CN219626603U - 一种硅片清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括：清洗台，所述清洗台的顶面固定安装有清洗箱，所述清洗台的顶面固定安装有支撑架，所述支撑架的一侧固定安装有冲淋头，所述冲淋头的顶面固定连接有通水管；清洗组件，所述清洗组件设置在所述清洗台的上方，用于对硅片进行更全面的清洗，冲淋头固定连接有通水管，通水管与进液管道固定连接，使得工作人员可以将清洗液通过通水管输送至冲淋头，对硅片进行冲洗，当工作人员将硅片放置在承托架上后，通过分隔板分隔，然后通过冲淋头对硅片进行清洗，随后启动微型驱动电机，使得移动架上升，使得移动架内部底面与硅片底面接触带动硅片上升，限位块对硅片的两侧进行限位，使得硅片放置的接触面得到清洗。

Description

一种硅片清洗装置

技术领域

本实用新型涉及硅片处理领域，尤其涉及一种硅片清洗装置。

背景技术

在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25。8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。

根据公开号为：CN217017714U的中国专利，一种硅片清洗机用硅片清洗装置，属于硅片处理技术领域，包括硅片清洗机壳，所述硅片清洗机壳的外壁分别装配有控制器和超声波发生器，控制器位于超声波发生器的上方，所述硅片清洗机壳的内壁内嵌有换能器，本实用新型在现有装置升降清洗拿取的基础上添设进料台和出料台，同时进料台和出料台通过连接架随清洗台同时升降动作。

上述方案仍存在如下缺点：此硅片清洗装置在使用的过程中，通过将硅片放置在放置腔的内部，随后进行清洗，进而使得硅片底面与放置腔的接触面难以进行清洗，从而导致硅片清洗的不全面，为此我们提出了一种硅片清洗装置。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种硅片清洗装置，以解决硅片清洗装置在使用的过程中，通过将硅片放置在放置腔的内部，随后进行清洗，进而使得硅片底面与放置腔的接触面难以进行清洗，从而导致硅片清洗的不全面问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

本实用新型的提供了一种硅片清洗装置，包括：清洗台，所述清洗台的顶面固定安装有清洗箱，所述清洗台的顶面固定安装有支撑架，所述支撑架的一侧固定安装有冲淋头，所述冲淋头的顶面固定连接有通水管，清洗组件，所述清洗组件设置在所述清洗台的上方，用于对硅片进行更全面的清洗。

通过采用上述技术方案，通过设置冲淋头，冲淋头固定连接有通水管，通水管与进液管道固定连接，进而可以使得工作人员可以将清洗液通过通水管输送至冲淋头，对硅片进行冲洗。

作为本实用新型进一步的方案，所述清洗组件包括：安装框，所述安装框设置在所述清洗箱的内部，所述安装框的内壁面固定安装有分隔板，所述安装框的底面固定安装有两个承托架，所述承托架与所述分隔板的底面固定安装，所述清洗箱的内部设置有两个移动架，所述移动架的内部底面固定安装有若干个限位块，所述清洗台的顶面固定安装有两个固定板，所述固定板的一侧开设有活动槽，所述活动槽的内部设置有丝杆，所述固定板的顶面固定安装有微型驱动电机，所述微型驱动电机旋转轴的一端与所述丝杆的顶端固定安装，所述丝杆的外圆壁面设置有连接架，所述连接架的一侧与所述移动架固定安装。

通过采用上述技术方案，通过设置移动架，移动架与连接架固定安装，进而当工作人员将硅片放置在承托架上后，通过分隔板进行分隔，然后通过冲淋头对硅片进行清洗，随后可以通过启动微型驱动电机，使得移动架进行上升，使得移动架的内部底面与硅片的底面接触带动硅片上升，通过限位块对硅片的两侧进行限位，使得硅片放置的接触面得到清洗。

