指条2的第二端22的间距也可以相同。

也即，在一个连接组1a中，该连接指1a中的各连接指1所处的位置相同(所处的位置相同指各连接指1与对应连接指所连接的相邻两个指条2的第一端21之间的距离相同，且各连接指1与对应连接指所连接的相邻两个指条2的第二端22之间的距离相同)。

本实施例中，一个反射栅20中可以存在多个连接组1a，也可以只存在一个连接组1a；且存在多个连接组1a时，可以存在至少两个连接组1a的形状相同(此处的形状相同至连接指的数量相同，且连接指的所处的位置相同)，当然，也可以所有的连接组1a的形状均不相同。

本实施例中，相邻两个连接组1a内的连接指在指条2长度方向上的间隔设置，可以视为相邻两个连接组1a内的连接指与第一端21的之间距离不同，且与相邻两个连接组1a内的连接指与第一端21的之间距离不同。

应当说明的是，各指条2的第一端21位于同一侧，各指条2的第二端22也位于同一侧，比如，在指条2的长度方向上，各指条2的第一端21均可以是指指条2背离第二汇流条5的一端，各指条2的第二端22均可以是指指条2背离第一汇流条4的一端。

对于一个连接指1而言，定义与其连接的两个指条2分别为第一指条和第二指条，其中，在指条2的长度方向上，第一指条的第一端21与该连接指的间距可以是等于第二指条的第一端21与该连接指的间距，第一指条的第二端22与该连接指的间距可以是等于第二指条的第二端22与该连接指的间距。其中，该连接指与指条的第一端的间距可以是指该连接指与第一指条的第一端的间距，该连接指与指条的第二端的间距可以是指该连接指与第一指条的第二端的间距。另外，该连接指与指条的第一端的间距可以是零，或者，该连接指与指条的第二端的间距可以是零，或者，该连接指与指条的第一端的间距大于零，且该连接指与指条的第二端的间距也大于零。

参考图5，在一可实现的实施方式中，连接指1均为长条结构，其中，连接指1长度方向上的两端分别连接相邻两个指条2，连接指1的宽度方向上的两侧中的至少一侧与第一开口3相对，其中，连接指1的长度方向即为反射栅20和叉指换能器10的排布方向，连接指1的宽度方向即为指条3的长度方向，其中，指条1的宽度方向可以是垂直于指条1的长度方向。

另外，在图5示出的实施方式中，一些各连接组1a中的连接指1连接在指条的第一端21(这些连接组中的连接指与指条第一端的间距为零)，另一些连接组1a中的连接指1连接在指条的第二端22(这些连接组中的连接指与指条第二端的间距为零)。当然，在其他一些实施方式中，一些连接组1a内的连接指1也可以是连接在指条的中间部位，也即这些连接组中连接指与指条2的第一端21的间距大于零，且这些连接组中连接指与指条2的第二端22的间距也大于零(比如参考图7)。

当然，在其他可实现的实施方式中，连接指1也可以是其他形状，比如弧形、波浪形等，连接指1的形状可以是规则的也可以是不规则的，且连接指1和与其连接的相邻两个指条2之间不形成封闭图案。另外，一个反射栅20的各连接指1可以是相同的形状设置；或者一个反射栅20的各连接指1中也可以是至少有两个采用不同的形状设置。

如图2和图5所示，在一实施例中，在指条2的长度方向上，指条2具有相背设置的第一端21和第二端22；一个连接组1a中的各连接指1均连接指1条的第一端21，或者均连接指1条的第二端22。

一个连接指1连接在指条2的第一端21是指该连接指1的两端分别连接相邻两个指条2的第一端21，一个连接指1连接在指条2的第二端22是指该连接指1的两端分别连接相邻两个指条2的第二端22。

另外，由于相邻两个连接组1a内的连接指在指条2的长度方向上间隔设置，故相邻两个连接组1a中的各连接指1分别连接在指条2的不同端。其中，定义相邻两个连接组1a分别为第一连接组和第二连接组，若第一连接组中的各连接指1均连接在指条2的第一端21，第二连接组中的各连接指1均连接在指条2的第二端22。

当然，一个连接组1a内的连接指1均连接相邻两个指条2的同一端是示意性的，在其他实施例中，一个连接组1a内的连接指1还可连接在与相邻两个指条2的两端存在一定距离的位置。

在一实施例中，多个连接组1a中的各连接组1a内的连接指1的数量不同，即各连接组1a内的连接指1的数量均不同(参考图6)；或者，多个连接组1a中的至少存在两个连接组1a的连接指1的数量相同(比如参考图5和图7)。

多个连接组1a中的至少存在两个连接组1a的连接指1的数量相同，可以是两个连接组1a的连接指1的数量相同，也可以是三个连接组1a的连接指1的数量相同，甚至是所有连接组1a的连接指1的数量相同，此处不做具体限制。

