CN220038895U - 一种光刻胶加工用冷却降温结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光刻胶加工设备技术领域，尤其涉及一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体、刮板和制冷器，罐体内部分别设有冷却腔体、光刻胶腔体，罐体底部一侧固定安装有制冷器，制冷器包括安装支架，安装支架内部固定安装有半导体制冷板，半导体制冷板顶部固定安装有导冷齿板，罐体底部另一侧固定安装有温控器。本实用新型通过冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，降低了冷却降温结构对光刻胶冷却降温成本，使得冷却降温结构符合节能的市场需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶加工设备技术领域，具体为一种光刻胶加工用冷却降温结构。
背景技术
光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻胶生产加工过程中需要通过冷却降温结构进行降温处理，为此需要用到冷却降温结构，其中申请号为“CN211487649U”所公开的“一种光刻胶生产加工用冷却降温装置”，其已经解决了现有冷却降温结构中冷却水套距离制冷系统的距离较远，进行长距离连接的冷却水管路在输送冷却水过程中存在较大的冷量散失，造成冷量浪费的多种弊端，再经过进一步检索发现，申请号为“CN213238100U”所公开的“一种阻燃胶搅拌加工用辅助降温装置”，其已经解决了基料混合物温度耗时过长，影响其生产效率，难以保持温度一致导致光刻胶的加工生产效率和品质的问题，但是在实际使用时类似结构的冷却降温结构还存在诸多缺陷，如：不具有节能环保的性能，现有的冷却降温结构采用管道进行输送冷源，管道输送容易导致冷量的损耗，从而增加了装置制冷成本，不符合节能的市场需求；不具有快速降温冷却的功能，在光刻胶加工过程中由于冷却降温结构内部的降温速度不能达到要求，从而导致冷却降温结构对光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温，不仅降低光刻胶加工生产效率和影响光刻胶生产品质，所以需要设计一种光刻胶加工用冷却降温结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光刻胶加工用冷却降温结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体、刮板和制冷器，所述罐体内部分别设有冷却腔体、光刻胶腔体，所述罐体顶部固定安装有调速电机，所述调速电机输出端安装有连接杆，所述连接杆底部固定安装有传动杆，所述传动杆两侧固定安装有搅拌杆，所述搅拌杆一端固定安装有刮板，所述罐体底部一侧固定安装有制冷器，所述制冷器包括安装支架，所述安装支架内部固定安装有半导体制冷板，所述半导体制冷板正面固定安装有散热风机，所述半导体制冷板顶部固定安装有导冷齿板，所述罐体底部另一侧固定安装有温控器。
利用冷却腔体与光刻胶腔体相邻，从而冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，降低了冷却降温结构对光刻胶冷却降温成本，使得冷却降温结构符合节能的市场需求，同时通过温控器实时监测冷却腔体内部温度，温控器根据监测结果进行控制制冷器运行，通过制冷器通电运行对冷却腔体内部冷源进行降温，使其冷却腔体内部冷源保持在设定温度，保证冷却腔体内部冷源的吸热降温效果，同时也保证冷却腔体内部冷源可以持续性吸热冷却作业；通过调速电机通电运行带动连接杆旋转，旋转的连接杆通过传动杆带动搅拌杆以及刮板进行旋转，旋转的搅拌杆可以对光刻胶腔体内部的光刻胶进行搅拌，使其光刻胶均匀降温，解决了光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温的问题，保证了光刻胶均匀受冷降温，降低了光刻胶的冷却过程，达到了快速降温冷却的目的，同时旋转的刮板可对光刻胶腔体内壁进行清理，避免光刻胶腔体内壁残留光刻胶影响后期光刻胶加工质量，通过旋转的搅拌杆以及刮板的配合提升了光刻胶加工生产效率和保证了光刻胶生产品质。
优选的，所述罐体的正面固定安装有控制器，罐体的顶部安装有进料口。控制器通过导线与调速电机、半导体制冷板、散热风机、出料阀管电线连接，便于工作人员通过控制器控制装置内的电气设备，且控制器的正面固定安装有温度器，便于实时监测光刻胶腔体内部光刻胶冷却温度，通过进料口可向光刻胶腔体内部注入光刻胶原料，方便光刻胶进行散热。
优选的，所述罐体的底部一侧固定安装有贯穿冷却腔体的出液阀，罐体的顶部一侧固定安装有贯穿安装有冷却腔体的进液阀。出液阀通过贯通冷却腔体内部，便于通过出液阀将冷却腔体冷源进行排出收集，进液阀通过贯通冷却腔体的内部，便于通过进液阀向冷却腔体内部注入冷源。
优选的，所述罐体的底部固定安装有出料阀管，且出料阀管的顶部贯穿至光刻胶腔体内部。打开出料阀管便于将光刻胶腔体内部的光刻胶排出，方便工作人员对冷却降温后的光刻胶进行收集。
优选的，所述罐体的底部固定安装有防护围板，防护围板的底部固定安装有底座，底座的底部固定安装有支撑架。通过防护围板对罐体底部的结构进行防护，避免受到外力的破坏，通过底座与支撑架配合可对防护围板进行支撑，保证了整体装置放置的稳定性。
优选的，所述温控器一侧固定安装有泄压阀，且泄压阀顶部延伸至冷却腔体内部。通过泄压阀可以对冷却腔体内部气压进行泄压，保证了冷却腔体内部气压稳定，避免冷却腔体内部气压过高罐体容易发生膨胀爆炸的危险，提升了罐体使用的安全性。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、利用冷却腔体与光刻胶腔体相邻，从而冷却腔体内部的冷源可以直接对光刻胶腔体内部的热量进行吸热，不需要管道进行输送冷源，从而解决管道输送容易导致冷量的损耗的问题，提升了冷却腔体内部冷源吸热率，同时也避免冷量的损耗导致的制冷成本提高，降低了冷却降温结构对光刻胶冷却降温成本，使得冷却降温结构符合节能的市场需求，同时通过温控器实时监测冷却腔体内部温度，温控器根据监测结果进行控制制冷器运行，通过制冷器通电运行对冷却腔体内部冷源进行降温，使其冷却腔体内部冷源保持在设定温度，保证冷却腔体内部冷源的吸热降温效果，同时也保证冷却腔体内部冷源可以持续性吸热冷却作业。
2、通过调速电机通电运行带动连接杆旋转，旋转的连接杆通过传动杆带动搅拌杆以及刮板进行旋转，旋转的搅拌杆可以对光刻胶腔体内部的光刻胶进行搅拌，使其光刻胶均匀降温，解决了光刻胶降温难以保持一致，导致光刻胶局部降温的问题，保证了光刻胶均匀受冷降温，降低了光刻胶的冷却过程，达到了快速降温冷却的目的，同时旋转的刮板可对光刻胶腔体内壁进行清理，避免光刻胶腔体内壁残留光刻胶影响后期光刻胶加工质量，通过旋转的搅拌杆以及刮板的配合提升了光刻胶加工生产效率和保证了光刻胶生产品质。
附图说明
图1为本实用新型的正视结构示意图；
图2为本实用新型的内部结构示意图；
图3为本实用新型的搅拌杆局部结构示意图；
图4为本实用新型的制冷器局部结构示意图。
图中：1、罐体；101、控制器；102、出液阀；103、进液阀；104、进料口；105、冷却腔体；106、光刻胶腔体；107、出料阀管；2、防护围板；201、底座；202、支撑架；203、温控器；204、泄压阀；3、调速电机；301、连接杆；302、传动杆；303、刮板；304、搅拌杆；4、制冷器；401、导冷齿板；402、安装支架；403、半导体制冷板；404、散热风机。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
实施例一
如图1、图2、图3、图4所示，本实用新型提出的一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体1、刮板303和制冷器4，罐体1内部分别设有冷却腔体105、光刻胶腔体106，罐体1的顶部安装有进料口104，罐体1的底部固定安装有出料阀管107，且出料阀管107的顶部贯穿至光刻胶腔体106内部，罐体1顶部固定安装有调速电机3，调速电机3输出端安装有连接杆301，连接杆301底部固定安装有传动杆302，传动杆302两侧固定安装有搅拌杆304，搅拌杆304一端固定安装有刮板303，罐体1底部一侧固定安装有制冷器4，制冷器4包括安装支架402，安装支架402内部固定安装有半导体制冷板403，半导体制冷板403正面固定安装有散热风机404，半导体制冷板403顶部固定安装有导冷齿板401，罐体1底部另一侧固定安装有温控器203。
基于实施例一的光刻胶加工用冷却降温结构工作原理是：通过进料口104可向光刻胶腔体106内部注入光刻胶原料，利用冷却腔体105内部的冷源对光刻胶腔体106对光刻胶腔体106内部的热量进行吸热，同时通过调速电机3通电运行带动连接杆301旋转，旋转的连接杆301通过传动杆302带动搅拌杆303以及刮板304进行旋转，旋转的搅拌杆303可以对光刻胶腔体106内部的光刻胶进行搅拌，使其光刻胶均匀降温，降低了光刻胶的冷却过程，达到了快速降温冷却的目的，同时旋转的刮板304可对光刻胶腔体106内壁进行清理，避免光刻胶腔体106内壁残留光刻胶影响后期光刻胶加工质量，通过旋转的搅拌杆303以及刮板304的配合提升了光刻胶加工生产效率和保证了光刻胶生产品质，通过温控器203实时监测冷却腔体105内部冷源温度，并根据监测温度控制制冷器4运行，通过制冷器4中的半导体制冷板403通电运行产生冷量，半导体制冷板403通电运行产生的冷量通过导冷齿板401传动至冷却腔体105内部的冷源，实现智能化控制冷却腔体105内部冷源温度的功能，使得冷却腔体105内部冷源温度保持在设定温度范围，从而保证冷却腔体105内部冷源对光刻胶腔体106内部光刻胶的冷却降温效率，打开出料阀管107便于将光刻胶腔体106内部的光刻胶排出，方便工作人员对冷却降温后的光刻胶进行收集。
实施例二
如图1、图2、图3、图4所示，本实用新型提出的一种光刻胶加工用冷却降温结构，相较于实施例一，本实施例还包括：罐体1的正面固定安装有控制器101，罐体1的底部一侧固定安装有贯穿冷却腔体105的出液阀102，罐体1的顶部一侧固定安装有贯穿安装有冷却腔体105的进液阀103，罐体1的底部固定安装有防护围板2，防护围板2的底部固定安装有底座201，底座201的底部固定安装有支撑架202，温控器203一侧固定安装有泄压阀204，且泄压阀204顶部延伸至冷却腔体105内部。
本实施例中，如图1、图2、图3、图4所示，控制器101通过导线与调速电机3、半导体制冷板403、散热风机404、出料阀管107电线连接，便于工作人员通过控制器101控制装置内的电气设备，且控制器101的正面固定安装有温度器，便于实时监测光刻胶腔体106内部光刻胶冷却温度；如图1、图2所示，出液阀102通过贯通冷却腔体105内部，便于通过出液阀102将冷却腔体105冷源进行排出收集，进液阀103通过贯通冷却腔体105的内部，便于通过进液阀103向冷却腔体105内部注入冷源；如图1、图2所示，通过防护围板2对罐体1底部的结构进行防护，避免受到外力的破坏，通过底座201与支撑架202配合可对防护围板2进行支撑，保证了整体装置放置的稳定性；如图2所示，通过泄压阀204可以对冷却腔体105内部气压进行泄压，保证了冷却腔体105内部气压稳定，避免冷却腔体105内部气压过高罐体1容易发生膨胀爆炸的危险，提升了罐体1使用的安全性。
上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
Claims (6)
1.一种光刻胶加工用冷却降温结构，包括罐体(1)、刮板(303)和制冷器(4)，其特征在于：所述罐体(1)内部分别设有冷却腔体(105)、光刻胶腔体(106)，所述罐体(1)顶部固定安装有调速电机(3)，所述调速电机(3)输出端安装有连接杆(301)，所述连接杆(301)底部固定安装有传动杆(302)，所述传动杆(302)两侧固定安装有搅拌杆(304)，所述搅拌杆(304)一端固定安装有刮板(303)，所述罐体(1)底部一侧固定安装有制冷器(4)，所述制冷器(4)包括安装支架(402)，所述安装支架(402)内部固定安装有半导体制冷板(403)，所述半导体制冷板(403)正面固定安装有散热风机(404)，所述半导体制冷板(403)顶部固定安装有导冷齿板(401)，所述罐体(1)底部另一侧固定安装有温控器(203)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于：所述罐体(1)的正面固定安装有控制器(101)，罐体(1)的顶部安装有进料口(104)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于：所述罐体(1)的底部一侧固定安装有贯穿冷却腔体(105)的出液阀(102)，罐体(1)的顶部一侧固定安装有贯穿安装有冷却腔体(105)的进液阀(103)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于：所述罐体(1)的底部固定安装有出料阀管(107)，且出料阀管(107)的顶部贯穿至光刻胶腔体(106)内部。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于：所述罐体(1)的底部固定安装有防护围板(2)，防护围板(2)的底部固定安装有底座(201)，底座(201)的底部固定安装有支撑架(202)。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶加工用冷却降温结构，其特征在于：所述温控器(203)一侧固定安装有泄压阀(204)，且泄压阀(204)顶部延伸至冷却腔体(105)内部。
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