CN219788096U - 一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了单晶硅片夹具技术领域的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,包括底座,底座顶部左侧设有固定夹板,底座顶部滑动连接设有滑动板,底座顶部右侧设有固定板,固定板右侧壁设有液压缸,液压缸动力输出端连接设有伸缩杆,伸缩杆一端贯穿固定板右侧壁与滑动板右侧壁相连接,滑动板内底部滑动连接设有活动夹板,滑动板内右侧壁前后两侧均设有控制机构,本实用在液压缸和伸缩杆的作用下能够带动滑动板进行移动,在活动夹板和固定夹板的配合下能够对单晶硅片进行夹紧,在控制机构的配合下能够对滑动板的移动行程进行控制,从而能够在对单晶硅片进行夹紧的同时能够对其进行保护,避免其夹的过紧造成单晶硅片损坏的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片夹具技术领域,具体为一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具。
背景技术
单晶硅片逐渐发展为大尺寸、薄片化发展,但在这一过程中出现了许多质量问题,如碎片、隐裂、表面污染、电极不良等,这些缺陷严重限制了太阳能光伏电池的光电转化效率和使用寿命的发展,为了了解准单晶硅片的微缺陷,工作人员需要利用检测装置对单晶硅片进行检测,检测过程中需要使用到夹具对单晶硅片进行夹紧固定,现有的夹具大多采用液压杆和夹板对单晶硅片进行夹紧固定,在夹紧固定的时候,往往可能会因为夹的过紧而造成单晶硅片损坏,现有夹具不具有控制功能,从而在对单晶硅片进行夹紧的时候不能够对其进行保护,因此,需要一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,包括底座,所述底座前侧壁设有控制器,所述底座顶部左侧设有固定夹板,所述底座顶部滑动连接设有滑动板,所述底座顶部右侧设有固定板,固定板右侧壁设有液压缸,液压缸动力输出端连接设有伸缩杆,伸缩杆一端贯穿固定板右侧壁与滑动板右侧壁相连接,所述滑动板内底部滑动连接设有活动夹板,所述滑动板内右侧壁前后两侧均设有控制机构。
进一步的,所述控制机构包括滑动板内右侧壁设有的套筒,所述套筒内滑动连接设有活动板,活动板右侧壁设有压杆,套筒内右侧壁设有压力传感器,所述活动板左侧壁设有活动杆,活动杆一端贯穿套筒内左侧壁与活动夹板右侧壁相连接,活动杆外壁套接设有弹簧,弹簧一端与活动板左侧壁相连接,弹簧另一端与套筒内左侧壁相连接。
进一步的,所述套筒内上下侧壁均开设有导向槽,所述活动板上下侧壁均设有与导向槽相匹配的导向块。
进一步的,所述底座顶部开设有滑槽,所述滑动板底部设有与滑槽相匹配的滑块。
进一步的,所述固定夹板内底部和滑动板内底部均设有垫座。
进一步的,所述固定夹板内底部和滑动板均呈L形状设置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用在液压缸和伸缩杆的作用下能够带动滑动板进行移动,在活动夹板和固定夹板的配合下能够对单晶硅片进行夹紧,在控制机构的配合下能够对滑动板的移动行程进行控制,从而能够在对单晶硅片进行夹紧的同时能够对其进行保护,避免其夹的过紧造成单晶硅片损坏的问题。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型套筒内部结构示意图。
图中:1、底座;2、控制器;3、控制机构;30、套筒;31、压力传感器;32、压杆;33、活动板;34、导向槽;35、导向块;36、弹簧;37、活动杆;4、液压缸;5、固定板;6、伸缩杆;7、滑动板;8、活动夹板;9、滑槽;10、垫座;11、固定夹板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1:
请参阅图1,本实用新型提供一种技术方案:一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,包括底座1,底座1前侧壁设有控制器2,控制器2、液压缸4和压力传感器31均通过电性连接,底座1顶部左侧设有固定夹板11,底座1顶部滑动连接设有滑动板7,底座1顶部开设有滑槽9,滑动板7底部设有与滑槽9相匹配的滑块,在滑槽9和滑块的作用下使得滑动板7在底座1顶部移动更加稳定,固定夹板11内底部和滑动板7均呈L形状设置,固定夹板11内底部和滑动板7内底部均设有垫座10,垫座10能够对单晶硅片进行支撑,底座1顶部右侧设有固定板5,固定板5右侧壁设有液压缸4,液压缸4动力输出端连接设有伸缩杆6,伸缩杆6一端贯穿固定板5右侧壁与滑动板7右侧壁相连接,滑动板7内底部滑动连接设有活动夹板8,滑动板7内右侧壁前后两侧均设有控制机构3。
请参阅图2,控制机构3包括滑动板7内右侧壁设有的套筒30,套筒30内滑动连接设有活动板33,套筒30内上下侧壁均开设有导向槽34,活动板33上下侧壁均设有与导向槽34相匹配的导向块35,在导向槽34和导向块35的作用下使得活动板33在套筒30内移动更加稳定,活动板33右侧壁设有压杆32,套筒30内右侧壁设有压力传感器31,活动板33左侧壁设有活动杆37,活动杆37一端贯穿套筒30内左侧壁与活动夹板8右侧壁相连接,活动杆37外壁套接设有弹簧36,弹簧36一端与活动板33左侧壁相连接,弹簧36另一端与套筒30内左侧壁相连接。
工作原理:需要对单晶硅片进行缺陷检测的时候,工作人员将单晶硅片放置在两组垫座10上,在液压缸4的作用下带动伸缩杆6进行移动,伸缩杆6带动滑动板7进行移动,从而在固定夹板11和活动夹板8的作用下能够对单晶硅片进行夹紧,从而活动夹板8带动活动杆37对活动板33进行挤压,活动板33对弹簧36进行拉伸,活动板33带动压杆21对压力传感器31进行挤压,从而压力传感器31将信号传输给控制器2,控制器2控制液压缸4停止工作,从而能够避免滑动板7移动的行程过长,导致单晶硅片被夹紧损坏的问题。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)前侧壁设有控制器(2),所述底座(1)顶部左侧设有固定夹板(11),所述底座(1)顶部滑动连接设有滑动板(7),所述底座(1)顶部右侧设有固定板(5),固定板(5)右侧壁设有液压缸(4),液压缸(4)动力输出端连接设有伸缩杆(6),伸缩杆(6)一端贯穿固定板(5)右侧壁与滑动板(7)右侧壁相连接,所述滑动板(7)内底部滑动连接设有活动夹板(8),所述滑动板(7)内右侧壁前后两侧均设有控制机构(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,其特征在于:所述控制机构(3)包括滑动板(7)内右侧壁设有的套筒(30),所述套筒(30)内滑动连接设有活动板(33),活动板(33)右侧壁设有压杆(32),套筒(30)内右侧壁设有压力传感器(31),所述活动板(33)左侧壁设有活动杆(37),活动杆(37)一端贯穿套筒(30)内左侧壁与活动夹板(8)右侧壁相连接,活动杆(37)外壁套接设有弹簧(36),弹簧(36)一端与活动板(33)左侧壁相连接,弹簧(36)另一端与套筒(30)内左侧壁相连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,其特征在于:所述套筒(30)内上下侧壁均开设有导向槽(34),所述活动板(33)上下侧壁均设有与导向槽(34)相匹配的导向块(35)。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,其特征在于:所述底座(1)顶部开设有滑槽(9),所述滑动板(7)底部设有与滑槽(9)相匹配的滑块。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,其特征在于:所述固定夹板(11)内底部和滑动板(7)内底部均设有垫座(10)。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片缺陷检测的夹具,其特征在于:所述固定夹板(11)内底部和滑动板(7)均呈L形状设置。
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