CN219723849U - 一种SiC单片清洗设备的翻转装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种SiC单片清洗设备的翻转装置，属于单片清洗技术领域，其包括设备外壳，所述设备外壳上开设有清洗槽和安装槽，所述安装槽内壁的下方固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的顶端与加固杆的下方固定连接，所述加固杆的一端卡接有轴承。该SiC单片清洗设备的翻转装置，通过设置齿轮、齿板、夹板和第一电动伸缩杆，使得该翻转装置可以实现对单片的自动化翻转，且在翻转的过程中可以通过喷淋口对单片进行冲洗，从而降低了该翻转装置在使用过程中对单片的清洗难度，且通过自动化翻转、清洗以及复位的过程中，从而大幅度降低了该翻转装置的使用难度，同时，避免残渣残留在单片的表面。
Description
技术领域
本实用新型属于单片清洗技术领域，具体为一种SiC单片清洗设备的翻转装置。
背景技术
单片一般指晶圆单片，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。在对晶圆单片进行清洗过程中，会使用清洗液对其反面进行清洗。
现有的单片清洗设备通常需要人力辅助对单片的双面进行清洗，然而此方式过于繁琐，且难以配合清洗设备对单片进行充分的处理，导致部分残渣容易残留在单片的表面，不仅对单片的清洗造成影响，且容易在翻面的过程中对单片的表面的针脚造成影响，进而造成单片损坏。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种SiC单片清洗设备的翻转装置，解决了现有的单片清洗设备通常需要人力辅助对单片的双面进行清洗，然而此方式过于繁琐，且难以配合清洗设备对单片进行充分的处理，导致部分残渣容易残留在单片的表面，不仅对单片的清洗造成影响，且容易在翻面的过程中对单片的表面的针脚造成影响，进而造成单片损坏的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种SiC单片清洗设备的翻转装置，包括设备外壳，所述设备外壳上开设有清洗槽和安装槽，所述安装槽内壁的下方固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的顶端与加固杆的下方固定连接，所述加固杆的一端卡接有轴承，所述轴承内套接有转轴，所述加固杆的上方和下方均固定连接有风琴布，且两个风琴布的上方和下方分别与滑槽内壁的上方和内壁的下方固定连接，所述滑槽开设在安装槽内壁的一侧，所述安装槽通过滑槽与清洗槽相连通。
作为本实用新型的进一步方案：所述转轴的另一端与其中一个夹板固定连接，所述夹板的数量为四个，位于上方的两个夹板和位于下方的两个夹板通过合页铰接，位于一侧的两个夹板的一侧均开设有安装孔，位于一侧的夹板通过安装孔设置的弹性组件与另一侧的夹板固定连接。
作为本实用新型的进一步方案：所述清洗槽内壁的一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的另一端固定连接有齿板，位于左侧下方的夹板的一侧固定连接有齿轮。
作为本实用新型的进一步方案：所述齿轮与齿板的位置相对应，位于上方两个夹板和位于下方两个夹板的相对面均开设有卡槽，位于上方两个夹板的一侧设置有磁片。
作为本实用新型的进一步方案：所述清洗槽内壁的正面和内壁的背面均设置有喷淋口，所述清洗槽内壁的下方开设有若干个排水孔。
作为本实用新型的进一步方案：所述设备外壳内开设有储液槽，所述储液槽通过若干个排水孔与清洗槽相连通，所述储液槽通过管道与控制阀相连通，所述控制阀设置在设备外壳外。
作为本实用新型的进一步方案：所述弹性组件包括滑套，所述滑套固定连接在其中一个夹板内开设的安装孔内，所述滑套内滑动连接有滑杆，所述滑杆的另一端固定连接在其中一个夹板内开设的安装孔内，所述滑套内设置有弹簧，所述弹簧的两端分别与滑杆对应的一端和滑套的内壁固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
1、该SiC单片清洗设备的翻转装置，通过设置齿轮、齿板、夹板和第一电动伸缩杆，该翻转装置可以实现对单片的自动化翻转，且在翻转的过程中可以通过喷淋口对单片进行冲洗，从而降低了该翻转装置在使用过程中对单片的清洗难度，且通过自动化翻转、清洗以及复位的过程中，从而大幅度降低了该翻转装置的使用难度，同时，避免残渣残留在单片的表面。
2、该SiC单片清洗设备的翻转装置，通过设置夹板和弹性组件，该翻转装置在使用时可以通过弹性伸缩杆对夹板的尺寸进行调整，且在将单片放置在夹板内开设的放置槽内后弹簧可以通过收缩的方式对单片进行固定，从而避免后续在对单片进行清洗以及翻转而导致单片出现脱落的情况，保障了该翻转装置对清洗以及翻转单片时的安全性，避免单片出现损坏。
3、该SiC单片清洗设备的翻转装置，通过设置四个夹板，当下方一侧夹板移动时则会通过合页带动上方的夹板同步移动，避免需要对多个夹板进行调整，从而减低了该翻转装置的使用难度。
附图说明
图1为本实用新型立体的结构示意图；
图2为本实用新型设备外壳立体的剖面结构示意图；
图3为本实用新型夹板翻转的结构示意图；
图4为本实用新型弹性组件立体的剖面结构示意图；
图中：1、设备外壳；2、清洗槽；3、安装槽；4、第一电动伸缩杆；5、加固杆；6、轴承；7、转轴；8、风琴布；9、滑槽；10、夹板；11、磁片；12、安装孔；13、弹性组件；131、滑套；132、滑杆；133、弹簧；14、合页；15、齿轮；16、卡槽；17、齿板；18、第二电动伸缩杆；19、排水孔；20、储液槽；21、喷淋口；22、控制阀。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种SiC单片清洗设备的翻转装置，包括设备外壳1，设备外壳1上开设有清洗槽2和安装槽3，安装槽3内壁的下方固定连接有第一电动伸缩杆4，第一电动伸缩杆4的顶端与加固杆5的下方固定连接，加固杆5的一端卡接有轴承6，轴承6内套接有转轴7，加固杆5的上方和下方均固定连接有风琴布8，且两个风琴布8的上方和下方分别与滑槽9内壁的上方和内壁的下方固定连接，滑槽9开设在安装槽3内壁的一侧，安装槽3通过滑槽9与清洗槽2相连通；
通过设置齿轮15、齿板17、夹板10和第一电动伸缩杆4，使得该翻转装置可以实现对单片的自动化翻转，且在翻转的过程中可以通过喷淋口21对单片进行冲洗，从而降低了该翻转装置在使用过程中对单片的清洗难度，且通过自动化翻转、清洗以及复位的过程中，从而大幅度降低了该翻转装置的使用难度，同时，避免残渣残留在单片的表面。
转轴7的另一端与其中一个夹板10固定连接，夹板10的数量为四个，位于上方的两个夹板10和位于下方的两个夹板10通过合页14铰接，位于一侧的两个夹板10的一侧均开设有安装孔12，位于一侧的夹板10通过安装孔12设置的弹性组件13与另一侧的夹板10固定连接，通过设置夹板10和弹性组件13，使得该翻转装置在使用时可以通过弹性伸缩杆对夹板10的尺寸进行调整，且在将单片放置在夹板10内开设的放置槽内后弹簧133可以通过收缩的方式对单片进行固定，从而避免后续在对单片进行清洗以及翻转而导致单片出现脱落的情况，保障了该翻转装置对清洗以及翻转单片时的安全性，避免单片出现损坏。
清洗槽2内壁的一侧固定连接有第二电动伸缩杆18，第二电动伸缩杆18的另一端固定连接有齿板17，位于左侧下方的夹板10的一侧固定连接有齿轮15，齿轮15与齿板17的位置相对应，位于上方两个夹板10和位于下方两个夹板10的相对面均开设有卡槽16，位于上方两个夹板10的一侧设置有磁片11，清洗槽2内壁的正面和内壁的背面均设置有喷淋口21，清洗槽2内壁的下方开设有若干个排水孔19，因设置有磁片11，从而保障了两侧夹板10在闭合后可以通过磁盘进行固定，从而保障了两侧夹板10对单片的固定效果，避免单片脱落。
设备外壳1内开设有储液槽20，储液槽20通过若干个排水孔19与清洗槽2相连通，储液槽20通过管道与控制阀22相连通，控制阀22设置在设备外壳1外，弹性组件13包括滑套131，滑套131固定连接在其中一个夹板10内开设的安装孔12内，滑套131内滑动连接有滑杆132，滑杆132的另一端固定连接在其中一个夹板10内开设的安装孔12内，滑套131内设置有弹簧133，因设置有弹簧133，从而保障了夹板10对单片的夹持效果，且可以对不同尺寸的单片进行固定，从而保障了该翻转装置使用时的安全性。
弹簧133的两端分别与滑杆132对应的一端和滑套131的内壁固定连接，因设置有四个夹板10，当下方一侧夹板10移动时则会通过合页14带动上方的夹板10同步移动，避免需要对多个夹板10进行调整，从而减低了该翻转装置的使用难度
本实用新型的工作原理为：
在使用该翻转装置时，只需将所需清洗的单片放置在位于下方的两个夹板10之间，通过拉扯其中一侧夹板10的位置，并在将单片放置在下方两个夹板10内壁的放置槽内后即可通过合页14对上方两个夹板10的角度进行调整，并通过磁片11对上方的夹板10和下方的夹板10进行固定，从而完成对单片的夹持和固定；
在对单片夹持完毕后，则需要启动该设备外壳1内部的冲洗设备，且在将单片上方清洗完毕后则需要启动第一电动伸缩杆4，此时第二电动伸缩杆18则会同步移动，使得第一电动伸缩杆4在带动夹板10以及单片向下移动的过程中，第二电动伸缩杆18则会推动齿板17与齿轮15位置对其，使得夹板10在向下移动的过程中可以通过齿轮15与齿板17接触的过程实现翻转单片的效果，等待第一电动伸缩杆4移动至最底部后夹板10则会翻转180°，等待两侧喷淋口21对单片冲洗后，第一电动伸缩杆4向上移动复位，此时第二电动伸缩杆18则会拉扯齿板17，使得齿板17脱离齿轮15，随着第一电动伸缩杆4的复位，从而完成对单片的翻转。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (7)
1.一种SiC单片清洗设备的翻转装置，包括设备外壳(1)，其特征在于：所述设备外壳(1)上开设有清洗槽(2)和安装槽(3)，所述安装槽(3)内壁的下方固定连接有第一电动伸缩杆(4)，所述第一电动伸缩杆(4)的顶端与加固杆(5)的下方固定连接，所述加固杆(5)的一端卡接有轴承(6)，所述轴承(6)内套接有转轴(7)，所述加固杆(5)的上方和下方均固定连接有风琴布(8)，且两个风琴布(8)的上方和下方分别与滑槽(9)内壁的上方和内壁的下方固定连接，所述滑槽(9)开设在安装槽(3)内壁的一侧，所述安装槽(3)通过滑槽(9)与清洗槽(2)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述转轴(7)的另一端与其中一个夹板(10)固定连接，所述夹板(10)的数量为四个，位于上方的两个夹板(10)和位于下方的两个夹板(10)通过合页(14)铰接，位于一侧的两个夹板(10)的一侧均开设有安装孔(12)，位于一侧的夹板(10)通过安装孔(12)设置的弹性组件(13)与另一侧的夹板(10)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述清洗槽(2)内壁的一侧固定连接有第二电动伸缩杆(18)，所述第二电动伸缩杆(18)的另一端固定连接有齿板(17)，位于左侧下方的夹板(10)的一侧固定连接有齿轮(15)。
4.根据权利要求3所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述齿轮(15)与齿板(17)的位置相对应，位于上方两个夹板(10)和位于下方两个夹板(10)的相对面均开设有卡槽(16)，位于上方两个夹板(10)的一侧设置有磁片(11)。
5.根据权利要求1所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述清洗槽(2)内壁的正面和内壁的背面均设置有喷淋口(21)，所述清洗槽(2)内壁的下方开设有若干个排水孔(19)。
6.根据权利要求1所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述设备外壳(1)内开设有储液槽(20)，所述储液槽(20)通过若干个排水孔(19)与清洗槽(2)相连通，所述储液槽(20)通过管道与控制阀(22)相连通，所述控制阀(22)设置在设备外壳(1)外。
7.根据权利要求2所述的一种SiC单片清洗设备的翻转装置，其特征在于：所述弹性组件(13)包括滑套(131)，所述滑套(131)固定连接在其中一个夹板(10)内开设的安装孔(12)内，所述滑套(131)内滑动连接有滑杆(132)，所述滑杆(132)的另一端固定连接在其中一个夹板(10)内开设的安装孔(12)内，所述滑套(131)内设置有弹簧(133)，所述弹簧(133)的两端分别与滑杆(132)对应的一端和滑套(131)的内壁固定连接。
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