CN219840779U - 一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，包括底板，所述底板的上表面固定连接有若干支撑柱，所述支撑柱的上端固定连接有泵体，所述泵体内部两侧均设有密封腔，所述密封腔的内壁设有卡槽，所述卡槽的内壁滑动连接有隔膜组件，所述隔膜组件由隔膜组件外壳和隔膜片固定连接组成，所述隔膜片的侧表面和连接杆的两端均固定连接有固定片，两个所述固定片的侧表面均开设有若干螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺栓，所述底板的下表面转动连接有万向轮；通过上述结构，使隔膜组件能够进行更换，以应对不同的液体传输。

Description

一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵

技术领域

本实用新型涉及输送泵技术领域，特别涉及一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵。

背景技术

气动隔膜泵是一种使用压缩空气作为动力源的泵，对于各种腐蚀性液体，带颗粒的液体，高粘度、易挥发、易燃、剧毒的液体，均能予以抽光吸尽，这种泵的主要特点是不需灌引水，既能抽送流动的液体，又能输送一些有颗粒的流体介质，在不断工作的过程中，隔膜起到隔离中间体的作用，使得中间体内的部件免受化学介质液体的侵蚀，隔膜为最易受损的部位，一旦隔膜损坏，化学介质液体便会侵蚀中间体的部分，使得泵体无法继续工作，造成整体泵的工作寿命短。

现有技术中，经过检索，发现中国专利公开了“气动隔膜泵”，其申请号为“CN201920766639.9”，该专利主要通过转动螺纹改变下护块和上护块距离连杆轴的距离，间接增加连杆轴的长度，增加连杆轴单次运动隔膜泵的流量，从而改变隔膜泵单位时间内的总流量；限位组件对下护块和上护块距离连杆轴的距离进行限位，防止出现螺纹杆与连杆轴连接的长度过短而不稳定的情况。

但是气动隔膜泵在使用的过程中，该装置并没有对隔膜进行保护措施，一旦隔膜损坏，化学介质液体便会侵蚀中间体的部分，使得泵体无法继续工作，在现有技术中，通常使用带有防护夹层的隔膜，但是仍然会有不可避免的损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，能够通过卡槽与隔膜组件滑动连接，使隔膜组件在损坏后能够进行更换，同时隔膜组件由隔膜片和隔膜组件外壳组成，在更换隔膜组件的同时也能够更换相应的隔膜片，以用于不同的液体传输。

为实现上述目的，提供一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，包括底板，所述底板的上表面固定连接有若干支撑柱，所述支撑柱的上端固定连接有泵体，所述泵体内设有管道，所述管道的下端表面贯穿连接有流体入口，所述管道的上端表面贯穿连接有流体出口，所述管道的内壁固定连接有若干限位块，所述管道的内壁设置有若干阀球，所述管道的内壁设置有若干阀口，所述泵体内部两侧均设有密封腔，两侧所述密封腔的内壁均设有进气口，两侧所述密封腔的内壁均设有出气口，所述密封腔的内壁设有卡槽，所述卡槽的内壁滑动连接有隔膜组件，所述隔膜组件由隔膜组件外壳和隔膜片固定连接组成，所述隔膜片的侧表面和连接杆的两端均固定连接有固定片，两个所述固定片的侧表面均开设有若干螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺栓，所述进气口和出气口的外口处均设有若干电子气阀，所述泵体的外表面固定连接有增压泵，所述增压泵的输出端和进气口的外口固定连接。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述管道贯穿泵体的内外壁。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述流体出口和流体入口均贯穿管道的管壁。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述阀口的口径略小于阀球的口径，所述管道中段的内壁口径略小于阀球的口径。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述隔膜组件外壳的外表面与卡槽的内壁滑动连接。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述底板的下表面转动连接有万向轮。

根据所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，所述密封腔与卡槽均呈圆柱体状。

本实用新型具有如下有益效果：

1、与现有技术相比，该一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，能够通过设置有卡槽与隔膜组件滑动连接，使隔膜组件能够进行更换，以应对不同的液体传输，同时隔膜组件与连接杆通过固定片和螺栓固定连接，拆卸、更换快捷方便。

2、与现有技术相比，该一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，通过在泵体的下方设置有万向轮，使整体装置能够进行移动，在特殊情况下能够更换位置，方便运输。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；

图1为本实用新型一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵的泵体剖面结构示意图；

图3为本实用新型一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵的图2中A处的放大结构示意图；

图4为本实用新型一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵的隔膜组件结构示意图。

图例说明：

1、底板；2、支撑柱；3、泵体；4、管道；5、流体入口；6、流体出口；7、限位块；8、阀球；9、阀口；10、进气口；11、出气口；12、连接杆；13、密封腔；14、隔膜组件；15、卡槽；16、隔膜组件外壳；17、隔膜片；18、固定片；19、螺纹孔；20、螺栓；21、万向轮；22、电子气阀；23、增压泵。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

参照图1-4，本实用新型实施例一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其包括底板1，底板1的上表面固定连接有若干支撑柱2，支撑柱2的上端固定连接有泵体3，泵体3内设有管道4，管道4的下端表面贯穿连接有流体入口5，管道4的上端表面贯穿连接有流体出口6，管道4的内壁固定连接有若干限位块7，管道4的内壁设置有若干阀球8，使限位块7能够挡住阀球8的同时，流体介质能够通过限位块7与阀球8的间隙，管道4的内壁设置有若干阀口9，阀口9的口径略小于阀球8的外径，使阀球8能够堵住阀口9，阻止流体介质通过阀口9，同理管道4的中段的内壁口径略小于阀球8的口径，使阀球8能够堵住管道4的中段，阻止流体介质通过管道4的中段，泵体3内部两侧均设有密封腔13，两侧密封腔13的内壁均设有进气口10，两侧密封腔13的内壁均设有出气口11，密封腔13的内壁设有卡槽15，卡槽15的内壁滑动连接有隔膜组件14，隔膜组件14由隔膜组件外壳16和隔膜片17固定连接组成，隔膜片17的侧表面和连接杆12的两端均固定连接有固定片18，两个固定片18的侧表面均开设有若干螺纹孔19，螺纹孔19的内壁螺纹连接有螺栓20，使螺栓20能够将隔膜组件14固定在连接杆12的两端，进气口10和出气口11的外口处均设有若干电子气阀22，使电子气阀22能够控制进气口10和出气口11的气体流速，泵体3的外表面固定连接有增压泵23，增压泵23的输出端和进气口10的外口固定连接，使增压泵23的输出端能够对进气口10进行增压，底板1的下表面转动连接有万向轮21，使整体装置能够进行移动，在特殊情况下能够更换位置，方便运输。

工作原理：在装置运作前，所有电子气阀22均为关闭状态，且整体装置处于密封状态，打开进气口10左侧的电子气阀22，同时打开出气口11右侧的电子气阀22，打开增压泵23对进气口10内进行增压，同时左侧密封腔13内压强上升，使左侧的隔膜片17向左膨胀，带动连接杆12向左移动，连接杆12右侧的隔膜片17向左收缩，左侧管道4内压强上升，阀球8相互远离，流体介质向上移动，右侧管道4内压强下降，阀球8相互靠近，流体介质通过流体入口5进入管道4内，通过连接杆12左右反复移动，使流体介质能够通过流体入口5传输至流体出口6，在使用过程中隔膜片17容易损坏，通过固定片18之间的螺纹连接，可以使隔膜组件14快速拆卸、更换，同时可以针对不同的流体介质可以采用相对应的隔膜片17，使装置的适用性更广泛。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (7)

1.一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)的上表面固定连接有若干支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的上端固定连接有泵体(3)，所述泵体(3)内设有管道(4)，所述管道(4)的下端表面贯穿连接有流体入口(5)，所述管道(4)的上端表面贯穿连接有流体出口(6)，所述管道(4)的内壁固定连接有若干限位块(7)，所述管道(4)的内壁设置有若干阀球(8)，所述管道(4)的内壁设置有若干阀口(9)，所述泵体(3)内部两侧均设有密封腔(13)，两侧所述密封腔(13)的内壁均设有进气口(10)，两侧所述密封腔(13)的内壁均设有出气口(11)，所述密封腔(13)的内壁设有卡槽(15)，所述卡槽(15)的内壁滑动连接有隔膜组件(14)，所述隔膜组件(14)由隔膜组件外壳(16)和隔膜片(17)固定连接组成，所述隔膜片(17)的侧表面和连接杆(12)的两端均固定连接有固定片(18)，两个所述固定片(18)的侧表面均开设有若干螺纹孔(19)，所述螺纹孔(19)的内壁螺纹连接有螺栓(20)，所述进气口(10)和出气口(11)的外口处均设有若干电子气阀(22)，所述泵体(3)的外表面固定连接有增压泵(23)，所述增压泵(23)的输出端和进气口(10)的外口固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述管道(4)贯穿泵体(3)的内外壁。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述流体出口(6)和流体入口(5)均贯穿管道(4)的管壁。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述阀口(9)的口径小于阀球(8)的口径，所述管道(4)中段的内壁口径小于阀球(8)的口径。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述隔膜组件外壳(16)的外表面与卡槽(15)的内壁滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述底板(1)的下表面转动连接有万向轮(21)。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗剂生产过程中的气动隔膜泵，其特征在于，所述密封腔(13)与卡槽(15)均呈圆柱体状。