CN219758660U - 一种涂胶平整的涂胶显影机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶平整的涂胶显影机，包括涂胶显影机箱体，所述涂胶显影机箱体的内部活动连接有两个旋转吸盘装置，位于所述涂胶显影机箱体内部的中间且位于两个所述旋转吸盘装置的中间设置有双头喷嘴管件，所述涂胶显影机箱体靠近背面的内部活动连接有挡板门；该涂胶平整的涂胶显影机中，通过在外箱壳内设有旋转吸盘装置和双头喷嘴管件的结构，其中喷嘴胶管上设有的注胶口连接液压注胶管，螺纹柱连接的螺纹槽管可调节喷嘴胶管的高度，等于间接调节了喷嘴的喷射直径，在晶圆吸附盘底部设置伺服电机至大齿轮结构，实现了通过调节喷嘴胶管距离晶圆吸附盘的高度来控制喷射直径的大小。

Description

一种涂胶平整的涂胶显影机

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体涉及一种涂胶平整的涂胶显影机。

背景技术

涂胶显影机是在半导体制作过程中，对晶圆芯片进行加工处理的设备，用于完成晶圆片的光刻胶涂覆、固化、显影的工艺流程，起到了涂胶、烘烤和显影的作用，其涂胶过程是利用上下涂胶辊和挤胶辊进行控制单板的涂胶量，或是采取涂胶喷嘴旋转涂覆的方法进行高速离心涂胶。

在涂胶显影机进行涂胶工艺时，涂胶稀释浓度不当、喷嘴直径不当、涂胶压力不当、喷嘴位置及喷射速度不当均会导致出胶不均匀和涂胶不均匀，造成晶圆芯片加工质量瑕疵的问题，影响半导体光刻效果，降低芯片的质量和使用寿命，例如，申请号为CN202211343462.4公开了一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机中，包括电动转盘、收胶环、驱动组件、环形风管及基准片结构组成，通过驱动组件输入端将收胶环内空气持续抽出，收胶环则通过六个导胶管，再配合抽胶管将限位环内的胶料抽出，用于对胶料的回收处理，但是存在结构复杂，操作繁琐的，以及喷射胶液时，喷射直径不可调控，晶圆覆盖胶液多余浪费，针对不同尺寸的晶圆不能调节使用的缺陷；申请号为CN202211126932.1公开了一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机中，包括支脚、底板、伺服电机、空心转轴、吸盘、驱动件、半圆形密封器、进气管、锥形出气口、空心外管、电热环、进胶管、流通管、气泡消除器、滤板、分隔凹板、圆台出雾器、出雾管、喷雾管及锥台管结构，通过设置圆形密封器对晶圆涂胶空间进行密封，相比于现有的涂胶不密封的方式，用于减少晶圆受到外界影响的可能性，提高了涂胶效果，但是存在喷嘴对准晶圆中心不精准的缺陷。

因此，上述两个专利中均公开了涂胶平整的涂胶显影机，但是在平整涂胶的过程中，缺乏对喷嘴直径和喷嘴位置精确把控而导致涂胶不均匀不平整的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种涂胶平整的涂胶显影机，以解决上述背景技术中提到的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型公开了一种涂胶平整的涂胶显影机，包括涂胶显影机箱体，所述涂胶显影机箱体的内部活动连接有两个旋转吸盘装置，位于所述涂胶显影机箱体内部的中间且位于两个所述旋转吸盘装置的中间设置有双头喷嘴管件，所述涂胶显影机箱体靠近背面的内部活动连接有挡板门；所述双头喷嘴管件的结构包括有喷嘴胶管，位于所述喷嘴胶管中部外壁的直径两端均开设有注胶口，所述喷嘴胶管底端的下表面固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱的外侧活动套接有螺纹槽管，所述螺纹槽管底端的外侧活动连接有滑管轨道。

可选地，所述旋转吸盘装置的结构包括有固机台，所述固机台上表面的一侧设置有伺服电机，所述伺服电机顶端的侧面固定套接有小齿轮，所述小齿轮的侧面活动啮合有大齿轮，所述大齿轮侧面的顶端固定连接有晶圆吸附盘，位于所述大齿轮上下表面的中部且位于所述晶圆吸附盘底端的中部均开设有接吸气管口，位于所述晶圆吸附盘的内部且与所述接吸气管口接通处开设有真空吸气仓，所述晶圆吸附盘上表面的中部开设有若干个吸嘴口。

可选地，所述涂胶显影机箱体的结构包括有外箱壳，位于所述外箱壳的内部且位于所述外箱壳上表面的中部及所述外箱壳背面的中部开设有涂胶显影槽，所述外箱壳的左右侧面均开设有散热孔，所述外箱壳下表面的四周均固定连接有底座柱，所述外箱壳靠近背面的上表面开设有卡门槽；所述挡板门的结构包括有板片，所述板片靠近上表面的中部开设有手槽。

