CN220012866U - 一种平板工件用阴极夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及电镀技术领域，尤其涉及一种平板工件用阴极夹具，其包括阴极板体，阴极板体的下表面设置有容纳平板工件的贴附槽，贴附槽的槽底开设有负压腔，负压腔中通入负压压缩空气，从而将平板工件吸附于贴附槽中，且负压腔的外侧开设有正压腔，正压腔中通入正压压缩空气，用于将电镀液吹离负压腔。上述平板工件用阴极夹具采用负压吸附与正压排液相结合的方式，实现了平板工件的稳定装夹，且避免了传统真空吸附方式对密封要求高、存在吸液现象等问题，夹具结构简单，制造成本低，满足了平板工件的电镀装夹要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀技术领域，尤其涉及一种平板工件用阴极夹具。
背景技术
电镀是一项传统且成熟的表面加工技术，在集成电路技术中使用广泛，其就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺，从而起到防止金属氧化，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性及增进美观等作用。
水平电镀是一种将工件平行于镀液液位的电镀方法，镀槽中设置有阳极和阴极，并通过导电针将电源的阴极与待镀工件的电镀区连接，形成电镀阴极。当对平板工件的一侧表面进行电镀时，常规方式采用夹具将平板工件的电镀面朝下地浸入电镀液中，而夹具大多采用真空吸附方式，这对夹具装夹能力及密封性提出了更高的要求，否则容易出现抽吸电镀液的现象，影响正常电镀作业。
实用新型内容
基于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种平板工件用阴极夹具，提高对工件的夹持力，且降低负压的影响，满足电镀需要。
为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种平板工件用阴极夹具，其包括阴极板体，阴极板体的下表面设置有容纳平板工件的贴附槽，贴附槽的槽底开设有负压腔，负压腔中通入负压压缩空气，从而将平板工件吸附于贴附槽中，且负压腔的外侧开设有正压腔，正压腔中通入正压压缩空气，用于将电镀液吹离负压腔。
可选的，负压腔与正压腔之间设置有隔断，隔断上设置有密封胶条，密封胶条与平板工件紧密接触形成密封。
可选的，负压腔中竖立有若干个支撑筋，支撑筋对平板工件的中部形成支撑，用于防止平板工件变形。
可选的，正压腔的外沿高出阴极板体的平面，形成阻水台阶。
可选的，阴极板体的上表面开设有与负压腔连通的第一气孔以及与正压腔连通的第二气孔。
综上，与现有技术相比，所述平板工件用阴极夹具采用负压吸附与正压排液相结合的方式，实现了平板工件的稳定装夹，且避免了传统真空吸附方式对密封要求高、存在吸液现象等问题，夹具结构简单，制造成本低，满足了平板工件的电镀装夹要求。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的平板工件用阴极夹具的结构示意图；
图2是图1中A处的放大图；
图3是图1中B处的放大图。
图中：
1、阴极板体；2、贴附槽；3、负压腔；4、正压腔；5、密封胶条；6、支撑筋；7、阻水台阶；8、第一气孔；9、第二气孔。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
请参阅图1至图3所示，本优选实施例提供一种平板工件用阴极夹具，包括阴极板体1，阴极板体1的下表面设置有容纳平板工件的贴附槽2，贴附槽2的槽底开设有负压腔3，负压腔3中通入负压压缩空气，从而将平板工件吸附于贴附槽2中，且负压腔3的外侧开设有正压腔4，正压腔4中通入正压压缩空气，用于将电镀液吹离负压腔3，避免负压造成的抽吸电镀液的情况，实现阴极板体1可靠吸附平板工件。
进一步地，详见图2，负压腔3与正压腔4之间设置有隔断，隔断上设置有密封胶条5，密封胶条5与平板工件紧密接触形成密封，保证对平板工件的吸附性。
进一步地，详见图3，负压腔3中竖立有若干个支撑筋6，支撑筋6对平板工件的中部形成支撑，用于防止平板工件变形。
进一步地，详见图2，正压腔4的外沿高出阴极板体1的平面，形成阻水台阶7，防止平板工件外侧的电镀液进入。
另外，阴极板体1的上表面开设有与负压腔3连通的第一气孔8以及与正压腔4连通的第二气孔9，以提供对应所需压缩空气。
综上所述，上述平板工件用阴极夹具采用负压吸附与正压排液相结合的方式，实现了平板工件的稳定装夹，且避免了传统真空吸附方式对密封要求高、存在吸液现象等问题，夹具结构简单，制造成本低，满足了平板工件的电镀装夹要求。
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种平板工件用阴极夹具，其特征在于，包括阴极板体(1)，所述阴极板体(1)的下表面设置有容纳平板工件的贴附槽(2)，所述贴附槽(2)的槽底开设有负压腔(3)，所述负压腔(3)中通入负压压缩空气，从而将平板工件吸附于所述贴附槽(2)中，且所述负压腔(3)的外侧开设有正压腔(4)，所述正压腔(4)中通入正压压缩空气，用于将电镀液吹离所述负压腔(3)。
2.根据权利要求1所述的平板工件用阴极夹具，其特征在于，所述负压腔(3)与所述正压腔(4)之间设置有隔断，所述隔断上设置有密封胶条(5)，所述密封胶条(5)与平板工件紧密接触形成密封。
3.根据权利要求1所述的平板工件用阴极夹具，其特征在于，所述负压腔(3)中竖立有若干个支撑筋(6)，所述支撑筋(6)对平板工件的中部形成支撑，用于防止平板工件变形。
4.根据权利要求1所述的平板工件用阴极夹具，其特征在于，所述正压腔(4)的外沿高出所述阴极板体(1)的平面，形成阻水台阶(7)。
5.根据权利要求1所述的平板工件用阴极夹具，其特征在于，所述阴极板体(1)的上表面开设有与所述负压腔(3)连通的第一气孔(8)以及与所述正压腔(4)连通的第二气孔(9)。
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