CN219582784U - 一种用于气体混合腔安装的辅助工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。通过所述用于气体混合腔安装的辅助工具可以实现一个人简便的对所述气体混合腔和所述气体管线进行安装，节省时间且有效解放人力。

Description

一种用于气体混合腔安装的辅助工具

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种用于气体混合腔安装的辅助工具。

背景技术

在IC制造中，CVD(化学气相沉积)设备需要进行定期检修，拆除气体混合腔进行清洗保养以及清洗气体管道。

现有技术中，在拆除气体混合腔后需要按照个人经验手动对比调节气体混合腔和气体管线的相对位置将其组装到机台上，人工操作难以掌控精确位置，且一人难以完成，当出现位置误差时，会导致气体混合腔出现气体泄漏，进而导致后续氦气测试泄漏；另一方面，目前在进行氦气测漏前，需要待机台所有部件组装完毕并密封好后再进行，然而，如果发生气体泄漏的情况，需要将气体混合腔从机台上重新拆下来并组装查找气体泄漏原因，此过程十分浪费时间和人力。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，以解决人工组装气体混合腔和气体管线费时费力且精确度不高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括：第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。

优选地，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括可移动承载结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述可移动承载结构，随可移动承载结构的移动而移动。

优选地，所述移动承载结构包括滑动单元、调平单元和承载单元，所述承载单元具有一承载面，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述承载面，所述调平单元连接所述滑动单元和所述承载单元，并能够调整所述承载面相对所述滑动单元的角度和/或高度。

优选地，所述承载单元具有设于所述承载面的固定结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构通过所述固定结构可拆卸设于所述承载面；或者，

所述第一支撑结构和所述第二支撑结构固定连接于所述承载面。

优选地，所述第一支撑结构包括至少两个第一支撑单元，至少两个所述第一支撑单元呈圆周均匀分散设置。

优选地，所述第一支撑结构为可升降结构。

优选地，所述第二支撑结构包括至少两个第二支撑单元，至少两个所述第二支撑单元的高度与所述气体管线的至少两个分支的安装高度分别相匹配。

优选地，各所述第二支撑单元具有设于上表面的凹槽，所述凹槽的槽宽与所对应支撑的所述分支的外径相匹配。

优选地，各所述第二支撑单元包括弹性体，所述弹性体通过轴向伸缩调整相应所述第二支撑单元的高度。

优选地，所述辅助工具还包括：密封结构，所述密封结构的尺寸与所述气体混合腔的安装接口的尺寸相匹配。

综上所述，本实用新型提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。通过所述辅助工具，可以实现一个人简便快速的对所述气体混合腔和所述气体管线进行安装，节省时间且解放人力。

进一步的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具还包括可移动的承载结构，帮助所述辅助工具在一平面内移动，无需人力手动搬运至需要安装的机台位置。

进一步的，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构高度可调节，且所述可移动承载结构可以调节所述承载面相对所述滑动单元的角度和/或高度，如此设置方便工作人员调整高度找到更精确的连接位置，进而提高连接精度。

进一步的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具辅助所述气体混合腔在不与机台组装的状态下即可完成氦气测漏，无需将所述气体混合腔和所述气体管线组装回机台，并省略将机台各部件全部组装的步骤，简化流程。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的用于气体混合腔安装的辅助工具辅助气体混合腔和气体管线组装完成后的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的用于气体混合腔安装的辅助工具结构示意图；

其中，各附图标记说明如下：

1-第一支撑结构；2-第二支撑结构；3-可移动承载结构；

11-第一支撑单元；21-第二支撑单元；

100-气体混合腔；200-气体管线。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种用于气体混合腔安装的辅助工具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

还应当理解的是，在本实用新型中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，术语“安装”、“相连”、“连接”若未做详细说明则应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型实施例提供的一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具用于气体混合腔与所述气体管线之间的组装，以及气体混合腔与机台的组装。

