CN217768317U - 一种制绒石英舟以及制绒槽 - Google Patents

一种制绒石英舟以及制绒槽 Download PDF

Info

Publication number
CN217768317U
CN217768317U CN202221576884.1U CN202221576884U CN217768317U CN 217768317 U CN217768317 U CN 217768317U CN 202221576884 U CN202221576884 U CN 202221576884U CN 217768317 U CN217768317 U CN 217768317U
Authority
CN
China
Prior art keywords
texturing
limiting ring
ring
quartz boat
limiting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202221576884.1U
Other languages
English (en)
Inventor
周公庆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tongwei Solar Meishan Co Ltd
Original Assignee
Tongwei Solar Meishan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tongwei Solar Meishan Co Ltd filed Critical Tongwei Solar Meishan Co Ltd
Priority to CN202221576884.1U priority Critical patent/CN217768317U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN217768317U publication Critical patent/CN217768317U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本申请提供一种制绒石英舟以及制绒槽,属于太阳能电池制造领域。制绒石英舟包括一个或多个横截面呈同心圆环分布的限位组件,每个限位组件包括第一限位环、第二限位环以及压片件;第二限位环沿第一限位环的径向与第一限位环间隔设置,且第二限位环位于第一限位环外侧,第一限位环和第二限位环被配置为能够相互配合且对硅片的两侧边缘进行卡接;在第一限位环的径向上,压片件设置在第一限位环和第二限位环之间,用于压紧硅片的顶部,该制绒石英舟能够提高制绒槽的空间利用率以及产能,且还能够在一定程度上解决制绒液浪费严重以及制绒效果差的问题。

