CN220064609U - 光刻胶输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种光刻胶输送装置，包括用于储存光刻胶的储胶桶；第一输送管路，第一输送管路的一端设置有螺纹接头，螺纹接头与储胶桶可拆卸连接；第二输送管路，第二输送管路的一端与光刻胶涂布装置连接；清洗组件，清洗组件包括储液桶；三通接头，第一输送管路的一端、第二输送管路的一端和储液桶分别与三通接头的三个接口连接；在更换储胶桶之前，可利用清洗组件对螺纹接头内的螺纹孔进行清洗，避免光刻胶长时间遗留在内螺纹上而产生变形。该方式可防止变形的光刻胶混杂在新的光刻胶中被输送至光刻胶涂布装置进行涂布，进而保证显示面板的加工质量。

Description

光刻胶输送装置

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种光刻胶输送装置。

背景技术

光刻是显示面板制造过程中的一道重要工艺，即利用光刻胶涂布装置在显示面板上涂布一层光刻胶。然后经曝光、蚀刻以形成图形。在光刻胶的涂布处理中，利用光刻胶输送装置将储存在储胶桶内的光刻胶输送至光刻胶涂布装置的喷头。现有的一种光刻胶输送装置，参照图1所示，光刻胶输送装置包括输送管道1′和安装在输送管道1′一端的螺纹接头2′。螺纹接头2′上设置有螺纹孔21′，输送管道1′与螺纹孔21′连通。储胶桶的连接端设置有与螺纹孔21′配合的外螺纹，以使储胶桶能够与螺纹孔21′螺纹连接。在输送管道1′上的压力泵的驱动下，储胶桶内的光刻胶通过输送管道1′输送至光刻胶涂布装置。

现有技术存在以下不足：在光刻胶流动过程中，当光刻胶经过螺纹孔21′时，部分光刻胶会遗留在储胶桶的连接端与螺纹孔21′之间的间隙内，以使光刻胶粘附在螺纹上。遗留的光刻胶在空气中长时间暴露会导致其成分发生变化或者干燥成固体物，即光刻胶发生变性。在实际应用中，储胶桶内的光刻胶输送完后需要更换新的储胶桶，使得螺纹接头2′不断地与储胶桶的连接端进行拧紧或松开。因此，遗留在螺纹上的变性的光刻胶脱落并混合在正常的光刻胶中被输送至光刻胶涂布装置。变性的光刻胶被涂布在显示面板上，导致显示面板产生曝光缺陷或产生固体杂质，严重影响显示面板的加工质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种光刻胶输送装置，其可对螺纹接头上的光刻胶进行及时清洗，避免光刻胶长时间遗留而产生变形，提高显示面板的加工质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种光刻胶输送装置，包括：

储胶桶，所述储胶桶用于储存光刻胶；

第一输送管路，所述第一输送管路的一端设置有螺纹接头，所述螺纹接头与所述储胶桶可拆卸连接；

第二输送管路，所述第二输送管路的一端用于与光刻胶涂布装置连接；

清洗组件，所述清洗组件包括用于储存光刻胶溶剂的储液桶；

三通接头，所述三通接头具有三个接口，所述第一输送管路背离所述螺纹接头的一端、所述第二输送管路背离所述光刻胶涂布装置的一端和所述储液桶分别与三个所述接口连接；

所述储液桶位于所述三通接头的上方，所述储液桶与所述三通接头之间设置有第一阀门，清洗处理时，所述螺纹接头与所述储胶桶断开，所述光刻胶溶剂输送至所述第一输送管路并对所述螺纹接头进行清洗。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述螺纹接头背离所述第一输送管路的一端开设有与所述第一输送管路连通的螺纹孔，所述储胶桶包括桶体、连接头和连接管，所述连接头设置于所述桶体的开口端，所述连接管的一端与所述连接头连接，另一端延伸至所述桶体内，所述连接头与所述螺纹孔螺纹连接，所述连接管与所述螺纹孔连通。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述清洗组件还包括盖板，所述盖板与所述螺纹接头可拆卸连接，所述盖板选择性盖设于所述螺纹孔上，所述盖板上开设有供光刻胶溶剂流通的出液孔。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述出液孔的直径小于所述第一输送管路的内径。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述螺纹接头背离所述第一输送管路的一侧面凹设有凹槽，所述螺纹孔开设于所述凹槽的槽底，所述盖板盖设于所述凹槽的槽口。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述盖板上穿设有转轴，所述转轴与所述盖板转动连接，所述转轴的一端延伸至所述螺纹孔内，所述转轴上设置有用于清理所述螺纹孔的毛刷。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述第二输送管路靠近所述三通接头的一端设置有第二阀门。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，所述第二输送管路上设置有压力泵，所述压力泵用于驱动光刻胶从所述储胶桶朝向所述光刻胶涂布装置流动。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，还包括废液桶，所述废液桶用于收集从所述螺纹接头流出的光刻胶溶剂。

作为光刻胶输送装置的一种优选方案，还包括设置于所述螺纹接头下方的滑轨和滑座，所述滑座与所述滑轨滑动连接，所述滑座上设置有两个安装槽，两个所述安装槽沿所述滑座的滑动方向间隔分布，其中一个所述安装槽用于放置所述储胶桶，另一个所述安装槽用于放置所述废液桶。

本实用新型相比于现有技术的有益效果：

本实用新型的光刻胶输送装置，通过设置三通接头，将储液桶、第一输送管路和第二输送管路均连接在三通接头上。在更换储胶桶之前，可利用清洗组件对螺纹接头内的螺纹孔进行清洗，避免光刻胶长时间遗留在内螺纹上而产生变形。该方式可防止变形的光刻胶混杂在新的光刻胶中被输送至光刻胶涂布装置进行涂布，进而保证显示面板的加工质量。

附图说明

图1为现有技术的螺纹接头的剖视图。

图2为本实用新型实施例的光刻胶输送装置涂布状态时的示意图。

图3为本实用新型实施例的光刻胶输送装置清洗状态时的示意图。

图4为本实用新型一实施例的螺纹接头与盖板的连接示意图。

图5为本实用新型另一实施例的螺纹接头与盖板的连接示意图。

图6为本实用新型实施例的盖板的示意图。

图7为本实用新型实施例的储胶桶的局部剖视图。

图8为本实用新型实施例的滑轨和滑座的安装示意图。

图1中：

1′、输送管道；2′、螺纹接头；21′、螺纹孔。

图2至图8中：

1、第一输送管路；2、第二输送管路；21、压力泵；22、第二阀门；3、储胶桶；31、桶体；32、连接头；33、连接管；4、清洗组件；40、储液桶；41、第一阀门；42、输液管；43、盖板；44、出液孔；45、转轴；46、毛刷；47、安装孔；5、三通接头；6、螺纹接头；61、螺纹孔；62、边缘板；63、凹槽；64、连接孔；7、光刻胶涂布装置；8、废液桶；9、滑轨；10、滑座；101、安装槽。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图2和图3所示，提供一种光刻胶输送装置，用于向光刻胶涂布装置7输送光刻胶，以实现对显示面板的光刻胶涂布处理。光刻胶输送装置包括第一输送管路1、第二输送管路2、储胶桶3、清洗组件4、三通接头5和螺纹接头6。其中，储胶桶3用于储存光刻胶。第一输送管路1和第二输送管路2用于输送光刻胶，清洗组件4包括储液桶40，储液桶40用于储存光刻胶溶剂。三通接头5起管路连接的作用，三通接头5具有三个接口，第一输送管路1、第二输送管路2和储液桶40分别与三通接头5的三个接口连接，以使第一输送管路1、第二输送管路2和储液桶40均与三通接头5连通。螺纹接头6用于连接第一输送管路1和储胶桶3，储胶桶3与螺纹接头6之间螺纹连接，并使第一输送管路1通过螺纹接头6与储胶桶3连通。