另外，应当理解的是，本实施例所述的多个连接组1a是指同一个反射栅20所具有的连接组1a。

此外，无论“多个连接组1a中的各连接组1a内的连接指1的数量不同”，还是“多个连接组1a中的至少存在两个连接指1的连接指1的数量相同”，一个连接组1a中的各连接指1均可以是连接指1条的第一端21，或者均连接指1条的第二端22，或是连接在相邻两个指条中与第一端21和第二端22均存在一定距离的位置(即第一端21与第二端22之间的中间部位)。

参考图6，该图示出的是“多个连接组1a中的各连接组1a内的连接指1的数量不同”的情况，在该图中，反射栅20具有3个连接组1a，其中，这3个连接组1a所具有的连接指1的数量分别为一个、两个以及三个。

参考图5和图7，该图示出的是“多个连接组1a中的至少存在两个连接指1的连接指1的数量相同”的情况。其中，在图5示出的实施方式中，反射栅20具有三个连接组1a，每一个连接组1a内的连接指的数量均为两个。在图7示出的实施方式中，反射栅20具有三个连接组1a，位于左侧的两个连接组1a均具有两个连接指1，而位于右侧的连接组1a内具有三个连接指1。

另外，当各连接组1a内的连接指1的数量都相同时，各连接组1a内的连接指1的数量也可以是多个(参考图5)，当然，各连接组1a内的连接指1的数量可以是一个，比如参考图3。

如图7所示，在一实施例中，多个连接组1a中的至少一个连接组1a(定义该至少一个连接组1a为一个连接指集合1b)的连接指1与第一端21之间存在第一距离，且该连接指集合1b的连接指1与第二端22之间存在第二距离。其中，对于一个连接组1a而言，该连接组1a的连接指1与第一端21之间存在第一距离，且该连接组1a的连接指1与第二端22之间存在第二距离是指：该连接组1a内的所有连接指1的两端都连接在指条2的中间部位，而不位于相邻两个指条的端部。

比如，定义相邻两个指条2分别为第一指条和第二指条，连接这两个指条2的连接指1为第一连接指，第一连接指的a端也可以是连接在第一指条的中间部位，第一连接指的b端与连接在第二指条的中间部位，其中，第一连接指的a端与第一指条的第一端21间隔第一距离，第一连接指的a端与第一指条的第二端22间隔第二距离，第一连接指的b端与第二指条的第一端21间隔第一距离，第一连接指的b端与第二指条的第二端22间隔第二距离。另外，第一距离和第二距离可以是相等的，也可以是不相等的。

本实施例中，第一距离和第二距离的数值均小于指条2的长度且大于零，以此，保证连接指1不会连接在指条2的第一端21或第二端22。

本实施例中，一个连接组1a的连接指1不在相邻两个指条的两个端部时，该连接指1可以设置在与工作区O相对的位置，或是与间隙区(间隙区包括第一间隙区M1和第二间隙区M2)相对的位置，或是与两个汇流条所在区域相对的位置(此时连接指1不位于指条2的端部)，或是跨越设置在以上3个区域中相邻的两个区域中(即连接指的一部分设置在与相邻的两个区域中的一个区域相对的位置，另一部分设置在与相邻的两个区域中的另一个区域相对的位置)。

本实施例中设置在某个区域的相对位置可以视为连接指与该区域在指条的排布方向上的投影重叠。

需要注意的是，一般情况下，反射栅20在指条2长度方向上的长度数值与IDT在指条2长度方向上的长度数值相等，但也存在反射栅20在指条2长度方向上的长度数值大于IDT在指条2长度方向上的长度数值的情况，此时，反射栅20内的连接指也可以设置在指条的长度方向上超过IDT长度的位置，也即此时该连接指1在排布方向上的投影与IDT在排布方向上的投影不存在重叠(参考图7)。

如图8所示，在一实施例中，叉指换能器10包括边缘区域，上述至少一个连接组1a(即连接指集合1b，该连接指集合1b中的连接指不与相邻两个指条的两端连接)的连接指1与边缘区域相对。其中，边缘区域包括第一边缘区和L1和第二边缘区L2，连接指集合1b的连接指全部与第一边缘区L1相对；或者，连接指集合1b的连接指全部与第二边缘区L2相对；或者，连接指集合1b的连接指一部分与第一边缘区L1相对，另一部分与第二边缘区L2相对。

本实施例中，在反射栅20在指条2长度方向上的长度数值与IDT在指条2长度方向上的长度数值相等时，连接指1不与相邻两个指条2的两端连接，则可设定该连接指1与边缘区域对应设置，也即，该连接指1与边缘区域在排布方向上的投影重叠，也即该连接指1与工作区域O在排布方向上的投影不存在重叠，从而可以避免连接指1所造成的电场畸变无法很好的反射从工作区O到达反射栅20的声波，进而避免对声表面波器件100的性能产生不良影响。

其中，假设第一平面垂直于反射栅20和叉指换能器10的排布方向。一个连接指与第一边缘区L1相对是指：该连接指在第一平面上的正投影完全位于第一边缘区L1在第一平面的正投影内。一个连接指与第二边缘区L2相对是指：该连接指在第一平面上的正投影完全位于第二边缘区L2在第一平面的正投影内。

另外，第一汇流条4所在的区域为第一汇流条区N1，第二汇流条5所在的区域为第二汇流条区N2；也即第一汇流条区N1为第一汇流条4靠近第二汇流条5的表面至第一汇流条4背离所述第二汇流条5的表面之间的区域，第二汇流条区N2为第二汇流条5靠近第一汇流条4的表面至第二汇流条5背离所述第一汇流条4的表面之间的区域。第一间隙区M1和第一汇流条区N1组成第一边缘区L1，第二间隙区M2和第二汇流条区N2组成第二边缘区L2。

在一实施例中，各连接指也可以是分为一组，其中，各连接指均可以是连接在指条2的第一端21，也可以是连接在指条2的第二端22。

如图9至图12所示，至少一个相邻的两个指条2之间设置有连接结构8，连接结构8与相邻两个指条2中的一个指条2连接，并与另一个指条2间隔设置；其中，在该至少一个相邻的两个指条2之间的连接结构8和连接指1之间存在间隔。也即，反射栅20还包括连接结构8，定义相邻两个指条2为一个指条组，则一些指条组内设有连接结构8，也可能存在一些指条组内不存在连接结构8，或是所有指条组内均设有连接结构8；存在连接结构8的指条组内可能存在一个连接结构8，也可能存在多个连接结构8；存在多个连接结构8的指条组内，该多个连接结构之间不相互连接，且多个连接结构8可以与该指条组内的一个指条连接，也可以一部分与该指条组内的一个指条连接，另一部分与该指条组内的另一个指条连接；且一个连接结构8只与该指条组内的一个指条2连接，该指条组内的连接结构8与该指条组内的连接指1间隔设置，即连接结构8不与连接指1重叠。另外，连接结构8实际上是与指条2电性连接。

如图9至图12所示，在一实施例中，至少一个相邻两个指条2之间设置的连接结构8的数量为多个，如2个、3个或者以上，设置在该至少一个相邻两个指条2的不同指条2上的任意两个连接指1不连接。定义相邻两个指条2为一个指条组，也即在一些指条组内设有多个连接结构8，且对于一个指条组而言，如果该指条组内设有多个连接结构8，则该指条组的两个指条2上均可以连接相应的连接结构8，且连接在这两个指条2上的连接结构8不连接。

比如一个指条组内的两个指条2分别为指条A和指条B，连接在指条A上的连接结构8为第一连接结构，连接在指条B上的连接结构8为第二连接结构，则第一连接结构与第二连接结构不连接，这样可以避免连接结构8阻挡去胶液阻进入指条A和指条B之间。当然，在其他实施例中，当一个指条组内设有多个连接结构8时，这些连接结构8均可以是连接在同一个指条2上。

如图9至图12所示，在一实施例中，至少一个相邻两个指条2之间设置的连接结构8设置在任意指条2的一端，和/或至少一个相邻两个指条2之间设置的连接结构8与所述至少一个相邻两个指条2的两端均存在间隔。

其中，“至少一个相邻两个指条2之间设置的连接结构8设置在任意指条2的一端”可以是指各指条组中至少一个指条组内的连接结构8是连接在指条2的端部。具体的，如果设有连接结构8的指条组的数量为一个，该指条组内的连接结构8可以是连接在指条2的端部。如果设有连接结构8的指条组的数量为多个，这些设有连接结构8的指条组中，可以是所有的指条组内的连接结构8是连接在指条2的端部，或者，也可以是这些指条组中的一部分指条组内的连接结构8连接在指条2的端部，另一部分指条组内连接结构8不连接在指条2的端部。

“至少一个相邻两个指条2之间设置的连接结构8与所述至少一个相邻两个所述指条2的两端均存在间隔”可以是指各指条组中至少一个指条组内的连接结构8均连接在指条2的中间部位，该中间部位可以是指除指条组中两个指条的两个端部以外的其他位置。

具体地，如果设有连接结构8的指条组的数量为一个，该指条组内的连接结构8可以是连接在指条2的中间部位。如果设有连接结构8的指条组的数量为多个，这些设有连接结构8的指条组中，可以是所有的指条组内的连接结构8是连接在指条2的中间部位，或者，也可以是这些指条组中的一部分指条组内的连接结构8连接在指条2的中间部位，另一部分指条组内连接结构8不连接在指条2的中间部位。

对于一个指条组而言，当该指条组内的连接结构8的数量为多个时，如果该指条组内的连接结构8设置在任意指条2的一端，则是指该指条组内的所有连接结构8都设置在指条2的端部。

对于一个指条组而言，当该指条组内的连接结构8的数量为多个时，如果该指条组内的连接结构8设置在指条2的中间部位，则是指该指条组内的所有连接结构8都设置在指条2的中间部位。

对于一个指条组而言，当该指条组内的连接结构8的数量为多个时，如果该指条组内的连接结构8有一部分连接结构8连接在指条的中间部位，另一部分连接结构连接在指条2的端部，则该指条组内的连接结构8与指条2混接。

上述“指条组内连接结构8不连接在指条2的端部”可以是指指条组内的连接结构8设置在指条2的中间部位，也可以是指指条组内的连接结构8与指条2混接。

上述“指条组内连接结构8不连接在指条2的中间部位”可以是指指条组内的连接结构8设置在指条2的端部，也可以是指指条组内的连接结构8与指条2混接。

对于一个指条组而言，如果该指条组内的连接结构8的数量为多个，且该指条组内的连接结构8与指条2的两端存在间隔，则该指条组内的所有连接结构8均连接在指条2的中间部位，比如，这些连接结构8均可以是连接在指条A的中间部位，或者连接结构8均可以是连接在指条B的中间部位，或者这些连接结构8的中的一部分连接结构8连接在指条A的中间部位，另一部分连接在指条B的中间部位。

当然，如上所述，可能存在一些指条组，该连接指中的连接结构8的数量为多个，其中，一部分的连接结构8连接在指条组中任一指条2的端部，另一部分的连接结构连接在条组中任一指条2的中间部位。

在一实施例中，叉指换能器10两端的两个反射栅的结构均可以采用上述实施例的设置，且这两个反射栅的结构可以是相同的，也可以是不相同的。

需要注意的是，以上实施例中的相关技术特征，各实施例中可以复用或相互结合，也即存在一个实施例中提出特征a、b，另一个实施例中提出特征a、c，可以复用两个实施例中的特征，以此，可得到新的实施例a、b、c。

本实用新型实施例还提供一种滤波器，该多工器包括上述任意一实施例所述的声表面波器件。

本实用新型实施例还提供一种射频前端模组，该射频前端模组包括上述任意一实施例所述的滤波器。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种声表面波器件，其特征在于，包括叉指换能器以及设置在所述叉指换能器两端的反射栅；

所述反射栅包括连接指以及多个指条；

沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个指条依次间隔排布；

相邻两个所述指条通过一个所述连接指电连接；

相邻两个所述指条以及连接所述相邻两个所述指条的连接指所构成的结构在所述指条的长度方向上具有至少一个开口。

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述连接指的数量为多个；

沿着所述反射栅和所述叉指换能器的排布方向，多个所述连接指分为依次设置的至少一个连接组，一个所述连接组具有至少一个所述连接指；

相邻两个所述连接组内的连接指在指条的长度方向上间隔设置。

3.根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；

一个所述连接组中的各连接指均连接所述指条的第一端，或者均连接所述指条的第二端。

4.根据权利要求2或3所述的声表面波器件，其特征在于，所述多个连接组中的各连接组内的连接指的数量不同，或者所述多个连接组中的至少存在两个连接组的连接指的数量相同。

5.根据权利要求2所述的声表面波器件，其特征在于，在所述指条的长度方向上，所述指条具有相背设置的第一端和第二端；

所述多个连接组中的至少一个连接组的连接指与所述第一端之间存在第一距离，且所述至少一个连接组的连接指与所述第二端之间存在第二距离。

6.根据权利要求5所述的声表面波器件，其特征在于，所述叉指换能器包括边缘区域，所述至少一个连接组的连接指与所述边缘区域相对。

7.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，至少一个相邻的两个所述指条之间设置有连接结构，所述连接结构与相邻两个所述指条中的一个指条连接，并与另一个指条间隔设置；其中，在所述至少一个相邻的两个指条之间的连接结构和连接指之间存在间隔。

8.根据权利要求7所述的声表面波器件，其特征在于，至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构的数量为多个，设置在至少一个相邻两个所述指条的不同指条上的任意两个连接指不连接。

9.根据权利要求7或8所述的声表面波器件，其特征在于，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构设置在任意指条的一端，和/或，所述至少一个相邻两个所述指条之间设置的连接结构与所述至少一个相邻两个所述指条的两端均存在间隔。

10.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的声表面波器件。

11.一种射频前端模组，其特征在于，包括权利要求10所述的滤波器。