CN113970246A - 一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺 - Google Patents
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- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 38
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 claims description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 23
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 claims description 15
- 239000011490 mineral wool Substances 0.000 claims description 14
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 13
- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 13
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000191 radiation effect Effects 0.000 description 1
Images
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62C—FIRE-FIGHTING
- A62C31/00—Delivery of fire-extinguishing material
- A62C31/02—Nozzles specially adapted for fire-extinguishing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B21/00—Machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
- F25B21/02—Machines, plants or systems, using electric or magnetic effects using Peltier effect; using Nernst-Ettinghausen effect
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D19/00—Arrangements of controlling devices
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D21/04—Arrangements of indicators or alarms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D9/00—Cooling of furnaces or of charges therein
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D9/00—Cooling of furnaces or of charges therein
- F27D2009/0002—Cooling of furnaces
- F27D2009/0005—Cooling of furnaces the cooling medium being a gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D19/00—Arrangements of controlling devices
- F27D2019/0028—Regulation
- F27D2019/0056—Regulation involving cooling
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/10—Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions
- Y02P10/122—Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions by capturing or storing CO2
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Public Health (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
Abstract
本发明公开了一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，涉及扩散氧化退火炉主机台技术领域，包括主机基座，所述主机基座的顶部设置有恒温槽散热机构，所述恒温槽散热机构的顶部设置有控制线路改善机构，所述控制线路改善机构的顶部设置有防火机构，所述恒温槽散热机构包括T型支撑台，所述T型支撑台固定安装在主机基座的顶部。本发明通过将五个恒温槽本体共用一个空开开关，改成单管对应单个空开开关控制，则单管发生故障时其他管路的恒温槽本体正常运行，改善后单管恒温槽本体故障不会影响其余恒温槽本体工作，减少产线硅片隔离返工数量，同步提升产线良率，降低整机台宕机风险，提升生产安全性。
Description
技术领域
本发明涉及一种控制线路改善工艺，涉及扩散氧化退火炉主机台技术领域，具体涉及一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺。
背景技术
硅片生产需使用扩散氧化退火炉对其进行加工，扩散氧化退火炉在工作过程中通过主机台对炉体进行控制，主机台的内部设置有恒温槽、空开开关和主控线路板等控制器件。针对现有技术存在以下问题：
1、现有的扩散氧化退火炉主机台内部的恒温槽均并联在一个空开开关上，主机台正常运行时因单管恒温槽故障会使得空开开关断开，导致其余四根管恒温槽全部停止工作，对应炉管强制运行结束工艺，炉管内硅片方阻异常，产生批量的不合格硅片；
2、现有的主机台不具备对恒温槽进行散热的功能，若恒温槽持续不间断的运行，会导致恒温槽内部的器件出现过热的情况，从而影响恒温槽的使用寿命，有待改进。
发明内容
本发明提供一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其中一种目的是为了具备单管对应单个空开控制的功能，解决单管恒温槽故障会使得空开开关断开从而导致其余四根管恒温槽全部停止工作的问题；其中另一种目的是为了解决恒温槽内部的器件出现过热的情况会影响恒温槽使用寿命的问题，以达到对恒温槽进行高效散热的效果。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，包括主机基座，所述主机基座的顶部设置有恒温槽散热机构，所述恒温槽散热机构的顶部设置有控制线路改善机构，所述控制线路改善机构的顶部设置有防火机构。
所述恒温槽散热机构包括T型支撑台，所述T型支撑台固定安装在主机基座的顶部，所述T型支撑台内腔的底部固定安装有除湿盒体，所述除湿盒体的右侧固定连接有散热风机，所述散热风机的进风管延伸至T型支撑台的右侧。
所述控制线路改善机构包括分管箱体和主控线路箱体，所述分管箱体固定安装在T型支撑台的顶部，所述主控线路箱体固定安装在分管箱体的顶部，所述分管箱体内腔的底部固定安装有恒温槽本体，所述主控线路箱体内腔的背面固定安装有空开开关。
所述防火机构包括固定顶板，所述固定顶板固定安装在主控线路箱体内腔的顶部，所述固定顶板底部的中心处固定安装有烟雾传感器，所述固定顶板的底部固定安装有声音报警器，所述固定顶板的底部嵌入式连接有液化二氧化碳储存罐体本体。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述除湿盒体的左侧拆卸式连接有拆卸连接管，所述拆卸连接管的左侧螺纹连接有接通软管，所述拆卸连接管的内腔中填充有活性炭，所述T型支撑台内腔的顶部固定安装有分流管，所述接通软管远离拆卸连接管的一端与分流管的底部螺纹连接。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述分管箱体的背面开设有出风孔，所述分管箱体内腔的两侧均固定安装有导向板，所述分流管的顶部与分管箱体的底部通过塑料风管固定连接。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述除湿盒体的内腔中固定安装有冷却方管，所述冷却方管的顶部延伸至除湿盒体的顶部，所述冷却方管的外壁上滑动连接有滑动框，所述滑动框的底部固定连接有海绵框，所述滑动框的内腔中固定安装有丝杆升降装置本体，所述丝杆升降装置本体的平移滑动座与海绵框的右侧固定连接，所述除湿盒体的底部设置有漏网，所述除湿盒体的底部拆卸式连接有集水盒。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述冷却方管内腔的底部固定安装有岩棉阻隔方管，所述岩棉阻隔方管的正面和背面均固定安装有半导体制冷片，所述半导体制冷片的冷端设置在岩棉阻隔方管的外壁上，所述半导体制冷片的热端设置在岩棉阻隔方管的内腔中，所述半导体制冷片的热端固定安装有散热翅，所述冷却方管内腔的底部固定安装有镂空支撑管，所述镂空支撑管的顶部固定连接有热端散热管，所述热端散热管的内腔中固定安装有微型风机，所述热端散热管的顶部固定连接有外排管，所述外排管远离热端散热管的一端延伸至T型支撑台的外壁上。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述空开开关、恒温槽本体均设置为五个，其中一个所述空开开关与其中一个恒温槽本体之间电性连接，所述主控线路箱体内腔的背面固定安装有主控线路板。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述液化二氧化碳储存罐体本体的底部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的底部固定安装有弧形导向罩。
由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
1、本发明提供一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，采用空开开关和恒温槽本体的结合，将五个恒温槽本体共用一个空开开关，改成单管对应单个空开开关控制，则单管发生故障时其他管路的恒温槽本体正常运行，改善后单管恒温槽本体故障不会影响其余恒温槽本体工作，减少产线硅片隔离返工数量，同步提升产线良率，降低整机台宕机风险，提升生产安全性。
2、本发明提供一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，采用散热风机、除湿盒体、冷却方管和半导体制冷片的结合，控制散热风机工作，可将带动外界的风途径除湿盒体的内腔，然后对分管箱体内的恒温槽本体进行散热，控制半导体制冷片工作，即可通过半导体制冷片的冷端来对冷却方管的外壁进行降温，使得散热风的温度被降低，提升对恒温槽本体的散热效果，避免恒温槽本体内部的器件出现过热的情况会影响恒温槽本体使用寿命的问题，有效保障恒温槽本体的正常运转。
3、本发明提供一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，采用冷却方管、拆卸连接管和活性炭的结合，外界空气进入除湿盒体的内腔中后，由于冷却方管外壁的温度较低，空气中的水蒸气会在冷却方管的外壁上出现冷凝，以此降低空气的湿度，然后通过拆卸连接管内腔中的活性炭，可对空气中湿气进行进一步吸收，实现对散热风进行有效除湿的功能，避免散热空气的湿度较大会影响恒温槽本体正常工作的问题，提升恒温槽本体的安全性。
4、本发明提供一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，采用烟雾传感器、声音报警器、液化二氧化碳储存罐体本体和电磁阀的结合，通过烟雾传感器可对主控线路箱体内腔进行烟雾火情监测，若主控线路板上安装的器件出现意外失火的情况，烟雾传感器通过外接的控制器控制声音报警器开启，通过声音警报来对附近工人进行提示，同时通过外接的继电器开启电磁阀，将液化二氧化碳储存罐体本体内腔中的液化二氧化碳排放出，对器件进行隔绝氧气的铺盖式灭火，避免器件出现更大火势的问题。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的T型支撑台、分管箱体和主控线路箱体的内部结构示意图；
图3为本发明的除湿盒体的内部结构示意图；
图4为本发明的冷却方管俯视的剖视结构示意图；
图5为本发明的热端散热管结构示意图；
图6为本发明的固定顶板的底部结构示意图；
图7为本发明的液化二氧化碳储存罐体本体的连接结构示意图。
图中：1、主机基座；
2、恒温槽散热机构；21、T型支撑台；22、除湿盒体；221、冷却方管；2211、岩棉阻隔方管；2212、半导体制冷片；2213、热端散热管；2214、镂空支撑管；2215、微型风机；2216、外排管；222、滑动框；223、海绵框；224、丝杆升降装置本体；225、漏网；226、集水盒；23、散热风机；24、拆卸连接管；25、接通软管；26、分流管；27、导向板；28、出风孔；
3、控制线路改善机构；31、分管箱体；32、主控线路箱体；33、空开开关；34、恒温槽本体；35、主控线路板；
4、防火机构；41、固定顶板；42、烟雾传感器；43、声音报警器；44、液化二氧化碳储存罐体本体；441、电磁阀；442、弧形导向罩。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：
实施例1
如图1-7所示，本发明提供了一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，包括主机基座1，主机基座1的顶部设置有恒温槽散热机构2，恒温槽散热机构2的顶部设置有控制线路改善机构3，控制线路改善机构3的顶部设置有防火机构4，恒温槽散热机构2包括T型支撑台21，T型支撑台21固定安装在主机基座1的顶部，T型支撑台21内腔的底部固定安装有除湿盒体22，除湿盒体22的右侧固定连接有散热风机23，散热风机23的进风管延伸至T型支撑台21的右侧，控制线路改善机构3包括分管箱体31和主控线路箱体32，分管箱体31固定安装在T型支撑台21的顶部，主控线路箱体32固定安装在分管箱体31的顶部，分管箱体31内腔的底部固定安装有恒温槽本体34，主控线路箱体32内腔的背面固定安装有空开开关33，防火机构4包括固定顶板41，固定顶板41固定安装在主控线路箱体32内腔的顶部，固定顶板41底部的中心处固定安装有烟雾传感器42，固定顶板41的底部固定安装有声音报警器43，固定顶板41的底部嵌入式连接有液化二氧化碳储存罐体本体44，控制散热风机23工作，可将带动外界的风途径除湿盒体22的内腔，然后对分管箱体31内的恒温槽本体34进行散热，控制半导体制冷片2212工作，即可通过半导体制冷片2212的冷端来对冷却方管221的外壁进行降温，使得散热风的温度被降低，提升对恒温槽本体34的散热效果，通过其中一个空开开关33与其中一个恒温槽本体34之间电性连接的设计，若单管发生故障时其他管路的恒温槽本体34正常运行，降低整机台宕机风险。
实施例2
如图1-7所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，除湿盒体22的左侧拆卸式连接有拆卸连接管24，拆卸连接管24的左侧螺纹连接有接通软管25，拆卸连接管24的内腔中填充有活性炭，T型支撑台21内腔的顶部固定安装有分流管26，接通软管25远离拆卸连接管24的一端与分流管26的底部螺纹连接，分管箱体31的背面开设有出风孔28，分管箱体31内腔的两侧均固定安装有导向板27，分流管26的顶部与分管箱体31的底部通过塑料风管固定连接，除湿盒体22的内腔中固定安装有冷却方管221，冷却方管221的顶部延伸至除湿盒体22的顶部，冷却方管221的外壁上滑动连接有滑动框222，滑动框222的底部固定连接有海绵框223，滑动框222的内腔中固定安装有丝杆升降装置本体224，丝杆升降装置本体224的平移滑动座与海绵框223的右侧固定连接，除湿盒体22的底部设置有漏网225，除湿盒体22的底部拆卸式连接有集水盒226，控制丝杆升降装置本体224工作，可通过丝杆升降装置本体224上的平移滑动座带动滑动框222向下移动，通过海绵框223对冷却方管221外壁上的冷凝水进行吸收，移动至冷却方管221内腔的底部时，由滑动框222对海绵框223进行压缩，将海绵框223内的水通过漏网225压缩至集水盒226的内腔中，实现对冷却方管221外壁上附着的冷凝水进行去除的功能，提升冷却方管221外壁可附着水的容量。
实施例3
如图1-7所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，冷却方管221内腔的底部固定安装有岩棉阻隔方管2211，岩棉阻隔方管2211的正面和背面均固定安装有半导体制冷片2212，半导体制冷片2212的冷端设置在岩棉阻隔方管2211的外壁上，半导体制冷片2212的热端设置在岩棉阻隔方管2211的内腔中，半导体制冷片2212的热端固定安装有散热翅，冷却方管221内腔的底部固定安装有镂空支撑管2214，镂空支撑管2214的顶部固定连接有热端散热管2213，热端散热管2213的内腔中固定安装有微型风机2215，热端散热管2213的顶部固定连接有外排管2216，外排管2216远离热端散热管2213的一端延伸至T型支撑台21的外壁上，外界空气进入除湿盒体22的内腔中后，由于冷却方管221外壁的温度较低，空气中的水蒸气会在冷却方管221的外壁上出现冷凝，以此降低空气的湿度，控制微型风机2215工作，可从镂空支撑管2214的外壁进行吸风，将半导体制冷片2212的热端散发的热量通过外排管2216排出至T型支撑台21外，保障半导体制冷片2212的正常运行和制冷效率。
实施例4
如图1-7所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，空开开关33、恒温槽本体34均设置为五个，其中一个空开开关33与其中一个恒温槽本体34之间电性连接，主控线路箱体32内腔的背面固定安装有主控线路板35，液化二氧化碳储存罐体本体44的底部固定连接有电磁阀441，电磁阀441的底部固定安装有弧形导向罩442，通过烟雾传感器42可对主控线路箱体32内腔进行烟雾火情监测，若主控线路板35上安装的器件出现意外失火的情况，烟雾传感器42通过外接的控制器控制声音报警器43开启，通过声音警报来对附近工人进行提示，同时通过外接的继电器开启电磁阀441，将液化二氧化碳储存罐体本体44内腔中的液化二氧化碳排放出，对器件进行隔绝氧气的铺盖式灭火，避免器件出现更大火势的问题。
下面具体说一下该扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺的工作原理。
如图1-7所示，在使用时，通过其中一个空开开关33与其中一个恒温槽本体34之间电性连接的设计，若单管发生故障时其他管路的恒温槽本体34正常运行，降低整机台宕机风险，控制散热风机23和半导体制冷片2212运行，可对恒温槽本体34进行高效散热，控制丝杆升降装置本体224运行，可将冷却方管221外壁上附着的冷凝水刮除掉，控制微型风机2215工作，可对半导体制冷片2212的热端进行快速散热，保障半导体制冷片2212的正常运行，通过烟雾传感器42可对主控线路箱体32内腔进行烟雾火情监测，若出现火情，会自动控制声音报警器43工作对工作人员进行提示，然后自动控制电磁阀441开启，对火势进行扑灭。
上文一般性的对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，包括主机基座(1)，其特征在于：所述主机基座(1)的顶部设置有恒温槽散热机构(2)，所述恒温槽散热机构(2)的顶部设置有控制线路改善机构(3)，所述控制线路改善机构(3)的顶部设置有防火机构(4)；
所述恒温槽散热机构(2)包括T型支撑台(21)，所述T型支撑台(21)固定安装在主机基座(1)的顶部，所述T型支撑台(21)内腔的底部固定安装有除湿盒体(22)，所述除湿盒体(22)的右侧固定连接有散热风机(23)，所述散热风机(23)的进风管延伸至T型支撑台(21)的右侧；
所述控制线路改善机构(3)包括分管箱体(31)和主控线路箱体(32)，所述分管箱体(31)固定安装在T型支撑台(21)的顶部，所述主控线路箱体(32)固定安装在分管箱体(31)的顶部，所述分管箱体(31)内腔的底部固定安装有恒温槽本体(34)，所述主控线路箱体(32)内腔的背面固定安装有空开开关(33)；
所述防火机构(4)包括固定顶板(41)，所述固定顶板(41)固定安装在主控线路箱体(32)内腔的顶部，所述固定顶板(41)底部的中心处固定安装有烟雾传感器(42)，所述固定顶板(41)的底部固定安装有声音报警器(43)，所述固定顶板(41)的底部嵌入式连接有液化二氧化碳储存罐体本体(44)。
2.根据权利要求1所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述除湿盒体(22)的左侧拆卸式连接有拆卸连接管(24)，所述拆卸连接管(24)的左侧螺纹连接有接通软管(25)，所述拆卸连接管(24)的内腔中填充有活性炭，所述T型支撑台(21)内腔的顶部固定安装有分流管(26)，所述接通软管(25)远离拆卸连接管(24)的一端与分流管(26)的底部螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述分管箱体(31)的背面开设有出风孔(28)，所述分管箱体(31)内腔的两侧均固定安装有导向板(27)，所述分流管(26)的顶部与分管箱体(31)的底部通过塑料风管固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述除湿盒体(22)的内腔中固定安装有冷却方管(221)，所述冷却方管(221)的顶部延伸至除湿盒体(22)的顶部，所述冷却方管(221)的外壁上滑动连接有滑动框(222)，所述滑动框(222)的底部固定连接有海绵框(223)，所述滑动框(222)的内腔中固定安装有丝杆升降装置本体(224)，所述丝杆升降装置本体(224)的平移滑动座与海绵框(223)的右侧固定连接，所述除湿盒体(22)的底部设置有漏网(225)，所述除湿盒体(22)的底部拆卸式连接有集水盒(226)。
5.根据权利要求4所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述冷却方管(221)内腔的底部固定安装有岩棉阻隔方管(2211)，所述岩棉阻隔方管(2211)的正面和背面均固定安装有半导体制冷片(2212)，所述半导体制冷片(2212)的冷端设置在岩棉阻隔方管(2211)的外壁上，所述半导体制冷片(2212)的热端设置在岩棉阻隔方管(2211)的内腔中，所述半导体制冷片(2212)的热端固定安装有散热翅，所述冷却方管(221)内腔的底部固定安装有镂空支撑管(2214)，所述镂空支撑管(2214)的顶部固定连接有热端散热管(2213)，所述热端散热管(2213)的内腔中固定安装有微型风机(2215)，所述热端散热管(2213)的顶部固定连接有外排管(2216)，所述外排管(2216)远离热端散热管(2213)的一端延伸至T型支撑台(21)的外壁上。
6.根据权利要求1所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述空开开关(33)、恒温槽本体(34)均设置为五个，其中一个所述空开开关(33)与其中一个恒温槽本体(34)之间电性连接，所述主控线路箱体(32)内腔的背面固定安装有主控线路板(35)。
7.根据权利要求1所述的一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺，其特征在于：所述液化二氧化碳储存罐体本体(44)的底部固定连接有电磁阀(441)，所述电磁阀(441)的底部固定安装有弧形导向罩(442)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111108797.3A CN113970246A (zh) | 2021-09-22 | 2021-09-22 | 一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111108797.3A CN113970246A (zh) | 2021-09-22 | 2021-09-22 | 一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113970246A true CN113970246A (zh) | 2022-01-25 |
Family
ID=79586718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111108797.3A Pending CN113970246A (zh) | 2021-09-22 | 2021-09-22 | 一种扩散氧化退火炉恒温槽控制线路改善工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113970246A (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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