CN221385968U - 液体混合结构及晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种液体混合结构及晶圆清洗装置，液体混合结构内形成有用于供第一溶液流动的第一管道、用于供第二溶液流动的第二管道和用于供第一溶液与第二溶液混合后的混合溶液流动的第三管道，第一管道用于向第三管道提供第一溶液，第二管道用于向第三管道提供第二溶液；第一管道和第三管道均沿液体混合结构的轴向延伸设置，且第一管道的排出口与第三管道的入口相对且间隔设置，第二管道的排出口朝向第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间隙。本实用新型实施例的液体混合结构可以提高两种溶液(第一溶液和第二溶液)汇合时的接触面积，进而改善两种溶液混合时的混合均匀性，提高制备混合溶液的效率。

Description

液体混合结构及晶圆清洗装置

技术领域

本公开的实施例涉及但不限于半导体领域，具体地，涉及一种液体混合结构及晶圆清洗装置。

背景技术

在半导体加工过程中，每道工序后需要利用晶圆清洗装置对晶圆进行清洗，去除晶圆表面在产生过程中残留的各类杂质，以便顺利进行下一道工序。晶圆清洗装置会利用混合药液对晶圆进行清洗，由于配置好的混合药液不能长时间存放，且仅能使用一次，因此该混合药液只能在使用时进行实时混合。

该混合药液在使用时要求混合后的混合药液浓度在设定范围内，当浓度超标后需要立即排出，不能用于晶圆清洗，因此对药液混合的均匀性提出了相当高的要求，否则当设备长期生产出不符合配合比的药液不但浪费原始未混合的溶液同时也降低了混合溶液的生产效率。

相关技术中利用三通接头作为溶液混合的混合结构，使得两种溶液在三通接头内部进行混合。但是由于三通接头本身的结构限制，两种溶液汇合时的接触面积较小，这会影响两种溶液混合的均匀性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种液体混合结构及晶圆清洗装置，可以增大待混合的两种溶液在汇合处的接触面积，解决了相关技术中两种溶液之间汇合面积过小导致的混合不均匀问题。

为实现本实用新型的目的而提供一种液体混合结构，用于将第一溶液和第二溶液混合并排出，液体混合结构内形成有用于供第一溶液流动的第一管道、用于供第二溶液流动的第二管道和用于供第一溶液与第二溶液混合后的混合溶液流动的第三管道，第一管道用于向第三管道提供第一溶液，第二管道用于向第三管道提供第二溶液；第一管道和第三管道均沿液体混合结构的轴向延伸设置，且第一管道的排出口与第三管道的入口相对且间隔设置，第二管道的排出口朝向第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间隙。

在一些实施例中，第二管道包括相连通的第一子管道和第二子管道，第二子管道套设于第一管道的外侧，且第二子管道的横截面为环形；第二子管道的排出口朝向第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间隙。

在一些实施例中，第一子管道的轴线垂直于第一管道的轴线，第一子管道的内径小于第一管道的内径。

在一些实施例中，第一管道的内径与第一子管道的内径之比大于或等于2∶1。

在一些实施例中，第二子管道的轴向长度大于或等于110mm，且小于或等于170mm。

在一些实施例中，第二子管道与第一管道之间设置有过渡管道，过渡管道与第一管道的轴线之间的夹角为锐角。

在一些实施例中，第一子管道包括相连通的第一管段和第二管段，第二管段的另一端连通于第二子管道；其中，第一管段的内径小于第二管段的内径。

在一些实施例中，第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间距小于或等于5mm。

在一些实施例中，液体混合结构的材质为可熔性聚四氟乙烯。

本实用新型的还提供一种晶圆清洗装置，包括上述的液体混合结构，液体混合结构用于向晶圆表面提供清洗溶液，清洗溶液由第一溶液和第二溶液以预定比例混合而成。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型实施例的液体混合结构，第一溶液在第一管道内流动，第二溶液在第二管道内流动，且第一溶液和第二溶液均流向第三管道并在第三管道内混合成混合溶液，由于第二管道的排出口朝向第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间隙，故而第一溶液和第二溶液在上述间隙汇合接触，第一溶液和第二溶液汇合时的接触面积即为，以第一管道内壁周长为长、以第一管道的排出口和第三管道的入口之间的间距为宽得到的面积(长×宽＝面积)。本实施例中第一溶液和第二溶液汇合时的接触面积大于相较于现有技术中两种溶液(第一溶液和第二溶液)汇合时的接触面积，进而改善了两种溶液混合时的混合均匀性，还提高了制备混合溶液的效率。

通过阅读本申请的说明书、权利要求书及附图，将清楚本实用新型的其他目的和特征。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是相关技术中液体混合系统的流程示意图。

图2是相关技术中三通接头的结构性示意图。

图3是相关技术中三通接头内两种溶剂在汇合处接触的示意图。

图4是本实用新型实施方式的液体混合结构的剖视图。

图5是本实用新型实施方式的液体混合结构的结构性示意图。

图6是图5中液体混合结构的局部剖视图。

图7是本实用新型实施方式的液体混合结构内两种溶剂在汇合处接触的示意图。以及

图8是本实用新型实施方式的液体混合结构的局部图。

主要元件符号说明：

1、三通接头；2、第一溶液入口；3、混合溶液出口；4、第二溶液入口；5、第一溶液管道；6、第二溶液管道；7、缓冲罐；8、泵；

9、阀；10、阀；13、阀；14、阀；11、混合罐；12、浓度分析仪；

10、液体混合结构；

100、第一管道； 110、入口； 120、排出口；

200、第二管道；210、入口；220、排出口；

230、第一子管道；231、第一管段；232、第二管段；240、第二子管道；

300、第三管道；310、入口；320、排出口；

400、间隙。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

图1是相关技术中液体混合系统的流程示意图。参见图1，用于晶圆清洗的混合药液需要在使用时进行实时混合。缓冲罐7内存储着获取的第一溶液。当需要将第一溶液和水(其中水为第二溶液)混合成混合药液时，水通过流量控制器接入，第一溶液则通过泵8接入，第一溶液和第二溶液在三通接头1处进行混合接触。由于在第一溶液和第二溶液混合刚开始时，第一溶液和第二溶液的流速均处于不稳定阶段，故而导致三通接头排出的混合溶液的比例(第二溶液为水，故混合溶液的比例也可以理解为混合溶液的浓度)不符合标准目标值。因此，在混合刚开始时，打开阀9，关闭阀10，将三通接头1排出的混合溶液直接排出液体混合系统，而不是送入晶圆的表面。当第一溶液和第二溶液的流速稳定后，关闭阀9，打开阀10，将三通接头1排出的混合溶液导向混合罐11。当混合罐11内的混合溶液的液位达到预设目标液位后，将混合罐11内的混合溶液送入晶圆表面，以利用混合溶液清洗晶圆。在混合溶液的输送路径上，还设置有浓度分析仪12，浓度分析仪12用于实时检测混合溶液的浓度是否符合标准目标值，当符合标准目标值时，阀13打开，阀14关闭，混合溶液能够顺利送到晶圆的表面；当不符合标准目标值时，阀13关闭，阀14打开，将混合溶液直接排出液体混合系统。

液体混合系统向晶圆表面提供混合溶液，以清洗晶圆表面时，混合罐11内混合溶液的液位在不断下降。当混合罐11内混合溶液的液位下降至预设最低液位时，需要在三通接头1处混合第一溶液和第二溶液，并将混合后的混合溶液导入混合罐11内，直至混合罐11内的混合溶液的液位达到预设目标液位。在整个混合以及导入过程中，需要在三通接头1内进行第一溶液和第二溶液的混合，而不能向混合罐11内先注入第一溶液或第二溶液的其中一者，再注入另一者，这样会导致混合罐11内混合溶液的浓度发生剧烈变化，使得浓度分析仪12检测得到的混合溶液的浓度一直不符合标准目标值。一旦混合溶液的浓度不符合标准目标值时，阀13关闭，阀14打开，将混合溶液直接排出液体混合系统，导致无法正常向晶圆表面提供混合溶液，影响清洗效率。

图2是相关技术中三通接头的结构性示意图。参见图2，相关技术中的三通接头1一般包括相交的第一溶液管道5和第二溶液管道6，第一溶液管道5的两端分别为第一溶液入口2和混合溶液出口3。第二溶液管道6的一端为第二溶液入口4，另一端连通第一溶液管道5。第一溶液从第一溶液入口2流入第一溶液管道5，第二溶液从第二溶液入口4流入第二溶液管道6，再流向第一溶液管道5并与第一溶液在第一溶液管道5内混合。

图3是相关技术中三通接头内两种溶剂在汇合处接触的示意图。参见图3，相关技术中利用三通接头1作为第一溶液和第二溶液混合的汇合处，使得两种溶液在三通接头1内部进行混合。一般而言，三通接头1中第一溶液管道5和第二溶液管道6的内径相同，导致第一溶液管道5和第二溶液管道6的连接处正好在第一溶液管道5周向上的一半使得两种溶液汇合时的接触面积较小，这会影响两种溶液混合的均匀性。

相关技术中三通接头1在混合第一溶液和第二溶液时的混合不均匀性，在第一溶液和第二溶液的混合比较高的情况下更为突出。第一溶液和第二溶液若是以1∶1至5∶1的混合比混合形成混合溶液，第一溶液和第二溶液的流速可以设置得较高以提高混合溶液的制备效率。但是一旦第一溶液和第二溶液的混合比高于10∶1时，第一溶液和第二溶液的流速相差较大，为了保证第一溶液和第二溶液的混合比，可以使第一溶液在第一溶液管道5中的流速正常，第二溶液在在第二溶液管道6中的流速会成倍减小，这会导致第一溶液在第一溶液管道5中的流体压力远大于第二溶液在第二溶液管道6中的流体压力，进而第二溶液和第一溶液在较小的接触面积汇合时更难混合均匀。

为了解决相关技术中存在的上述技术问题，本实用新型实施例提出一种液体混合结构10，该液体混合结构10用于将第一溶液和第二溶液混合并排出。本实施例的液体混合结构10可以增大待混合的两种溶液在汇合处的接触面积，解决了相关技术中两种溶液之间汇合面积过小导致的混合不均匀问题。

图4是本实用新型实施方式的液体混合结构10的剖视图。图5是本实用新型实施方式的液体混合结构10的结构性示意图。图6是图5中液体混合结构10的局部剖视图。参见图4至图6，液体混合结构10内形成有第一管道100、第二管道200和第三管道300。其中，第一管道100、第二管道200和第三管道300连通设置。

第一管道100用于供第一溶液流动，第一管道100具有入口110和排出口120，第一溶液从第一管道100的入口110流入，并从第一管道100的排出口120流出。

第二管道200用于供第二溶液流动，第二管道200具有入口210和排出口220，第二溶液从第二管道200的入口210流入，并从第二管道200的排出口220流出。

第三管道300用于供第一溶液与第二溶液混合后的混合溶液流动，第三管道300具有入口310和排出口320，第一溶液和第二溶液均从第三管道300的入口310流入，混合溶液从第三管道300的排出口320流出。

第一管道100用于向第三管道300提供第一溶液，第二管道200用于向第三管道300提供第二溶液。

第一管道100和第三管道300均沿液体混合结构10的轴向延伸设置，第一管道100的轴线与第三管道300的轴向同轴设置。在一些实施例中，第一管道100和第三管道300均为圆管，且第一管道100和第三管道300的内径相同或是不同。当然了，第一管道100和第三管道300也可以为方管、或其他形状的管道，在此并不进行具体限定。

第一管道100的排出口120与第三管道300的入口310相对且间隔设置，换句话说，第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间形成有间隙400，第一溶液可以流出第一管道100的排出口120后流向该间隙400，并通过该间隙400流向第三管道300。第二管道200的排出口220朝向第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间隙，第二溶液可以流出第二管道200的排出口220后流向该间隙400，并通过该间隙400流向第三管道300。

可以理解的是，第一溶液和第二溶液在该间隙400处汇合。

图7是本实用新型实施方式的液体混合结构10内两种溶剂在汇合处接触的示意图。参见图7，本实用新型实施例中的液体混合结构10，第二溶液与第一溶液的接触面积为，以第一管道100内壁周长为长、以第一管道100的排出口120和第三管道300的入口210之间的间距为宽得到的面积(长×宽＝面积)，大于相关技术中第二溶液与第一溶液的接触面积(最大为本实施例接触面积的的1/2，具体参见图3)，解决了相关技术中两种溶液之间汇合处的接触面积过小导致的混合不均匀问题。