作为本实用新型进一步的方案，所述清洗组件还包括：两个支撑块，两个所述支撑块分别固定安装在所述安装框的两侧，所述清洗箱的顶面开设有两个放置槽，所述放置槽与所述支撑块活动套设，所述固定板的顶面开设有活动孔，所述活动孔与所述活动槽相连通，所述活动孔的内圆壁面与所述微型驱动电机旋转轴的外圆壁面活动套设。

通过采用上述技术方案，通过设置支撑块，支撑块与放置槽活动套设，进而当工作人员将安装框放置在清洗箱后，可以通过支撑块对安装框进行支撑，同时对安装框进行限位。

作为本实用新型进一步的方案，所述连接架的顶面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部与所述丝杆螺纹连接，所述活动槽的内壁面两侧均开设有卡接槽，所述连接架的两侧均固定安装有卡接块，所述卡接块与所述卡接槽可拆卸的卡接。

通过采用上述技术方案，通过设置卡接块，卡接块与卡接槽可拆卸的卡接，进而当连接架通过丝杆进行上下移动时，可以通过卡接块进行限位，从而避免连接架随着丝杆而转动。

作为本实用新型进一步的方案，所述活动槽的内部底面开设有安装槽，所述安装槽的内圆壁面固定套设有轴承，所述轴承的内环内圆壁面与所述丝杆的外圆壁面固定套设。

通过采用上述技术方案，通过设置轴承，轴承与丝杆固定套设，进而当丝杆通过微型驱动电机进行转动时，可以通过轴承对丝杆的一端进行支撑，从而增加丝杆转动的稳定性。

作为本实用新型进一步的方案，所述清洗箱的一侧开设有出水孔，所述出水孔的内圆壁面固定套设有出水管，所述出水管的一端固定连接有微型水泵，所述微型水泵的输出端固定连接有排水管。

通过采用上述技术方案，通过设置微型水泵，微型水泵的输入端与出水管固定连接，进而当清洗箱内部的废液累积到一定程度后，可以通过微型水泵将废液进行排放。

本实用新型提供了一种硅片清洗装置，有益效果在于：

通过设置清洗组件，清洗组件可以对硅片进行更全面的清洗，清洗组件通过冲淋头对硅片进行冲洗，清洗组件通过移动架、微型驱动电机和连接架可以使得硅片进行上下移动，从而可以对硅片放置的接触面得到清洗，通过设置冲淋头，冲淋头固定连接有通水管，通水管与进液管道固定连接，进而可以使得工作人员可以将清洗液通过通水管输送至冲淋头，对硅片进行冲洗，通过设置移动架，移动架与连接架固定安装，进而当工作人员将硅片放置在承托架上后，通过分隔板进行分隔，然后通过冲淋头对硅片进行清洗，随后可以通过启动微型驱动电机，使得移动架进行上升，使得移动架的内部底面与硅片的底面接触带动硅片上升，通过限位块对硅片的两侧进行限位，使得硅片放置的接触面得到清洗。

通过设置支撑块，支撑块与放置槽活动套设，进而当工作人员将安装框放置在清洗箱后，可以通过支撑块对安装框进行支撑，同时对安装框进行限位，通过设置卡接块，卡接块与卡接槽可拆卸的卡接，进而当连接架通过丝杆进行上下移动时，可以通过卡接块进行限位，从而避免连接架随着丝杆而转动，通过设置轴承，轴承与丝杆固定套设，进而当丝杆通过微型驱动电机进行转动时，可以通过轴承对丝杆的一端进行支撑，从而增加丝杆转动的稳定性，通过设置微型水泵，微型水泵的输入端与出水管固定连接，进而当清洗箱内部的废液累积到一定程度后，可以通过微型水泵将废液进行排放。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型实施例提供的立体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的拆分结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的分隔板结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的固定板结构示意图。

图中：1、清洗台；2、清洗箱；3、支撑架；4、冲淋头；5、通水管；6、安装框；7、分隔板；8、承托架；9、移动架；10、限位块；11、固定板；12、活动槽；13、丝杆；14、微型驱动电机；15、连接架；16、支撑块；17、放置槽；18、活动孔；19、螺纹孔；20、卡接槽；21、卡接块；22、安装槽；23、轴承；24、出水孔；25、出水管；26、微型水泵；27、排水管。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

