CN210010204U - 硅片侧边检测装置及硅片分选机 - Google Patents

硅片侧边检测装置及硅片分选机 Download PDF

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李文
李昶
王美
徐飞
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Abstract

本实用新型公开了一种硅片侧边检测装置及硅片分选机,属太阳能电池片技术领域。硅片侧边检测装置包括相机、线光源、两个点光源、反光镜以及相对设置的两个安装侧板,其中:线光源的两端分别固定于两个安装侧板,反光镜的两端分别固定于两个安装侧板,每个安装侧板上还固定有一个点光源;线光源用于为硅片的一个侧边提供光照,两个点光源分别用于为侧边两端的倒角边提供光照,硅片、线光源分设于反光镜的两侧的上方;相机、反光镜上下设置,经侧边反射的光线以及每个倒角边反射的光线通过反光镜反射至相机,相机拍摄的图像用于确定侧边是否存在缺陷;解决了传统的硅片侧边检测装置占用空间较大的问题。

Description

硅片侧边检测装置及硅片分选机
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片技术领域,特别涉及一种硅片侧边检测装置及硅片分选机。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,需要先将硅棒切割成硅片,然后对硅片清洗,清洗完成后需要对硅片的上下表面的进行缺陷检测以及对硅片的各个侧边的进行缺陷检测。
传统的硅片侧边检测是通过设置在硅片输送线两侧的侧边检测机构实现,该侧边检测机构用于检测硅片上平行于硅片输送线的两个侧边是否存在缺陷;在完成硅片的两条侧边的缺陷检测后,利用旋转机构将硅片旋转90°再检测剩余的两条侧边;然而,旋转机构的设置增加了硅片输送线的长度以及硅片四个侧边的检测工位,使得传统的硅片侧边检测装置占用了较大的空间。
实用新型内容
为了解决传统的硅片侧边检测装置占用空间较大的问题,本实用新型实施例提供了一种硅片侧边检测装置及硅片分选机。技术方案如下:
第一方面,提供了一种硅片侧边检测装置,硅片侧边检测装置包括相机、线光源、两个点光源、反光镜以及相对设置的两个安装侧板,其中:线光源的两端分别固定于两个安装侧板,反光镜的两端分别固定于两个安装侧板,每个安装侧板上还固定有一个点光源;线光源用于为硅片的一个侧边提供光照,两个点光源分别用于为侧边两端的倒角边提供光照,硅片、线光源分设于反光镜的两侧的上方;相机、反光镜上下设置,经侧边反射的光线以及每个倒角边反射的光线通过反光镜反射至相机,相机拍摄的图像用于确定侧边是否存在缺陷;通过上述设置,大幅缩小了检测硅片侧边所需要的空间,可以增设更多工位。
可选的,每个点光源通过第一调整组件固定于安装侧板,第一调整组件包括第一固定块、第一连杆、第二连杆、第二固定块以及连接块,其中:第一固定块固定于安装侧板,第一连杆平行于安装侧板,第一连杆的一端穿设于第一固定块内,第一连杆的另一端穿设于连接块内;第二连杆垂直于第一连杆,第二连杆的一端穿设于连接块内,第二连杆的另一端穿设于第二固定块,点光源固定在第二固定块上;通过调整连接块在第一连杆的安装位置,可调整点光源沿着硅片输送线的输送方向移动;通过调整连接块在第一连杆上的安装角度,可调整点光源的高度以及照射角度;通过调整连接块在第一连杆上的位置可调整点光源与安装侧板之间的距离,也即调整点光源的位置。
可选的,第一固定块可拆卸地固定于安装侧板,安装侧板上设置有第一固定块的多组第一安装孔,第一固定块可通过任一组第一安装孔安装于安装侧板;第一固定块通过不同组的第一安装孔固定于安装侧板,可调节第一固定块的安装位置,以进一步调整点光源的位置。
可选的,硅片侧边检测装置还包括第一连接件,线光源安装于第一连接件,第一连接件的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板上,第二调整组件包括第一调节块,其中:安装侧板上开设有第一窗口,安装侧板上第一窗口的左右两侧分别设置有多个第二安装孔,同侧的第二安装孔的设置高度不同;第一调节块的左右两侧分别设置有至少一个第一腰孔,每个第一腰孔对应一个第一连接螺钉,每个第一连接螺钉穿过对应第一腰孔与一个第二安装孔配合固定;第一调节块至少部分覆盖第一窗口,第一调节块上开设有第二窗口,第一连接件的一端穿过第一窗口以及第二窗口;通过调节第一调节块在安装侧板上的安装高度可调节线光源的高度。
可选的,第二调整组件还包括第二调节块,其中:第一调节块上第二窗口的上下两侧分别设置有多个第三安装孔;第二调节块的上下两侧分别设置有至少一个第二腰孔,每个第二腰孔对应一个第二连接螺钉,每个第二连接螺钉穿过对应第二腰孔与一个第三安装孔配合固定;第二调节块上开设有第三窗口,第一连接件的一端穿过第三窗口;通过调节第二调节块在第一调节块上的安装位置,可以调节线光源的一端沿着硅片输送线的输送方向移动。
可选的,第二调整组件还包括第三调节块,其中:第三调节块上设置有第四安装孔,第三连接螺钉与第四安装孔配合将第三调节块固定于第一连接件的一端;第四安装孔的两侧分别设置有第一弧形腰孔,每个第一弧形腰孔对应一个第四连接螺钉,第二调节块上第三窗口的左右两侧设置有第五安装孔,每个第四连接螺钉穿过对应第一弧形腰孔与一个第五安装孔配合固定;通过调节各个第四连接螺钉在第一弧形腰孔中的位置,可调节第一连接件的角度以改变线光源的照射角度。
可选的,硅片侧边检测装置还包括第二连接件,反光镜安装于第二连接件上,第二连接件的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板上,第二调整组件包括第四调节块,第四调节块上设置有第二弧形腰孔和第六安装孔,其中:安装侧板上设置有供第二连接件的一端伸入的通孔,第五连接螺钉与第六安装孔配合将第四调节块固定于第二连接件的一端;安装侧板上通孔的一侧设置有第七安装孔,第六连接螺钉穿过第二弧形腰孔与第七安装孔配合固定;通过调节第六连接螺钉在第二弧形腰孔中的位置,调节第二连接件的角度,以调节反光镜的角度。
可选的,硅片侧边检测装置还包括两个直立支架、第三连接件,两个直立支架与两个安装侧板一一对应,其中:每个安装侧板固定于对应直立支架,第三连接件的两端分别固定于两个直立支架的上端,相机通过固定组件固定于第三连接件的中部。
第二方面,提供了一种硅片分选机,硅片分选机包括硅片输送线以及第一方面或第一方面任一可选实施方式所涉及的硅片侧边检测装置,硅片侧边检测装置横跨硅片输送线,硅片侧边检测装置用于检测硅片输送线上硅片的侧边是否存在缺陷,侧边垂直于硅片输送线的输送方向。
可选的,硅片分选机包括两个硅片侧边检测装置,两个硅片侧边检测装置对称设置,两个硅片侧边检测装置用于检测硅片输送线上硅片的两个相对侧边是否存在缺陷;利用两个硅片侧边检测装置同时检测该硅片的两个侧边,提高硅片检测效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一个实施例提供的硅片侧边检测装置的示意图;
图2是本实用新型一个实施例提供的硅片侧边检测装置的光路示意图;
图3是本实用新型一个实施例提供的第一调整组件的结构示意图;
图4是本实用新型一个实施例提供的安装侧板的示意图;
图5是本实用新型一个实施例提供的第一连接件的安装示意图;
图6是本实用新型一个实施例提供的第二调整组件的结构示意图;
图7是本实用新型一个实施例提供的第二连接件与第四调节块的连接示意图;
图8是本实用新型一个实施例提供的硅片侧边检测装置的光路的另一示意图。
其中,附图标记如下:
110、相机,120、线光源,130、点光源,140、反光镜,150、安装侧板,160、硅片,210、第一固定块,220、第一连杆,230、第二连杆,240、第二固定块,250、连接块,251、第一安装孔,310、第一连接件,321、第一调节块, 322、第一窗口,323、第二安装孔,324、第一腰孔,330、第二调节块,331、第三安装孔,332、第二腰孔,340、第三调节块,341、第三连接螺钉,342、第一弧形腰孔,343、第四连接螺钉,410、第二连接件,411、第四调节块,412、第二弧形腰孔,413、通孔,510、直立支架,520、第三连接件。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
针对目前硅片四个侧边的检测工位占用较大空间的问题,本申请提供了一种硅片侧边检测装置以替代传统检测方式来节省空间。下面结合图1至图8对本申请提供的硅片侧边检测装置进行举例说明。
图1是本实用新型一个实施例提供的硅片侧边检测装置的示意图,如图1 所示,硅片侧边检测装置包括相机110、线光源120、两个点光源130、反光镜 140以及相对设置的两个安装侧板150,其中:
线光源120的两端分别固定于两个安装侧板150,反光镜140的两端分别固定于两个安装侧板150,每个安装侧板150上还固定有一个点光源130;
线光源120用于为硅片的一个侧边提供光照,两个点光源130分别用于为侧边两端的倒角边提供光照,硅片从反光镜140与线光源120之间的空隙经过,线光源120设置于反光镜140的两侧的上方;
相机110、反光镜140上下设置,经侧边反射的光线以及每个倒角边反射的光线通过反光镜140反射至相机110,相机110拍摄的图像用于确定侧边是否存在缺陷。
本实用新型提供的解决了传统的硅片侧边检测装置占用较多空间的问题,节省出的空间可以增设其他对硅片进行处理的工位。
其中,本申请所涉及的相机110可以为电荷耦合器件(charge coupled device,CCD)相机110;在使用该硅片检测装置检测硅片输送线(图中未示出)上输送的硅片时,这两个安装侧板150分设于硅片输送线的两侧,使得线光源120横跨硅片输送线以便线光源120为硅片输送线上的硅片的一个侧边提供光照;硅片从光源组件(包括上述线光源120以及两个点光源130)反光镜140之间穿过;在硅片输送线输送一个硅片至检测位置时,如图2所示,硅片160、线光源120 分设于反光镜140的两侧的上方,线光源120点亮时发出的光线向硅片160的一个侧边提供光照,照射至硅片160侧边上的光线经硅片160的侧边反射至反光镜140,反光镜140再将光线反射至相机110;线光源120向硅片160的一个侧边提供光照的同时,两个点光源130点亮发出的光线向该侧边两端的倒角边提供光照,照射至倒角边光线经倒角边反射至反光镜140,反光镜140再将光线反射至相机110。
可选的,线光源120和两个点光源130可持续照射,在硅片输送线输送一个硅片至检测位置时,利用相机110拍摄图像,该图像可用于确定该硅片的侧边是否存在缺陷。
需要说明的是:硅片输送线在硅片侧边检测装置进行侧边检测的过程中,硅片输送线不会遮挡光路,这里所讲的光路包括线光源120以及点光源130提供的光线被传输至相机110的光路。如图8所示,硅片输送线不连续存在间隔,反光镜140可设置于该间隔内,该间隔的长度小于硅片160的长度以避免硅片 160受该间隔影响停止。
可选的,每个点光源130通过第一调整组件固定于安装侧板150,如图3所示,第一调整组件包括第一固定块210、第一连杆220、第二连杆230、第二固定块240以及连接块250,其中:第一固定块210固定于安装侧板150,第一连杆220平行于安装侧板150,第一连杆220的一端穿设于第一固定块210内,第一连杆220的另一端穿设于连接块250内;第二连杆230垂直于第一连杆220,第二连杆230的一端穿设于连接块250内,第二连杆230的另一端穿设于第二固定块240,点光源130固定在第二固定块240上;通过调整连接块250在第一连杆220的安装位置,可调整点光源130沿着硅片输送线的输送方向移动;通过调整连接块250在第一连杆220上的安装角度,可调整点光源130的高度以及照射角度;通过调整连接块250在第一连杆220上的位置可调整点光源130 与安装侧板150之间的距离,也即调整点光源130的位置。
可选的,第一调整组件中第一固定块210可拆卸地固定于安装侧板150,如图4所示,安装侧板150上设置有第一固定块210的多组第一安装孔251,第一固定块210可通过任一组第一安装孔251安装于安装侧板150,第一固定块210 通过不同组的第一安装孔251固定于安装侧板150,可调节第一固定块210的安装位置,以进一步调整点光源130的位置。
举例来讲,如图4所示,该安装侧板150上设置有8个第一安装孔251,呈 4行两列设置;第1、2行的四个第一安装孔251为一组,第2、3行的四个第一安装孔251为一组,第3、4行的四个第一安装孔251为一组,第一固定块210 通过第2、3行的四个第一安装孔251固定于安装侧板150;第一固定块210也可固定通过第1、2行的四个第一安装孔251固定于安装侧板150,以调高点光源130的高度。
可选的,硅片侧边检测装置还包括第一连接件310,线光源120安装于第一连接件310,第一连接件310的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板150上,请参考图4至图6,第二调整组件包括第一调节块321,其中:安装侧板150上开设有第一窗口322,安装侧板150上第一窗口322的左右两侧分别设置有多个第二安装孔323,同侧的第二安装孔323的设置高度不同;第一调节块321的左右两侧分别设置有至少一个第一腰孔324,每个第一腰孔324对应一个第一连接螺钉,每个第一连接螺钉穿过对应第一腰孔324与一个第二安装孔323配合固定;第一调节块321至少部分覆盖第一窗口322,第一调节块 321上开设有第二窗口,第一连接件310的一端穿过第一窗口322以及第二窗口;通过调节第一调节块321在安装侧板150上的安装高度可调节线光源120的高度。
可选的,请参考图4至图6,第二调整组件还包括第二调节块330,其中:第一调节块321上第二窗口的上下两侧分别设置有多个第三安装孔331;第二调节块330的上下两侧分别设置有至少一个第二腰孔332,每个第二腰孔332对应一个第二连接螺钉,每个第二连接螺钉穿过对应第二腰孔332与一个第三安装孔331配合固定;第二调节块330上开设有第三窗口(图未示),第一连接件310 的一端穿过第三窗口;通过调节第二调节块330在第一调节块321上的安装位置,可以调节线光源120的一端沿着硅片输送线的输送方向移动。
可选的,请参考图4至图6,第二调整组件还包括第三调节块340,其中:第三调节块340上设置有第四安装孔(图未示),第三连接螺钉341与第四安装孔配合将第三调节块340固定于第一连接件310的一端;第四安装孔的两侧分别设置有第一弧形腰孔342,每个第一弧形腰孔342对应一个第四连接螺钉343,第二调节块330上第三窗口的左右两侧设置有第五安装孔(图未示),每个第四连接螺钉343穿过对应第一弧形腰孔342与一个第五安装孔配合固定;通过调节各个第四连接螺钉343在第一弧形腰孔342中的位置,可调节第一连接件310 的角度以改变线光源120的照射角度。
可选的,请参考图3、图4以及图7,硅片侧边检测装置还包括第二连接件 410,反光镜140安装于第二连接件410上,第二连接件410的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板150上,第二调整组件包括第四调节块411,第四调节块411上设置有第二弧形腰孔412和第六安装孔(图未示),其中:安装侧板150上设置有供第二连接件410的一端伸入的通孔413,第五连接螺钉与第六安装孔配合将第四调节块411固定于第二连接件410的一端,第四调节块 411转动时能够带动第二连接件410一同转动;安装侧板150上通孔413的一侧设置有第七安装孔,第六连接螺钉穿过第二弧形腰孔412与第七安装孔配合固定;通过调节第六连接螺钉在第二弧形腰孔412中的位置,调节第二连接件410 的角度,以调节反光镜140的角度。
可选的,请参考图1,硅片侧边检测装置还包括两个直立支架510、第三连接件520,两个直立支架510与两个安装侧板150一一对应,其中:每个安装侧板150固定于对应直立支架510,第三连接件520的两端分别固定于两个直立支架510的上端,相机110通过固定组件固定于第三连接件520的中部。
本申请还提供了一种硅片分选机,所述硅片分选机包括硅片输送线以及以上任一实施例所涉及的硅片侧边检测装置,硅片侧边检测装置横跨硅片输送线,硅片侧边检测装置用于检测硅片输送线上硅片的侧边是否存在缺陷,侧边垂直于硅片输送线的输送方向。
可选的,硅片分选机包括两个硅片侧边检测装置,两个硅片侧边检测装置对称设置,两个硅片侧边检测装置用于检测硅片输送线上硅片的两个相对侧边是否存在缺陷。可选的,两个硅片侧边检测装置分设置于检测位置的两侧,在硅片输送线输送一个硅片至该检测位置时,这两个硅片侧边检测装置同时检测该硅片的两个侧边。
以上仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片侧边检测装置,其特征在于,所述硅片侧边检测装置包括相机、线光源、两个点光源、反光镜以及相对设置的两个安装侧板,其中:
所述线光源的两端分别固定于所述两个安装侧板,所述反光镜的两端分别固定于所述两个安装侧板,每个安装侧板上还固定有一个所述点光源;
所述线光源用于为硅片的一个侧边提供光照,所述两个点光源分别用于为所述侧边两端的倒角边提供光照,所述硅片、所述线光源分设于所述反光镜的两侧的上方;
所述相机、所述反光镜上下设置,经所述侧边反射的光线以及每个所述倒角边反射的光线通过所述反光镜反射至所述相机,所述相机拍摄的图像用于确定所述侧边是否存在缺陷。
