CN219930219U - 蒸发装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体公开了蒸发装置及真空镀膜设备。该装置包括腔室分隔板和料瓶更换模块，腔室分隔板的上板面固接有料瓶防护壳，腔室分隔板贯通有腔室开口；料瓶更换模块包括更换模块外壳和隔断门装置，更换模块外壳形成相连通的料瓶储料室和料瓶传送室，料瓶传送室通过料瓶避让口与腔室开口相连通，隔断门装置选择性开闭料瓶避让口；料瓶储料室内设有用于承载传送料框的料瓶料盘，能带动每个传送料框经过搬运位；料瓶传送室内设有用于在搬运位与推送位之间搬运传送料框的搬运组件和用于在推送位与抵达位之间搬运料瓶单元的推送组件。该装置通过能更换料瓶单元的设计，实现物料的快速补充，从而提高镀膜的效率。

Description

蒸发装置及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及蒸发装置及真空镀膜设备。

背景技术

现有技术中，蒸发装置在进行超长时间连续镀膜时，如采用单次加料方式，物料量通常难以满足使用需求；如采用打开真空镀膜腔室进行加料的方式，则会因为破真空而严重影响基板镀膜效率，并可能因为破真空而影响镀膜品质的稳定性。

综上所述，亟需一种镀膜设备。该设备需要将物料快速添加到蒸发源处，之后进行镀膜操作。而且期间要尽量减少破真空所造成的不利影响，保证镀膜设备始终处于高真空状态下。进而能够在保证镀膜室环境不变的条件下，实现镀膜设备的多次和长时间镀膜工作，在保证成膜良品率的同时，加快加料的速度，提高镀膜的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供蒸发装置及真空镀膜设备，通过更换料瓶单元的设计达到物料补充的目的，在控制破真空影响的同时完成对蒸发源本体的快速加料，进而得以加快物料的蒸发速度，提高镀膜效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

蒸发装置，包括腔室分隔板和料瓶更换模块；所述腔室分隔板的上板面固接有料瓶防护壳，所述腔室分隔板贯通有腔室开口；所述料瓶更换模块与所述料瓶防护壳构成对应关系，所述料瓶更换模块包括更换模块外壳和隔断门装置，形成了相连通的料瓶储料室和料瓶传送室，所述料瓶储料室内设有搬运位，所述料瓶传送室内设有推送位，所述料瓶传送室通过料瓶避让口与所述腔室开口相连通，所述隔断门装置选择性开闭所述料瓶避让口；所述料瓶储料室内设有用于承载传送料框的料瓶料盘，所述传送料框用于定位料瓶单元，且所述料瓶料盘能带动每个所述传送料框经过所述搬运位；所述料瓶传送室内设有搬运组件和推送组件，所述搬运组件用于在所述搬运位与所述推送位之间搬运所述传送料框，所述推送组件用于在所述推送位与抵达位之间搬运所述料瓶单元，位于所述抵达位的所述料瓶单元穿设于对应的所述料瓶防护壳。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述料瓶料盘的边缘周向分布有多个用于卡接所述传送料框的卡接槽，所述料瓶料盘能绕所述料瓶料盘的轴线旋转，以带动所述传送料框。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述料瓶更换模块还包括料盘旋转驱动单元和料盘升降驱动单元，所述料盘旋转驱动单元用于带动所述料瓶料盘旋转，所述料盘升降驱动单元用于驱动所述料瓶料盘沿竖直方向在料盘旋转位置与料盘卸料位置之间升降。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述搬运组件包括搬运直线模组、模组驱动单元和搬运叉，所述搬运叉滑设于直线模组上，位于所述搬运位的所述传送料框能卡装于所述搬运叉上，所述模组驱动单元用于驱动所述直线模组带动所述搬运叉，以使所述传送料框在所述搬运位与所述推送位之间往复移动。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述推送组件包括料瓶推送杆和推送杆驱动单元，所述料瓶推送杆上设有推送杆匹配槽，所述推送杆匹配槽能匹配插接于所述料瓶单元底端的托板凸块，所述推送杆驱动单元用于驱动所述料瓶推送杆带动所述料瓶单元在所述推送位与所述抵达位之间往复移动。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述传送料框为筒形件，所述传送料框形成了第一料瓶容纳槽，且所述第一料瓶容纳槽的槽底贯通有料框开口，所述第一料瓶容纳槽内搭设有角度定位架，所述角度定位架的底端凸设有角度定位托块，所述角度定位架的顶端凸设有角度定位块，所述角度定位块搭接于所述第一料瓶容纳槽的槽顶，所述角度定位托块卡接于所述料框开口，所述角度定位架形成了第二料瓶容纳槽，所述料瓶单元安装于所述第二料瓶容纳槽内。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述料瓶单元包括料瓶本体以及若干周向贴接于料瓶本体外侧壁的料瓶导杆，所有的所述料瓶导杆均固接于料瓶托板的一侧，料瓶托板的另一侧设有所述托板凸块，所述第二料瓶容纳槽的内壁转动设置有多个导向轮，且所述导向轮与所述料瓶导杆滚动配合，所述托板凸块穿过所述第二料瓶容纳槽的槽底。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述隔断门装置包括隔断门主体和用于驱动所述隔断门主体的隔断门驱动单元，所述隔断门装置能够在隔断门封闭状态与隔断门复位状态之间切换，处于所述隔断门封闭状态的隔断门装置封闭所述料瓶避让口，处于所述隔断门复位状态的隔断门装置打开所述料瓶避让口。

作为蒸发装置的优选技术方案，所述料瓶储料室与外部环境选择性连通，所述料瓶储料室设有选择性开闭的料瓶加料口，外部加料设备能从所述料瓶加料口向所述料瓶储料室内的所述料瓶单元加料。

真空镀膜设备，包括上述的蒸发装置以及用于对基板治具进行镀膜的镀膜室，所述腔室分隔板作为所述镀膜室的底板的一部分，所述料瓶防护壳位于所述镀膜室内，所述料瓶更换模块位于所述镀膜室外。

本实用新型的有益效果：

该蒸发装置借助料瓶单元与料瓶防护壳的分体设计，得以通过更换料瓶单元的方式达到物料快速补充的目的，在控制破真空影响的同时，完成对蒸发源本体的快速加料，进而得以加快物料的蒸发速度，提高镀膜的效率。腔室分隔板的设置实现了对料瓶防护壳所在腔室和料瓶储料室的选择性连通，有助于减弱破真空对腔室内的高真空状态所产生的影响，由此得以保障基板治具上的基板成品的成膜效果。料瓶料盘、搬运组件和推送组件的设置实现了将传送料框在搬运位与推送位之间的搬运以及料瓶单元在推送位与抵达位之间的搬运。上述蒸发装置能够将物料快速添加到料瓶防护壳处，之后进行镀膜操作，而且期间能够尽量地减少破真空所造成的不利影响，保证蒸发装置始终处于高真空状态下。进而在保证镀膜室环境不变的条件下，实现真空镀膜设备的多次和长时间镀膜工作，在保证基板治具上的基板的成品良品率的同时，加快物料的补充速度，提高镀膜的效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的料瓶更换模块的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的除更换模块外壳外的料瓶更换模块的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的料瓶更换模块的剖面侧视图；

图4是本实用新型实施例提供的料瓶更换模块的局部剖面图；

图5是本实用新型实施例提供的传送料框、角度定位架和料瓶单元的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的料瓶单元的结构示意图。

图中：

100、蒸发装置；

210、腔室分隔板；211、腔室开口；212、腔室定位架；

300、隔断门装置；310、隔断门主体；320、隔断门驱动单元；

400、料瓶更换模块；410、更换模块外壳；411、料瓶加料口；412、料瓶避让口；413、料瓶维修口；421、搬运直线模组；422、模组驱动单元；423、搬运叉；430、推送组件；431、料瓶推送杆；432、推送杆驱动单元；433、推送杆匹配槽；440、料瓶料盘；441、卡接槽；450、料盘旋转驱动单元；460、料盘升降驱动单元；

510、料瓶储料室；520、料瓶传送室；

610、传送料框；611、料框开口；620、角度定位架；621、角度定位块；622、角度定位托块；623、角度定位连接杆；624、导向轮；630、料瓶单元；631、料瓶导杆；632、料瓶本体；633、料瓶托板；634、托板凸块；640、料瓶防护壳。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至图6所示，基板治具上能够放置待镀膜的基板。

本实施例提供了真空镀膜设备，包括蒸发装置100以及用于对基板治具进行镀膜的镀膜室，真空镀膜设备中的蒸发装置100，包括腔室分隔板210和料瓶更换模块400；腔室分隔板210的上板面固接有若干料瓶防护壳640，腔室分隔板210贯通有腔室开口211；料瓶更换模块400与料瓶防护壳640的数量相同且一一对应，料瓶更换模块400包括更换模块外壳410和隔断门装置300，形成了相连通的料瓶储料室510和料瓶传送室520，料瓶储料室510内设有搬运位，料瓶传送室520内设有推送位，料瓶传送室520通过料瓶避让口412与腔室开口211相连通，隔断门装置300选择性开闭料瓶避让口412；料瓶储料室510内设有用于承载传送料框610的料瓶料盘440，传送料框610用于定位料瓶单元630，且料瓶料盘440能带动每个传送料框610经过搬运位；料瓶传送室520内设有搬运组件和推送组件430，搬运组件用于在搬运位与推送位之间搬运传送料框610，推送组件430用于在推送位与抵达位之间搬运料瓶单元630，位于抵达位的料瓶单元630穿设于对应的料瓶防护壳640。具体地，料瓶防护壳640设有三个；更换模块外壳410设于腔室分隔板210的下方，更换模块外壳410的侧壁上还设有选择性连通的料瓶维修口413。

该蒸发装置100借助料瓶单元630与料瓶防护壳640的分体设计，得以通过更换料瓶单元630的方式达到物料快速补充的目的，在控制破真空影响的同时，完成对蒸发源本体的快速加料，进而得以加快物料的蒸发速度，提高镀膜的效率。腔室分隔板210的设置实现了对料瓶防护壳640所在腔室和料瓶储料室510的选择性连通，有助于减弱破真空对腔室内的高真空状态所产生的影响，由此得以保障基板治具上的基板成品的成膜效果。料瓶料盘440、搬运组件和推送组件430的设置实现了将传送料框610在搬运位与推送位之间的搬运以及料瓶单元630在推送位与抵达位之间的搬运。上述蒸发装置100能够将物料快速添加到料瓶防护壳640处，之后进行镀膜操作，而且期间能够尽量地减少破真空所造成的不利影响，保证蒸发装置100始终处于高真空状态下。进而在保证镀膜室环境不变的条件下，实现真空镀膜设备的多次和长时间镀膜工作，在保证基板治具上的基板的成品良品率的同时，加快物料的补充速度，提高镀膜的效率。

具体地，腔室分隔板210的上板面固接有腔室定位架212，腔室定位架212与蒸发源主体的数量相同，且每个蒸发源主体均固接于一个腔室定位架212上。

在本实施例中，料瓶料盘440的边缘周向分布有多个用于卡接传送料框610的卡接槽441，料瓶料盘440能绕料瓶料盘440的轴线旋转，以带动传送料框610。借助料瓶料盘440能绕料瓶料盘440的轴线旋转的设计，得以确保每个传送料框610均经过搬运位。

进一步地，料瓶更换模块400还包括料盘旋转驱动单元450和料盘升降驱动单元460，料盘旋转驱动单元450用于带动料瓶料盘440旋转，料盘升降驱动单元460用于驱动料瓶料盘440沿竖直方向在料盘旋转位置与料盘卸料位置之间升降。料盘旋转驱动单元450的设计提高了料瓶料盘440的自动化程度，有助于减少操作人员的工作量。料盘升降驱动单元460的设置使得料瓶料盘440与搬运组件得以通过相对位置升降的变化更换支撑传送料框610的构件，以上设计得以实现无刚性碰撞的支撑件替换操作，降低了传送料框610、料瓶料盘440和搬运组件产生损伤的隐患，降低了传送料框610因意外而导致脱落的风险，有助于维护料瓶更换模块400的长期稳定运行，降低了料瓶更换模块400的维护效率，延长了蒸发装置100的使用寿命。

在本实施例中，搬运组件包括搬运直线模组421、模组驱动单元422和搬运叉423，搬运叉423滑设于直线模组421上，位于搬运位的传送料框610能卡装于搬运叉423上，模组驱动单元422用于驱动直线模组421带动搬运叉423，以使传送料框610在搬运位与推送位之间往复移动。借助以上搬运组件的结构设计，得以实现对传送料框610在搬运位与推送位之间的搬运操作，以上结构简单可靠，工作稳定性高且占用空能够减小。模组驱动单元422的设置提高了搬运组件的自动化程度，有助于减少操作人员的工作量。

示例性地，推送组件430包括料瓶推送杆431和推送杆驱动单元432，料瓶推送杆431上设有推送杆匹配槽433，推送杆匹配槽433能匹配插接于料瓶单元630底端的托板凸块634，推送杆驱动单元432用于驱动料瓶推送杆431带动料瓶单元630在推送位与抵达位之间往复移动。借助以上推送组件430的结构设计，得以实现对料瓶单元630在推送位与抵达位之间的搬运操作，以上结构简单可靠，工作稳定性高且占用空能够减小。推送杆驱动单元432的设置提高了推送组件430的自动化程度，有助于减少操作人员的工作量。

进一步地，传送料框610为筒形件，传送料框610形成了第一料瓶容纳槽，且第一料瓶容纳槽的槽底贯通有料框开口611，第一料瓶容纳槽内搭设有角度定位架620，角度定位架620的底端凸设有角度定位托块622，角度定位架620的顶端凸设有角度定位块621，角度定位块621搭接于第一料瓶容纳槽的槽顶，角度定位托块622卡接于料框开口611，角度定位架620形成了第二料瓶容纳槽，料瓶单元630安装于第二料瓶容纳槽内。借助传送料框610、角度定位架620和料瓶单元630的分体设计，能够有效实现对料瓶单元630的位置限定，大幅简化了料瓶更换过程中的搬运步骤，预先对料瓶单元630的位置和角度进行了精细的调整，并由此实现料瓶单元630的高效且准确的上下料操作。

再进一步地，料瓶单元630包括料瓶本体632以及若干周向贴接于料瓶本体632外侧壁的料瓶导杆631，所有的料瓶导杆631均固接于料瓶托板633的一侧，料瓶托板633的另一侧设有托板凸块634，第二料瓶容纳槽的内壁转动设置有多个导向轮624，且导向轮624与料瓶导杆631滚动配合，托板凸块634穿过第二料瓶容纳槽的槽底。料瓶导杆631与导向轮624的滑动配合降低了将料瓶单元630从角度定位架620中取出的难度，同时也避免了料瓶单元630拖带出角度定位架620的情况，确保了对料瓶单元630的搬运工作能够顺利地完成。

具体地，角度定位架620还设有若干角度定位连接杆623，角度定位连接杆623的长度方向平行于角度定位架620的长度方向，导向轮624转动连接于角度定位连接杆623。

在本实施例中，隔断门装置300包括隔断门主体310和用于驱动隔断门主体310的隔断门驱动单元320，隔断门装置300能够在隔断门封闭状态与隔断门复位状态之间切换，处于隔断门封闭状态的隔断门装置300封闭料瓶避让口412，处于隔断门复位状态的隔断门装置300打开料瓶避让口412。料瓶避让口412和隔断门装置300的配合实现了料瓶防护壳640所在腔室与料瓶传送室520的选择性连通，保障了料瓶防护壳640所在腔室与料瓶传送室520的密封能力，有助于维持料瓶防护壳640所在腔室内的高真空状态，以保证基板治具上的基板的成膜质量，提升对基板治具上的基板的镀膜效率。

示例性地，料瓶储料室510与外部环境选择性连通，料瓶储料室510设有选择性开闭的料瓶加料口411，外部加料设备能从料瓶加料口411向料瓶储料室510内的料瓶单元630加料。选择性开闭的料瓶加料口411的设置实现了料瓶储料室510与外部环境的选择性连通，能够尽可能的减少料瓶储料室510与外部环境连通的时间，进而得以减少料瓶储料室510之内的破真空情况对料瓶防护壳640所在腔室和料瓶传送室520所造成的影响，降低因意外而导致料瓶防护壳640所在腔室内高真空状态改变的风险，从而得以更加有效地保障基板治具上的基板的成膜效果。

本实施例中，腔室分隔板210作为镀膜室的底板的一部分，料瓶防护壳640所在腔室即为镀膜室。料瓶防护壳640位于镀膜室内，料瓶更换模块400位于镀膜室外。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.蒸发装置，其特征在于，包括：

腔室分隔板(210)，所述腔室分隔板(210)的上板面固接有料瓶防护壳(640)，所述腔室分隔板(210)贯通有腔室开口(211)；

料瓶更换模块(400)，与所述料瓶防护壳(640)构成对应关系，所述料瓶更换模块(400)包括更换模块外壳(410)和隔断门装置(300)，形成了相连通的料瓶储料室(510)和料瓶传送室(520)，所述料瓶储料室(510)内设有搬运位，所述料瓶传送室(520)内设有推送位，所述料瓶传送室(520)通过料瓶避让口(412)与所述腔室开口(211)相连通，所述隔断门装置(300)选择性开闭所述料瓶避让口(412)；