可选地，所述喷嘴胶管的形状是“T”字形，其内部有独立的两个喷胶腔道，所述注胶口的直径与所述喷嘴胶管腔体的内壁直径是相等的，用于连接液压注胶管道，通过喷嘴胶管内部腔道从顶端喷嘴处喷涂正下方的晶圆芯片，所述螺纹柱的直径和形状分别与所述螺纹槽管内壁的直径和形状是相同的，采用螺旋结构调节喷嘴胶管的高度，以此调节喷嘴胶管喷嘴距离晶圆吸附盘上表面的高度，所述螺纹槽管底端的直径和所述滑管轨道上表面的中部凹槽宽度是相同的，用于移动喷嘴胶管的位置，对齐进行位置精确卡住，确定喷嘴胶管喷嘴的中心对准晶圆吸附盘的中心位置，且可移动喷嘴胶管到涂胶显影槽的边缘处，便于安装注胶管道。

可选地，所述伺服电机的直径比所述晶圆吸附盘的半径要小，用于在固机台上表面的边缘处安装，便于晶圆吸附盘高速旋转时不影响接吸气管口内连接的吸气管，所述小齿轮的齿牙数是所述大齿轮齿牙数的1/4-1/3，且所述小齿轮的齿牙形状与所述大齿轮的齿牙形状是相同的，用于啮合紧密，确保小齿轮在旋转时能够带动大齿轮进行旋转。

可选地，所述板片的厚度与所述卡门槽的宽度是相等的，用于从卡门槽中穿过板片，卡在外箱壳的内部，所述板片的长度和宽度分别比外箱壳背面开设涂胶显影槽的长度和高度要大，用于完全遮挡外箱壳背面的涂胶显影槽，并且能够通过涂胶显影槽能对注胶口和接吸气管口进行注胶管和真空吸气管进行连接安装。

可选地，两个所述晶圆吸附盘之间的距离比所述喷嘴胶管外壁的直径要大，两个所述固机台之间的距离与所述滑管轨道的宽度是相等的，用于确定喷嘴胶管的中心位置，且所述喷嘴胶管滑动不影响晶圆吸附盘工作。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

该涂胶平整的涂胶显影机中，通过在外箱壳内设有旋转吸盘装置和双头喷嘴管件的结构，其中喷嘴胶管上设有的注胶口连接液压注胶管，螺纹柱连接的螺纹槽管可调节喷嘴胶管的高度，等于间接调节了喷嘴的喷射直径，在晶圆吸附盘底部设置伺服电机至大齿轮结构，实现了通过调节喷嘴胶管距离晶圆吸附盘的高度来控制喷射直径的大小，以及通过滑管轨道控制喷嘴胶管喷嘴位置对准晶圆吸附盘的中心位置的功能，达到了结构简单、工作高效且涂胶更均匀更平整的效果。

附图说明

图1为本实用新型的涂胶平整的涂胶显影机结构正面示意图。

图2为本实用新型的涂胶平整的涂胶显影机结构背面示意图。

图3为本实用新型的涂胶平整的涂胶显影机爆炸结构示意图。

图4为本实用新型的旋转吸盘装置和双头喷嘴管件结构示意图。

图5为本实用新型的旋转吸盘装置和双头喷嘴管件局部纵向剖面图。

图6为本实用新型的双头喷嘴管件爆炸结构示意图。

附图标记为：1、涂胶显影机箱体；101、外箱壳；102、涂胶显影槽；103、散热孔；104、底座柱；105、卡门槽；2、旋转吸盘装置；201、固机台；202、伺服电机；203、小齿轮；204、大齿轮；205、接吸气管口；206、晶圆吸附盘；207、真空吸气仓；208、吸嘴口；3、双头喷嘴管件；301、喷嘴胶管；302、注胶口；303、螺纹柱；304、螺纹槽管；305、滑管轨道；4、挡板门；401、板片；402、手槽。

具体实施方式

下面通过具体实施例进行详细阐述，说明本实用新型的技术方案。

参照图1-6所示，本实用新型公开了一种涂胶平整的涂胶显影机结构，包括涂胶显影机箱体1，涂胶显影机箱体1的内部活动连接有两个旋转吸盘装置2，位于涂胶显影机箱体1内部的中间且位于两个旋转吸盘装置2的中间设置有双头喷嘴管件3，涂胶显影机箱体1靠近背面的内部活动连接有挡板门4；双头喷嘴管件3的结构包括有喷嘴胶管301，位于喷嘴胶管301中部外壁的直径两端均开设有注胶口302，喷嘴胶管301底端的下表面固定连接有螺纹柱303，螺纹柱303的外侧活动套接有螺纹槽管304，螺纹槽管304底端的外侧活动连接有滑管轨道305。

在一个优选的实施例中，旋转吸盘装置2的结构包括有固机台201，固机台201上表面的一侧设置有伺服电机202，伺服电机202顶端的侧面固定套接有小齿轮203，小齿轮203的侧面活动啮合有大齿轮204，大齿轮204侧面的顶端固定连接有晶圆吸附盘206，位于大齿轮204上下表面的中部且位于晶圆吸附盘206底端的中部均开设有接吸气管口205，位于晶圆吸附盘206的内部且与接吸气管口205接通处开设有真空吸气仓207，晶圆吸附盘206上表面的中部开设有若干个吸嘴口208。

在一个优选的实施例中，涂胶显影机箱体1的结构包括有外箱壳101，位于外箱壳101的内部且位于外箱壳101上表面的中部及外箱壳101背面的中部开设有涂胶显影槽102，外箱壳101的左右侧面均开设有散热孔103，外箱壳101下表面的四周均固定连接有底座柱104，外箱壳101靠近背面的上表面开设有卡门槽105；挡板门4的结构包括有板片401，板片401靠近上表面的中部开设有手槽402。

在一个优选的实施例中，喷嘴胶管301的形状是“T”字形，其内部有独立的两个喷胶腔道，用于同步或异步操作喷涂胶液，而且能够提高工作效率，注胶口302的直径与喷嘴胶管301腔体的内壁直径是相等的，用于连接液压注胶管道，通过喷嘴胶管301内部腔道从顶端喷嘴处喷涂正下方的晶圆芯片，螺纹柱303的直径和形状分别与螺纹槽管304内壁的直径和形状是相同的，采用螺旋结构调节喷嘴胶管301的高度，以此调节喷嘴胶管301喷嘴距离晶圆吸附盘206上表面的高度，通过高度调节确认喷嘴直径喷出胶液的覆盖面，螺纹槽管304底端的直径和滑管轨道305上表面的中部凹槽宽度是相同的，用于移动喷嘴胶管301的位置，对齐进行位置精确卡住，确定喷嘴胶管301喷嘴的中心对准晶圆吸附盘206的中心位置，且可移动喷嘴胶管301到涂胶显影槽102的边缘处，便于安装注胶管道。

在一个优选的实施例中，伺服电机202的直径比晶圆吸附盘206的半径要小，用于在固机台201上表面的边缘处安装，便于晶圆吸附盘206高速旋转时不影响接吸气管口205内连接的吸气管，小齿轮203的齿牙数是大齿轮204齿牙数的1/4-1/3，且小齿轮203的齿牙形状与大齿轮204的齿牙形状是相同的，用于啮合紧密，确保小齿轮203在旋转时能够带动大齿轮204进行旋转。

在一个优选的实施例中，板片401的厚度与卡门槽105的宽度是相等的，用于从卡门槽105中穿过板片401，卡在外箱壳101的内部，目的是防尘和防护晶圆吸附盘206被高速甩飞的作用，板片401的长度和宽度分别比外箱壳101背面开设涂胶显影槽102的长度和高度要大，用于完全遮挡外箱壳101背面的涂胶显影槽102，并且能够通过涂胶显影槽102能对注胶口302和接吸气管口205进行注胶管和真空吸气管进行连接安装。

在一个优选的实施例中，两个晶圆吸附盘206之间的距离比喷嘴胶管301外壁的直径要大，两个固机台201之间的距离与滑管轨道305的宽度是相等的，用于确定喷嘴胶管301的中心位置，且喷嘴胶管301滑动不影响晶圆吸附盘206工作。

