CN219642801U - 一种晶圆贴膜贴片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种晶圆贴膜贴片装置，包括输送线、贴膜装置和切膜装置；输送线用于传送晶圆和铁环，输送线上的晶圆处于铁环中央的镂空处；贴膜装置设置在输送线上方，包括贴膜架以及转动设置在贴膜架上的膜料卷和贴膜辊，膜料卷上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜，扩张膜随离型纸由膜料卷放出后绕经贴膜辊，贴膜辊上的扩张膜处于离型纸外侧，贴膜辊紧贴输送线，以在输送线上的铁环和晶圆经过时，随铁环和晶圆的位移进行辊动，进而将扩张膜粘贴在铁环和晶圆上形成贴膜成品；切膜装置设置在贴膜装置的下游，具有升降设置的切刀，切刀下行以切断相邻铁环之间的扩张膜。本实用新型通过简洁的结构实现自动将晶圆和铁环粘贴在一张扩张膜上。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片生产设备技术领域，特别涉及一种晶圆贴膜贴片装置。
背景技术
晶圆在切割成芯片之前，通常需要粘贴在一张扩张膜(也叫蓝膜，具有较好的粘性和延展性)上，扩张膜粘贴在一个铁环上，铁环中央具有镂空，晶圆处于镂空处，同样粘贴在扩张膜上，进而形成一个晶圆的贴膜成品，而后在晶圆的贴膜成品上对晶圆进行切割，使晶圆分割成多个芯片，而后上顶铁环中央镂空处的扩张膜，对扩张膜进行扩张，使多个芯片互相分隔，以便于后续将各芯片进行剥离和加工。
当前将晶圆和铁环自动粘贴在一张扩张膜上的加工过程自动化程度较低，并且通常在将扩张膜粘贴到晶圆和铁环上后，需要再将扩张膜切割成与铁环轮廓吻合形状，导致切割设备结构复杂，切割质量较难保证。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆贴膜贴片装置，克服上述缺陷，实现自动将晶圆和铁环粘贴在一张扩张膜上。
为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种晶圆贴膜贴片装置，包括输送线、贴膜装置和切膜装置；
输送线用于传送晶圆和铁环，输送线上的晶圆处于铁环中央的镂空处；
贴膜装置设置在输送线上方，包括贴膜架以及转动设置在贴膜架上的膜料卷和贴膜辊，膜料卷上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜，扩张膜随离型纸由膜料卷放出后绕经所述贴膜辊，贴膜辊上的扩张膜处于离型纸外侧，贴膜辊紧贴输送线，以在输送线上的铁环和晶圆经过时，随铁环和晶圆的位移进行辊动，进而将扩张膜粘贴在铁环和晶圆上形成贴膜成品；
切膜装置设置在贴膜装置的下游，具有升降设置的切刀，切刀下行以切断相邻铁环之间的扩张膜。
进一步，所述离型纸上的扩张膜由多个与铁环形状吻合的胶纸单元沿离型纸的延伸方向阵列且相接形成。
进一步，所述贴膜装置在切刀的两侧对称形成有与铁环侧边轮廓贴合的定位挡缘，定位挡缘随切刀进行升降。
进一步，所述贴膜装置还包括转动设置在贴膜架上的离型纸收料辊，用于卷入回收离型纸。
进一步，所述贴膜架上设置有用于驱动膜料卷辊动的膜料卷驱动电机，以及用于驱动离型纸收料辊辊动的离型纸收料辊驱动电机。
进一步，所述切膜装置还包括切膜架、刀架和刀架升降驱动装置，切膜架设置在输送线上方，刀架通过刀架升降驱动装置连接在切膜架。
进一步，所述输送线直线输送所述晶圆和铁环。
采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：放置好的晶圆和铁环沿输送线进行传送，输送线上的晶圆摆放在铁环中央的镂空处，在晶圆和铁环经过贴膜装置下方时，贴膜辊从晶圆和铁环上方辊过，贴膜辊上的扩张膜将自动粘贴在晶圆和铁环上，而后沿输送线继续传送，移动到切刀下方时，切刀下行将相邻铁环之间的扩张膜切断，实现自动将一个晶圆和一个铁环粘贴在一张扩张膜上。
附图说明
图1为本实用新型安装在机架上的立体结构示意图；
图2为图1中B处的局部放大图；
图3为本实用新型中贴膜成品的底面结构示意图；
图4为本实用新型的贴膜装置的立体结构示意图；
图5为本实用新型的切膜装置的立体结构示意图；
图6为本实用新型的刀架的立体结构示意图；
图7为图6中A处的局部放大图。
标号说明：1-输送线，2-贴膜装置，3-切膜装置，4-晶圆，5-铁环，6-镂空，7-贴膜架，8-膜料卷，9-贴膜辊，10-机架，11-上料装置，12-贴膜成品，13-切刀，14-检测装置，15-定位挡缘，16-离型纸收料辊，17-刀架，18-膜料卷驱动电机，19-扩张膜，20-离型纸收料辊驱动电机，21-切膜架，22-刀架升降驱动装置。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。
本实用新型提供一种晶圆贴膜贴片装置，如图1-7所示，包括安装在机架10上的输送线1、贴膜装置2和切膜装置3，具体在本实施例中，机架10上还设置有上料装置11和检测装置14，上料装置11可以是现有的任意一种能够用于抓取晶圆4和铁环5的工业机械手，检测装置14通过摄像头拍摄图像检测贴膜状况，结构均不具体限定，可以为本领域内的常规设计，本实施例中不再具体阐述。