光刻胶输送装置包括涂布状态和清洗状态。涂布状态中，第一输送管路1通过螺纹接头6与储胶桶3连接，储液桶40与三通接头5之间截断，第一输送管路1和第二输送管路2与三通接头5连通。储胶桶3内的光刻胶依次通过第一输送管路1、三通接头5和第二输送管路2输送至光刻胶涂布装置7，以实现光刻胶涂布装置7对显示面板进行涂布处理；清洗状态中，螺纹接头6与储胶桶3断开，第二输送管路2与三通接头5之间截断，第一输送管路1和储液桶40与三通接头5连通。储液桶40内的光刻胶溶剂依次通过三通接头5和第一输送管路1输送至螺纹接头6，光刻胶溶剂能够溶解遗留在螺纹接头6上的光刻胶，以实现对螺纹接头6的清洗处理。

可选地，参照图3和图4所示，清洗组件4包括储液桶40、第一阀门41、输液管42和盖板43。储液桶40位于三通接头5的上方，储液桶40与三通接头5之间通过输液管42连接，第一阀门41设置于输液管42上，以使储液桶40与三通接头5之间能够通过第一阀门41连通或截断。通过将储液桶40设置在三通接头5的上方，使得光刻胶溶剂能够在自身重力作用下进行输送，避免设置相应的驱动泵，有利于简化整体结构以及节省成本。

第二输送管路2的两端分别与三通接头5和光刻胶涂布装置7连接，第二输送管路2上设置有压力泵21和第二阀门22。压力泵21为光刻胶的输送提供动力，在涂布处理时，利用压力泵21驱动光刻胶从储胶桶3朝向光刻胶涂布装置7流动。在实际应用中，也可以由光刻胶涂布装置7中的动力元件为光刻胶提供流动动力。第二阀门22用于控制第二输送管路2的通断，即涂布状态中，三通接头5通过第二阀门22与光刻胶涂布装置7之间连通。清洗状态中，三通接头5通过第二阀门22与光刻胶涂布装置7之间截断。第二阀门22位于第二输送管路2靠近三通接头5的一端，以避免清洗状态时光刻胶溶剂进入第二输送管路2内。

第一输送管路1的两端分别与三通接头5和螺纹接头6连接。螺纹接头6位于三通接头5的下方，以使光刻胶溶胶能够在自身重力作用下顺利流向螺纹接头6。

可选地，参照图4和图7所示，螺纹接头6背离第一输送管路1的一端开设有螺纹孔61，螺纹孔61为盲孔，螺纹孔61的孔壁上设置有用于螺纹连接的内螺纹。螺纹接头6上还开设有连接孔64，第一输送管路1的内径与连接孔64的孔径相同，并使第一输送管路1通过连接孔64与螺纹孔61连通。

储胶桶3包括桶体31、连接头32和连接管33。光刻胶储存在桶体31内，连接头32设置于桶体31的开口端，连接头32用于封堵桶体31的开口。连接头32上设置有与螺纹孔61配合的外螺纹，以使连接头32与螺纹接头6螺纹连接。具体地，当储胶桶3与螺纹接头6连接时，连接头32插于螺纹孔61内，并通过内、外螺纹连接固定。连接管33的一端穿设于连接头32并延伸至螺纹孔61内，以使连接管33能够与螺纹孔61连通。连接管33背离连接头32的一端延伸至桶体31内，并使连接管33的端部靠近桶体31的底部。涂布状态时，在压力泵21的驱动下，桶体31内的光刻胶通过连接管33和螺纹孔61进入第一输送管路1内。

