CN220063874U - 一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，包括第一线扫相机组件、第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源；第一隧道光源用于给硅片的上表面打光，第二隧道光源用于给硅片的下表面打光，条形高亮光源用于对硅片的前棱边和后棱边打光；条形高亮光源发出的光路经过反射组件分别反射至第一线扫相机组件和第二线扫相机组件，只用一个条形高亮光源即可实现对硅片的前棱边和后棱边的收集，实现光源少且光路简洁；同时硅片通过第一输送流线和第二输送流线输送，依次对硅片的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测，结构设计紧凑，使得空间利用率高。

Description

一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及硅片分选设备技术领域，具体涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置。

背景技术

硅片作为重要的太阳能电池原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。应用在太阳能领域的硅片形状一般为方形或矩形，且其四个角为45°倒钝设计，在生产过程中，容易会有边缘棱边有硅落、崩边或表面脏污等不良品产生，目前是通过硅片分选机对硅片的质量进行把控和质量等级分选，以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。

硅片分选机一般由上料、检测和下料分选三部分组成，现有检测部分对棱边和上下表面缺陷的检测方法主要是先对硅片的一组平行边在第一个工位移动扫描检测，检测完后，硅片移动到第二个工位进行90°旋转，旋转后的硅片输送到第三个工位，对硅片的另一组平行边移动扫描检测，完成硅片的四周棱边崩边和硅落的检测，上下表面脏污的检测还需由其它工位完成，这种检测方法需要将硅片旋转，且对应的检测设备较多，成本高，导致工艺繁琐和检测效率低。

专利CN211086117U中公开了一种检测装置和硅片分选设备，所述检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，所述第一边缘和所述第二边缘为所述待测物体上相对的且与所述输送机构的输送方向垂直的两条边缘，每组检测机构均包括检测相机、表面照射光源、边缘照射光源和反射机构，其中，对于每组所述检测机构：所述反射机构被配置为对所述表面照射光源发出的表面照射光线进行至少一次反射，以使得表面照射光线经所述待测物体的被测表面反射后被对应的检测相机探测到；所述反射机构还被配置为对所述边缘照射光源发出的边缘照射光线进行至少一次反射，以使得边缘照射光线经所述待测物体的被测边缘反射后被对应的检测相机探测到。该专利利用反光镜设计一定的光路，将不同时间下采集的第一边缘/第二边缘图像和上下面图像反射到两组采集相机中，第一边缘和上表面为一组采集到一个相机中，第二边缘和下表面为一组采集到另一个相机中；该专利所述检测方法在一定程度上解决了上述现有检测方法的检测效率低、检测设备较多、成本高且工艺繁琐的问题，但同时引入光源和反射镜组多、导致调试变量多以及局部空间内光源多、器件多、维护可操作空间较小。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，可以实现光源少且光路简洁以及空间利用率高，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括沿着硅片输送方向依次设置的第一输送流线和第二输送流线、安装在所述第一输送流线的上方的第一线扫相机组件、安装在所述第二输送流线的下方的第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向依次设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源，所述第一输送流线的输出端与所述第二输送流线的输入端形成间隙，所述条形高亮光源位于所述间隙的正上方；所述第一隧道光源位于所述第一输送流线的上方，所述第二隧道光源位于所述第二输送流线的下方；

所述反射组件包括两个光路反射镜组、两个打光反射镜组和两个分光镜组，两个所述打光反射镜组均位于所述条形高亮光源的正下方，用于接收所述条形高亮光源发出的光以及分别将光反射至硅片的前棱边和后棱边；

两个所述光路反射镜组分别位于所述第一线扫相机组件和所述第一输送流线之间以及所述第二线扫相机组件和所述第二输送流线之间，用于接收对硅片的前棱边照射光线和后棱边照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组；

两个所述光路反射镜组还分别用于接收对所述第一隧道光源、所述第二隧道光源所发出的硅片上表面照射光线和下表面照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组；

两个所述分光镜组分别位于第一线扫相机组件的正下方和第二线扫相机组件的正上方，用以接收对应的所述光路反射镜组反射的光线和分别透射至第一线扫相机组件和第二线扫相机组件。

进一步地，还包括安装支架，所述安装支架包括安装左立板和安装右立板，所述安装左立板和所述安装右立板通过多个固定板固定连接；所述第一输送流线、所述第二输送流线、所述第一线扫相机组件、所述第二线扫相机组件、所述反射组件、所述第一隧道光源、所述条形高亮光源和所述第二隧道光源均安装在所述安装左立板和所述安装右立板上。

进一步地，还包括安装在所述安装支架上的两组点光源补光组件，两组所述点光源补光组件分别位于所述第一输送流线的输出端与所述第二输送流线的输入端形成的间隙的两侧，所述点光源补光组件包括支撑杆和与所述支撑杆的一端连接的点光源。

进一步地，所述支撑杆上安装有十字调节组件。

进一步地，还包括第一动态快门遮挡组件和第二动态快门遮挡组件，所述第一动态快门遮挡组件位于所述第一线扫相机组件与所述条形高亮光源之间，所述第二动态快门遮挡组件位于所述第二线扫相机组件与所述条形高亮光源之间。

进一步地，所述第一动态快门遮挡组件包括安装在所述安装左立板的左固定板、安装在所述安装右立板的右固定板、安装在右固定板上的驱动件和与所述左固定板和所述右固定板转动连接的挡板旋转轴，所述挡板旋转轴上设有挡板，所述挡板旋转轴的一端与驱动件连接；所述第二动态快门遮挡组件与所述第一动态快门遮挡组件的结构和连接方式相同。

进一步地，所述第一隧道光源的两侧均连接有第一活动调整板，两个所述第一活动调整板分别与所述安装左立板和所述安装右立板滑动连接；所述第二隧道光源的两侧均连接有第二活动调整板，所述第二活动调整板与所述第一活动调整板的结构和连接方式相同；所述第一活动调整板上位于所述第一隧道光源的上方安装有所述光路反射镜组，所述第二活动调整板上位于所述第二隧道光源的下方安装有所述光路反射镜组。

进一步地，所述安装右立板上设有第一固定块，所述第一活动调整板设有第二固定块，所述第一固定块和所述第二固定块通过调整螺母和调整螺栓配合连接。

进一步地，所述安装支架上设有两组移动滑台，两组移动滑台分别与所述第一线扫相机组件和所述第二线扫相机组件连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型使用时，设置第一隧道光源，用于给硅片的上表面打光，形成硅片上表面照射光线，经光路反射镜组反射至第一线扫相机组件下方的分光镜组，使得第一线扫相机组件采集到硅片的上表面图像；设置第二隧道光源，用于给硅片的下表面打光，形成硅片下表面照射光线，经光路反射镜组反射至第二线扫相机组件上方的分光镜组，使得第二线扫相机组件采集到硅片的下表面图像；设置条形高亮光源，用于对硅片的前棱边和后棱边打光，条形高亮光源发出的光路经过打光反射镜组对硅片的前棱边和后棱边分别打亮后，分别形成前棱边照射光线和后棱边照射光线，通过光路反射镜组分别反射至第一线扫相机组件下方的分光镜组、第二线扫相机组件上方的分光镜组，使得第一线扫相机组件采集到硅片的前棱边图像，第二线扫相机组件采集到硅片的后棱边图像；只用一个条形高亮光源即可实现对硅片的前棱边和后棱边的收集，实现光源少且光路简洁；硅片通过第一输送流线和第二输送流线输送，依次对硅片的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测，结构设计紧凑，使得空间利用率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的立体图；

图2为图1中的A处放大图；

图3为本实用新型的剖视图；

图4为本实用新型的整体光路示意图；

图5为本实用新型的硅片上表面光路示意图；

图6为本实用新型的硅片前棱边光路示意图；

图7为本实用新型的硅片后棱边光路示意图；

图8为本实用新型的硅片下表面光路示意图；

图9为本实用新型的点光源补光组件结构示意图；

图10为本实用新型的第一动态快门遮挡组件结构示意图；

图11为本实用新型的第一动态快门遮挡组件的剖视图；

图中所标各部件的名称如下：

1、第一线扫相机组件；2、条形高亮光源；3、第一隧道光源；4、第一输送流线；5、第二输送流线；6、第二隧道光源；7、第一动态快门遮挡组件；8、点光源补光组件；9、第二线扫相机组件；100、1号光路反射镜；101、2号光路反射镜；102、3号光路反射镜；103、4号光路反射镜；104、5号光路反射镜；105、6号光路反射镜；106、7号光路反射镜；11、分光镜组；12、安装左立板；13、安装右立板；14、打光反射镜组；15、移动滑台；16、调整螺母；17、硅片；18、点光源；19、十字调节组件；20、支撑杆；21、挡板；22、挡板旋转轴；23、驱动电机；24、同步带；25、左固定板；26、右固定板；27、第二同步轮；29、第二动态快门遮挡组件；30、第一活动调整板；31、第二活动调整板；32、第一固定块；33、第二固定块。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

实施例：请参考图1-11，一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，包括沿着硅片17输送方向设置的第一输送流线4和第二输送流线5，第一输送流线4承接上游流线的待测硅片17，第二输送流线5将已检测好的硅片17送到下游工位进行其他功能的检测；安装在第一输送流线4的上方的第一线扫相机组件1，第一线扫相机组件1包括线扫相机，采集硅片17的上表面和前棱边的图像，完成对硅片17的上表面和前棱边的缺陷检测；安装在第二输送流线5的下方的第二线扫相机组件9，第二线扫相机组件9包括线扫相机，采集硅片17的下表面和后棱边的图像，完成对硅片17的下表面和后棱边的缺陷检测；沿着硅片17输送方向设置的第一隧道光源3、条形高亮光源2和第二隧道光源6，第一隧道光源3用于给硅片17的上表面打光，检测硅片17的上表面的脏污和色差的情况，第二隧道光源6用于给硅片17的下表面打光，检测硅片17的下表面的脏污和色差的情况，条形高亮光源2用于对硅片17的前棱边和后棱边打光，检测硅片17的前棱边和后棱边的崩边、硅落等情况；还包括两组点光源补光组件8，点光源补光组件8的点光源18用于给硅片17的四个倒角打光，检测硅片17的倒角的崩边情况；反射组件，用于将光源反射得到硅片17上形成具有硅片17信息的光路，再反射到线扫相机组件进行采集和检测；还包括安装支架，安装支架包括安装左立板12和安装右立板13，安装左立板12和安装右立板13通过多个固定板固定连接；第一输送流线4、第二输送流线5、第一线扫相机组件1、第二线扫相机组件9、反射组件、第一隧道光源3、条形高亮光源2、第二隧道光源6和点光源补光组件8均安装在安装左立板12和安装右立板13上。

请参考图3和图4，第一输送流线4的输出端与第二输送流线5的输入端形成间隙，条形高亮光源2位于间隙的正上方。反射组件包括两个光路反射镜组、两个打光反射镜组14、两个分光镜组11，两个打光反射镜组14均位于条形高亮光源2的正下方，使得条形高亮光源2从间隙发出到两个打光反射镜组14；靠近硅片17的前棱边的打光反射镜组14用于接收来自条形高亮光源2的光并反射到硅片17的前棱边，使得硅片17的前棱边得以被点亮，形成光路输送到对应光路反射镜组；靠近硅片17的后棱边的打光反射镜组14用于接收来自条形高亮光源2的光并反射到硅片17的后棱边，使得硅片17的后棱边得以被点亮，形成光路输送到对应光路反射镜组。

一个光路反射镜组位于第一线扫相机组件1和第一输送流线4之间，包括位于条形高亮光源2和第二输送流线5之间设置的1号光路反射镜100、位于分光镜组11下方且与1号光路反射镜100同一水平设置的2号光路反射镜101以及位于第一隧道光源3上方且与分光镜组11同一水平设置的3号光路反射镜102，1号光路反射镜100接收对硅片的前棱边照射光线并发射至2号光路反射镜101，2号光路反射镜101接收并反射至位于第一线扫相机组件1下方的分光镜组11；3号光路反射镜102接收对第一隧道光源3所发出的硅片上表面照射光线并反射至对应的分光镜组11。另一个光路反射镜组位于第二线扫相机组件9和第二输送流线5之间，包括位于条形高亮光源2和第一输送流线4之间设置的4号光路反射镜103、位于第一输送流线4下方且与4号光路反射镜103同一竖直设置的5号光路反射镜104、位于分光镜组11上方且与5号光路反射镜104同一水平设置的6号光路反射镜105以及位于第二隧道光源3下方且与分光镜组11同一水平设置的7号光路反射镜106，4号光路反射镜103接收对硅片的后棱边照射光线并发射至5号光路反射镜104，5号光路反射镜104接收并反射至6号光路反射镜105，6号光路反射镜105接收并反射至位于第二线扫相机组件9上方的分光镜组11；7号光路反射镜106接收对第二隧道光源6所发出的硅片下表面照射光线进行至少一次反射至对应的分光镜组11。

两个分光镜组11分别位于第一线扫相机组件1的正下方和第二线扫相机组件9的正上方，位于第一线扫相机组件1正下方的分光镜组11，用于接收对应的光路反射镜组反射的光线并透射至第一线扫相机组件1，使得第一线扫相机组件1采集到硅片对应的图像；位于第二线扫相机组件9正上方的分光镜组11，用于接收对应的光路反射镜组反射的光线并透射至第二线扫相机组件9，使得第二线扫相机组件9采集到硅片对应的图像。打光反射镜组14、光路反射镜组和分光镜组11之间光路走向的配合，使得只用一个条形高亮光源2即可实现对硅片17的前棱边和后棱边的图像收集，充分利用了前一个硅片17的后棱边和后一个硅片17的前棱边移动测试的异步性，实现光源少且使得光路简洁。

请参考1和图3，安装支架上设有两组移动滑台15，两组移动滑台15分别与第一线扫相机组件1和第二线扫相机组件9连接，移动滑台15为现有技术，可通过移动滑台15配合分光镜组11分别对第一线扫相机组件1和第二线扫相机组件9的位置进行调整，确保上表面光路长度和前棱边光路长度和进入线扫相机的光路方向是一样以及确保下表面光路长度和后棱边光路长度和进入线扫相机的光路方向是一样，从而确保采集硅片17的上下表面和前后棱边的图像是清晰的。

请参考图1和图2，第一隧道光源3位于第一输送流线4的上方，第二隧道光源6位于第二输送流线5的下方；第一隧道光源3的两侧均连接有第一活动调整板30，两个第一活动调整板30分别与安装左立板12和安装右立板13滑动连接；第二隧道光源6的两侧均连接有第二活动调整板31，第二活动调整板31与第一活动调整板30的结构和连接方式相同；第一活动调整板30上位于第一隧道光源3的上方安装光路反射镜组的3号光路反射镜102，第二活动调整板31上位于第二隧道光源6的下方安装光路反射镜组的7号光路反射镜106。安装右立板13上固定连接有第一固定块32，第一活动调整板30固定连接有第二固定块33，第一固定块32和第二固定块33通过调整螺母和调整螺栓16配合连接，当需要调整位置时，通过调整螺母和调整螺栓16的螺纹配合关系使得第一固定块32和第二固定块33松开，从而调整活动调整板的位置；调整好位置后，通过调整螺母和调整螺栓16的螺纹配合关系使得第一固定块32和第二固定块33锁紧；活动调整板用于调整隧道光源及其光路反射镜组的位置，确保上下表面的光路长度和棱边的光路长度是一致的，从而确保采集硅片17的上下表面图像是清晰的。

请参考图1和图9，两组点光源补光组件8分别位于第一输送流线4的输出端与第二输送流线5的输入端形成的间隙的两侧，点光源补光组件8包括支撑杆20和与支撑杆20的一端连接的点光源18，支撑杆20上安装有十字调节组件19。十字调节组件19包括与支撑杆20活动连接的活动块和与活动块转动连接的转动杆，支撑杆20在活动块上实现前后滑移，进而可调整点光源18和硅片的倒角之间的距离；活动块可在转动杆上转动，从而带动支撑杆20和点光源18转动，进而可调整点光源18和硅片的倒角之间的角度。点光源18所发出的球面光给流经的硅片17的倒角补光，然后沿着棱边的光路线发射到第一线扫相机组件1，使得第一线扫相机组件1采集到四个倒角的图像。

请参考图3、图10和图11，还包括第一动态快门遮挡组件7和第二动态快门遮挡组件29，第一动态快门遮挡组件7位于第一线扫相机组件1与条形高亮光源2之间，第二动态快门遮挡组件29位于第二线扫相机组件9与条形高亮光源2之间。第一动态快门遮挡组件7包括安装在安装左立板12的左固定板25、安装在安装右立板13的右固定板26、安装在右固定板26上的驱动件和与左固定板25和右固定板26转动连接的挡板旋转轴22，挡板旋转轴22上设有挡板21，挡板旋转轴22的一端与驱动件连接；驱动件包括驱动电机23、与驱动电机23的输出端连接的第一同步轮、与挡板旋转轴的一端连接的第二同步轮27以及与第一同步轮和第二同步轮27连接的同步带24。第二动态快门遮挡组件29与第一动态快门遮挡组件7的结构和连接方式相同。动态快门遮挡组件用于隔绝光路之间的相互干扰，避免前一个硅片17后棱边的打光影响到后一个硅片17上表面的光路反射和采集，后一个硅片17前棱边打光影响到后一片硅片17下表面光路反射和采集。当需要对流经第一隧道光源3下方的硅片17上表面进行采集时，驱动电机23启动带动第一同步轮转动，通过同步带24依次带动第二同步轮27、挡板旋转轴22和挡板旋转轴22上的挡板21转动，从而对后一个硅片17前棱边打光进行隔绝，使得第一线扫相机组件1采集硅片17的上表面的图像时没有过多杂乱的信息；对流经第二隧道光源6上方的硅片17下表面进行采集时，第二动态快门遮挡组件29采取与第一动态快门遮挡组件7同样的操作流程，只需对硅片17的前棱边或后棱边打光采集时同样需要对硅片17的上表面和下表面打光采集时，动态快门遮挡组件短暂触发打开，采集完后立马关闭，从而不会影响到对硅片17的前棱边或后棱边的打光采集。

安装左立板12和安装右立板13上均安装有硅片17的前后棱边和上下表面相应的触发光电I/O，硅片17通过第一输送流线4和第二输送流线5输送时，会依次对硅片17的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测；在进行硅片17某个部位检测前都会触发对应的触发光电I/O，然后及时点亮对应的光源和打开相应的线扫相机，完成依次触发光电I/O触发将赋予一个S/N号绑定硅片17ID信息，按队列排放存放在相应的图像库中；第一线扫相机组件1负责采集上表面和前棱边信息，完成上表面和前棱边的缺陷检测；第二线扫相机组件9负责采集下表面和后棱边信息，完成下表面和后棱边的缺陷检测。

本实施例的工作原理：硅片17通过第一输送流线4和第二输送流线5输送时，本装置依次对硅片17的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测；

请参考图4和图5，当硅片17位于第一隧道光源3的下方时，第一隧道光源3对硅片17的上表面打光，3号光路反射镜102将第一隧道光源3按预设光路反射至分光镜组11，再通过分光镜组11透射到第一线扫相机组件1对硅片17的上表面进行采集和检测；

请参考图4、图6和图7，当前一个硅片17的后棱边和后一个硅片17的前棱边位于条形高亮光源2的下方时，条形高亮光源2通过打光反射镜组14形成两个光路，一路光线打亮后一个硅片17的前棱边，1号光路反射镜100接收对硅片的前棱边照射光线并发射至2号光路反射镜101，2号光路反射镜101接收并反射至位于第一线扫相机组件1下方的分光镜组11，对应的分光镜组11接收并透射至第一线扫相机组件1，使得第一线扫相机组件1采集到硅片前棱边的图像；另一路光线打亮前一个硅片17的后棱边，4号光路反射镜103接收对硅片的后棱边照射光线并发射至5号光路反射镜104，5号光路反射镜104接收并反射至6号光路反射镜105，6号光路反射镜105接收并反射至位于第二线扫相机组件9上方的分光镜组11，对应的分光镜组11接收并透射至第二线扫相机组件9，使得第二线扫相机组件9采集到硅片17后棱边的图像；

请参考图4和图8，当硅片17位于第二隧道光源6的上方时，第二隧道光源6对硅片17的下表面打光，7号光路反射镜106将第二隧道光源6按预设光路反射至分光镜组11，再通过分光镜组11透射到第二线扫相机组件9对硅片17的下表面进行采集和检测；

如此循环完成对硅片17前后棱边和上下表面缺陷的检测。

需要说明的是，上述所有实施例中控制器可以是包括市面上常用的可编程序控制器或PLC或单片机等、用于控制光源的通电和线扫相机的启闭等，所述的控制器可以根据反馈信号对各机构作出相应的动作指令，以控制装置运行对硅片的上表面、前棱边、后棱边、下表面进行检测等相应操作，控制系统的具体控制方式不在本实用新型的保护范围内，在此不做赘述；

当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”以及类似的表述只是为了说明的目的。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：包括沿着硅片(17)输送方向依次设置的第一输送流线(4)和第二输送流线(5)、安装在所述第一输送流线(4)的上方的第一线扫相机组件(1)、安装在所述第二输送流线(5)的下方的第二线扫相机组件(9)、反射组件以及沿着硅片(17)输送方向依次设置的第一隧道光源(3)、条形高亮光源(2)和第二隧道光源(6)，所述第一输送流线(4)的输出端与所述第二输送流线(5)的输入端形成间隙，所述条形高亮光源(2)位于所述间隙的正上方；所述第一隧道光源(3)位于所述第一输送流线(4)的上方，所述第二隧道光源(6)位于所述第二输送流线(5)的下方；

所述反射组件包括两个光路反射镜组、两个打光反射镜组(14)和两个分光镜组(11)，两个所述打光反射镜组(14)均位于所述条形高亮光源(2)的正下方，用于接收所述条形高亮光源(2)发出的光以及分别将光反射至硅片(17)的前棱边和后棱边；

两个所述光路反射镜组分别位于所述第一线扫相机组件(1)和所述第一输送流线(4)之间以及所述第二线扫相机组件(9)和所述第二输送流线(5)之间，用于接收对硅片(17)的前棱边照射光线和后棱边照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组(11)；

两个所述光路反射镜组还分别用于接收对所述第一隧道光源(3)、所述第二隧道光源(6)所发出的硅片(17)上表面照射光线和下表面照射光线进行至少一次反射至对应的所述分光镜组(11)；

两个所述分光镜组(11)分别位于第一线扫相机组件(1)的正下方和第二线扫相机组件(9)的正上方，用以接收对应的所述光路反射镜组反射的光线和分别透射至第一线扫相机组件(1)和第二线扫相机组件(9)。

2.根据权利要求1所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：还包括安装支架，所述安装支架包括安装左立板(12)和安装右立板(13)，所述安装左立板(12)和所述安装右立板(13)通过多个固定板固定连接；所述第一输送流线(4)、所述第二输送流线(5)、所述第一线扫相机组件(1)、所述第二线扫相机组件(9)、所述反射组件、所述第一隧道光源(3)、所述条形高亮光源(2)和所述第二隧道光源(6)均安装在所述安装左立板(12)和所述安装右立板(13)上。

3.根据权利要求2所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：还包括安装在所述安装支架上的两组点光源补光组件(8)，两组所述点光源补光组件(8)分别位于所述第一输送流线(4)的输出端与所述第二输送流线(5)的输入端形成的间隙的两侧，所述点光源补光组件(8)包括支撑杆(20)和与所述支撑杆(20)的一端连接的点光源(18)。

4.根据权利要求3所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：所述支撑杆(20)上安装有十字调节组件(19)。

5.根据权利要求2所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：还包括第一动态快门遮挡组件(7)和第二动态快门遮挡组件(29)，所述第一动态快门遮挡组件(7)位于所述第一线扫相机组件(1)与所述条形高亮光源(2)之间，所述第二动态快门遮挡组件(29)位于所述第二线扫相机组件(9)与所述条形高亮光源(2)之间。

6.根据权利要求5所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：所述第一动态快门遮挡组件(7)包括安装在所述安装左立板(12)的左固定板(25)、安装在所述安装右立板(13)的右固定板(26)、安装在右固定板(26)上的驱动件和与所述左固定板(25)和所述右固定板(26)转动连接的挡板旋转轴，所述挡板旋转轴上设有挡板(21)，所述挡板旋转轴的一端与驱动件连接；所述第二动态快门遮挡组件(29)与所述第一动态快门遮挡组件(7)的结构和连接方式相同。

7.根据权利要求2所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：所述第一隧道光源(3)的两侧均连接有第一活动调整板(30)，两个所述第一活动调整板(30)分别与所述安装左立板(12)和所述安装右立板(13)滑动连接；所述第二隧道光源(6)的两侧均连接有第二活动调整板(31)，所述第二活动调整板(31)与所述第一活动调整板(30)的结构和连接方式相同；所述第一活动调整板(30)上位于所述第一隧道光源(3)的上方安装有所述光路反射镜组，所述第二活动调整板(31)上位于所述第二隧道光源(6)的下方安装有所述光路反射镜组。

8.根据权利要求7所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：所述安装右立板(13)上设有第一固定块(32)，所述第一活动调整板(30)设有第二固定块(33)，所述第一固定块(32)和所述第二固定块(33)通过调整螺母(16)和调整螺栓配合连接。

9.根据权利要求2所述的集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，其特征在于：所述安装支架上设有两组移动滑台(15)，两组移动滑台(15)分别与所述第一线扫相机组件(1)和所述第二线扫相机组件(9)连接。