Description

一种制绒石英舟以及制绒槽
技术领域
本申请涉及太阳能电池制造领域,具体而言,涉及一种制绒石英舟以及制绒槽。
背景技术
现有技术中,太阳能电池制绒工艺需要使用到制绒槽,但是,现有制绒槽由于使用水平形式的制绒石英舟,再加上制绒石英舟与制绒槽的匹配度较低,导致制绒槽内部的空间利用率以及产能较低;此外,由于制绒槽的空间利用较低,使得在制绒工艺中需要使用到大量的制绒液来填充空余部位,导致制绒液浪费严重;同时,由于制绒液本身的挥发,使得制绒液的浓度存在较大波动,导致制绒均匀性也受到影响。
实用新型内容
本申请的目的在于提供一种制绒石英舟以及制绒槽,能够提高制绒槽的空间利用率以及产能,且还能够在一定程度上解决制绒液浪费严重以及制绒效果差的问题。
本申请的实施例是这样实现的:
第一方面,本申请实施例提供一种制绒石英舟,包括一个或多个横截面呈同心圆环分布的限位组件,每个限位组件包括第一限位环、第二限位环以及压片件;第二限位环沿第一限位环的径向与第一限位环间隔设置,且第二限位环位于第一限位环外侧,第一限位环和第二限位环被配置为能够相互配合且对硅片的两侧边缘进行卡接;在第一限位环的径向上,压片件设置在第一限位环和第二限位环之间,用于压紧硅片的顶部。
上述技术方案中,每个限位组件包括第一限位环、第二限位环以及压片件,其中,第一限位环和第二限位环用于相互配合卡接硅片的两侧边缘,压片件用于压紧硅片的顶部,避免硅片在制绒液中上浮,从而保证制绒效果。再者,由于第一限位环和第二限位环均为环状(即石英舟为圆环状),使得硅片在石英舟中呈发散状分布,相较于传统的石英舟(即硅片呈水平分布),在石英舟的空间占位相同的情况下,能够提高石英舟的硅片容量,从而提高制绒槽的空间利用率以及产能。
此外,相较于传统石英舟,由于圆环状的制绒石英舟的硅片处理容量较高,在制绒液的用量相同的情况下,其能够处理的硅片数量更多,使得制绒液得到更充分地利用,相当于提高了制绒液的利用率;同时,由于圆环状的制绒石英舟的硅片处理容量较高,使得在处理相同数量的硅片时,所需制绒槽的体积越小,这在一定程度上减少了制绒液的挥发(槽体小,制绒液与空气接触的面积减小,从而减少制绒液挥发),从而保证制绒液的浓度处于相对稳定的状态,进而保证制绒均匀性。
再者,当制绒石英舟存在多个限位组件时,其对应的硅片处理容量将得到大幅提升,从而进一步提高制绒槽的空间利用率以及产能。
在一些可选的实施方案中,每个限位组件中,在制绒石英舟的高度方向上,第一限位环设置有多个,第二限位环设置有多个。
上述技术方案中,第一限位环和第二限位环均设置有多个,使得硅片两侧的固定位点更多,从而能够加强限位组件对硅片的固定稳定性。
在一些可选的实施方案中,在第一限位环的径向上,多个第一限位环和多个第二限位环一一对应。
上述技术方案中,将多个第一限位环和多个第二限位环设置为在第一限位环的径向上一一对应,该设置使得硅片在同一高度上的两侧受力点对称分布,使得硅片两侧受力较为对称,从而能够进一步加强限位组件对硅片的固定稳定性。
在一些可选的实施方案中,制绒石英舟还包括第三限位环以及连接件,在第一限位环的径向上,第三限位环位于第一限位环和第二限位环之间,第三限位环被配置为能够支撑硅片的底部;连接件将第一限位环、第三限位环和第二限位环依次连接。
上述技术方案中,制绒石英舟还包括第三限位环以及连接件,其中,第三限位环被配置为能够支撑硅片的底部,该设置能够使得硅片底部仅有小部分与制绒槽的底部接触,相较于硅片的底部整个与制绒槽的底部接触的形式,能够使得硅片的底部与制绒液的接触更加充分,从而保证制绒效果;此外,连接件将第一限位环、第三限位环和第二限位环依次连接,使得制绒石英舟为一个独立的整体,相较于制绒石英舟固定在制绒槽内壁上的形式,能够提高制绒石英舟的兼容性(即可以在任意一个制绒槽中进行使用)。
在一些可选的实施方案中,在第一限位环的径向上,第三限位环间隔设置有多个。
上述技术方案中,第三限位环间隔设置有多个,能够进一步提高限位组件对硅片底部的固定稳定性。
在一些可选的实施方案中,压片件沿第一限位环的周向呈圆环设置。
上述技术方案中,压片件沿第一限位环的周向呈圆环设置,该设置使得压片件的形状和第一限位环以及第二限位环的形状均较为一致,便于进行工艺制备;同时,该形状的压片件和硅片的分布形式也较为契合,从而能够更方便地压紧硅片的顶部。
在一些可选的实施方案中,压片件设置有多个,且多个压片件沿第一限位环的径向间隔分布。
上述技术方案中,压片件设置有多个且沿第一限位环的径向间隔分布,该设置使得硅片的顶部的受力点更多,从而能够加强限位组件对硅片顶部的压紧效果;此外,多个压片件同时存在还能减小单个压片件对硅片顶部的压力,从而能够有效避免对硅片造成损伤。
第二方面,本申请实施例提供一种制绒槽,制绒槽的制绒腔室内设有如第一方面实施例提供的制绒石英舟。
上述技术方案中,制绒槽的制绒腔室内设有如第一方面实施例提供的制绒石英舟,相较于传统的石英舟(即硅片呈水平分布),在石英舟的空间占位相同的情况下,能够提高石英舟的硅片容量,从而提高制绒槽的空间利用率以及产能。