参见图1、图2、图3和图4，本实用新型实施例提供的一种硅片清洗装置，包括清洗台1，清洗台1的顶面固定连接有清洗箱2，清洗台1的顶面固定连接有支撑架3，支撑架3的一侧固定连接有冲淋头4，冲淋头4为已有结构在此不做赘述，冲淋头4的顶面固定连接有通水管5，通水管5为已有结构在此不做赘述，清洗台1的上方设置有清洗组件，用于对硅片进行更全面的清洗，通过设置冲淋头4，冲淋头4固定连接有通水管5，通水管5与进液管道固定连接，进而可以使得工作人员可以将清洗液通过通水管5输送至冲淋头4，对硅片进行冲洗，清洗组件还包括两个支撑块16，两个支撑块16分别固定连接在安装框6的两侧，清洗箱2的顶面开设有两个放置槽17，放置槽17与支撑块16活动套设，固定板11的顶面开设有活动孔18，活动孔18与活动槽12相连通，活动孔18的内圆壁面与微型驱动电机14旋转轴的外圆壁面活动套设，微型驱动电机14为已有结构在此不做赘述，通过设置支撑块16，支撑块16与放置槽17活动套设，进而当工作人员将安装框6放置在清洗箱2后，可以通过支撑块16对安装框6进行支撑，同时对安装框6进行限位。

参见图2和图4，连接架15的顶面开设有螺纹孔19，螺纹孔19的内部与丝杆13螺纹连接，丝杆13为已有结构在此不做赘述，活动槽12的内壁面两侧均开设有卡接槽20，连接架15的两侧均固定连接有卡接块21，卡接块21与卡接槽20可拆卸的卡接，通过设置卡接块21，卡接块21与卡接槽20可拆卸的卡接，进而当连接架15通过丝杆13进行上下移动时，可以通过卡接块21进行限位，从而避免连接架15随着丝杆13而转动，活动槽12的内部底面开设有安装槽22，安装槽22的内圆壁面固定套设有轴承23，轴承23为已有结构在此不做赘述，轴承23的内环内圆壁面与丝杆13的外圆壁面固定套设，通过设置轴承23，轴承23与丝杆13固定套设，进而当丝杆13通过微型驱动电机14进行转动时，可以通过轴承23对丝杆13的一端进行支撑，从而增加丝杆13转动的稳定性。

参见图1、图2、图3和图4，清洗箱2的一侧开设有出水孔24，出水孔24的内圆壁面固定套设有出水管25，出水管25为已有结构在此不做赘述，出水管25的一端固定连接有微型水泵26，微型水泵26为已有结构在此不做赘述，微型水泵26的输出端固定连接有排水管27，排水管27为已有结构在此不做赘述，通过设置微型水泵26，微型水泵26的输入端与出水管25固定连接，进而当清洗箱2内部的废液累积到一定程度后，可以通过微型水泵26将废液进行排放，清洗组件包括安装框6，安装框6设置在清洗箱2的内部，安装框6的内壁面固定连接有分隔板7，安装框6的底面固定连接有两个承托架8，承托架8与分隔板7的底面固定连接，清洗箱2的内部设置有两个移动架9，移动架9的内部底面固定连接有若干个限位块10，清洗台1的顶面固定连接有两个固定板11，固定板11的一侧开设有活动槽12，活动槽12的内部设置有丝杆13，固定板11的顶面固定连接有微型驱动电机14，微型驱动电机14旋转轴的一端与丝杆13的顶端固定连接，丝杆13的外圆壁面设置有连接架15，连接架15的一侧与移动架9固定连接，通过设置移动架9，移动架9与连接架15固定连接，进而当工作人员将硅片放置在承托架8上后，通过分隔板7进行分隔，然后通过冲淋头4对硅片进行清洗，随后可以通过启动微型驱动电机14，使得移动架9进行上升，使得移动架9的内部底面与硅片的底面接触带动硅片上升，通过限位块10对硅片的两侧进行限位，使得硅片放置的接触面得到清洗。