输送线1用于传送晶圆4和铁环5，具体在本实施例中，所述输送线1直线输送所述晶圆4和铁环5，输送线1可以是例如传送带等现有的任意一种顶面能够用于承载工件前行的装置，不具体限定，本实施例中不再具体阐述，输送线1上的晶圆4处于铁环5中央的镂空6处，可以使用机械手将晶圆4摆放在铁环5中央的镂空6处，也可以采用人工摆放的方式，不具体限定；
贴膜装置2设置在输送线1上方，包括贴膜架7以及转动设置在贴膜架7上的膜料卷8和贴膜辊9，膜料卷8和贴膜辊9的转轴平行，膜料卷8上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜19，所述离型纸上的扩张膜19由多个与铁环5形状吻合的胶纸单元沿离型纸的延伸方向阵列且相接形成，扩张膜19随离型纸由膜料卷8放出后绕经所述贴膜辊9，贴膜辊9上的扩张膜19处于离型纸外侧，贴膜辊9紧贴输送线1，以在输送线1上的铁环5和晶圆4经过时，随铁环5和晶圆4的位移进行辊动，进而将扩张膜19粘贴在铁环5和晶圆4上，形成贴膜成品12，并且贴在晶圆4表面的扩张膜19与晶圆4的形状完全吻合；
切膜装置3设置在贴膜装置2的下游，输送线1承载表面粘贴有扩张膜19的晶圆4和铁环5移动至贴膜装置3下方，所述切膜装置3包括切膜架21、刀架17和刀架升降驱动装置22，切膜架21横跨在输送线1上方，刀架17通过刀架升降驱动装置22安装在切膜架21，所述刀架升降驱动装置22可以是现有的任意一种直线驱动机构，用于驱动刀架17升降，刀架17底面设置有切刀13，以在切刀13随刀架17下行时切断相邻铁环5之间的扩张膜19，由于贴在晶圆4表面的扩张膜19与晶圆4的形状完全吻合，切刀13只需要纵向直线运动即可，不需要沿铁环5轮廓位移，因此整个切膜装置3的结构更加简洁，使得贴膜工作更加稳定。
为避免相邻两个铁环5之间的缝隙处未完全对准切刀13，此时切刀13在下行后切到晶圆4或铁环5，所述贴膜装置2在切刀13的两侧对称形成有与铁环侧边轮廓贴合的定位挡缘15，定位挡缘15的形状与晶圆4的侧边轮廓形状相匹配，并且在纵向上呈现向下外扩且向上内收，定位挡缘15随切刀13进行升降，在相邻两个铁环5之间的缝隙处未完全对准切刀13时，定位挡缘15在下行的过程中，将推抵铁环5位移，使相邻两个铁环5之间的缝隙正对切刀13下方。
为收卷撕去扩张膜19的离型纸，所述贴膜装置2还包括转动设置在贴膜架7上的离型纸收料辊16，离型纸收料辊16平行于膜料卷8和贴膜辊9，用于卷入回收离型纸。
所述贴膜架7上设置有用于驱动膜料卷8辊动的膜料卷驱动电机18，以及用于驱动离型纸收料辊辊动的离型纸收料辊驱动电机20，实现驱动膜料卷8和离型纸收料辊之间的离型纸进行张紧。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。
Claims (7)
1.一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：包括输送线(1)、贴膜装置(2)和切膜装置(3)；
输送线(1)用于传送晶圆(4)和铁环(5)，输送线(1)上的晶圆(4)处于铁环(5)中央的镂空(6)处；
贴膜装置(2)设置在输送线(1)上方，包括贴膜架(7)以及转动设置在贴膜架(7)上的膜料卷(8)和贴膜辊(9)，膜料卷(8)上卷绕有离型纸，离型纸一侧粘贴有扩张膜，扩张膜随离型纸由膜料卷(8)放出后绕经所述贴膜辊(9)，贴膜辊(9)上的扩张膜处于离型纸外侧，贴膜辊(9)紧贴输送线(1)，以在输送线(1)上的铁环(5)和晶圆(4)经过时，随铁环(5)和晶圆(4)的位移进行辊动，进而将扩张膜粘贴在铁环(5)和晶圆(4)上形成贴膜成品(12)；
切膜装置(3)设置在贴膜装置(2)的下游，具有升降设置的切刀(13)，切刀(13)下行以切断相邻铁环(5)之间的扩张膜。
2.如权利要求1所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述离型纸上的扩张膜由多个与铁环(5)形状吻合的胶纸单元沿离型纸的延伸方向阵列且相接形成。
3.如权利要求1所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述贴膜装置(2)在切刀(13)的两侧对称形成有与铁环侧边轮廓贴合的定位挡缘(15)，定位挡缘(15)随切刀(13)进行升降。
4.如权利要求1所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述贴膜装置(2)还包括转动设置在贴膜架(7)上的离型纸收料辊(16)，用于卷入回收离型纸。
5.如权利要求4所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述贴膜架(7)上设置有用于驱动膜料卷(8)辊动的膜料卷驱动电机(18)，以及用于驱动离型纸收料辊辊动的离型纸收料辊驱动电机(20)。
6.如权利要求1所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述切膜装置(3)还包括切膜架(21)、刀架(17)和刀架升降驱动装置(22)，切膜架(21)设置在输送线(1)上方，刀架(17)通过刀架升降驱动装置(22)连接在切膜架(21)。
7.如权利要求1所述一种晶圆贴膜贴片装置，其特征在于：所述输送线(1)直线输送所述晶圆(4)和铁环(5)。
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