此外,相较于传统石英舟,由于圆环状的制绒石英舟的硅片处理容量较高,在制绒液的用量相同的情况下,其能够处理的硅片数量更多,使得制绒液得到更充分地利用,相当于提高了制绒液的利用率;同时,由于圆环状的制绒石英舟的硅片处理容量较高,使得在处理相同数量的硅片时,所需制绒槽的体积越小,这在一定程度上减少了制绒液的挥发(槽体小,制绒液与空气接触的面积减小,从而减少制绒液挥发),从而保证制绒液的浓度处于相对稳定的状态,进而保证制绒均匀性。
再者,当制绒石英舟存在多个限位组件时,其对应的硅片处理容量将得到大幅提升,从而进一步提高制绒槽的空间利用率以及产能。
在一些可选的实施方案中,制绒腔室包括第一环形腔室、第二环形腔室以及循环管路。第一环形腔室用于容纳制绒石英舟,且第一环形腔室的侧壁开设有多个孔洞;第二环形腔室位于第一环形腔室的外侧,第二环形腔室用于容纳制绒液;循环管路被配置为能够驱动制绒液通过多个孔洞在第一环形腔室和第二环形腔室之间进行循环。
上述技术方案中,制绒腔室包括第一环形腔室、第二环形腔室以及循环管路,其中,第一环形腔室用于容纳制绒石英舟,多个孔洞用于通过制绒液;第二环形腔室用于容纳制绒液;循环管路被配置为能够驱动制绒液通过多个孔洞在第一环形腔室和第二环形腔室之间进行循环,由于制绒液处于循环流动的状态,相较于制绒液处于静止的状态,能够保证制绒槽内的各个部位的制绒液的浓度较为均匀,从而能够提高制绒均匀性。
在一些可选的实施方案中,多个孔洞沿第一环形腔室的周向呈阵列分布。
上述技术方案中,将多个孔洞设置为沿第一环形腔室的周向呈阵列分布,该设置使得孔洞的分布较为均匀,从而能够使得硅片与制绒液的接触更加均匀,从而能够进一步提高制绒均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例提供的一种制绒石英舟的结构示意图;
图2为图1中的I处的剖视示意图;
图3为本申请实施例提供的另一种制绒石英舟的局部剖视示意图;
图4为本申请实施例提供的又一种制绒石英舟的局部剖视示意图;
图5为本申请实施例提供的一种制绒槽的结构示意图;
图6为图5中的II处的剖视示意图。
图标:10-制绒石英舟;100-限位组件;110-第一限位环;120-第二限位环;130-压片件;140-第三限位环;150-连接件;1-制绒槽;20-第一环形腔室;200-孔洞;30-第二环形腔室。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“水平”、“垂直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
现有技术中,太阳能电池制绒工艺需要使用到制绒槽,但是,现有制绒槽存在制绒槽的空间利用率以及产能较低、制绒液浪费严重以及制绒效果差的问题。
发明人研究发现,通过对制绒石英舟的结构进行优化,即将制绒石英舟设置为圆环形,使得其中的硅片呈发散状分布,能够提高石英舟的硅片容量,从而提高制绒槽的空间利用率以及产能,且还能够在一定程度上解决制绒液浪费严重以及制绒效果差的问题。
参阅图1和图2,第一方面,本申请实施例提供一种制绒石英舟10,包括一个或多个横截面呈同心圆环分布的限位组件100,每个限位组件100包括第一限位环110、第二限位环120以及压片件130;第二限位环120沿第一限位环110的径向与第一限位环110间隔设置,且第二限位环120位于第一限位环110外侧,第一限位环110和第二限位环120被配置为能够相互配合且对硅片的两侧边缘进行卡接;在第一限位环110的径向上,压片件130设置在第一限位环110和第二限位环120之间,用于压紧硅片的顶部。
本申请中,每个限位组件100包括第一限位环110、第二限位环120以及压片件130,其中,第一限位环110和第二限位环120用于相互配合卡接硅片的两侧边缘,压片件130用于压紧硅片的顶部,避免硅片在制绒液中上浮,从而保证制绒效果。再者,由于第一限位环110和第二限位环120均为环状(即石英舟为圆环状),使得硅片在石英舟中呈发散状分布,相较于传统的石英舟(即硅片呈水平分布),在石英舟的空间占位相同的情况下,能够提高石英舟的硅片容量,从而提高制绒槽的空间利用率以及产能。
此外,相较于传统石英舟,由于圆环状的制绒石英舟10的硅片处理容量较高,在制绒液的用量相同的情况下,其能够处理的硅片数量更多,使得制绒液得到更充分地利用,相当于提高了制绒液的利用率;同时,由于圆环状的制绒石英舟10的硅片处理容量较高,使得在处理相同数量的硅片时,所需制绒槽1的体积越小,这在一定程度上减少了制绒液的挥发(槽体小,制绒液与空气接触的面积减小,从而减少制绒液挥发),从而保证制绒液的浓度处于相对稳定的状态,进而保证制绒均匀性。
再者,当制绒石英舟10存在多个限位组件100时,其对应的硅片处理容量将得到大幅提升,从而进一步提高制绒槽1的空间利用率以及产能。
需要说明的是,当限位组件100仅包括第一限位环110和第二限位环120时,只需要将第一限位环110和第二限位环120连接在制绒槽1的槽体内壁上即可用于硅片制绒,此时,硅片的底部直接整个与制绒槽1的底部抵接。
需要注意的是,第一限位环110和第二限位环120对硅片两侧的固定形式不做限定。