工作原理：工作人员取出外箱壳101利用底座柱104放置在平坦的工作台，首先手动透过手槽402拉住板片401从外箱壳101上表面的卡门槽105中抽出板片401，漏出外箱壳101背面的涂胶显影槽102，然后手动拉住喷嘴胶管301带动螺纹柱303活动连接的螺纹槽管304从滑管轨道305移动靠近背面，然后将需要带涂胶的晶圆的光刻胶管，通过注胶口302连接在喷嘴胶管301上，通过液压力推动胶液从喷嘴胶管301内喷出，再根据晶圆芯片的直径尺寸，从螺纹槽管304中拧动螺纹柱303，调节喷嘴胶管301的高度，以此达到喷嘴胶管301喷射胶液距离晶圆片的高度，调节喷嘴胶管301喷涂胶液的覆盖面，接着推动滑管轨道305内连有螺纹槽管304的喷嘴胶管301到晶圆吸附盘206的圆心中间位置，确定喷嘴胶管301喷胶是对准晶圆芯片的中心，与此同时，将真空吸气管从接吸气管口205塞入连接在晶圆吸附盘206下表面，然后启动固机台201上表面的伺服电机202进行旋转，伺服电机202工作产生热量透过散热孔103和涂胶显影槽102进行释放，旋转时带动小齿轮203转动，根据传动连接使得大齿轮204带动晶圆吸附盘206进行高速旋转，在晶圆吸附盘206内真空吸气仓207透过吸嘴口208吸附晶圆片，经过喷嘴胶管301喷涂胶液，以及晶圆吸附盘206高速旋转，将胶液均匀平整的涂覆在其表面，最后采用机械手臂对晶圆片进行取放运输操作即可，在不使用过程中，关掉伺服电机202停止工作且工作人员手持板片401从卡门槽105穿过卡住在外箱壳101内部。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用于限制实用新型，凡在本实用新型的设计构思之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：包括涂胶显影机箱体(1)，所述涂胶显影机箱体(1)的内部活动连接有两个旋转吸盘装置(2)，位于所述涂胶显影机箱体(1)内部的中间且位于两个所述旋转吸盘装置(2)的中间设置有双头喷嘴管件(3)，所述涂胶显影机箱体(1)靠近背面的内部活动连接有挡板门(4)；所述双头喷嘴管件(3)的结构包括有喷嘴胶管(301)，位于所述喷嘴胶管(301)中部外壁的直径两端均开设有注胶口(302)，所述喷嘴胶管(301)底端的下表面固定连接有螺纹柱(303)，所述螺纹柱(303)的外侧活动套接有螺纹槽管(304)，所述螺纹槽管(304)底端的外侧活动连接有滑管轨道(305)。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：所述旋转吸盘装置(2)的结构包括有固机台(201)，所述固机台(201)上表面的一侧设置有伺服电机(202)，所述伺服电机(202)顶端的侧面固定套接有小齿轮(203)，所述小齿轮(203)的侧面活动啮合有大齿轮(204)，所述大齿轮(204)侧面的顶端固定连接有晶圆吸附盘(206)，位于所述大齿轮(204)上下表面的中部且位于所述晶圆吸附盘(206)底端的中部均开设有接吸气管口(205)，位于所述晶圆吸附盘(206)的内部且与所述接吸气管口(205)接通处开设有真空吸气仓(207)，所述晶圆吸附盘(206)上表面的中部开设有若干个吸嘴口(208)。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：所述涂胶显影机箱体(1)的结构包括有外箱壳(101)，位于所述外箱壳(101)的内部且位于所述外箱壳(101)上表面的中部及所述外箱壳(101)背面的中部开设有涂胶显影槽(102)，所述外箱壳(101)的左右侧面均开设有散热孔(103)，所述外箱壳(101)下表面的四周均固定连接有底座柱(104)，所述外箱壳(101)靠近背面的上表面开设有卡门槽(105)；所述挡板门(4)的结构包括有板片(401)，所述板片(401)靠近上表面的中部开设有手槽(402)。

4.根据权利要求3所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：所述喷嘴胶管(301)的形状是“T”字形，其内部有独立的两个喷胶腔道，所述注胶口(302)的直径与所述喷嘴胶管(301)腔体的内壁直径是相等的，所述螺纹柱(303)的直径和形状分别与所述螺纹槽管(304)内壁的直径和形状是相同的，采用螺旋结构调节喷嘴胶管(301)的高度，以此调节喷嘴胶管(301)喷嘴距离晶圆吸附盘(206)上表面的高度，所述螺纹槽管(304)底端的直径和所述滑管轨道(305)上表面的中部凹槽宽度是相同的。

5.根据权利要求2所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：所述伺服电机(202)的直径比所述晶圆吸附盘(206)的半径要小，所述小齿轮(203)的齿牙数是所述大齿轮(204)齿牙数的1/4-1/3，且所述小齿轮(203)的齿牙形状与所述大齿轮(204)的齿牙形状是相同的。

6.根据权利要求3所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：所述板片(401)的厚度与所述卡门槽(105)的宽度是相等的，所述板片(401)的长度和宽度分别比外箱壳(101)背面开设涂胶显影槽(102)的长度和高度要大。

7.根据权利要求2所述的一种涂胶平整的涂胶显影机，其特征在于：两个所述晶圆吸附盘(206)之间的距离比所述喷嘴胶管(301)外壁的直径要大，两个所述固机台(201)之间的距离与所述滑管轨道(305)的宽度是相等的。