CN220029819U - 抛光机研磨抛光盘的冷却结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及抛光机，具体是抛光机研磨抛光盘的冷却结构，包括盘体，所述盘体的中间设有分水垫，所述盘体内设有布满盘面的水槽，冷却水从所述分水垫的外分水口流入所述水槽冷却盘体后由所述分水垫的内分水口流出。本实用新型在盘体内设置水槽，并通过设置在盘体中间的分水垫的内、外分水口实现冷却水的循环，从而将研磨抛光盘工作时产生的热量带走，达到冷却的目的，其不仅结构简单，而且冷却效果好；且盘体采用上、下冷却盘的分体式结构，有利用水槽结构的加工，并方便安装、检修等，可降低成本，进一步提高冷却效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光机，具体说是一种抛光机研磨抛光盘的冷却结构。
背景技术
半导体材料在电子器件方面的用途越来越广泛，如蓝宝石衬底片等，其作为现在LED芯片基片的主要材料有优异的力学性能、稳定性和光学渗透性，但这类半导体芯片材料的平面度、平行度的要求高，须对其进行双面研磨抛光。而在利用抛光机的研磨抛光盘进行研磨抛光时，研磨抛光盘由于工作强度高会产生大量的热量，如不及时散热或冷却，不仅可能缩短研磨抛光盘的使用寿命，甚至造成损坏；而且可能影响工件研磨抛光的质量。目前，现有的研磨抛光盘一般是在盘体内采用冷却水套并在研磨抛光盘外侧设置冷却器的方式实现循环冷却，但由于研磨抛光盘存在高速旋转等工况，这种方式不仅设计复杂，成本较高；而且冷却效果不理想，影响研磨抛光的效果。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提供了一种结构较简单、冷却效果好的抛光机研磨抛光盘的冷却结构。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：抛光机研磨抛光盘的冷却结构，包括盘体，所述盘体的中间设有分水垫，所述盘体内设有布满盘面的水槽，冷却水从所述分水垫的外分水口流入所述水槽冷却盘体后由所述分水垫的内分水口流出。
作为优选，所述分水垫的中心设有通孔，该通孔为内分水口，所述通孔与回水管连接；所述分水垫的周边开设有过水口，该过水口为外分水口，套设在所述回水管外侧的进水管与所述过水口连通，所述水槽连通该过水口与所述通孔。
作为优选，所述盘体包括上冷却盘和与该上冷却盘配合密封连接的下冷却盘，所述分水垫设置在下冷却盘的中间，在该分水垫的上侧设有安装在所述上冷却盘中部的压板，该压板的中部延伸有接头，该接头连通所述进水管与过水口。
作为优选，所述过水口沿周向均布有三个，所述水槽设置在下冷却盘上，并通过隔板对应分隔成三个，每个水槽连通所述通孔与对应的过水口。
作为优选，每一个过水口呈台阶状。
作为优选，每一个水槽中间通过径向挡条分成两半槽，其中一半槽与对应的过水口连通，另一半槽与所述通孔连通。
作为优选，所述分水垫的底部与下冷却盘之间形成有空腔，该空腔与所述通孔连通，每一个水槽的另一半槽与所述空腔连通。
作为优选，每一水槽的其中一半槽的槽深小于另一半槽的槽深。
从以上技术方案可知，本实用新型在盘体内设置水槽，并通过设置在盘体中间的分水垫的内、外分水口实现冷却水的循环，从而将研磨抛光盘工作时产生的热量带走，达到冷却的目的，其不仅结构简单，而且冷却效果好；且盘体采用上、下冷却盘的分体式结构，有利用水槽结构的加工，并方便安装、检修等，可降低成本，进一步提高冷却效果。
附图说明
图1是本实用新型优选方式的立体结构示意图。
图2是本实用新型优选方式的剖视结构示意图。
图3是本实用新型分水垫的的立体结构示意图。
图4是本实用新型分水垫的的剖面结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图详细介绍本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
如图1、图2、图3和图4，本实用新型提供了一种抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其包括盘体1，所述盘体的中间设有分水垫2，所述盘体内设有布满盘面的水槽11，从而可充分冷却盘体，冷却水从所述分水垫的外分水口21流入所述水槽冷却盘体后由所述分水垫的内分水口22流出。本实用新型通过盘体中心的分水垫实现了冷却水的循环，其结构简单，设计巧妙。
