CN219917196U - 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 - Google Patents
一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219917196U CN219917196U CN202321205237.4U CN202321205237U CN219917196U CN 219917196 U CN219917196 U CN 219917196U CN 202321205237 U CN202321205237 U CN 202321205237U CN 219917196 U CN219917196 U CN 219917196U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air inlet
- annular air
- photovoltaic
- machine
- trough
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 title claims abstract description 67
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 title claims abstract description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 37
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 31
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims abstract description 19
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 3
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 241000197194 Bulla Species 0.000 claims 2
- 208000002352 blister Diseases 0.000 claims 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 4
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统，涉及光伏技术领域。该所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构；所述内部开槽的剖面尺寸大于所述环形进气槽的剖面尺寸。本实用新型提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗硅片。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统。
背景技术
光伏发电已成为绿色能源的主要能源之一，其相关技术飞速发展。在制作硅片的过程中需要通过光伏槽式设备进对硅片进行工艺清洗。
通常可以通过在光伏槽式设备的槽体内进行氮气鼓泡作业，鼓泡过程中增加药液的活性或增加水与硅片的接触，充分与均匀的鼓泡可很好的起到快速清洗硅片。目前，针对光伏槽式设备的鼓泡为槽体底部设置DN20PP管路，管路上进行开孔约1毫米孔径，氮气从管路一端进入，气体经过整个管路，从开孔处鼓出。
但是，目前的鼓泡方式气体需要开至较大压力时才能达到工艺效果，但是气体的压力和流量均达到较大值时，气泡均匀性很差，管路进气端气体较大，管路尾端气体很小，无法达到槽体均匀鼓泡功能，并且进气端较大气量鼓出造成槽内硅片飘出花篮，造成大量碎片与不良，以及进气尾端气体较小影响工艺清洗效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统，以保证清洗过程中的工艺效果和清洗效果。
第一方面，本实用新型提供一种光伏槽式机槽体鼓泡装置。该光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：
设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构。
采用上述技术方案时，本实用新型实施例提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置包括设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构，通过环形进气单元的内部开槽使得气体进入环形进气结构，在所述环形进气结构中进行鼓泡吹气过程，环形进气结构可以提升整槽气体鼓泡均匀性，使得在对待清洗硅片进行清洗的过程中，硅片可以达到受力均匀的状态，提高对硅片清洗的可靠性和稳定性。
在一些实施方式中，所述环形进气结构包括至少两个按照共同中心点间隔设置的环形进气槽，所述环形进气槽均与所述内部开槽连通；所述内部开槽的剖面尺寸大于所述环形进气槽的剖面尺寸，通过环形进气单元的内部开槽使得气体进入至少两个环形进气槽，在所述环形进气槽中进行鼓泡吹气过程，多个共同中心点间隔设置的环形进气槽可以提升整槽气体鼓泡均匀性。
在一些实施方式中，在所述环形进气单元为两个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部；在所述环形进气单元为六个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部，另外四个所述环形进气单元两两分别设置在所述清洗槽的槽体左右两侧。通过在清洗槽的底部及周围设置环形进气单元，可以提升整槽气体均匀性，提高硅片受力均匀性。
在一些实施方式中，所述环形进气单元为板式开槽环形进气单元，区别于传统的管式进气，板式开槽环形进气单元可以节约气体流量，进一步的提升气体分布均匀性。
在一些实施方式中，所述至少两个环形进气槽等间隔设置。在等间隔设置环形进气槽的情况下，可以保证气体均匀性，或所述至少两个环形进气槽从内到外按照间隔递增设置，可以提高气体均匀性。
在一些实施方式中，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：
与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的气体增压装置，以及与所述至少两个环形进气单元的所述环形进气结构的气孔出口连接的多方向喷出气嘴。可以通过气体增压装置增强鼓泡压力，通过多方向喷出气嘴增强气流的均匀性，以进一步的保证整槽气体均匀性。
在一些实施方式中，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：
与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的自动气体流量控制装置。可以通过自动气体流量控制装置实现气流的在线监测与控制，在节约成本的同时可以保证整槽气体的均匀性。
在一些实施方式中，所述环形进气单元的材质为聚丙烯、聚偏氟乙烯或金属喷氟材质中的任意一者。其中，使用金属喷氟材质制备得到的环形进气单元可以在保证对硅片的清洗效果的同时降低成本。
在一些实施方式中，在所述至少两个环形进气槽等间隔设置的情况下，所述内部开槽的剖面尺寸为5毫米，所述环形进气槽两两之间的间隔为5厘米，所述环形进气槽的剖面尺寸为2毫米。
第二方面，本实用新型提供一种光伏槽式机槽体鼓泡系统，包括第一方面所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置和硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗所述硅片。
第二方面提供的硅片的有益效果，可以参考第一方面或第一方面任一实现方式所描述的光伏槽式机槽体鼓泡装置的有益效果，在此不再赘言。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1示出了一种传统的鼓泡装置的结构示意图；
图2示出了本实用新型提供的一种光伏槽式机槽体鼓泡装置的结构示意图；
图3示出了本申请实施例提供的一种板式开槽环形进气单元的结构示意图。
附图标记：
01-DN20PP管路，A-清洗槽，10-环形进气单元，101-内部开槽，102-环形进气结构；K-环形进气槽。
具体实施方式
为了便于清楚描述本实用新型实施例的技术方案，在本实用新型的实施例中，采用了“第一”、“第二”等字样对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。本领域技术人员可以理解“第一”、“第二”等字样并不对数量和执行次序进行限定，并且“第一”、“第二”等字样也并不限定一定不同。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
需要说明的是，本实用新型中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本实用新型中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其他实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。
本实用新型中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项(个)，可以表示：a，b，c，a和b的结合，a和c的结合，b和c的结合，或a、b和c的结合，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。
图1示出了一种传统的鼓泡装置的结构示意图，如图1所示，底部设置DN20PP管路01，管路上进行开孔约1毫米孔径，氮气从管路01一端进入，气体经过整个DN20PP管路01，从开孔处鼓出。
但是，目前的鼓泡方式气体需要开至较大压力时才能达到工艺效果，但是气体的压力和流量均达到较大值时，气泡均匀性很差，管路进气端气体较大，管路尾端气体很小，无法达到槽体均匀鼓泡功能，并且进气端较大气量鼓出造成槽内硅片飘出花篮，造成大量碎片与不良，以及进气尾端气体较小影响工艺清洗效果。
为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供一种光伏槽式机槽体鼓泡装置。图2示出了本实用新型提供的一种光伏槽式机槽体鼓泡装置的结构示意图，如图2所示，用于清洗硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：
设置在所述光伏槽式机的清洗槽A内的至少两个环形进气单元10，其中，所述环形进气单元10包括内部开槽101，以及和所述内部开槽101连通设置的环形进气结构102。
综上所述，本实用新型实施例提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置包括设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构，可以保证通过环形进气单元的内部开槽使得气体进入环形进气结构，在所述环形进气结构中进行鼓泡吹气过程，环形进气结构可以提升整槽气体鼓泡均匀性，使得在对待清洗硅片进行清洗的过程中，硅片可以达到受力均匀的状态，提高对硅片清洗的可靠性和稳定性。
可选的，参见图2，所述环形进气结构102包括至少两个按照共同中心点间隔设置的环形进气槽K，所述环形进气槽K均与所述内部开槽101连通；
所述内部开槽101的剖面尺寸大于所述环形进气槽K的剖面尺寸，通过环形进气单元的内部开槽使得气体进入至少两个环形进气槽，在所述环形进气槽中进行鼓泡吹气过程，多个共同中心点间隔设置的环形进气槽可以提升整槽气体鼓泡均匀性。
其中，内部开槽的剖面可以是圆形，可以是菱形，还可以是方形，本申请实施例对内部开槽的剖面具体形状不作限定，同样，环形进气槽的剖面可以是圆形、菱形或方形，本申请实施例对环形进气槽的剖面具体形状不作限定。
进一步的，所述内部开槽的剖面形状和所述环形进气槽的剖面形状可以一致，也可以不一致，本申请实施例对此不作具体限定。
示例的，在内部开槽的剖面和环形进气槽的剖面均为圆形的情况下，内部开槽的直径大于环形进气槽的直径，所述内部开槽的剖面尺寸为5毫米，所述环形进气槽的剖面尺寸为2毫米，本申请实施例对内部开槽的剖面尺寸和环形进气槽的剖面尺寸均不作具体限定，可以根据实际应用场景做具体限定。
可选的，在所述环形进气单元为两个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部。在所述环形进气单元为六个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部，另外四个所述环形进气单元两两分别设置在所述清洗槽的槽体左右两侧。