作为一种示例,第一限位环110的外壁沿第一限位环110的周向设置有多个第一限位槽,第二限位环120的内壁沿第二限位环120的周向设置有多个与第一限位槽对应的第二限位槽,第一限位槽和第二限位槽用于相互配合卡接硅片的两侧边缘(即通过设置限位槽的方式来对硅片两侧进行固定)。
需要注意的是,位于内侧的限位组件100和位于外侧的限位组件100的硅片处理容量不做具体限定,可以将二者的处理容量设置为相同的形式,也可以在保证位于二者内的硅片的间距相同的情况下,根据二者的周长比例关系来进行设置。
参阅图3,作为一种示例,每个限位组件100中,在制绒石英舟10的高度方向上,第一限位环110设置有多个,第二限位环120设置有多个。
该实施方式中,第一限位环110和第二限位环120均设置有多个,使得硅片两侧的固定位点更多,从而能够加强限位组件100对硅片的固定稳定性。
作为一种示例,在第一限位环110的径向上,多个第一限位环110和多个第二限位环120一一对应。
该实施方式中,将多个第一限位环110和多个第二限位环120设置为在第一限位环110的径向上一一对应,该设置使得硅片在同一高度上的两侧受力点对称分布,使得硅片两侧受力较为对称,从而能够进一步加强限位组件100对硅片的固定稳定性。
需要说明的是,“一一对应”指的是在第一限位环110的径向上相对分布的两个第一限位环110到制绒石英舟10的底部的距离相同,即二者处于同一水平高度。
需要注意的是,当限位组件100为多个时,多个限位组件100的分布形式不做限定,可以将多个限位组件100设置为间隔分布的形式,也可以将多个限位组件100设置为并排连接分布的形式。
作为一种示例,在第一限位环110的径向上,多个限位组件100并排连接分布,也就是说,任意相邻的两个限位组件100之间是相互连接的。
需要说明的是,在第一限位环110的径向上,任意相邻的两个限位组件100之间的连接方式不限,可以是二者之间通过相互靠近的限位环进行直接连接,也可以在二者相互靠近的限位环之间设置连接件,还可以是二者相互靠近的一侧共用同一个限位环。
参阅图4,作为一种示例,在第一限位环110的径向上,任意相邻的两个限位组件100之间相互靠近的一侧共用一个限位环,也就是说,位于内侧的限位组件100的外圈(第二限位环120)同时也是位于外侧的限位组件100的内圈(第一限位环110)。
参阅图1,作为一种示例,制绒石英舟10还包括第三限位环140以及连接件150,在第一限位环110的径向上,第三限位环140位于第一限位环110和第二限位环120之间,第三限位环140被配置为能够支撑硅片的底部;连接件150将第一限位环110、第三限位环140和第二限位环120依次连接。
该实施方式中,制绒石英舟10还包括第三限位环140以及连接件150,其中,第三限位环140被配置为能够支撑硅片的底部,该设置能够使得硅片底部仅有小部分与制绒槽1的底部接触,相较于硅片的底部整个与制绒槽1的底部接触的形式,能够使得硅片的底部与制绒液的接触更加充分,从而保证制绒效果;此外,连接件150将第一限位环110、第三限位环140和第二限位环120依次连接,使得制绒石英舟10为一个独立的整体,相较于制绒石英舟10固定在制绒槽1内壁上的形式,能够提高制绒石英舟10的兼容性(即可以在任意一个制绒槽1中进行使用)。
作为一种示例,在第一限位环110的径向上,第三限位环140间隔设置有多个。
该实施方式中,第三限位环140间隔设置有多个,能够进一步提高限位组件100对硅片底部的固定稳定性。
需要注意的是,压片件130的具体形式不做限定。
作为一种示例,压片件130沿第一限位环110的周向呈圆环设置。
该实施方式中,压片件130沿第一限位环110的周向呈圆环设置,该设置使得压片件130的形状和第一限位环110以及第二限位环120的形状均较为一致,便于进行工艺制备;同时,该形状的压片件130和硅片的分布形式也较为契合,从而能够更方便地压紧硅片的顶部。
作为一种示例,压片件130设置有多个,且多个压片件130沿第一限位环110的径向间隔分布。
该实施方式中,压片件130设置有多个且沿第一限位环110的径向间隔分布,该设置使得硅片的顶部的受力点更多,从而能够加强限位组件100对硅片的顶部的压紧效果,此外,多个压片件130同时存在还能减小单个压片件对硅片顶部的压力,从而能够有效避免对硅片造成损伤。
需要注意的是,制绒石英舟10的应用领域不做具体限定,不仅可以用于硅片制绒工艺,还可以用于硅片清洗工艺。
参阅图5,第二方面,本申请实施例提供一种制绒槽1,制绒槽1的制绒腔室内设有如第一方面实施例提供的制绒石英舟10。
该实施方式中,制绒槽1的制绒腔室内设有如第一方面实施例提供的制绒石英舟10,相较于传统的石英舟(即硅片呈水平分布),在石英舟的空间占位相同的情况下,能够提高石英舟的硅片容量,从而提高制绒槽的空间利用率以及产能。
此外,相较于传统石英舟,由于圆环状的制绒石英舟10的硅片处理容量较高,在制绒液的用量相同的情况下,其能够处理的硅片数量更多,使得制绒液得到更充分地利用,相当于提高了制绒液的利用率;同时,由于圆环状的制绒石英舟10的硅片处理容量较高,使得在处理相同数量的硅片时,所需制绒槽1的体积越小,这在一定程度上减少了制绒液的挥发(槽体小,制绒液与空气接触的面积减小,从而减少制绒液挥发),从而保证制绒液的浓度处于相对稳定的状态,进而保证制绒均匀性。
