CN219933066U - 一种陶瓷电容隔膜阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及隔膜阀技术领域，公开了一种陶瓷电容隔膜阀包括阀体，其顶部设置有阀腔，其上还设置有入流道和出流道，所述入流道和所述出流道均从所述阀体的底部贯穿延伸连通至所述阀腔；隔膜，设置于所述阀体的上方，其包括有能够上下移动的阀芯，所述阀芯能够打开或者关闭所述入流道；陶瓷电容组件，用于检测所述阀芯的位移；定位环，设置于所述隔膜的上方，所述陶瓷电容组件被设置于所述隔膜和所述定位环之间。本实用新型相比于现有技术，隔膜采用一体化设计，免去了单独的隔膜材料，能够有效的防止额外污染以及泄露，适用半导体及其它高纯要求洁净领域。

Description

一种陶瓷电容隔膜阀

技术领域

本实用新型涉及隔膜阀技术领域，尤其涉及一种陶瓷电容隔膜阀。

背景技术

隔膜阀是用隔膜作启闭件封闭流道、截断流体、并将阀体内腔和阀盖内腔隔开的截止阀。隔膜常用橡胶、塑料等弹性、耐腐蚀、非渗透性材料制成。隔膜阀能被规模应用于半导体及其它高纯要求洁净领域，如生命科学，太空净化，医疗制药领域流体精准控制分析或实验室领域。现有技术中，隔膜阀通常含有单独的隔膜材料，但是对于洁净度要求高的领域，单独隔膜和流体直接接触会带入额外污染问题，同时单独隔膜材料会存在泄露问题，这显然无法满足高洁净度领域的要求。

实用新型内容

基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种陶瓷电容隔膜阀，免去了单独的隔膜材料，能够有效的防止额外污染以及泄露。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种陶瓷电容隔膜阀，包括：

阀体，其顶部设置有阀腔，其上还设置有入流道和出流道，所述入流道和所述出流道均从所述阀体的底部贯穿延伸连通至所述阀腔；

隔膜，设置于所述阀体的上方，其包括有能够上下移动的阀芯，所述阀芯能够打开或者关闭所述入流道；

陶瓷电容组件，用于检测所述阀芯的位移；

定位环，设置于所述隔膜的上方，所述陶瓷电容组件被设置于所述隔膜和所述定位环之间。

优选地，所述入流道包括有入流道入口和入流道出口，所述出流道包括出流道入口和出流道出口，所述入流道入口和所述出流道出口设置于所述阀体的底部，所述入流道出口和所述出流道的出口设置于所述阀腔的底壁，所述入流道出口向所述底壁上方延伸形成凸嘴。

优选地，所述阀体和所述隔膜之间设置有密封环，所述密封环嵌入在所述阀腔的侧壁。

优选地，所述隔膜还包括壳体和分隔片，所述阀芯连接于所述分隔片的中心且贯穿所述分隔片，所述壳体为中空结构，所述分隔片将所述壳体的中空结构分隔成上膜腔和下膜腔；

所述阀芯包括有杆部，所述杆部的底部设置有堵头，所述堵头能够打开或者关闭所述入流道出口。

优选地，所述陶瓷电容组件包括有下簧片、下电容片、上簧片、上电容片和锁紧环；

所述下簧片设置于所述上膜腔内，所述下电容片设置于所述下簧片的上方，所述锁紧环与所述上膜腔的内壁相连接，并且设置于所述下电容片的上方；

所述阀芯还包括有卡接部，所述卡接部设置与所述杆部的中间位置，所述上簧片设置于所述卡接部的上方，所述上电容片设置于所述上簧片的上方。

优选地，所述定位环包括有环体和锁紧螺母，所述环体的中心设置有贯穿的连接通道，所述杆部的顶部设置有外螺纹，所述锁紧螺母设置有内螺纹，所述杆部能够穿入所述连接通道与所述锁紧螺母螺纹连接。

优选地，所述锁紧环设置有外螺纹，所述上膜腔的内壁设置有内螺纹，所述锁紧环与所述上膜腔的内壁螺纹连接。

优选地，所述阀体和所述隔膜上均设置有螺纹孔，通过螺栓穿过所述螺纹孔，将所述阀体和所述隔膜相连接。

优选地，所述隔膜上还设置有安装孔，所述安装孔与所述上膜腔相通。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供一种陶瓷电容隔膜阀，流体从入流通道进入，当流体的压力达到一定的值时，阀芯在压力的推动下，向上移动，此时入流道的出口被打开，当流体的压力低于一定的值时，阀芯会向下移动恢复至原来的位置，此时入流道的出口被关闭；陶瓷电容组件会根据阀芯的位移变化，输出电信号，然后通过对电信号的对流体压力、流体流量等进行分析。本实用新型相比于现有技术，隔膜采用一体化设计，免去了单独的隔膜材料，能够有效的防止额外污染以及泄露，适用半导体及其它高纯要求洁净领域。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供一种陶瓷电容隔膜片的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供一种陶瓷电容隔膜片的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供一种一种陶瓷电容隔膜片的分解结构示意图。

图中：

1、阀体；11、阀腔；12、入流道；121、入流道入口；122、入流道出口；123、凸嘴；13、出流道；131、出流道入口；132、出流道出口；

2、隔膜；21、壳体；211、下膜腔；212、上膜腔；213、安装孔；22、分隔片；23、阀芯；24、堵头；25、卡接部；

3、定位环；31、环体；32、锁紧螺母；33、连接通道；

4、陶瓷电容组件；41、下簧片；42、下电容片；43、上电容片；44、上簧片；45、锁紧环；

5、密封环；

6、螺栓。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

参见图1至3所示，本实用新型实施例提供一种陶瓷电容隔膜阀，包括阀体1，其顶部设置有阀腔11，所述阀腔11为圆柱形结构，其上还设置有入流道12和出流道13，所述入流道12和所述出流道13均从所述阀体1的底部贯穿延伸连通至所述阀腔11；隔膜2，设置于所述阀体1的上方，其包括有能够上下移动的阀芯23，所述阀芯23能够打开或者关闭所述入流道12，具体地当阀芯23向上移动时，入流道12被打开，此时入流道12、阀腔11和出流道13相通；当阀芯23下移恢复至原始位置时，入流道12被关闭，此时阀腔11和入流道12不相通；陶瓷电容组件4，用于检测所述阀芯23的位移；定位环3，设置于所述隔膜2的上方，所述陶瓷电容组件4被设置于所述隔膜2和所述定位环3之间。

本实用新型实施例提供一种陶瓷电容隔膜2阀，流体从入流道进12入，当流体的压力达到一定的值时，阀芯23在压力的推动下，向上移动，此时入流道12的出口被打开，当流体的压力低于一定的值时，阀芯23会向下移动恢复至原来的位置，此时入流道被关闭；陶瓷电容组件4会根据阀芯23的位移变化，输出电信号，然后通过对电信号的对流体压力、流体流量等进行分析。本实用新型相比于现有技术，隔膜2采用一体化设计，免去了单独的隔膜2材料，能够有效的防止额外污染以及泄露，适用半导体及其它高纯要求洁净领域。

参见图2和3所示，作为本实用新型实施例的一种优选方式，所述入流道12包括有入流道入口121和入流道出口122，所述出流道13包括出流道入口131和出流道出口132，所述入流道入口121和所述出流道出口132设置于所述阀体1的底部，所述入流道出口122和所述出流道13的出口设置于所述阀腔11的底壁，所述入流道出口122向所述底壁上方延伸形成凸嘴123。具体地，本实用新型实施例中，流体从入流道入口121进入，阀芯23将入流道12的出口堵住，当流体的压力到达一定值时，会将阀芯23顶起，此时入流道出口122被打开，流体进入阀腔11，然后从出流道入口131进入，从出流道出口132流出。

参见图2和图3所示，为了将阀体1和隔膜2之间的缝隙密封，防止泄露，所述阀体1和所述隔膜2之间设置有密封环5，所述密封环5嵌入在所述阀腔11的侧壁。

参见图2和图3所示，所述隔膜2还包括壳体21和分隔片22，所述分隔片22为弹性可伸缩材料，在壳体21注塑一体成型时直接形成，所述阀芯23连接于所述分隔片22的中心且贯穿所述分隔片22，所述壳体21为中空结构，所述分隔片22将所述壳体21的中空结构分隔成上膜腔212和下膜腔211；所述阀芯23包括有杆部，所述杆部的底部设置有堵头24，所述堵头24能够打开或者关闭所述入流道出口122。优选地，所述陶瓷电容组件4包括有下簧片41、下电容片42、上簧片44、上电容片43和锁紧环45；所述下簧片41设置于所述上膜腔212内，所述下电容片42设置于所述下簧片41的上方，所述锁紧环45与所述上膜腔212的内壁相连接，并且设置于所述下电容片42的上方；所述阀芯23还包括有卡接部25，所述卡接部25设置与所述杆部的中间位置，所述上簧片44设置于所述卡接部25的上方，所述上电容片43设置于所述上簧片44的上方。具体地，本实用新型实施例中，下电容片42被固定与下簧片41和锁紧环45直接不动，当流体的压力不断增大时，此时阀芯23被推动向上移动，同时卡接部25推动上电容片43上移，上电容片43压缩上簧片44，当流体压力大于上簧片44弹力时，上簧片44被压缩，流体从入流道12进入阀腔11，当流体压力小于上簧片44弹力时，此时阀芯23向下移动，堵头24将入流道入口121堵住。本实用新型实施例中通过上电容片43的位移变化，输出电信好，通过对电信号对流体压力以及流量等进行分析。

参见图2和3所示，作为本实用新型实施例的一种优选方式，为了固定上簧片44以及限位，所述定位环3包括有环体31和锁紧螺母32，所述环体31的中心设置有贯穿的连接通道33，所述杆部的顶部设置有外螺纹，所述锁紧螺母32设置有内螺纹，所述杆部能够穿入所述连接通道33与所述锁紧螺母32螺纹连接。具体地，本实用新型实施例中下簧片41的顶部被限制于壳体21的下方，同时通过锁紧螺母32将定位环3与隔膜2连接。

参见图2和3所示，作为本实用新型实施例的一种优选方式，为了将锁紧环45与所述上膜腔212的内壁固定连接，所述锁紧环45设置有外螺纹，所述上膜腔212的内壁设置有内螺纹，所述锁紧环45与所述上膜腔212的内壁螺纹连接。

参见图1至3所示，作为本实用新型实施例的一种优选方式，为了将阀体1和所述隔膜2连接，所述阀体1和所述隔膜2上均设置有螺纹孔，通过螺栓6穿过所述螺纹孔，将所述阀体1和所述隔膜2相连接。

参见图2所示，作为本实用新型实施例的一种优选方式，所述隔膜2上还设置有安装孔213，所述安装孔213与所述上膜腔212相通。具体地，本实用新型实施例中，上电容片43和下电容片42的电线可以从安装孔213连接至外部。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，包括：

阀体，其顶部设置有阀腔，其上还设置有入流道和出流道，所述入流道和所述出流道均从所述阀体的底部贯穿延伸连通至所述阀腔；

隔膜，设置于所述阀体的上方，其包括有能够上下移动的阀芯，所述阀芯能够打开或者关闭所述入流道；

陶瓷电容组件，用于检测所述阀芯的位移；

定位环，设置于所述隔膜的上方，所述陶瓷电容组件被设置于所述隔膜和所述定位环之间。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述入流道包括有入流道入口和入流道出口，所述出流道包括出流道入口和出流道出口，所述入流道入口和所述出流道出口设置于所述阀体的底部，所述入流道出口和所述出流道的出口设置于所述阀腔的底壁，所述入流道出口向所述底壁上方延伸形成凸嘴。

3.根据权利要求2所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述阀体和所述隔膜之间设置有密封环，所述密封环嵌入在所述阀腔的侧壁。

4.根据权利要求2所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述隔膜还包括壳体和分隔片，所述阀芯连接于所述分隔片的中心且贯穿所述分隔片，所述壳体为中空结构，所述分隔片将所述壳体的中空结构分隔成上膜腔和下膜腔；

所述阀芯包括有杆部，所述杆部的底部设置有堵头，所述堵头能够打开或者关闭所述入流道出口。

5.根据权利要求4所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述陶瓷电容组件包括有下簧片、下电容片、上簧片、上电容片和锁紧环；

所述下簧片设置于所述上膜腔内，所述下电容片设置于所述下簧片的上方，所述锁紧环与所述上膜腔的内壁相连接，并且设置于所述下电容片的上方；

所述阀芯还包括有卡接部，所述卡接部设置与所述杆部的中间位置，所述上簧片设置于所述卡接部的上方，所述上电容片设置于所述上簧片的上方。

6.根据权利要求5所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述定位环包括有环体和锁紧螺母，所述环体的中心设置有贯穿的连接通道，所述杆部的顶部设置有外螺纹，所述锁紧螺母设置有内螺纹，所述杆部能够穿入所述连接通道与所述锁紧螺母螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述锁紧环设置有外螺纹，所述上膜腔的内壁设置有内螺纹，所述锁紧环与所述上膜腔的内壁螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述阀体和所述隔膜上均设置有螺纹孔，通过螺栓穿过所述螺纹孔，将所述阀体和所述隔膜相连接。

9.根据权利要求5所述的一种陶瓷电容隔膜阀，其特征在于，所述隔膜上还设置有安装孔，所述安装孔与所述上膜腔相通。