CN215299197U - 一种用于晶圆载物台的降温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于晶圆载物台的降温装置，包括：水箱和机台，所述水箱设置在机台一侧，所述机台上开有载物槽，所述载物槽内设有晶圆载物台，所述晶圆载物台上设有冷却盘，所述冷却盘连接水箱，相较现有的自然冷却需3‑4小时，本实用新型通过将水箱内的水供给冷却盘，实现冷却盘对晶圆载物台的降温，加快晶圆载物台降温速度，晶圆载物台从125℃降至常温23℃，大概只需要几十甚至十几分钟，大大提高了机器的利用率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种降温装置，尤其是涉及一种用于晶圆载物台的降温装置。
背景技术
晶圆测试分为高温，低温，常温测试。对一些只有高温的探针台，晶圆载物台降温是采取自然降温的方式。一般高温125℃降至常温23℃，需要3-4小时，这时候机台无法使用，效率极其低下。
因此，为了提高晶圆载物台的使用效率，有必要研发一种可快速降低晶圆载物台温度的降温装置。
实用新型内容
本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于晶圆载物台的降温装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于晶圆载物台的降温装置，包括：水箱和机台，所述水箱设置在机台一侧，所述机台上开有载物槽，所述载物槽内设有晶圆载物台，所述晶圆载物台上设有冷却盘，所述冷却盘连接水箱。
在本实用新型的一个实施例中，所述冷却盘进水口通过进水管、水泵连接水箱，出水口通过出水管连接水箱。
在本实用新型的一个实施例中，所述冷却盘大于晶圆载物台。
在本实用新型的一个实施例中，所述冷却盘和晶圆载物台均为圆形，所述冷却盘的直径为320mm，所述晶圆载物台的直径为300mm。
在本实用新型的一个实施例中，所述冷却盘的进水口和出水口间的盘管呈S型设置。
在本实用新型的一个实施例中，所述水箱底部或外壁上包设有降温介质。
在本实用新型的一个实施例中，所述水箱设置在可移动装置上。。
本实用新型的有益效果是：相较现有的自然冷却需3-4小时，本实用新型通过将水箱内的水供给冷却盘，实现冷却盘对晶圆载物台的降温，加快晶圆载物台降温速度，晶圆载物台从125℃降至常温23℃，大概只需要几十甚至十几分钟，大大提高了机器的利用率。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
图2是冷却盘结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
如图1和图2所示一种用于晶圆载物台的降温装置，包括：水箱100和机台200，所述水箱100设置在机台200一侧，所述机台200上开有载物槽300，所述载物槽300内设有晶圆载物台，所述晶圆载物台上设有冷却盘400，所述冷却盘400连接水箱100。
相较现有的自然冷却需3-4小时，本实用新型通过将水箱内的水供给冷却盘，实现冷却盘对晶圆载物台的降温，加快晶圆载物台降温速度，晶圆载物台从125℃降至常温23℃，大概只需要几十甚至十几分钟，大大提高了机器的利用率。
为了提高降温速度，提升降温效果，冷却盘400进水口通过进水管101、水泵102连接水箱100，出水口通过出水管103连接水箱100；即水泵101实现将水箱内的水提升至冷却盘上，进水管、出水管和水箱间形成一个回来，实现水资源的重复再利用，节约资源。
为了保证冷却盘的降温效果，冷却盘400大于晶圆载物台；具体地，冷却盘400和晶圆载物台均为圆形，冷却盘400的直径为320mm，晶圆载物台的直径为300mm，即冷却盘400将晶圆载物台全部覆盖，提高对晶圆载物台的降温速度。
为了增加冷盘盘内的水与晶圆载物台的接触面积和接触时间，提高降温效率和提升降温效果，冷却盘的进水口和出水口间的盘管呈S型设置。
水箱底部或外壁上包设有降温介质，使得水箱内的水温不至于过高，保证冷却盘对晶圆载物台的降温效果。在对晶圆载物台降温完成后，为了方便将水箱移至其他位置，不影响晶圆载物台的使用，水箱100设置在可移动装置上，省时省力，提高水箱、进出水管和冷却盘的移动速度。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
综上所述，虽然本实用新型已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本实用新型，本领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本实用新型的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (7)
1.一种用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，包括：水箱和机台，所述水箱设置在机台一侧，所述机台上开有载物槽，所述载物槽内设有晶圆载物台，所述晶圆载物台上设有冷却盘，所述冷却盘连接水箱。
2.根据权利要求1所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述冷却盘进水口通过进水管、水泵连接水箱，出水口通过出水管连接水箱。
3.根据权利要求1所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述冷却盘大于晶圆载物台。
4.根据权利要求3所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述冷却盘和晶圆载物台均为圆形，所述冷却盘的直径为320mm，所述晶圆载物台的直径为300mm。
5.根据权利要求2所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述冷却盘的进水口和出水口间的盘管呈S型设置。
6.根据权利要求1所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述水箱底部或外壁上包设有降温介质。
7.根据权利要求1-6任一权利要求所述用于晶圆载物台的降温装置，其特征在于，所述水箱设置在可移动装置上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202121305763.9U CN215299197U (zh) | 2021-06-10 | 2021-06-10 | 一种用于晶圆载物台的降温装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202121305763.9U CN215299197U (zh) | 2021-06-10 | 2021-06-10 | 一种用于晶圆载物台的降温装置 |
Publications (1)
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| CN215299197U true CN215299197U (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=79515672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202121305763.9U Active CN215299197U (zh) | 2021-06-10 | 2021-06-10 | 一种用于晶圆载物台的降温装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215299197U (zh) |
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2021
- 2021-06-10 CN CN202121305763.9U patent/CN215299197U/zh active Active
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