示例的，参见图2，在环形进气单元10为六个时，两个所述环形进气单元10分别设置在清洗槽A的底部，另外四个(图中标号为c、d、e和f)所述环形进气单元10两两分别设置在所述清洗槽A的槽体左右两侧。通过在清洗槽的底部及周围设置环形进气单元，可以提升整槽气体均匀性，提高硅片受力均匀性。
可选的，所述环形进气单元为板式开槽环形进气单元，区别于传统的管式进气，板式开槽环形进气单元可以节约气体流量，进一步的提升气体分布均匀性。
所述至少两个环形进气槽等间隔设置，或所述至少两个环形进气槽从内到外按照间隔递增设置。
图3示出了本申请实施例提供的一种板式开槽环形进气单元的结构示意图，如图3所示，所述环形进气单元10包括内部开槽101，以及和所述内部开槽101连通设置的环形进气结构102。所述环形进气结构102包括至少两个按照共同中心点间隔设置的环形进气槽K，所述环形进气槽K均与所述内部开槽101连通，图3是在所述至少两个环形进气槽等间隔设置的情况下，所述环形进气槽K两两之间的间隔可以为5厘米，还可以为6厘米等，本申请实施例对具体间隔数值不作限定，可以根据实际应用场景做具体限定，在等间隔设置环形进气槽的情况下，可以保证气体均匀性。
可选的，所述至少两个环形进气槽从内到外按照间隔递增设置，可以提高气体均匀性，本申请实施例对间隔之间递增量不作具体限定，可以根据实际应用场景做具体限定。
可选的，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：
与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的气体增压装置，以及与所述至少两个环形进气单元的所述环形进气结构的气孔出口连接的多方向喷出气嘴，可以通过气体增压装置增强鼓泡压力，通过多方向喷出气嘴增强气流的均匀性，以进一步的保证整槽气体均匀性。
可选的，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的自动气体流量控制装置，可以通过自动气体流量控制装置实现气流的在线监测与控制，在节约成本的同时可以保证整槽气体的均匀性。
可选的，所述环形进气单元的材质为聚丙烯、聚偏氟乙烯或金属喷氟材质中的任意一者，其中，使用金属喷氟材质制备得到的环形进气单元可以在保证对硅片的清洗效果的同时降低成本。
表1示出了本实用新型所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置(图2)对应的性能参数和传统的鼓泡装置(图1)对应的性能参数：
表1
| 对比 | 气体流量 | 均匀性 | 水洗时间 | 碎片率 |
| 传统装置 | 1.2L/min | 较差 | 140S | 0.02％ |
| 本装置 | 0.7L/min | 良好 | 100S | 0.01％ |
通过表1可知，本实用新型提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置可以相比传统装置，可以在0.7升/分钟(L/min)的气体流量下，达到较好的气体均匀性，并且相比传统装置的水洗时间需要140秒，本实用新型的水洗时间可以降低至100秒，因此达到了节约水洗时间的效果，以及将碎片率从百分之0.02降低至0.01，也即是降低硅片的碎片率。
综上所述，本实用新型实施例提供的光伏槽式机槽体鼓泡装置包括设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构，通过环形进气单元的内部开槽使得气体进入环形进气结构，在所述环形进气结构中进行鼓泡吹气过程，环形进气结构可以提升整槽气体鼓泡均匀性，使得在对待清洗硅片进行清洗的过程中，硅片可以达到受力均匀的状态，提高对硅片清洗的可靠性和稳定性。
本实用新型实施例还提供一种光伏槽式机槽体鼓泡系统，本实用新型实施例所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置和硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗所述硅片。该光伏槽式机槽体鼓泡系统的有益效果可以参考上述光伏槽式机槽体鼓泡装置的有益效果，在此不再赘言。
尽管在此结合各实施例对本实用新型进行了描述，然而，在实施所要求保护的本实用新型过程中，本领域技术人员通过查看附图、公开内容、以及所附权利要求书，可理解并实现公开实施例的其他变化。在权利要求中，“包括”(comprising)一词不排除其他组成部分或步骤，“一”或“一个”不排除多个的情况。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施，但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。
尽管结合具体特征及其实施例对本实用新型进行了描述，显而易见的，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可对其进行各种修改和组合。相应地，本说明书和附图仅仅是所附权利要求所界定的本实用新型的示例性说明，且视为已覆盖本实用新型范围内的任意和所有修改、变化、组合或等同物。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，用于清洗硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置包括：
设置在所述光伏槽式机的清洗槽内的至少两个环形进气单元，其中，所述环形进气单元包括内部开槽，以及和所述内部开槽连通设置的环形进气结构。
2.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述环形进气结构包括至少两个按照共同中心点间隔设置的环形进气槽，所述环形进气槽均与所述内部开槽连通；
所述内部开槽的剖面尺寸大于所述环形进气槽的剖面尺寸。
3.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，在所述环形进气单元为两个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部；
在所述环形进气单元为六个时，两个所述环形进气单元分别设置在所述清洗槽的槽体底部，另外四个所述环形进气单元两两分别设置在所述清洗槽的槽体左右两侧。
4.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述环形进气单元为板式开槽环形进气单元。
5.根据权利要求2所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述至少两个环形进气槽等间隔设置，或所述至少两个环形进气槽从内到外按照间隔递增设置。
6.根据权利要求1所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：
与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的气体增压装置，以及与所述至少两个环形进气单元的所述环形进气结构的气孔出口连接的多方向喷出气嘴。
7.根据权利要求6所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置还包括：
与所述至少两个环形进气单元的所述内部开槽的入气端连接的自动气体流量控制装置。
8.根据权利要求1～7任一项所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，所述环形进气单元的材质为聚丙烯、聚偏氟乙烯或金属喷氟材质中的任意一者。
9.根据权利要求5所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置，其特征在于，在所述至少两个环形进气槽等间隔设置的情况下，所述内部开槽的剖面尺寸为5毫米，所述环形进气槽两两之间的间隔为5厘米，所述环形进气槽的剖面尺寸为2毫米。
10.一种光伏槽式机槽体鼓泡系统，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的光伏槽式机槽体鼓泡装置和硅片，所述光伏槽式机槽体鼓泡装置用于清洗所述硅片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321205237.4U CN219917196U (zh) | 2023-05-16 | 2023-05-16 | 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321205237.4U CN219917196U (zh) | 2023-05-16 | 2023-05-16 | 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219917196U true CN219917196U (zh) | 2023-10-27 |
Family
ID=88441083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321205237.4U Active CN219917196U (zh) | 2023-05-16 | 2023-05-16 | 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219917196U (zh) |
-
2023
- 2023-05-16 CN CN202321205237.4U patent/CN219917196U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20100297535A1 (en) | Novel design of fuel cell bipolar for optimal uniform delivery of reactant gases and efficient water removal | |
| CN105760611A (zh) | 一种低压均匀喷洒喷头空间流道的优化设计方法 | |
| JP2009117824A (ja) | 基板処理装置及びその製造方法 | |
| CN219917196U (zh) | 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统 | |
| CN217289474U (zh) | 清洗装置和清洗系统 | |
| CN204230280U (zh) | 一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统 | |
| CN202167467U (zh) | 一种用于太阳能电池喷淋扩散的尾气装置 | |
| CN209626246U (zh) | 匀流装置 | |
| CN209266366U (zh) | 硅片清洗装置 | |
| CN103730393A (zh) | 一种等离子体刻蚀设备进气装置 | |
| CN216149461U (zh) | 均流装置及湿法清洗设备 | |
| CN115463876B (zh) | 碳化硅晶片单面清洗机和碳化硅晶片的清洗方法 | |
| CN211256156U (zh) | 一种改善均匀性的扩散炉进气装置 | |
| CN115986258A (zh) | 一种液冷系统及电池包 | |
| CN210805808U (zh) | 一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽 | |
| CN217768317U (zh) | 一种制绒石英舟以及制绒槽 | |
| CN203049035U (zh) | 提升pecvd镀膜均匀性的装置 | |
| CN221385968U (zh) | 液体混合结构及晶圆清洗装置 | |
| CN205974684U (zh) | 自行车管件清洗池 | |
| CN221259293U (zh) | 硅片用烘干槽 | |
| CN105070921A (zh) | 一种流场梯级分布的一体化燃料电池电极及其制备方法 | |
| CN216563040U (zh) | 一种晶圆干燥装置 | |
| CN218262738U (zh) | 一种特气气路结构 | |
| CN221008894U (zh) | 一种多区域气体通道系统及反应离子刻蚀设备 | |
| CN210151226U (zh) | 铜电解短路铜棒冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |