CN219677231U - 一种晶圆托篮转运模组 - Google Patents

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李盼盼
刘传龙
陈新来
黄彧霈
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Abstract

本发明公开了一种晶圆托篮转运模组,包括机架、转入机构、中转机构和转出机构,中转机构包括中转托架、导向杆和中转拖链,导向杆和中转拖链均与机架连接,中转托架与中转拖链连接,中转拖链带动中转托架沿导向杆移动,中转托架在转入机构和转出机构之间往复移动,转入机构将托篮转移至中转托架上,所述转出机构将中转托架上的托篮移走。本发明提供的一种晶圆托篮转运模组,中转拖链带动中转托架往复移动,完成对托篮的转运,整个转运过程减少了机械手臂的配置数量,提高了托篮的传输效率。

Description

一种晶圆托篮转运模组
技术领域
本申请涉及晶圆传输的领域,尤其是涉及一种晶圆托篮转运模组。
背景技术
在半导体湿法工艺设备中,槽式湿法设备其中透过特殊设计的晶圆夹取与传递用的机械手臂,对盛有晶圆的托篮进行转运,机械手臂抓取的方式大幅度的影响了晶圆的传输效率。故在槽式湿法设备中机械手臂配置及晶圆的传送设置与晶圆的传输效率有直接的联系,因此考虑到成本等因素,能通过减少湿法工艺机械手臂配置数量,还能提升WPH且具有高度稳定性的晶圆传输控制的具体方法是一个相当重要的议题。
发明内容
为了提高晶圆的传输效率,降低传输成本,本申请提供一种晶圆托篮转运模组。
本申请提供的一种晶圆托篮转运模组采用如下的技术方案:
一种晶圆托篮转运模组,包括机架及由机架支撑的转入机构、中转机构和转出机构;
所述中转机构包括中转托架、导向杆和中转拖链,所述导向杆和中转拖链均与机架连接,所述中转托架与中转拖链连接,所述中转拖链带动中转托架沿导向杆移动,所述中转托架在转入机构和转出机构之间往复移动;
所述转入机构将托篮转移至中转托架上,所述转出机构将中转托架上的托篮移走。
可选的,托篮随所述转入机构和转出机构的移动路径平行,托篮随所述中转机构的移动路径与转入机构垂直。
可选的,所述转入机构包括转入拖链和转入气缸,所述转入气缸与转入拖链连接,所述转入气缸连接有托盘。
可选的,所述转入机构还包括转入托架,所述转入托架与机架连接,所述转入气缸位于转入托架下方。
可选的,一种晶圆托篮转运模组还包括输出机构,所述输出机构包括输出托架和输出升降机,所述输出升降机用于带动输出托架升降。
可选的,所述输出托架在所述转出机构的移动路径上,且平行于所述中转托架设置。
可选的,所述转入托架、所述中转托架和所述输出托架上均设置有托篮承载位,所述转入托架沿同一直线方向至少设置两个托篮承载位,所述中转托架和所述输出托架均设置一个托篮承载位。
可选的,所述托篮承载位中间设置有镂空结构,所述转入托架与所述中转托架衔接的托篮承载位设置有转移通道,所述中转托架的托篮承载位对应设置转移通道以配合衔接所述转入托架,所述输出托架的托篮承载位面向所述转出机构设置转移通道。
可选的,所述托篮承载位设置有定位角,每个所述定位角均设置有压力传感器。
可选的,所述转出机构包括转出拖链和转出气缸,所述转出气缸与转出拖链连接,所述转出气缸连接有托盘。
可选的,所述转入气缸和转出气缸均连接有导轨,所述导轨与机架固定连接。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明通过设置了中转拖链和中转托架,中转拖链带动中转托架往复移动,完成对托篮的转运,整个转运过程减少了机械手臂的配置数量,提高了托篮的传输效率;
本发明通过设置了转出气缸,提高了晶圆与托篮的分离效率,可在一次转运过程中将托篮及时移出,对转出气缸的移动路径进行充分利用,提高分离效率。
附图说明
图1为本发明提供的一种晶圆清洗设备的示意图;
图2为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组的结构示意图;
图3为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中转入机构的示意图;
图4为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中转入机构与中转机构的位置关系示意图;
图5为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中转入机构与转出机构的位置关系示意图;
图6为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中中转机构的结构示意图;
图7为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中分离机构的结构示意图;
图8为本发明提供的一种晶圆托篮转运模组中输出机构的位置示意图。
图中:1、机架;2、转入机构;21、转入拖链;22、转入气缸;23、转入托架;24、托篮承载位;25、定位角;3、中转机构;31、中转托架;32、导向杆;33、中转拖链;4、转出机构;41、转出拖链;42、转出气缸;5、分离机构;51、导片托架;52、晶圆承载座;6、输出机构;61、输出托架;62、输出升降机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
参照图1至图8,本发明提供的一种晶圆托篮转运模组的实施例,一种晶圆托篮转运模组,包括机架1及由机架1支撑的转入机构2、中转机构3和转出机构4。
中转机构3包括中转托架31、导向杆32和中转拖链33,导向杆32和中转拖链33均与机架1连接,中转托架31与中转拖链33连接,中转拖链33带动中转托架31沿导向杆32移动。转入机构2将托篮转移至中转托架31上,转出机构4将中转托架31上的托篮移走。中转托架31在转入机构2和转出机构4之间往复移动;
托篮随转入机构2和转出机构4的移动路径平行,托篮随中转机构3的移动路径与转入机构2垂直,从而使得托篮的传输空间更加紧凑,提高传输的流畅性。
转入机构2包括转入拖链21、转入气缸22和转入托架23,转入气缸22与转入拖链21连接,转入气缸22连接有托盘。转入托架23与机架1连接,转入托架23设置有两个以上的托篮承载位24,转入气缸22位于转入托架23下方。多个托篮可分别放置到转入托架23的托篮承载位24上提高转运效率。托篮置于托盘上,转入拖链21通过转入气缸22带动托篮移动至中转托架31上方,气缸收缩,托篮被放置到中转托架31上,从而将托篮移送至中转托架31。
转入托架23上靠近中转托架31的一托篮承载位24用于对托篮进行定位。在托篮被放置到中转托架31之前,预先放置到靠近中转托架31的托篮承载位24上,从而对托篮进行定位,减少因托篮摆放位置错误导致事故的产生。
托篮承载位24设置有定位角25,每个定位角25均设置有压力传感器。托篮放置到托篮承载位24上,定位角25对托篮的位置或者是否发生偏移进行侦测,提高转运的安全性。
转出机构4包括转出拖链41和转出气缸42,转出气缸42与转出拖链41连接,转出气缸42连接有托盘。转出拖链41带过转出气缸42移动至中转托架31下方,转出气缸42伸张,托篮被顶升到转出气缸42的托盘上,从而将托篮移出中转托架31。
一种晶圆托篮转运模组还包括分离机构5,分离机构5包括导片托架51和晶圆承载座52,导片托架51通过横向拖链进行横向移动,导片托架51通过竖向拖链的带动上下移动,当托篮向下移动的过程中,晶圆被固定在晶圆承载座52上,晶圆承载座52承载晶圆以使晶圆脱离托篮,进行后续的清洗工艺。横向拖链带动导片托架51将位于转出气缸42上的托篮取出,并移动至晶圆承载座52上方,竖向拖链带动托篮下降,晶圆被固定在晶圆承载座52上,机械手对晶圆进行抓取并在背式传送机的带动下移出。
一种晶圆托篮转运模组还包括输出机构6,输出机构6包括输出托架61和输出升降机62,输出升降机62用于带动输出托架61升降,输出托架61位于转出气缸42的移动路径上。输出托架61在所述转出机构4的移动路径上,且平行于所述中转托架31设置。
分离晶圆后的托篮在导片托架51的带动下被移送至转出气缸42的托盘上,转出气缸42在转出拖链41的带动下朝向将托篮移送至输出托架61上,输出托架61在输出升降机62的带动下将托篮移出,提高了晶圆与托篮的分离效率,可在一次转运过程中将托篮及时移出,对转出气缸42的移动路径进行充分利用,提高分离效率。
转入托架23、中转托架31和输出托架61上均设置有托篮承载位24,转入托架23沿同一直线方向至少设置两个托篮承载位24,中转托架31和所述输出托架61均设置一个托篮承载位24。
托篮承载位24中间设置有镂空结构,转入托架23与中转托架31衔接的托篮承载位24设置有转移通道,中转托架31的托篮承载位24对应设置转移通道以配合衔接所述转入托架23,输出托架61的托篮承载位24面向转出机构4设置转移通道。
转入气缸22和转出气缸42均连接有导轨,导轨与机架1固定连接,两导轨相互平行。导轨对转入气缸22和转出气缸42进行导向。转入拖链21和转出拖链41位于中转托架31的同一侧。由于晶圆托篮转运模组被放置在特定的晶圆转运室中,用于减少空气中的杂质对晶圆的污染,托篮的移动路径呈“U”形,从而节省了托篮转运传输过程中所占用的空间。
工作原理:
转入拖链21通过转入气缸22带动托篮移动至靠近中转托架31的一托篮承载位24上,对托篮进行定位,转入气缸22伸张,托篮被移动至中转托架31上方,转入气缸22收缩,托篮被放置到中转托架31上,从而将托篮移送至中转托架31。
中转托架31在中转拖链33的带动下沿导向杆32移动至转出气缸42的托盘上,转出气缸42伸张,转出拖链41带动托篮移动,中转拖链33带动中转托架31往复移动,完成对托篮的转运,整个转运过程减少了机械手臂的配置数量,提高了托篮的传输效率。
横向拖链带动导片托架51将位于转出气缸42上的托篮取出,并移动至晶圆承载座52上方,竖向拖链带动托篮下降,晶圆被固定在晶圆承载座52上,机械手对晶圆进行抓取并在背式传送机的带动下移出。
分离晶圆后的托篮在导片托架51的带动下被移送至转出气缸42的托盘上,转出气缸42在转出拖链41的带动下朝向将托篮移送至输出托架61上,输出托架61在输出升降机62的带动下将托篮移出。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (11)

1.一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:包括机架(1)及由机架(1)支撑的转入机构(2)、中转机构(3)和转出机构(4);
所述中转机构(3)包括中转托架(31)、导向杆(32)和中转拖链(33),所述导向杆(32)和中转拖链(33)均与机架(1)连接,所述中转托架(31)与中转拖链(33)连接,所述中转拖链(33)带动中转托架(31)沿导向杆(32)移动,所述中转托架(31)在转入机构(2)和转出机构(4)之间往复移动;
所述转入机构(2)将托篮转移至中转托架(31)上,所述转出机构(4)将中转托架(31)上的托篮移走。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:托篮随所述转入机构(2)和转出机构(4)的移动路径平行,托篮随所述中转机构(3)的移动路径与转入机构(2)垂直。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述转入机构(2)包括转入拖链(21)和转入气缸(22),所述转入气缸(22)与转入拖链(21)连接,所述转入气缸(22)连接有托盘。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述转入机构(2)还包括转入托架(23),所述转入托架(23)与机架(1)连接,所述转入气缸(22)位于转入托架(23)下方。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:还包括输出机构(6),所述输出机构(6)包括输出托架(61)和输出升降机(62),所述输出升降机(62)用于带动输出托架(61)升降。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述输出托架(61)在所述转出机构(4)的移动路径上,且平行于所述中转托架(31)设置。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述转入托架(23)、所述中转托架(31)和所述输出托架(61)上均设置有托篮承载位(24),所述转入托架(23)沿同一直线方向至少设置两个托篮承载位(24),所述中转托架(31)和所述输出托架(61)均设置一个托篮承载位(24)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述托篮承载位(24)中间设置有镂空结构,所述转入托架(23)与所述中转托架(31)衔接的托篮承载位(24)设置有转移通道,所述中转托架(31)的托篮承载位(24)对应设置转移通道以配合衔接所述转入托架(23),所述输出托架(61)的托篮承载位(24)面向所述转出机构(4)设置转移通道。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述托篮承载位(24)设置有定位角(25),每个所述定位角(25)均设置有压力传感器。
10.根据权利要求3所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述转出机构(4)包括转出拖链(41)和转出气缸(42),所述转出气缸(42)与转出拖链(41)连接,所述转出气缸(42)连接有托盘。
11.根据权利要求9所述的一种晶圆托篮转运模组,其特征在于:所述转入气缸(22)和转出气缸(42)均连接有导轨,所述导轨与机架(1)固定连接。
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