需要说明的是，第一溶液和第二溶液以预设比例混合时，其中比例较大的从第一管道100的入口110流入第一管道100，其中比例较小的从第二管道200的入口210流入第二管道200。例如，第一溶液和第二溶液的预设混合比例为12∶1，则第一溶液从入口110流入第一管道100再流向第三管道300，第二溶液从入口210流入第二管道200再流向第三管道300。其中第一溶液和第二溶液在混合比例确定的情况下，流过的入口和管道不能改变，即上述实施中第一溶液只能从入口110流入第一管道100，第二溶液只能从入口210流入第二管道200，以使小比例的第二溶液流向大比例的第一溶液，进一步提高两种溶液混合的均匀性。其中，第一溶液可以为水，第二溶液可以为氢氟酸，预设比例为200∶1，混合形成DHF。

本实用新型实施例的液体混合结构10，第一溶液在第一管道100内流动，第二溶液通过第二管道200流向与第一管道100同轴设置的第三管道300，并且第二溶液与第一溶液在第三管道300内混合，其中第一溶液和第二溶液汇合时的位置时第一管道100和第二管道200之间的间隙400，相较于现有技术增大了两种溶液(第一溶液和第二溶液)汇合时的接触面积，进而改善了两种溶液的混合均匀性，还提高了制备混合溶液的效率。

相关技术中的三通接头1为了可以在第一溶液和第二溶液的混合比高于10∶1时提高第一溶液和第二溶液混合的均匀性，一般会降低两种溶液的流速，也就降低了制备混合溶液的效率。本实用新型实施例中的液体混合结构10则无需降低第一溶液和第二溶液的流速，就可以使得混合溶液混合均匀，一定程度上比相关技术制备混合溶液的效率高。

优选的，第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距小于或等于5mm。可以理解的是，第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距会影响第一溶液和第二溶液汇合时的接触面积，第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距越大则第一溶液和第二汇合时的接触面积越大，但是第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距过大也会带来第一溶液倒流向第一管道的风险，故而考虑到这两个方面，本实施例中第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距小于或等于5mm，其中第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距大于或等于2mm。

参见图4，第二管道200包括相连通的第一子管道230和第二子管道240，第一子管道230和第二子管道240之间可以为焊接或是一体成型结构。具体的，第二子管道240套设于第一管道100的外侧，且第二子管道的横截面为环形。

第二溶液从第一子管道230的入口流入第二管道200，可以理解为第一子管道230的入口就是第二管道200的入口210。第二子管道240的排出口朝向第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间隙400。第二溶液从第二管道200的入口210流向第三管道300时，依次经过第一子管道230和第二子管道240。

参见图4，第一子管道230的轴线垂直于第一管道100的轴线，第一子管道230的内径小于第一管道100的内径。

第一管道100的内径与第一子管道230的内径之比与第一溶液和第二溶液之间的混合比有关。本实施例的混合溶液中第一溶液的比例大于第二溶液的比例，为了实现上述混合比且提高制备混合溶液的效率，第一管道100的内径与第一子管道230的内径之比可以大于或等于2∶1。

一般而言，第一溶液为水，第二溶液为化学试剂，为了避免化学试剂堆积在第二子管道240的内壁，第二子管道240的轴向长度一般不会超过170mm；再加上太短的第二子管道240会增加制造难度，本实施例中第二子管道240的轴向长度大于或等于110mm，且小于或等于170mm。

第二子管道240与第一管道100之间设置有过渡管道，可以理解的是，过渡管道与第二子管道240之间可以为焊接或一体成型结构。过渡管道可以为弧形管，以连接第二子管道240、第一管道100和第三管道300。其中，过渡管道与第一管道100的轴线之间的夹角为锐角，图8是本实用新型实施方式的液体混合结构10的局部图，参见图8，α表示过渡管道与第一管道100的轴线之间的夹角，其中0°﹤α﹤90°。相较于相关技术中的三通接头1中第二溶液以近乎直角的路径流向第一溶液，本实用新型实施例中的液体混合结构10可以减小第二溶液流向第一溶液的阻力，使得第二溶液更容易与第一溶液混合均匀，进一步提高第一溶液和第二溶液在液体混合结构10内混合的混合均匀性。

参见图4，第一子管道230包括相连通的第一管段231和第二管段232，第二管段232的连接通于第二子管道240。第一子管道230中的第二溶液流向第二子管道240后，第二溶液的流动空间从内径较小的圆柱状空间转变为内径较大的环形柱状空间，流动空间的体积变化较大，为了减小第二溶液在第一子管道230内的流速和第二溶液在第二子管道240内的流速之间的差值，可以将第一管段231的内径设置为小于第二管段232的内径，以使得第二溶液的流动空间逐渐增大，避免第二溶液流速突变影响流动。

作为本实用新型实施例的其中一种，液体混合结构10的材质为可熔性聚四氟乙烯。

本实用新型实施例还提出一种晶圆清洗装置，晶圆清洗装置可以向晶圆表面提供用于清洁的清洗溶液。晶圆清洗装置可以包括上述实施例的液体混合结构10，液体混合结构10用于向晶圆表面提供清洗溶液，清洗溶液由第一溶液和第二溶液以预定比例混合而成，其中预定比例可以为1∶1、或5∶1、或10∶1、或15∶1，可以理解的是，本实施例中的液体混合结构10可以混合其他实施例的第一溶液和第二溶液，且混合均匀。

本实用新型实施例的晶圆清洗装置，可以高效率地向晶圆的表面提供清洗溶液。第一溶液在第一管道100内流动，第二溶液在第二管道200内流动，且第一溶液和第二溶液均流向第三管道300并在第三管道300内混合成混合溶液，由于第二管道200的排出口220朝向第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间隙400，故而第一溶液和第二溶液在上述间隙400汇合接触，第一溶液和第二溶液汇合时的接触面积即为，以第一管道内壁周长为长、以第一管道100的排出口120和第三管道300的入口310之间的间距为宽得到的面积(长×宽＝面积)。本实施例中第一溶液和第二溶液汇合时的接触面积大于相较于现有技术中两种溶液(第一溶液和第二溶液)汇合时的接触面积，进而改善了两种溶液混合时的混合均匀性，还提高了制备混合溶液的效率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种液体混合结构，用于将第一溶液和第二溶液混合并排出，其特征在于，所述液体混合结构内形成有用于供所述第一溶液流动的第一管道、用于供所述第二溶液流动的第二管道和用于供所述第一溶液与所述第二溶液混合后的混合溶液流动的第三管道，所述第一管道用于向所述第三管道提供所述第一溶液，所述第二管道用于向所述第三管道提供所述第二溶液；

所述第一管道和所述第三管道均沿所述液体混合结构的轴向延伸设置，且所述第一管道的排出口与所述第三管道的入口相对且间隔设置，所述第二管道的排出口朝向所述第一管道的排出口和所述第三管道的入口之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的液体混合结构，其特征在于，所述第二管道包括相连通的第一子管道和第二子管道，所述第二子管道套设于所述第一管道的外侧，且所述第二子管道的横截面为环形；

所述第二子管道的排出口朝向所述第一管道的排出口和所述第三管道的入口之间的间隙。

3.根据权利要求2所述的液体混合结构，其特征在于，所述第一子管道的轴线垂直于所述第一管道的轴线，所述第一子管道的内径小于所述第一管道的内径。

4.根据权利要求2或3所述的液体混合结构，其特征在于，所述第一管道的内径与所述第一子管道的内径之比大于或等于2∶1。

5.根据权利要求2或3所述的液体混合结构，其特征在于，所述第二子管道的轴向长度大于或等于110mm，且小于或等于170mm。

6.根据权利要求2所述的液体混合结构，其特征在于，所述第二子管道与所述第一管道之间设置有过渡管道，所述过渡管道与所述第一管道的轴线之间的夹角为锐角。

7.根据权利要求2所述的液体混合结构，其特征在于，所述第一子管道包括相连通的第一管段和第二管段，所述第二管段的另一端连通于所述第二子管道；

其中，所述第一管段的内径小于所述第二管段的内径。

8.根据权利要求1所述的液体混合结构，其特征在于，所述第一管道的排出口和所述第三管道的入口之间的间距小于或等于5mm。

9.根据权利要求1所述的液体混合结构，其特征在于，所述液体混合结构的材质为可熔性聚四氟乙烯。

10.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的液体混合结构，所述液体混合结构用于向晶圆表面提供清洗溶液，所述清洗溶液由所述第一溶液和所述第二溶液以预定比例混合而成。