工作原理：请参见图1-图4所示，在使用时，工作人员可以先将多个硅片放置在安装框6内，通过分隔板7进行分隔开，通过承托架8对硅片的底面进行承托，然后通过冲淋头4固定连接有通水管5，通水管5与进液管道固定连接，进而可以使得工作人员可以将清洗液通过通水管5输送至冲淋头4，对硅片进行冲洗，在冲洗的过程中，可以通过启动微型驱动电机14，使得丝杆13进行转动，进而可以使得连接架15进行向上移动，从而可以使得移动架9的内部底面与硅片的底面接触带动硅片上升，通过限位块10对硅片的两侧进行限位，使得硅片放置的接触面得到清洗，卡接块21与卡接槽20可拆卸的卡接，进而当连接架15通过丝杆13进行上下移动时，可以通过卡接块21进行限位，从而避免连接架15随着丝杆13而转动，当丝杆13通过微型驱动电机14进行转动时，可以通过轴承23对丝杆13的一端进行支撑，从而增加丝杆13转动的稳定性，当清洗箱2内部的废液累积到一定程度后，可以通过微型水泵26将废液进行排放。

以上仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (2)

1.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括：

清洗台（1），所述清洗台（1）的顶面固定安装有清洗箱（2），所述清洗台（1）的顶面固定安装有支撑架（3），所述支撑架（3）的一侧固定安装有冲淋头（4），所述冲淋头（4）的顶面固定连接有通水管（5）；

清洗组件，所述清洗组件设置在所述清洗台（1）的上方，用于对硅片进行更全面的清洗，所述清洗组件包括：

安装框（6），所述安装框（6）设置在所述清洗箱（2）的内部，所述安装框（6）的内壁面固定安装有分隔板（7），所述安装框（6）的底面固定安装有两个承托架（8），所述承托架（8）与所述分隔板（7）的底面固定安装，所述清洗箱（2）的内部设置有两个移动架（9），所述移动架（9）的内部底面固定安装有若干个限位块（10），所述清洗台（1）的顶面固定安装有两个固定板（11），所述固定板（11）的一侧开设有活动槽（12），所述活动槽（12）的内部设置有丝杆（13），所述固定板（11）的顶面固定安装有微型驱动电机（14），所述微型驱动电机（14）旋转轴的一端与所述丝杆（13）的顶端固定安装，所述丝杆（13）的外圆壁面设置有连接架（15），所述连接架（15）的一侧与所述移动架（9）固定安装，所述清洗组件还包括：

两个支撑块（16），两个所述支撑块（16）分别固定安装在所述安装框（6）的两侧，所述清洗箱（2）的顶面开设有两个放置槽（17），所述放置槽（17）与所述支撑块（16）活动套设，所述固定板（11）的顶面开设有活动孔（18），所述活动孔（18）与所述活动槽（12）相连通，所述活动孔（18）的内圆壁面与所述微型驱动电机（14）旋转轴的外圆壁面活动套设，所述连接架（15）的顶面开设有螺纹孔（19），所述螺纹孔（19）的内部与所述丝杆（13）螺纹连接，所述活动槽（12）的内壁面两侧均开设有卡接槽（20），所述连接架（15）的两侧均固定安装有卡接块（21），所述卡接块（21）与所述卡接槽（20）可拆卸的卡接，所述活动槽（12）的内部底面开设有安装槽（22），所述安装槽（22）的内圆壁面固定套设有轴承（23），所述轴承（23）的内环内圆壁面与所述丝杆（13）的外圆壁面固定套设。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗箱（2）的一侧开设有出水孔（24），所述出水孔（24）的内圆壁面固定套设有出水管（25），所述出水管（25）的一端固定连接有微型水泵（26），所述微型水泵（26）的输出端固定连接有排水管（27）。