盖板43与螺纹接头6通过螺栓可拆卸连接。盖板43选择性盖设于螺纹孔61上。即涂布状态时，盖板43与螺纹接头6分离，并使螺纹接头6与储胶桶3连接；清洗状态时，储胶桶3与螺纹接头6分离，并使螺纹接头6与盖板43连接。当盖板43与螺纹接头6连接时，盖板43能够封堵螺纹孔61背离第一输送管路1的一端。盖板43上贯穿开设有出液孔44，出液孔44的直径为D1，第一输送管路1的内径为D2，且D1＜D2。可以理解的是，通过设置盖板43，并使出液孔44的直径小于第一输送管路1的内径，当对螺纹接头6进行清洗时，光刻胶溶剂通过第一输送管路1流入螺纹孔61内，然后在经过出液孔44排出。出液孔44直径较小，螺纹孔61内的进液速度大于出液速度，光刻胶溶剂能够填充满整个螺纹孔61，进而使得螺纹孔61内的所有内螺纹能够被光刻胶溶剂浸没，以保证将整个螺纹孔61清洗干净。

可选地，螺纹接头6包括一体成型的接头本体和边缘板62，螺纹孔61开设于接头本体上，边缘板62呈圆环结构，边缘板62环设于接头本体的周部，且边缘板62与螺纹孔61的开口平齐。边缘板62用于穿设螺栓。

可选地，参照图5所示，螺纹接头6背离第一输送管路1的一侧面凹设有凹槽63，螺纹孔61开设与凹槽63的槽底。清洗状态时，盖板43安装在螺纹接头6上并使盖板43与螺纹接头6背离第一输送管路1的一侧面抵接。此时，盖板43盖设于凹槽63的槽口上。该结构使得螺纹孔61内的内螺纹与盖板43间隔，以避免位于螺纹孔61的开口位置的内螺纹与盖板43接触而影响清洗效果。

可选地，参照图6所示，清洗组件4还包括转轴45和毛刷46。转轴45穿设于盖板43上，且转轴45与盖板43转动连接。转轴45的一端延伸至螺纹孔61内，转轴45的另一端位于盖板43背离螺纹孔61的一侧，即转轴45的另一端位于螺纹孔61的外部。位于螺纹孔61内部的转轴45与螺纹孔61同轴，转轴45上设置有多个毛刷46，毛刷46的端部能够与螺纹孔61内的内螺纹抵接。位于螺纹孔61外部的转轴45弯折设置以形成方便进行转动操作的握把。清洗状态时，可通过转动转轴45以驱动毛刷46绕转轴45的轴线方向转动，进而利用毛刷46对内螺纹上的光刻机进行清理，以促进遗留在内螺纹上的光刻胶能够被清理干净。

具体地，转轴45与盖板43的中部转动连接，出液孔44开设与盖板43靠近转轴45的位置。盖板43的周部区域间隔设置有多个用于穿设螺栓的安装孔47。

可选地，参照图3所示，光刻胶输送装置还包括废液桶8，废液桶8用于收集从螺纹接头6流出的光刻胶溶剂。清洁状态时，将废液桶8放置在螺纹接头6的下方，以收集清洗后的光刻胶溶剂。

可选地，参照图8所示，光刻胶输送装置还包括滑轨9和滑座10。滑轨9设置于螺纹接头6的下方。滑座10与滑轨9滑动连接，滑座10上设置有两个安装槽101，两个安装槽101沿滑座10的滑动方向间隔分布。其中一个安装槽101用于放置储胶桶3，另一个安装槽101用于放置废液桶8。涂布状态中，放置储胶桶3的安装槽101位于螺纹接头6的正下方，并使储胶桶3与螺纹接头6正对并连接。清洗状态中，滑动安装滑座10，并使放置有废液桶8的安装槽101位于螺纹接头6的正下方，并使废液桶8与螺纹接头6正对并收集从螺纹接头6流出的光刻胶溶剂。通过设置滑轨9和滑座10，以便于废液桶8和储胶桶3进行切换使用，避免人力搬动储胶桶3和废液桶8。