再者,当制绒石英舟10存在多个限位组件100时,其对应的硅片处理容量将得到大幅提升,从而进一步提高制绒槽1的空间利用率以及产能。
需要注意的是,考虑到制绒液的流动顺畅性,可以对连接件150的形式进行调整。
参阅图6,作为一种示例,连接件150的底部设置有多个支架。
该实施方式中,连接件150的底部设置有多个支架,该设置使得制绒石英舟10的底部与制绒槽1的底部存在一定的间隙,从而便于制绒液的流通。
参阅图6,作为一种示例,制绒腔室包括第一环形腔室20、第二环形腔室30以及循环管路(图中未示出)。第一环形腔室20用于容纳制绒石英舟10,且第一环形腔室20的侧壁开设有多个孔洞200;第二环形腔室30位于第一环形腔室20的外侧,第二环形腔室30用于容纳制绒液;循环管路被配置为能够驱动制绒液通过多个孔洞200在第一环形腔室20和第二环形腔室30之间进行循环。
该实施方式中,制绒腔室包括第一环形腔室20、第二环形腔室30以及循环管路,其中,第一环形腔室20用于容纳制绒石英舟10,多个孔洞200用于通过制绒液;第二环形腔室30用于容纳制绒液;循环管路被配置为能够驱动制绒液通过多个孔洞200在第一环形腔室20和第二环形腔室30之间进行循环,由于制绒液处于循环流动的状态,相较于制绒液处于静止的状态,能够保证制绒槽1内的各个部位的制绒液的浓度较为均匀,从而能够提高制绒均匀性。
需要注意的是,循环管路的形式不做具体限定,可以按照本领域的常规选择进行设置,只要能够实现制绒液的循环即可。
作为一种示例,循环管路包括水泵以及将第一环形腔室20和第二环形腔室30连通的水管。
需要注意的是,多个孔洞200的分布形式不做具体限定。
作为一种示例,多个孔洞200沿第一环形腔室20的周向呈阵列分布。
该实施方式中,将多个孔洞200设置为沿第一环形腔室20的周向呈阵列分布,该设置使得孔洞200的分布较为均匀,从而能够使得硅片与制绒液的接触更加均匀,从而能够进一步提高制绒均匀性。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种制绒石英舟,其特征在于,包括:
一个或多个横截面呈同心圆环分布的限位组件,每个所述限位组件包括第一限位环、第二限位环以及压片件;所述第二限位环沿所述第一限位环的径向与所述第一限位环间隔设置,且所述第二限位环位于所述第一限位环外侧,所述第一限位环和所述第二限位环被配置为能够相互配合且对硅片的两侧边缘进行卡接;在所述第一限位环的径向上,所述压片件设置在所述第一限位环和所述第二限位环之间,用于压紧所述硅片的顶部。
2.根据权利要求1所述的制绒石英舟,其特征在于,每个所述限位组件中,在所述制绒石英舟的高度方向上,所述第一限位环设置有多个,所述第二限位环设置有多个。
3.根据权利要求2所述的制绒石英舟,其特征在于,在所述第一限位环的径向上,多个所述第一限位环和多个所述第二限位环一一对应。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的制绒石英舟,其特征在于,所述制绒石英舟还包括第三限位环以及连接件,在所述第一限位环的径向上,所述第三限位环位于所述第一限位环和所述第二限位环之间,所述第三限位环被配置为能够支撑所述硅片的底部;所述连接件将所述第一限位环、第三限位环和所述第二限位环依次连接。
5.根据权利要求4所述的制绒石英舟,其特征在于,在所述第一限位环的径向上,所述第三限位环间隔设置有多个。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的制绒石英舟,其特征在于,所述压片件沿所述第一限位环的周向呈圆环设置。
7.根据权利要求5所述的制绒石英舟,其特征在于,所述压片件设置有多个,且多个所述压片件沿所述第一限位环的径向间隔分布。
8.一种制绒槽,其特征在于,所述制绒槽的制绒腔室内设有如权利要求1~7中任一项所述的制绒石英舟。
9.根据权利要求8所述的制绒槽,其特征在于,所述制绒腔室包括:
第一环形腔室,所述第一环形腔室用于容纳所述制绒石英舟,且所述第一环形腔室的侧壁开设有多个孔洞;
第二环形腔室,所述第二环形腔室位于所述第一环形腔室的外侧,所述第二环形腔室用于容纳制绒液;以及
循环管路,所述循环管路被配置为能够驱动所述制绒液通过多个所述孔洞在所述第一环形腔室和所述第二环形腔室之间进行循环。
10.根据权利要求9所述的制绒槽,其特征在于,多个所述孔洞沿所述第一环形腔室的周向且呈阵列分布。
CN202221576884.1U 2022-06-22 2022-06-22 一种制绒石英舟以及制绒槽 Active CN217768317U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202221576884.1U CN217768317U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 一种制绒石英舟以及制绒槽

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202221576884.1U CN217768317U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 一种制绒石英舟以及制绒槽

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN217768317U true CN217768317U (zh) 2022-11-08

Family

ID=83893992

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202221576884.1U Active CN217768317U (zh) 2022-06-22 2022-06-22 一种制绒石英舟以及制绒槽

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN217768317U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100372095C (zh) 冷却装置
CN217768317U (zh) 一种制绒石英舟以及制绒槽
CN113097106A (zh) 半导体设备及半导体腔室
CN210805808U (zh) 一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽
CN216528965U (zh) 边框结构及具有该结构的电化学电池装置
CN215521947U (zh) 纱杆密封装置以及染色用纱笼设备
CN210607207U (zh) 一种扩散石英舟
CN114725424A (zh) 一种燃料电池径向流场结构
CN211507588U (zh) 一种磷硼扩散石英舟
CN219917196U (zh) 一种光伏槽式机槽体鼓泡装置及系统
CN213936213U (zh) 反应槽
CN215496651U (zh) 一种磷扩散硅舟
KR101967495B1 (ko) 듀얼 페이즈 세정 챔버 및 어셈블리
CN214551242U (zh) 一种降膜分布器及降膜蒸发器
CN218910544U (zh) 一种具有辐射型流场流道的电解水极板
CN213141528U (zh) 一种聚乙烯盘式微孔曝气器
CN218785454U (zh) 碳化硅双面研磨载具和双面研磨设备
CN220090604U (zh) 一种新型过滤网结构及具有其的电热开水瓶
CN218954241U (zh) 一种循环管、循环管组件以及刻蚀设备
CN214681645U (zh) 一种新型表面活性剂制备用冷却装置
CN216213511U (zh) 一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路
CN215136946U (zh) 一种降膜蒸发器布膜器
CN215299197U (zh) 一种用于晶圆载物台的降温装置
CN215975200U (zh) 一种刚玉曝气器
CN218209032U (zh) 一种流量控制部件和控制装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant