CN110911312A - 一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及退火炉技术领域，且公开了一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法，包括退火炉本体，所述退火炉本体的左侧固定连接有控制盒，所述控制盒的顶部和底部均固定连接有位于退火炉本体左侧的固定板，两个所述固定板的左侧均螺纹连接有第一固定螺丝，所述控制盒的左侧活动安装有门板，所述门板的左侧固定安装有显示器，所述控制盒的内腔底壁固定安装有报警器。该冷轧退火炉加湿装置及其使用方法，通过控制模块对整个用电设备进行控制，利用温度传感器和湿度传感器对退火炉本体进行双重监测，采用自动化监控代替人工操作，增加退火炉使用时的安全性，如果出现问题首先该加湿装置可以根据数值变化自动操作。
Description
技术领域
本发明涉及退火炉技术领域，具体为一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，但是退火炉在使用过程中内部的湿度无法进行调节，容易影响内部冷轧退火的效率，且内部出现过载无法第一时间知晓，故而提出一种冷轧退火炉加湿装置来解决上述所提出的问题。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法，具备湿度调节和过载报警的等优点，解决了火炉在使用过程中内部的湿度无法进行调节，容易影响内部冷轧退火的效率，且内部出现过载无法第一时间知晓的问题。
(二)技术方案
为实现上述湿度调节和过载报警的目的，本发明提供如下技术方案：一种冷轧退火炉加湿装置，包括退火炉本体，所述退火炉本体的左侧固定连接有控制盒，所述控制盒的顶部和底部均固定连接有位于退火炉本体左侧的固定板，两个所述固定板的左侧均螺纹连接有第一固定螺丝，所述控制盒的左侧活动安装有门板，所述门板的左侧固定安装有显示器，所述控制盒的内腔底壁固定安装有报警器，所述控制盒的内部设置有控制模块，所述退火炉本体的左右两侧均固定连接有密封圈，所述退火炉本体的右侧固定连接有支撑架，所述支撑架的右侧螺纹连接有第二固定螺丝，所述支撑架的顶部固定连接有放置架，所述放置架的内部固定连接有储水箱，所述储水箱的顶部固定连接有进水管，所述储水箱内腔右侧壁的底端固定安装有液位传感器，所述储水箱的内部固定连接有抽水管，所述抽水管的底端固定安装有抽水头，所述抽水管远离抽水头的一端固定连接有三通接头，所述三通接头的顶部和导流管的一端固定连接，所述导流管远离三通接头的一端和抽液泵的进液口固定连接，所述退火炉本体的顶部固定安装有抽液泵，所述抽液泵的出液口和排液管的一端固定连接，所述排液管远离抽液泵的一端和三通接头的左侧固定连接，所述排液管的底部固定安装有位于退火炉本体内部的雾化喷嘴，所述排液管的外部套接有位于退火炉本体内部的保温套，所述退火炉本体的内腔顶壁固定安装有温度传感器，所述退火炉本体的内腔顶壁固定安装有位于温度传感器左侧的湿度传感器。
优选的，所述退火炉本体左右两侧的顶端均开设有圆形通孔，且圆形通孔的内部固定连接有密封圈。
优选的，所述控制盒和固定板为一个整体，所述第一固定螺丝的一端贯穿固定板并延伸至退火炉本体的内部。
优选的，所述门板左侧的底端开设有散热口，门板左侧的顶端开设有安装口。
优选的，所述门板的内部固定连接有层板，层板的顶部固定安装有控制模块。
优选的，所述支撑架和放置架为一个整体，支撑架呈倒“L”状。
优选的，所述抽水管、三通接头、导流管、抽液泵和排液管连通，所述排液管的外部和密封圈的内部套接。
优选的，所述雾化喷嘴的数量为五个，且五个雾化喷嘴等距离交叉分布在排液管的外部。
优选的，所述保温套的底部等距离开设有五个穿孔，所述显示器、控制模块、报警器、液位传感器、抽液泵、温度传感器和湿度传感器电连接。
本发明要解决的另一技术问题是提供一种冷轧退火炉加湿装置使用方法，包括以下步骤：
1)在报警器的内部预设一个报警触发温度和湿度的数值，利用温度传感器感应退火炉本体内的温度变化并传输给控制盒内部的控制模块，控制模块将数据转换之后出输给门板上的显示器进行显示，同时湿度传感器感应退火炉本体内的湿度变化并传输给控制盒内部的控制模块，控制模块将数据转换之后出输给门板上的显示器进行显示；
2)当温度传感器传输温度和湿度数值超过预设数值后，控制模块启动退火炉本体顶部的抽液泵，抽液泵产生吸力将储水箱内部的液体经过抽水管吸入，并将吸入的液体导入排液管的内部，最后经过排液管外部的雾化喷嘴将液体呈雾状喷射在退火炉本体的内部进行加湿，直至退火炉本体内的温度降至报警器内预设的数值，然后控制模块关闭抽液泵；
3)如果在加湿的过程中退火炉本体内的温度长时间无法降低，控制模块会启动控制盒内的报警器发出警报，同时控制模块控制抽液泵增大转速，加快液体的流速和雾化喷嘴喷出的水量。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法，具备以下有益效果：
该冷轧退火炉加湿装置及其使用方法，通过控制模块对整个用电设备进行控制，利用温度传感器和湿度传感器对退火炉本体进行双重监测，采用自动化监控代替人工操作，增加退火炉使用时的安全性，实时且直观的给操作员反馈退火炉本体内的湿度和温度变化，如果出现问题首先该加湿装置可以根据数值变化自动操作，当加湿装置无法解决当前发生的事故时可以第一时间发出报警，通知操作员及时对退火炉进行维护，减少损失，保温套可以有效的防止液体在经过退火炉本体内的排液管时温度升高，如果退火炉本体内的温度较高影响到了液体，可以在排液管上增加降温设备，确保液体的温度不会升高。