具体来说，所述分水垫2的中心设有通孔，该通孔为内分水口21，所述通孔与回水管3连接，一般通过螺纹连接；所述分水垫2的周边开设有过水口，该过水口为外分水口22，套设在所述回水管外侧的进水管4与所述过水口连通，所述水槽连通该过水口与所述通孔。在实施过程中，冷却水从进水管与回水管之间的环腔进入所述过水口，再进入水槽，然后从通孔进入进水管，整个水循环过程中在水泵的动力作用下实现，冷却水带走了盘体产生的热量，达到了冷却的效果。
本实用新型的所述盘体1包括上冷却盘12和与该上冷却盘配合密封连接的下冷却盘13，不仅拆卸、维修方便，而且加工简单；所述分水垫2设置在下冷却盘的中间，在该分水垫的上侧设有安装在所述上冷却盘中部的压板5，压板锁紧在上冷却盘上，分水垫通过螺栓与压板连接；所述压板的中部延伸有接头51，接头套入进入管与回水管之间的环腔，该接头连通所述进水管与过水口，从而将冷却水导向过水口，实现盘体的进水。作为优选，所述过水口沿周向均布有三个，所述水槽设置在下冷却盘上，并通过隔板14对应分隔成三个，每个水槽连通所述通孔与对应的过水口，由此每个水槽可设计成近似120º夹角的独立的扇形，从而布满整个盘体，以达到更好的冷却效果。
在实施过程中，每一个过水口呈台阶状，不仅加工方便，而且便于导水。作为优选，每一个水槽中间通过径向挡条15分成两半槽，其中一半槽与对应的过水口连通，另一半槽与所述通孔连通；冷却水从过水口进入其中一半槽后绕过档条进入另一半槽，然后流入空腔，由此每个水槽可实现冷却水的循环，进一步提高冷却效果。所述分水垫的底部与下冷却盘之间形成有空腔6，该空腔与所述通孔连通，每一个水槽的另一半槽与所述空腔连通，从而实现回水。作为优选，每一水槽的其中一半槽的槽深小于另一半槽的槽深，不仅方便冷却水从过水口流向通孔，而且水槽与空腔的加工更方便。
Claims (8)
1.抛光机研磨抛光盘的冷却结构，包括盘体，其特征在于：所述盘体的中间设有分水垫，所述盘体内设有布满盘面的水槽，冷却水从所述分水垫的外分水口流入所述水槽冷却盘体后由所述分水垫的内分水口流出。
2.根据权利要求1所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：所述分水垫的中心设有通孔，该通孔为内分水口，所述通孔与回水管连接；所述分水垫的周边开设有过水口，该过水口为外分水口，套设在所述回水管外侧的进水管与所述过水口连通，所述水槽连通该过水口与所述通孔。
3.根据权利要求2所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：所述盘体包括上冷却盘和与该上冷却盘配合密封连接的下冷却盘，所述分水垫设置在下冷却盘的中间，在该分水垫的上侧设有安装在所述上冷却盘中部的压板，该压板的中部延伸有接头，该接头连通所述进水管与过水口。
4.根据权利要求3所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：所述过水口沿周向均布有三个，所述水槽设置在下冷却盘上，并通过隔板对应分隔成三个，每个水槽连通所述通孔与对应的过水口。
5.根据权利要求4所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：每一个过水口呈台阶状。
6.根据权利要求4所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：每一个水槽中间通过径向挡条分成两半槽，其中一半槽与对应的过水口连通，另一半槽与所述通孔连通。
7.根据权利要求6所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：所述分水垫的底部与下冷却盘之间形成有空腔，该空腔与所述通孔连通，每一个水槽的另一半槽与所述空腔连通。
8.根据权利要求7所述抛光机研磨抛光盘的冷却结构，其特征在于：每一水槽的其中一半槽的槽深小于另一半槽的槽深。
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