所述料瓶储料室(510)内设有用于承载传送料框(610)的料瓶料盘(440)，所述传送料框(610)用于定位料瓶单元(630)，且所述料瓶料盘(440)能带动每个所述传送料框(610)经过所述搬运位；所述料瓶传送室(520)内设有搬运组件和推送组件(430)，所述搬运组件用于在所述搬运位与所述推送位之间搬运所述传送料框(610)，所述推送组件(430)用于在所述推送位与抵达位之间搬运所述料瓶单元(630)，位于所述抵达位的所述料瓶单元(630)穿设于对应的所述料瓶防护壳(640)。

2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述料瓶料盘(440)的边缘周向分布有多个用于卡接所述传送料框(610)的卡接槽(441)，所述料瓶料盘(440)能绕所述料瓶料盘(440)的轴线旋转，以带动所述传送料框(610)。

3.根据权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，所述料瓶更换模块(400)还包括料盘旋转驱动单元(450)和料盘升降驱动单元(460)，所述料盘旋转驱动单元(450)用于带动所述料瓶料盘(440)旋转，所述料盘升降驱动单元(460)用于驱动所述料瓶料盘(440)沿竖直方向在料盘旋转位置与料盘卸料位置之间升降。

4.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述搬运组件包括搬运直线模组(421)、模组驱动单元(422)和搬运叉(423)，所述搬运叉(423)滑设于直线模组(421)上，位于所述搬运位的所述传送料框(610)能卡装于所述搬运叉(423)上，所述模组驱动单元(422)用于驱动所述直线模组(421)带动所述搬运叉(423)，以使所述传送料框(610)在所述搬运位与所述推送位之间往复移动。

5.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述推送组件(430)包括料瓶推送杆(431)和推送杆驱动单元(432)，所述料瓶推送杆(431)上设有推送杆匹配槽(433)，所述推送杆匹配槽(433)能匹配插接于所述料瓶单元(630)底端的托板凸块(634)，所述推送杆驱动单元(432)用于驱动所述料瓶推送杆(431)带动所述料瓶单元(630)在所述推送位与所述抵达位之间往复移动。

6.根据权利要求5所述的蒸发装置，其特征在于，所述传送料框(610)为筒形件，所述传送料框(610)形成了第一料瓶容纳槽，且所述第一料瓶容纳槽的槽底贯通有料框开口(611)，所述第一料瓶容纳槽内搭设有角度定位架(620)，所述角度定位架(620)的底端凸设有角度定位托块(622)，所述角度定位架(620)的顶端凸设有角度定位块(621)，所述角度定位块(621)搭接于所述第一料瓶容纳槽的槽顶，所述角度定位托块(622)卡接于所述料框开口(611)，所述角度定位架(620)形成了第二料瓶容纳槽，所述料瓶单元(630)安装于所述第二料瓶容纳槽内。

7.根据权利要求6所述的蒸发装置，其特征在于，所述料瓶单元(630)包括料瓶本体(632)以及若干周向贴接于料瓶本体(632)外侧壁的料瓶导杆(631)，所有的所述料瓶导杆(631)均固接于料瓶托板(633)的一侧，料瓶托板(633)的另一侧设有所述托板凸块(634)，所述第二料瓶容纳槽的内壁转动设置有多个导向轮(624)，且所述导向轮(624)与所述料瓶导杆(631)滚动配合，所述托板凸块(634)穿过所述第二料瓶容纳槽的槽底。

8.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述隔断门装置(300)包括隔断门主体(310)和用于驱动所述隔断门主体(310)的隔断门驱动单元(320)，所述隔断门装置(300)能够在隔断门封闭状态与隔断门复位状态之间切换，处于所述隔断门封闭状态的隔断门装置(300)封闭所述料瓶避让口(412)，处于所述隔断门复位状态的隔断门装置(300)打开所述料瓶避让口(412)。

9.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述料瓶储料室(510)与外部环境选择性连通，所述料瓶储料室(510)设有选择性开闭的料瓶加料口(411)，外部加料设备能从所述料瓶加料口(411)向所述料瓶储料室(510)内的所述料瓶单元(630)加料。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的蒸发装置以及用于对基板治具进行镀膜的镀膜室，所述腔室分隔板(210)作为所述镀膜室的底板的一部分，所述料瓶防护壳(640)位于所述镀膜室内，所述料瓶更换模块(400)位于所述镀膜室外。