光刻胶输送装置的工作过程为：涂布状态时，将第一输送管路1与储胶桶3连接，第一阀门41关闭，第二阀门22开启。光刻胶通过第一输送管路1和第二输送管路2输送至光刻胶涂布装置7，并对显示面板进行涂布处理。储胶桶3内的光刻胶用完后，需要更换储胶桶3，在更换储胶桶3之前，利用清洗组件4对螺纹接头6进行清洗。清洗状态时，将盖板43安装在螺纹接头6上，并在螺纹接头6的下方放置废液桶8。第一阀门41开启，第二阀门22关闭。光刻胶溶剂通过输液管42和第一输送管路1输送至螺纹接头6的螺纹孔61内，使得光刻胶溶剂溶解掉螺纹孔61内的光刻胶，避免光刻胶长期遗留在螺纹孔61内而导致变形。对螺纹接头6清洗后，再更换新的储胶桶3对螺纹接头6连接，以进行下一次涂布处理。

本实施例的技术效果为：通过设置三通接头5，将储液桶40、第一输送管路1和第二输送管路2均连接在三通接头5上。在更换储胶桶3之前，可利用清洗组件4对螺纹接头6内的螺纹孔61进行清洗，避免光刻胶长时间遗留在内螺纹上而产生变形。该方式可防止变形的光刻胶混杂在新的光刻胶中被输送至光刻胶涂布装置7进行涂布，进而保证显示面板的加工质量。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种光刻胶输送装置，其特征在于，包括：

储胶桶，所述储胶桶用于储存光刻胶；

第一输送管路，所述第一输送管路的一端设置有螺纹接头，所述螺纹接头与所述储胶桶可拆卸连接；

第二输送管路，所述第二输送管路的一端用于与光刻胶涂布装置连接；

清洗组件，所述清洗组件包括用于储存光刻胶溶剂的储液桶；

三通接头，所述三通接头具有三个接口，所述第一输送管路背离所述螺纹接头的一端、所述第二输送管路背离所述光刻胶涂布装置的一端和所述储液桶分别与三个所述接口连接；

所述储液桶位于所述三通接头的上方，所述储液桶与所述三通接头之间设置有第一阀门，清洗处理时，所述螺纹接头与所述储胶桶断开，所述光刻胶溶剂输送至所述第一输送管路并对所述螺纹接头进行清洗。

2.根据权利要求1所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述螺纹接头背离所述第一输送管路的一端开设有与所述第一输送管路连通的螺纹孔，所述储胶桶包括桶体、连接头和连接管，所述连接头设置于所述桶体的开口端，所述连接管的一端与所述连接头连接，另一端延伸至所述桶体内，所述连接头与所述螺纹孔螺纹连接，所述连接管与所述螺纹孔连通。

3.根据权利要求2所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述清洗组件还包括盖板，所述盖板与所述螺纹接头可拆卸连接，所述盖板选择性盖设于所述螺纹孔上，所述盖板上开设有供光刻胶溶剂流通的出液孔。

4.根据权利要求3所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述出液孔的直径小于所述第一输送管路的内径。

5.根据权利要求3所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述螺纹接头背离所述第一输送管路的一侧面凹设有凹槽，所述螺纹孔开设于所述凹槽的槽底，所述盖板盖设于所述凹槽的槽口。

6.根据权利要求3所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述盖板上穿设有转轴，所述转轴与所述盖板转动连接，所述转轴的一端延伸至所述螺纹孔内，所述转轴上设置有用于清理所述螺纹孔的毛刷。

7.根据权利要求1至6任一项所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述第二输送管路靠近所述三通接头的一端设置有第二阀门。

8.根据权利要求7所述的光刻胶输送装置，其特征在于，所述第二输送管路上设置有压力泵，所述压力泵用于驱动光刻胶从所述储胶桶朝向所述光刻胶涂布装置流动。

9.根据权利要求1至6任一项所述的光刻胶输送装置，其特征在于，还包括废液桶，所述废液桶用于收集从所述螺纹接头流出的光刻胶溶剂。

10.根据权利要求9所述的光刻胶输送装置，其特征在于，还包括设置于所述螺纹接头下方的滑轨和滑座，所述滑座与所述滑轨滑动连接，所述滑座上设置有两个安装槽，两个所述安装槽沿所述滑座的滑动方向间隔分布，其中一个所述安装槽用于放置所述储胶桶，另一个所述安装槽用于放置所述废液桶。