附图说明
图1为本发明提出的一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法结构主视图；
图2为本发明提出的一种冷轧退火炉加湿装置及其使用方法控制盒结构示意图。
图中：1退火炉本体、2控制盒、3固定板、4第一固定螺丝、5门板、6显示器、7控制模块、8报警器、9密封圈、10支撑架、11第二固定螺丝、12放置架、13储水箱、14进水管、15液位传感器、16抽水管、17抽水头、18三通接头、19导流管、20抽液泵、21排液管、22雾化喷嘴、23保温套、24温度传感器、25湿度传感器。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
需要说明的是，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一：
给报警器8预设的报警触发温度为500℃，湿度70％RH为的数值，利用温度传感器24感应退火炉本体1内的温度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，同时湿度传感器25感应退火炉本体1内的湿度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，显示器6的显示结果为温度为200℃，湿度为80％RH，当前退火炉本体1内的温度数值和湿度数值均在报警数值之内，不会触发加湿设备，处于常规监测状态。
实施例二：
1)给报警器8预设的报警触发温度为500℃，湿度70％RH为的数值，利用温度传感器24感应退火炉本体1内的温度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，同时湿度传感器25感应退火炉本体1内的湿度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，显示器6的显示结果为温度为200℃，湿度为65％RH，当前退火炉本体1内的湿度数值超过预设数值，触发加湿设备，进入加湿状态；
2)当温度传感器24传输温度和湿度数值超过预设数值后，控制模块7启动退火炉本体1顶部的抽液泵20，抽液泵20产生吸力将储水箱13内部的液体经过抽水管16吸入，并将吸入的液体导入排液管21的内部，最后经过排液管21外部的雾化喷嘴22将液体呈雾状喷射在退火炉本体1的内部进行加湿，经过两分钟的加湿后，显示器6的显示结果为温度为190℃，湿度为75％RH，控制模块7关闭抽液泵20停止加湿，再次进入监测状态。
实施例三：
1)给报警器8预设的报警触发温度为500℃，湿度70％RH为的数值，利用温度传感器24感应退火炉本体1内的温度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，同时湿度传感器25感应退火炉本体1内的湿度变化并传输给控制盒2内部的控制模块7，控制模块7将数据转换之后出输给门板5上的显示器6进行显示，显示器6的显示结果为温度为200℃，湿度为65％RH，当前退火炉本体1内的湿度数值超过预设数值，触发加湿设备，进入加湿状态；
2)当温度传感器24传输温度和湿度数值超过预设数值后，控制模块7启动退火炉本体1顶部的抽液泵20，抽液泵20产生吸力将储水箱13内部的液体经过抽水管16吸入，并将吸入的液体导入排液管21的内部，最后经过排液管21外部的雾化喷嘴22将液体呈雾状喷射在退火炉本体1的内部进行加湿，经过两分钟的加湿后，显示器6的显示结果为温度为300℃，湿度为68％RH，湿度并没有达到预设值，进入报警状态；
3)控制模块7会启动控制盒2内的报警器8发出警报，同时控制模块7控制抽液泵20增大转速，加快液体的流速和雾化喷嘴22喷出的水量。
本发明的有益效果是：通过控制模块7对整个用电设备进行控制，利用温度传感器24和湿度传感器25对退火炉本体1进行双重监测，采用自动化监控代替人工操作，增加退火炉使用时的安全性，实时且直观的给操作员反馈退火炉本体1内的湿度和温度变化，如果出现问题首先该加湿装置可以根据数值变化自动操作，当加湿装置无法解决当前发生的事故时可以第一时间发出报警，通知操作员及时对退火炉进行维护，减少损失，保温套23可以有效的防止液体在经过退火炉本体1内的排液管21时温度升高，如果退火炉本体1内的温度较高影响到了液体，可以在排液管21上增加降温设备，确保液体的温度不会升高。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种冷轧退火炉加湿装置，包括退火炉本体(1)，其特征在于：所述退火炉本体(1)的左侧固定连接有控制盒(2)，所述控制盒(2)的顶部和底部均固定连接有位于退火炉本体(1)左侧的固定板(3)，两个所述固定板(3)的左侧均螺纹连接有第一固定螺丝(4)，所述控制盒(2)的左侧活动安装有门板(5)，所述门板(5)的左侧固定安装有显示器(6)，所述控制盒(2)的内腔底壁固定安装有报警器(8)，所述控制盒(2)的内部设置有控制模块(7)，所述退火炉本体(1)的左右两侧均固定连接有密封圈(9)，所述退火炉本体(1)的右侧固定连接有支撑架(10)，所述支撑架(10)的右侧螺纹连接有第二固定螺丝(11)，所述支撑架(10)的顶部固定连接有放置架(12)，所述放置架(12)的内部固定连接有储水箱(13)，所述储水箱(13)的顶部固定连接有进水管(14)，所述储水箱(13)内腔右侧壁的底端固定安装有液位传感器(15)，所述储水箱(13)的内部固定连接有抽水管(16)，所述抽水管(16)的底端固定安装有抽水头(17)，所述抽水管(16)远离抽水头(17)的一端固定连接有三通接头(18)，所述三通接头(18)的顶部和导流管(19)的一端固定连接，所述导流管(19)远离三通接头(18)的一端和抽液泵(20)的进液口固定连接，所述退火炉本体(1)的顶部固定安装有抽液泵(20)，所述抽液泵(20)的出液口和排液管(21)的一端固定连接，所述排液管(21)远离抽液泵(20)的一端和三通接头(18)的左侧固定连接，所述排液管(21)的底部固定安装有位于退火炉本体(1)内部的雾化喷嘴(22)，所述排液管(21)的外部套接有位于退火炉本体(1)内部的保温套(23)，所述退火炉本体(1)的内腔顶壁固定安装有温度传感器(24)，所述退火炉本体(1)的内腔顶壁固定安装有位于温度传感器(24)左侧的湿度传感器(25)。
2.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述退火炉本体(1)左右两侧的顶端均开设有圆形通孔，且圆形通孔的内部固定连接有密封圈(9)。
3.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述控制盒(2)和固定板(3)为一个整体，所述第一固定螺丝(4)的一端贯穿固定板(3)并延伸至退火炉本体(1)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述门板(5)左侧的底端开设有散热口，门板(5)左侧的顶端开设有安装口。
5.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述门板(5)的内部固定连接有层板，层板的顶部固定安装有控制模块(7)。
6.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述支撑架(10)和放置架(12)为一个整体，支撑架(10)呈倒“L”状。
7.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述抽水管(16)、三通接头(18)、导流管(19)、抽液泵(20)和排液管(21)连通，所述排液管(21)的外部和密封圈(9)的内部套接。
8.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述雾化喷嘴(22)的数量为五个，且五个雾化喷嘴(22)等距离交叉分布在排液管(21)的外部。
9.根据权利要求1所述的一种冷轧退火炉加湿装置，其特征在于，所述保温套(23)的底部等距离开设有五个穿孔，所述显示器(6)、控制模块(7)、报警器(8)、液位传感器(15)、抽液泵(20)、温度传感器(24)和湿度传感器(25)电连接。
10.一种冷轧退火炉加湿装置使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)在报警器(8)的内部预设一个报警触发温度和湿度的数值，利用温度传感器(24)感应退火炉本体(1)内的温度变化并传输给控制盒(2)内部的控制模块(7)，控制模块(7)将数据转换之后出输给门板(5)上的显示器(6)进行显示，同时湿度传感器(25)感应退火炉本体(1)内的湿度变化并传输给控制盒(2)内部的控制模块(7)，控制模块(7)将数据转换之后出输给门板(5)上的显示器(6)进行显示；
2)当温度传感器(24)传输温度和湿度数值超过预设数值后，控制模块(7)启动退火炉本体(1)顶部的抽液泵(20)，抽液泵(20)产生吸力将储水箱(13)内部的液体经过抽水管(16)吸入，并将吸入的液体导入排液管(21)的内部，最后经过排液管(21)外部的雾化喷嘴(22)将液体呈雾状喷射在退火炉本体(1)的内部进行加湿，直至退火炉本体(1)内的温度降至报警器(8)内预设的数值，然后控制模块(7)关闭抽液泵(20)；
3)如果在加湿的过程中退火炉本体(1)内的温度长时间无法降低，控制模块(7)会启动控制盒(2)内的报警器(8)发出警报，同时控制模块(7)控制抽液泵(20)增大转速，加快液体的流速和雾化喷嘴(22)喷出的水量。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111534668A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-08-14 | 郭锦端 | 一种自动快速退火炉 |
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2019
- 2019-11-26 CN CN201911170114.XA patent/CN110911312A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111534668A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-08-14 | 郭锦端 | 一种自动快速退火炉 |
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