2.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,每个所述点光源通过第一调整组件固定于安装侧板,所述第一调整组件包括第一固定块、第一连杆、第二连杆、第二固定块以及连接块,其中:
所述第一固定块固定于所述安装侧板,所述第一连杆平行于所述安装侧板,所述第一连杆的一端穿设于所述第一固定块内,所述第一连杆的另一端穿设于所述连接块内;
所述第二连杆垂直于所述第一连杆,所述第二连杆的一端穿设于所述连接块内,所述第二连杆的另一端穿设于所述第二固定块,所述点光源固定在所述第二固定块上。
3.根据权利要求2所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述第一固定块可拆卸地固定于所述安装侧板,所述安装侧板上设置有所述第一固定块的多组第一安装孔,所述第一固定块可通过任一组第一安装孔安装于所述安装侧板。
4.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述硅片侧边检测装置还包括第一连接件,所述线光源安装于所述第一连接件,所述第一连接件的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板上,所述第二调整组件包括第一调节块,其中:
所述安装侧板上开设有第一窗口,所述安装侧板上所述第一窗口的左右两侧分别设置有多个第二安装孔,同侧的第二安装孔的设置高度不同;
所述第一调节块的左右两侧分别设置有至少一个第一腰孔,每个所述第一腰孔对应一个第一连接螺钉,每个第一连接螺钉穿过对应第一腰孔与一个第二安装孔配合固定;
所述第一调节块至少部分覆盖所述第一窗口,所述第一调节块上开设有第二窗口,所述第一连接件的一端穿过所述第一窗口以及所述第二窗口。
5.根据权利要求4所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述第二调整组件还包括第二调节块,其中:
第一调节块上所述第二窗口的上下两侧分别设置有多个第三安装孔;
所述第二调节块的上下两侧分别设置有至少一个第二腰孔,每个所述第二腰孔对应一个第二连接螺钉,每个第二连接螺钉穿过对应第二腰孔与一个第三安装孔配合固定;
所述第二调节块上开设有第三窗口,所述第一连接件的一端穿过所述第三窗口。
6.根据权利要求5所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述第二调整组件还包括第三调节块,其中:
所述第三调节块上设置有第四安装孔,第三连接螺钉与所述第四安装孔配合将所述第三调节块固定于所述第一连接件的一端;
所述第四安装孔的两侧分别设置有第一弧形腰孔,每个第一弧形腰孔对应一个第四连接螺钉,所述第二调节块上所述第三窗口的左右两侧设置有第五安装孔,每个第四连接螺钉穿过对应第一弧形腰孔与一个第五安装孔配合固定。
7.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述硅片侧边检测装置还包括第二连接件,所述反光镜安装于所述第二连接件上,所述第二连接件的两端分别通过一个第二调整组件固定于一个安装侧板上,所述第二调整组件包括第四调节块,所述第四调节块上设置有第二弧形腰孔和第六安装孔,其中:
所述安装侧板上设置有供所述第二连接件的一端伸入的通孔,第五连接螺钉与所述第六安装孔配合将所述第四调节块固定于所述第二连接件的一端;
所述安装侧板上所述通孔的一侧设置有第七安装孔,第六连接螺钉穿过所述第二弧形腰孔与所述第七安装孔配合固定。
8.根据权利要求1所述的硅片侧边检测装置,其特征在于,所述硅片侧边检测装置还包括两个直立支架、第三连接件,所述两个直立支架与所述两个安装侧板一一对应,其中:
每个安装侧板固定于对应所述直立支架,所述第三连接件的两端分别固定于所述两个直立支架的上端,所述相机通过固定组件固定于所述第三连接件的中部。
9.一种硅片分选机,其特征在于,所述硅片分选机包括硅片输送线以及如权利要求1至8任一所述的硅片侧边检测装置,所述硅片侧边检测装置横跨所述硅片输送线,所述硅片侧边检测装置用于检测所述硅片输送线上硅片的侧边是否存在缺陷,所述侧边垂直于所述硅片输送线的输送方向。
10.根据权利要求9所述的硅片分选机,其特征在于,所述硅片分选机包括两个所述硅片侧边检测装置,两个所述硅片侧边检测装置对称设置,两个所述硅片侧边检测装置用于检测所述硅片输送线上硅片的两个相对侧边是否存在缺陷。
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