CN219884773U - 一种使基板传送平台水平变倾斜的机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与承载架的一侧相铰接，在承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，基板传送平台的另一侧搭载在支撑柱上，承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动基板传送平台上下移动；还包括支撑结构，支撑结构固定装配在基板垂直升降机构的框架上，当承载架带动基板传送平台下移至预设高度时，搭载在支撑柱处的基板传送平台会接触支撑结构，通过支撑结构阻碍其下移，随着承载架的继续下移，基板传送平台变成倾斜状态。上述使基板传送平台水平变倾斜的机构能提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程。
Description
技术领域
本实用新型涉及基板搬送技术领域，尤其涉及一种使基板传送平台水平变倾斜的机构。
背景技术
在液晶面板和半导体生产行业中，为了节省设备的占地空间，一般将设备设计成上下两层结构，使用同一个机械手将基板从上层放入，从下层取出，针对大尺寸的基板，在下层工艺单元一般是要求基本倾斜传送，搭载基板的基板传送平台从设备的基板垂直升降机构中的上层下降到下层的时候，需要由水平状态变为倾斜状态，以便将基板变成倾斜的状态。
如图1所示，现有的使基板传送平台水平变倾斜的机构包括承载架2，基板传送平台1的一侧与所述承载架2的一侧相铰接，在所述承载架2的另一侧上间隔的设有若干支撑柱3，所述基板传送平台1的另一侧搭载在所述支撑柱3上，在所述承载架2中靠近所述支撑柱3的位置处设有固定框5，所述固定框5内装配有顶升气缸6(或者伺服电缸)，所述顶升气缸6的活动端与所述基板传送平台1相连接，在所述承载架2上还设有缓冲器7，所述承载架2的两侧分别与对应的升降滑块座4相连接，在所述基板垂直升降机构的作用下，所述升降滑块座4带动所述承载架2上下移动，在下移的过程中，所述顶升气缸6将基板传送平台1顶起至预设的倾斜角度。
上述使基板传送平台水平变倾斜的机构存在以下不足：(1)由于顶升气缸的设置，使得重量较大，这会使所述基板垂直升降机构中驱动垂直升降用的伺服电机的容量变大，而且还会提高制造成本；(2)水平变倾斜过程中，由于设备的运行和顶升气缸6的运动，以及顶升气缸6支撑杆等原因，基板传送平台1会产生一点晃动，这对于设备长期使用会造成一定损伤；(3)由于基板传送平台1需要倾斜一定的角度，调节顶升气缸6的位置和行程很浪费时间，并且需要反复的测试，作业繁琐。
实用新型内容
为了解决现有技术中存在的问题，本申请提出了一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，以便提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程。
为了实现上述目的，本申请提出了一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与所述承载架的一侧相铰接，在所述承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，所述基板传送平台的另一侧搭载在所述支撑柱上，所述承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动所述基板传送平台上下移动；所述使基板传送平台水平变倾斜的机构还包括支撑结构，所述支撑结构固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，当所述承载架带动所述基板传送平台下移至预设高度时，搭载在所述支撑柱处的基板传送平台会接触所述支撑结构，通过所述支撑结构阻碍其下移，随着所述承载架的继续下移，所述基板传送平台变成倾斜状态。
在一些实施例中，包括至少两个支撑结构，所有支撑结构间隔的装配在所述基板垂直升降机构的框架上。
在一些实施例中，所述支撑结构包括固定在所述基板垂直升降机构的框架上的支撑架，所述支撑架上设有转轴，所述转轴上设有滚轮或者轴承，所述滚轮或者轴承用于与所述基板传送平台相接触。
在一些实施例中，在所述承载架上还设有缓冲器。
本申请的该方案的有益效果在于上述使基板传送平台水平变倾斜的机构能够提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，尽量避免所述基板传送平台出现晃动，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程，还能够降低所述基板垂直升降机构中驱动垂直升降用的伺服电机的载荷。
附图说明
图1示出了现有技术中使基板传送平台水平变倾斜的机构的结构示意图，其中(a)为立体结构示意图，(b)为主视结构示意图。
图2示出了实施例中使基板传送平台水平变倾斜的机构装配在基板垂直升降机构上的示意图。
图3示出了在使基板传送平台水平变倾斜的机构的作用下，基板传送平台在下降的过程中由水平状态变成倾斜状态的示意图。
附图标记：1-基板传送平台，2-承载架，3-支撑柱，4-升降滑块座，5-固定框，6-顶升气缸，7-缓冲器，8-铰接结构，9-支撑结构，10-支撑架，11-转轴，12-滚轮，A-基板垂直升降机构，B-基板。
具体实施方式
下面结合附图对本申请的具体实施方式作进一步的说明。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
如图2所示，本申请所涉及的使基板传送平台水平变倾斜的机构包括承载架2，基板传送平台1的一侧与所述承载架2的一侧相铰接，在所述承载架2的另一侧上间隔的设有若干支撑柱3，所述基板传送平台1的另一侧搭载在所述支撑柱3上，在所述承载架2上还可以设有缓冲器，所述承载架2受控于所述基板垂直升降机构能够垂直升降，例如，所述承载架2的两侧分别与对应的升降滑块座4相连接，在所述基板垂直升降机构的作用下，所述升降滑块座4带动所述承载架2上下移动，进而带动所述基板传送平台1上下移动；所述使基板传送平台水平变倾斜的机构还包括支撑结构9，所述支撑结构9固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，在本实施例中，包括至少两个支撑结构9，所有支撑结构9间隔的装配在所述基板垂直升降机构的框架上，当所述承载架2带动所述基板传送平台1下移至预设高度时，搭载在所述支撑柱3处的基板传送平台1会接触所述支撑结构9，通过所述支撑结构9阻碍其下移，随着所述承载架2的继续下移，所述基板传送平台1变成倾斜状态。本申请所涉及的基板垂直升降机构A、以及基板传送平台1为现有技术中的已知机构，在此不做更详尽的结构描述。
在本实施例中，所述基板传送平台1的一侧与所述承载架2的一侧通过至少两个铰接结构8相铰接，具体的，所述铰接结构8包括设置在所述承载架2上的一个第一铰接板、间隔的设置在所述基板传送平台1上的两个第二铰接板，且所述第一铰接板处在两个第二铰接板之间，通过铰接轴将三个铰接板连接起来。
所述支撑结构9包括固定在所述基板垂直升降机构的框架上的支撑架10，所述支撑架10上设有转轴11，所述转轴11上设有滚轮12(或者轴承)，所述滚轮12用于与所述基板传送平台1相接触。所述滚轮12会在所述基板传送平台1变倾斜的过程中旋转，这样便不会对基板传送平台1产生磨损，降低杂质和灰尘的产生。
在具体的使用过程中，如图3所示，所述使基板传送平台水平变倾斜的机构初始位置在设备的上方空间，需要将基板B运送至下层时，所述承载架2受控于所述基板垂直升降机构垂直下降，当所述基板传送平台1垂直下降到预设高度时，搭载在所述支撑柱3处的基板传送平台1会接触所述支撑结构9，由于所述支撑结构9固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，不会移动，因此所述支撑结构9会阻碍基板传送平台1下移，随着所述承载架2的继续下移，由于所述基板传送平台1的一侧与所述承载架2的一侧相铰接，因此所述基板传送平台1会绕着铰接位置转动形成倾斜状态，当所述承载架2下移至预设位置时，所述基板传送平台1倾斜至预设角度。当基板B完成传送后，所述使基板传送平台水平变倾斜的机构的可移动部分(承载架2等结构)连同所述基板传送平台1会移动到设备上方初始位置等待，从设备的下层往上升至一定高度后，所述基板传送平台1会在重力作用下下落至承载架2的支撑柱3上，因为在所述承载架2上设置缓冲器，所以不会对承载架2造成冲击和损伤。
本申请所涉及的使基板传送平台水平变倾斜的机构能够提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，尽量避免所述基板传送平台出现晃动，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程，还能够降低所述基板垂直升降机构中驱动垂直升降用的伺服电机的载荷。
以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本申请的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与所述承载架的一侧相铰接，在所述承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，所述基板传送平台的另一侧搭载在所述支撑柱上，所述承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动所述基板传送平台上下移动；其特征在于：还包括支撑结构，所述支撑结构固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，当所述承载架带动所述基板传送平台下移至预设高度时，搭载在所述支撑柱处的基板传送平台会接触所述支撑结构，通过所述支撑结构阻碍其下移，随着所述承载架的继续下移，所述基板传送平台变成倾斜状态。
2.根据权利要求1所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：包括至少两个支撑结构，所有支撑结构间隔的装配在所述基板垂直升降机构的框架上。
3.根据权利要求2所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：所述支撑结构包括固定在所述基板垂直升降机构的框架上的支撑架，所述支撑架上设有转轴，所述转轴上设有滚轮或者轴承，所述滚轮或者轴承用于与所述基板传送平台相接触。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：在所述承载架上还设有缓冲器。
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2023
- 2023-05-12 CN CN202321137135.3U patent/CN219884773U/zh active Active
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