CN219957433U - 一种半导体材料自动翻面装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体材料性能参数测试技术领域，尤其为一种半导体材料自动翻面装置，包括底板，所述底板上端面后侧中部固定连接有支撑柱，所述支撑柱左端面上侧固定连接有矩形板，所述第三弹簧左右两端分别与矩形板和偏移板固定相连，通过驱使偏移板在第三滑柱上左右滑动，在齿条的作用下使第四齿轮转动，使第一偏心块持续转动并挤压安装板，并在第二弹簧作用下复原，即可使安装板左右移动时，也在上下振动，本实用新型实现了可对半导体材料表面的灰尘起到一个自动清扫并集中收集的效果，保证了半导体材料表面的洁净度，有利于测试的准确性；可对半导体材料起到一个自动翻面的作用，不会对半导体材料表面造成污染，可确保测试的准确度。

Description

一种半导体材料自动翻面装置

技术领域

本实用新型涉及半导体材料性能参数测试技术领域，具体为一种半导体材料自动翻面装置。

背景技术

半导体材料性能参数测试过程中，电导率是一项重要的测试项目，采用非接触测量方法对半导体材料的电导率进行测试时，可以防止测试过程对半导体材料造成损坏，不会引入新的缺陷，是目前常用的一种测试方法，实际测试中，为了提高性能测试结果的准确性，往往需要对半导体材料的正面和反面分别进行测试，这就需要对半导体材料进行翻面。

公开号为CN216525568U的专利文件公开了一种半导体材料自动翻面装置，属于半导体材料性能参数测试技术领域，半导体材料自动翻面装置设于测试平台上方，测试平台上方还设有半导体材料测试工作台，半导体材料自动翻面装置与半导体材料测试工作台相邻设置，所述半导体材料自动翻面装置包括回转台、机械手和转载台，转载台的外径小于半导体材料的外径，机械手设于回转台的上方，在机械手的臂端设有回转关节，回转关节的端部连接有机械卡爪；机械卡爪可抓取半导体材料并对其进行翻面，可防止对半导体材料的表面造成污染，翻面后的半导体材料可置于转载台上进行中转，可防止半导体材料直接垂直坠落于半导体测试工作台表面，避免机械损伤。

但是，上述专利文件在实际应用过程中还存在以下不足：

半导体材料表面可能会附着一定量的灰尘，导致在测试过程中，出现测试不准确的情况，因为半导体材料表面会具有电路，而电路的缝隙中，容易积累灰尘，而上述专利文件中，并未设置对半导体材料表面灰尘的自动清理机构，所以导致当灰尘附着在半导体材料表面时，容易影响测试结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体材料自动翻面装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体材料自动翻面装置，包括底板，所述底板上端面后侧中部固定连接有支撑柱，所述支撑柱左端面上侧固定连接有第一矩形板，所述第一矩形板右端面上侧固定连接有第三滑柱，所述第三滑柱滑动连接有偏移板，所述偏移板后端面中部通过销轴转动连接有第一偏心块和第四齿轮，所述支撑柱上端面固定连接有齿条，所述齿条与第四齿轮相互啮合，所述偏移板前后两侧均通过第二滑柱滑动连接有安装板，后侧所述第二滑柱下端套设有第二弹簧，所述第二弹簧上下两端分别与偏移板、安装板固定相连，前侧所述第三滑柱左端套设有第三弹簧，所述第三弹簧左右两端分别与第一矩形板和偏移板固定相连，通过驱使偏移板在第三滑柱上左右滑动，在齿条的作用下使第四齿轮转动，使第一偏心块持续转动并挤压安装板，并在第二弹簧作用下复原，即可使安装板左右移动时，也在上下振动。

优选的，所述安装板下端面固定连接有毛刷。

优选的，所述第一矩形板上端面中部固定连接有第四电机，所述第四电机输出端通过销轴固定连接有第二偏心块。

优选的，所述底板上端面后侧中部固定连接有集尘箱，所述集尘箱上端中部连通有吸尘管，所述吸尘管与支撑柱贯穿并滑动相连，所述吸尘管上端连通并固定连接有安装板。

优选的，所述底板上端面右侧中部通过销轴转动连接有第一电动伸缩杆，所述底板上端面右侧中部固定连接有第一电机，所述第一电机输出端通过销轴固定连接有第二齿轮，所述第一电动伸缩杆下端套设并固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合，所述第一电动伸缩杆活塞端固定连接有第一连接块，所述第一连接块左端面固定连接有第二电动伸缩杆。

优选的，所述第二电动伸缩杆活塞端固定连接有第二连接块，所述第二连接块左端面固定连接有第二电机，所述第二电机输出端通过销轴固定连接有第二矩形板，所述第二矩形板后端面上下两侧均通过销轴转动连接有连杆，上下两侧相互靠近的一侧所述连杆与第二矩形板的连接处通过销轴固定连接有第三齿轮，两个所述第三齿轮相互啮合，所述第二矩形板前端面上侧固定连接有第三电机，所述第三电机输出端通过销轴与连杆固定相连，所述连杆左端通过销轴转动连接有铰接块，所述铰接块左右两侧均通过第一滑柱滑动连接有夹持块，左侧所述第一滑柱相互远离的一端套设有第一弹簧，所述第一弹簧两侧分别与第一滑柱、铰接块固定相连。

优选的，所述底板上端面左侧中部固定连接有半导体测试工作台。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型中，通过当半导体材料与毛刷接触时，启动第四电机带动第二偏心块转动，在第三弹簧的作用下，使偏移板在第三滑柱上左右滑动，使毛刷做左右往复运动，对半导体材料表面的灰尘进行清扫，使灰尘扬起，同时，在齿条的作用下，使第四齿轮和第一偏心块转动，使第一偏心块不断挤压安装板，使安装板和第二滑柱上下移动，即可使毛刷进行上下幅度的振动，使毛刷可伸入至半导体材料表面的间隙处，并且也可使附着在毛刷间隙的灰尘振起，避免灰尘附着在毛刷内侧，然后在吸尘机的作用下，将灰尘经吸尘管吸入至集尘箱中，即可完成对半导体材料表面灰尘的清理工作，从而可对半导体材料表面的灰尘起到一个自动清扫并集中收集的效果，进而保证了半导体材料表面的洁净度，有利于测试的准确性。

2.本实用新型中，通过人员启动第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆，使半导体材料处于两个夹持块之间，然后启动第三电机带动上下两侧的连杆同时不同向转动，使上下两侧的夹持块相互靠近，对半导体材料进行夹持，然后再次启动第一电动伸缩杆使半导体材料升高，然后启动第二电机，使半导体材料旋转一百八十度，然后再次使半导体材料下降，放置在半导体测试工作台上，即可完成翻面工作，从而可对半导体材料起到一个自动翻面的作用，不会对半导体材料表面造成污染，可确保测试的准确度。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型图1中A区域放大结构示意图；

图3为本实用新型局部立体结构示意图；

图4为本实用新型偏移板与吸尘管安装关系半剖面局部结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

图中：1、底板；2、半导体测试工作台；3、偏移板；4、第一电机；5、第一电动伸缩杆；6、第一齿轮；7、第二齿轮；8、第一连接块；9、第二电动伸缩杆；10、第二连接块；11、第二电机；12、第二矩形板；13、第三电机；14、连杆；15、第三齿轮；16、第一滑柱；17、第一弹簧；18、铰接块；19、夹持块；20、集尘箱；21、吸尘机；22、吸尘管；23、支撑柱；24、齿条；25、第四齿轮；26、第一偏心块；27、毛刷；28、安装板；29、第二滑柱；30、第二弹簧；31、第一矩形板；32、第四电机；33、第二偏心块；34、第三弹簧；35、第三滑柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种半导体材料自动翻面装置，包括底板1，底板1上端面后侧中部固定连接有支撑柱23，支撑柱23左端面上侧固定连接有第一矩形板31，第一矩形板31右端面上侧固定连接有第三滑柱35，第三滑柱35滑动连接有偏移板3，偏移板3后端面中部通过销轴转动连接有第一偏心块26和第四齿轮25，支撑柱23上端面固定连接有齿条24，齿条24与第四齿轮25相互啮合，偏移板3前后两侧均通过第二滑柱29滑动连接有安装板28，后侧第二滑柱29下端套设有第二弹簧30，第二弹簧30上下两端分别与偏移板3、安装板28固定相连，前侧第三滑柱35左端套设有第三弹簧34，第三弹簧34左右两端分别与第一矩形板31和偏移板3固定相连，通过驱使偏移板3在第三滑柱35上左右滑动，在齿条24的作用下使第四齿轮25转动，使第一偏心块26持续转动并挤压安装板28，并在第二弹簧30作用下复原，即可使安装板28左右移动时，也在上下振动。

本实施例中，安装板28下端面固定连接有毛刷27。第一矩形板31上端面中部固定连接有第四电机32，第四电机32输出端通过销轴固定连接有第二偏心块33。底板1上端面后侧中部固定连接有集尘箱20，集尘箱20上端中部连通有吸尘管22，吸尘管22与支撑柱23贯穿并滑动相连，吸尘管22上端连通并固定连接有安装板28。通过当半导体材料与毛刷27接触时，启动第四电机32带动第二偏心块33转动，在第三弹簧34的作用下，使偏移板3在第三滑柱35上左右滑动，使毛刷27做左右往复运动，对半导体材料表面的灰尘进行清扫，使灰尘扬起，同时，在齿条24的作用下，使第四齿轮25和第一偏心块26转动，使第一偏心块26不断挤压安装板28，使安装板28和第二滑柱29上下移动，即可使毛刷27进行上下幅度的振动，使毛刷27可伸入至半导体材料表面的间隙处，并且也可使附着在毛刷27间隙的灰尘振起，避免灰尘附着在毛刷27内侧，然后在吸尘机21的作用下，将灰尘经吸尘管22吸入至集尘箱20中，即可完成对半导体材料表面灰尘的清理工作，从而可对半导体材料表面的灰尘起到一个自动清扫并集中收集的效果，进而保证了半导体材料表面的洁净度，有利于测试的准确性。

本实施例中，底板1上端面右侧中部通过销轴转动连接有第一电动伸缩杆5，底板1上端面右侧中部固定连接有第一电机4，第一电机4输出端通过销轴固定连接有第二齿轮7，第一电动伸缩杆5下端套设并固定连接有第一齿轮6，第一齿轮6与第二齿轮7相互啮合，第一电动伸缩杆5活塞端固定连接有第一连接块8，第一连接块8左端面固定连接有第二电动伸缩杆9。第二电动伸缩杆9活塞端固定连接有第二连接块10，第二连接块10左端面固定连接有第二电机11，第二电机11输出端通过销轴固定连接有第二矩形板12，第二矩形板12后端面上下两侧均通过销轴转动连接有连杆14，上下两侧相互靠近的一侧连杆14与第二矩形板12的连接处通过销轴固定连接有第三齿轮15，两个第三齿轮15相互啮合，第二矩形板12前端面上侧固定连接有第三电机13，第三电机13输出端通过销轴与连杆14固定相连，连杆14左端通过销轴转动连接有铰接块18，铰接块18左右两侧均通过第一滑柱16滑动连接有夹持块19，左侧第一滑柱16相互远离的一端套设有第一弹簧17，第一弹簧17两侧分别与第一滑柱16、铰接块18固定相连。底板1上端面左侧中部固定连接有半导体测试工作台2。通过人员启动第一电动伸缩杆5和第二电动伸缩杆9，使半导体材料处于两个夹持块19之间，然后启动第三电机13带动上下两侧的连杆14同时不同向转动，使上下两侧的夹持块19相互靠近，对半导体材料进行夹持，然后再次启动第一电动伸缩杆5使半导体材料升高，然后启动第二电机11，使半导体材料旋转一百八十度，然后再次使半导体材料下降，放置在半导体测试工作台2上，即可完成翻面工作，从而可对半导体材料起到一个自动翻面的作用，不会对半导体材料表面造成污染，可确保测试的准确度。

本实用新型工作原理：使用时，首先，人员启动第一电动伸缩杆5和第二电动伸缩杆9，使半导体材料处于两个夹持块19之间，然后启动第三电机13带动上下两侧的连杆14同时不同向转动，使上下两侧的夹持块19相互靠近，对半导体材料进行夹持，然后再次启动第一电动伸缩杆5使半导体材料升高，启动第一电机4，在第二齿轮7和第一齿轮6的作用下使第一电动伸缩杆5转动，使半导体材料处于毛刷27的底部，然后可通过第二电动伸缩杆9，对半导体材料的位置进行微调，使具有灰尘的位置与毛刷27贴合，启动第四电机32带动第二偏心块33转动，在第三弹簧34的作用下，使偏移板3在第三滑柱35上左右滑动，使毛刷27做左右往复运动，对半导体材料表面的灰尘进行清扫，使灰尘扬起，同时，在齿条24的作用下，使第四齿轮25和第一偏心块26转动，使第一偏心块26不断挤压安装板28，使安装板28和第二滑柱29上下移动，即可使毛刷27进行上下幅度的振动，使毛刷27可伸入至半导体材料表面的间隙处，并且也可使附着在毛刷27间隙的灰尘振起，避免灰尘附着在毛刷27内侧，然后在吸尘机21的作用下，将灰尘经吸尘管22吸入至集尘箱20中，即可完成对半导体材料表面灰尘的清理工作，从而可对半导体材料表面的灰尘起到一个自动清扫并集中收集的效果，进而保证了半导体材料表面的洁净度，有利于测试的准确性；当需要翻面时，对半导体材料进行夹持，然后再次启动第一电动伸缩杆5使半导体材料升高，启动第二电机11，使半导体材料旋转一百八十度，然后再次使半导体材料下降，放置在半导体测试工作台2上，即可完成翻面工作，从而可对半导体材料起到一个自动翻面的作用，不会对半导体材料表面造成污染，可确保测试的准确度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种半导体材料自动翻面装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上端面后侧中部固定连接有支撑柱(23)，所述支撑柱(23)左端面上侧固定连接有第一矩形板(31)，所述第一矩形板(31)右端面上侧固定连接有第三滑柱(35)，所述第三滑柱(35)滑动连接有偏移板(3)，所述偏移板(3)后端面中部通过销轴转动连接有第一偏心块(26)和第四齿轮(25)，所述支撑柱(23)上端面固定连接有齿条(24)，所述齿条(24)与第四齿轮(25)相互啮合，所述偏移板(3)前后两侧均通过第二滑柱(29)滑动连接有安装板(28)，后侧所述第二滑柱(29)下端套设有第二弹簧(30)，所述第二弹簧(30)上下两端分别与偏移板(3)、安装板(28)固定相连，前侧所述第三滑柱(35)左端套设有第三弹簧(34)，所述第三弹簧(34)左右两端分别与第一矩形板(31)和偏移板(3)固定相连，通过驱使偏移板(3)在第三滑柱(35)上左右滑动，在齿条(24)的作用下使第四齿轮(25)转动，使第一偏心块(26)持续转动并挤压安装板(28)，并在第二弹簧(30)作用下复原，即可使安装板(28)左右移动时，也在上下振动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述安装板(28)下端面固定连接有毛刷(27)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述第一矩形板(31)上端面中部固定连接有第四电机(32)，所述第四电机(32)输出端通过销轴固定连接有第二偏心块(33)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述底板(1)上端面后侧中部固定连接有集尘箱(20)，所述集尘箱(20)上端中部连通有吸尘管(22)，所述吸尘管(22)与支撑柱(23)贯穿并滑动相连，所述吸尘管(22)上端连通并固定连接有安装板(28)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述底板(1)上端面右侧中部通过销轴转动连接有第一电动伸缩杆(5)，所述底板(1)上端面右侧中部固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)输出端通过销轴固定连接有第二齿轮(7)，所述第一电动伸缩杆(5)下端套设并固定连接有第一齿轮(6)，所述第一齿轮(6)与第二齿轮(7)相互啮合，所述第一电动伸缩杆(5)活塞端固定连接有第一连接块(8)，所述第一连接块(8)左端面固定连接有第二电动伸缩杆(9)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述第二电动伸缩杆(9)活塞端固定连接有第二连接块(10)，所述第二连接块(10)左端面固定连接有第二电机(11)，所述第二电机(11)输出端通过销轴固定连接有第二矩形板(12)，所述第二矩形板(12)后端面上下两侧均通过销轴转动连接有连杆(14)，上下两侧相互靠近的一侧所述连杆(14)与第二矩形板(12)的连接处通过销轴固定连接有第三齿轮(15)，两个所述第三齿轮(15)相互啮合，所述第二矩形板(12)前端面上侧固定连接有第三电机(13)，所述第三电机(13)输出端通过销轴与连杆(14)固定相连，所述连杆(14)左端通过销轴转动连接有铰接块(18)，所述铰接块(18)左右两侧均通过第一滑柱(16)滑动连接有夹持块(19)，左侧所述第一滑柱(16)相互远离的一端套设有第一弹簧(17)，所述第一弹簧(17)两侧分别与第一滑柱(16)、铰接块(18)固定相连。

7.根据权利要求6所述的一种半导体材料自动翻面装置，其特征在于：所述底板(1)上端面左侧中部固定连接有半导体测试工作台(2)。