请参见图2并结合图1，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括：第一支撑结构1和第二支撑结构2，所述第一支撑结构1的高度限定所述气体混合腔100的安装高度，所述第二支撑结构2的高度限定与所述气体混合腔100连接的气体管线200的安装高度。应当可以理解的是，这里所述第一支撑结构1的高度是指其顶部相对一参考面(该参考面可以为其底部所在平面)的高度，所述第二支撑结构2的高度是指其顶部相对同一参考面的高度，而所述气体混合腔100和所述气体管线200的安装高度是指其底部相对于该同一参考面的高度。即，所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2的高度，所述气体混合腔100和所述气体管线200的高度是相对同一参考面来进行描述。

本实施例中，在对所述气体混合腔100和所述气体管线200组装前，要先将所述气体混合腔100组装完成，即将所述气体混合腔100包括的下底盘、中间盘以及上盖盘组装好后再与所述气体管线200组装连接，在此组装过程中，利用所述用于气体混合腔安装的辅助工具进行支撑，只需一个工作人员即可完成所述气体混合腔100的组装步骤。

具体的，请继续参见图2并结合图1，所述第一支撑结构1包括至少两个第一支撑单元11，至少两个所述第一支撑单元11呈圆周均匀分散设置，所述第一支撑单元11与所述下底盘相接触，用于支撑所述气体混合腔100。需要注意的是，上述“圆周”直径小于或等于所述下底盘直径。此外，所述第一支撑单元11的数量可根据实际需要而设定，本实用新型对此不做限制，为了增强所述第一支撑结构1的稳定性，作为一种可选的实施方式，本实用新型提供的实施例中所述第一支撑单元11的数量为3。

由于所述气体管线200用于向所述气体混合腔100内输入不同气体，因此所述气体管线200一般会包括至少两个分支，两个分支分别用于与不同的气体输送腔连接以向所述气体混合腔100内输送不同气体。各分支相对参考面的高度可能相同或不同，由此，较佳的，本实施例中，所述第二支撑结构2包括至少两个第二支撑单元21，至少两个所述第二支撑单元21的高度与所述气管线的至少两个分支的安装高度分别相匹配，用于支撑所述气体管线200。

另外较佳的，各所述第二支撑单元21具有设于上表面的凹槽，所述凹槽的槽宽与所对应支撑的所述分支的外径相匹配，当利用所述第二支撑单元21对所述气体管线200进行支撑时，利用所述凹槽固定所述分支在相应所述第二支撑单元21上的位置，从而可以提高所述气体管线200与所述气体混合腔100之间的连接精度。

优选的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具还包括可移动承载结构3，所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2均设于所述可移动承载结构3，所述可移动承载结构3包括承载单元，所述承载单元具有一承载面，这里所述承载面可作为上述的参考面。

由图1可见，所述气体混合腔100的所述上盖盘和所述下底盘两端均与所述气体管线200连接组装，由于所述气体管线200本身具有一定高度，故要求所述第一支撑单元11高度至少大于与所述气体混合腔100的所述下底盘连接的所述气体管线200的安装高度。

另外，本实施例中，较佳的，所述可移动承载结构3还包括滑动单元，所述滑动单元用于通过移动带动所述承载单元移动，从而带动位于所述承载面上的所述气体混合腔100及所述气体管线200移动至机台相应位置，而后将其组装至机台上。所述滑动单元例如可为滑轮。

另外，考虑到所述可移动承载结构3所处地面可能为非水平面，所述可移动承载结构3还包括调平单元，所述调平单元连接所述滑动单元和所述承载单元，用于调节所述承载面相对所述滑动单元的角度，扩大所述用于气体混合腔安装的辅助工具的适用范围，提高安装的便利性。

此外，将所述气体混合腔100及所述气体管线200组装至机台的过程中，为了方便初步调节纵向高度以找到精确位置进行连接，所述调平单元还可调整所述承载面相对所述滑动单元所在平面的高度，所述调平单元可包括多个可升降杆，通过多个可升降杆配合升降，实现对于所述承载单元的角度和高度的调整。

为了保证具有一定高度的所述第一支撑单元11以及所述第二支撑单元21支撑所述气体混合腔100完成其本身组装以及所述气体混合腔100和所述气体管线200之间组装过程中的稳定性，在一些实施例中，所述承载单元具有设于所述承载面的固定结构，所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2通过所述固定结构可拆卸设于所述承载面。作为一种实施方式，所述承载面上分布有多个限位槽，多个所述限位槽构成所述固定结构，所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2直接设于相应限位槽内即可。作为另一种实施方式，所述承载面可以具有螺纹孔，所述第一支撑单元11或所述第二支撑单元21的外周具有螺纹，所述第一支撑单元11和所述第二支撑单元21之间以螺纹连接进行固定，保证所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2处于工作状态时的稳定性。

在一些固定的应用场景中，所述用于气体混合腔安装的辅助工具可以适用于同一种型号规格的所述气体混合腔100和所述气体管线200的连接，因此，在另一些实施例中，所述第一支撑单元11和所述第二支撑单元21固定连接于所述承载面，连接方式包括粘接、焊接、热熔等多种连接方式，本实用新型对此不做限定。

另外，较佳的，各所述第一支撑单元11可为升降结构，所述可升降结构例如可为套筒式升降结构、伸缩式升降结构等，本实用新型对此不做限制；和/或,各所述第二支撑单元21包括弹性体，所述弹性体通过轴向伸缩调整相应所述第二支撑单元21的高度。可先利用所述调平单元进行初步安装高度调整后，再利用所述第一支撑单元11和所述第二支撑单元21对安装高度作进一步精确调整。

其中，所述气体管线200在连接至所述气体混合腔100时，由于所述弹性体可轴线伸缩进而调整所述气体管线200相对所述气体混合腔100的纵向位置，如此，工作人员可以不断调整位置直至精确安装，且组装完成后，所述气体管线200对所述第二之臣单元持续施加一定压力，使得所述弹性体维持压缩状态不变化并支撑此时位置的所述气体管线200。

本实用新型提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具还包括密封结构，所述密封结构的尺寸与所述气体混合腔100的安装接口的尺寸相匹配。可选的，所述密封结构包括堵头和密封圈，所述堵头表面设置有螺纹，方便拧紧与所述气体混合腔100的安装接口紧密连接，为了增强紧密性，所述密封圈位于所述堵头与所述绝缘管连接口之间位置。

所述密封结构用于当所述气体混合腔100与机台处于非连接状态时，对所述安装接口进行密封，因此，本实用新型提供的所述用于气体混合腔安装的辅助工具辅助对所述气体混合腔100和所述气体管线200组装完成后，还可以辅助所述气体混合腔100在不与机台组装的状态下即可完成氦气测漏。为了清楚完整地说明本实用新型实施例的技术方案，可以通过本实用新型提供的所述用于气体混合腔安装的辅助工具所发挥不同作用的场景进行示例性说明。

【场景一】所述用于气体混合腔安装的辅助工具用于辅助组装所述气体混合腔100及所述气体管线200并将组装好的所述气体混合腔100及所述气体管线200组装至机台上。

步骤一，利用所述用于气体混合腔安装的辅助工具中的所述第一支撑单元11支撑所述下底盘，随后将所述中间盘及所述上盖盘放置于所述下底盘上，找到三个pin点位置并对齐后进行组装，此组装过程利用所述用于气体混合腔安装的辅助工具支撑，只需一个工作人员即可实现。

步骤二，将所述气体管线200放置在所述第二支撑单元21上表面的凹槽内固定，由于所述第二支撑单元21具有弹性体可轴向伸缩，因此，可以通过调整所述第二支撑单元21的纵向高度找到准确连接位置，并将所述气体管线200连接至所述气体混合腔100内。

步骤三，利用所述滑动单元将位于所述承载面上的所述气体混合腔100和所述气体管线200移动至与机台连接的合适位置，在调整纵向高度时，可以先利用所述调平单元进行初步的安装高度的调整，随后利用所述第一支撑单元11对纵向高度进行进一步的精确调整，以便于实现将所述气体混合腔100精确连接至机台的目的。另外，当所述可移动承载结构3所处地面不平时，还可以通过所述调平单元调节所述承载面相对所述地面的角度，以方便更精确的连接。

【场景二】所述用于气体混合腔安装的辅助工具用于辅助所诉气体混合腔100在不与机台组装的状态下完成氦气测漏。

在进行氦气测漏前，需要利用所述密封结构对所述气体混合腔100密封，密封完成后，便可利用氦气检漏仪进行机台下的氦气测漏，此过程无需将所述气体混合腔100和所述气体管线200组装回机台，并省略将机台各部件全部组装的步骤，节省时间，且，如果出现氦气泄漏的情况，只需在机台下当场查找泄漏原因，无需将组装回机台的所述气体混合腔100和所述气体管线200重新拆下来再查找问题所在，大大节约了人力和时间。

另外，值得注意的是，本实用新型所适用的机型范围包括但不限于LAM VectorExtreme和LAM Vector Express和LAM VectorNovellus，上述三种机型的机台为LAMresearch公司生产且适用于化学气相沉积范围。

综上所述，本实用新型提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。通过所述用于气体混合腔安装的辅助工具，可以实现一个人简便快速的对所述气体混合腔和所述气体管线进行安装，节省时间且解放人力。进一步的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具还包括可移动的承载结构，帮助所述用于气体混合腔安装的辅助工具在一平面内移动，无需人力手动搬运至需要安装的机台位置。更进一步的，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构高度可调节，且所述可移动承载结构可以调节所述承载面相对所述滑动单元的角度和/或高度，如此设置方便工作人员调整高度找到更精确的连接位置，进而提高连接精度。再进一步的，利用用于气体混合腔安装的辅助工具用于辅助在机台下完成氦气测漏，无需组装回机台并将各部件全部组装完成后再进行，简化流程。

此外还应该认识到，虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本实用新型。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围。

Claims (7)

1.一种用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述辅助工具包括：第一支撑结构、第二支撑结构、密封结构以及可移动承载结构，所述第一支撑结构的高度限定气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度；所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述可移动承载结构，随所述可移动承载结构的移动而移动；所述密封结构的尺寸与所述气体混合腔的安装接口的尺寸相匹配；所述可移动承载结构包括滑动单元、调平单元和承载单元，所述承载单元具有一承载面，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述承载面，所述调平单元连接所述滑动单元和所述承载单元，并能够调整所述承载面相对所述滑动单元所在平面的角度和/或高度。

2.如权利要求1所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述承载单元具有设于所述承载面的固定结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构通过所述固定结构可拆卸设于所述承载面；或者，

所述第一支撑结构和所述第二支撑结构固定连接于所述承载面。

3.如权利要求1所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述第一支撑结构包括至少两个第一支撑单元，至少两个所述第一支撑单元呈圆周均匀分散设置。

4.如权利要求3所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述第一支撑结构为可升降结构。

5.如权利要求1所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述第二支撑结构包括至少两个第二支撑单元，至少两个所述第二支撑单元的高度与所述气体管线的至少两个分支的安装高度分别相匹配。

6.如权利要求5所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，各所述第二支撑单元具有设于上表面的凹槽，所述凹槽的槽宽与所对应支撑的所述分支的外径相匹配。

7.如权利要求5所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，各所述第二支撑单元包括弹性体，所述弹性体通过轴向伸缩调整相应所述第二支撑单元的高度。