CN219561846U - 一种冷却装置及激光掺杂集烟箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于激光掺杂技术领域，具体涉及一种冷却装置及激光掺杂集烟箱。本装置包括：装配板，用于安装在集烟箱的下部，且所述装配板上设置有若干风道，所述风道的出风口与集烟箱的内部连通；制冷板，盖置在风道的进风口；若干风扇，设置在相应的风道内；以及制冷机构，用于降低制冷板的温度；其中所述制冷板适于对风道进风口处的空气进行冷却，且风扇适于将风道内的冷空气吹入集烟箱。冷却装置安装在集烟箱的下部，装配板上设置有若干风道，相应风道里设置有风扇，且制冷板可以对进入风道的空气进行制冷，风扇适于将风道内的冷空气吹入集烟箱内，以对位于集烟箱下方的载具进行降温，可以解决因载具温度过高变形影响激光掺杂质量的技术问题。

Description

一种冷却装置及激光掺杂集烟箱

技术领域

本实用新型属于激光掺杂技术领域，具体涉及一种冷却装置及激光掺杂集烟箱。

背景技术

掺有部分杂质的光伏硅片，因为存在电子不对称性，具有内电场。当存在太阳照射时，电子被激发，在内电场作用下会发生移动，从而产生电流。

在激光掺杂工艺中，主要是通过激光器发射脉冲激光束对载具上的硅片进行加热，根据不同工艺需求，其加热温度在几百度不等。此外，掺杂过程中，会产生烟尘，一般会在载具上方设置集烟箱。但是，随着设备生产时间的加长，载具温度会上升，常用的硅片载具是金属材料为主体，表层设置陶瓷层，这种载具温度过高或发生变形，从而导致承载的硅片至激光出光口的距离发生改变，则会使激光束照射在硅片上的能量发生变化，从而影响激光掺杂的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种冷却装置及激光掺杂集烟箱，以便于对光伏硅片的载具进行冷却降温，克服因载具温度过高变形影响激光掺杂质量的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种冷却装置，包括：装配板，用于安装在集烟箱的下部，且所述装配板上设置有若干风道，所述风道的出风口与集烟箱的内部连通；制冷板，盖置在风道的进风口；若干风扇，设置在相应的风道内；以及制冷机构，用于降低制冷板的温度；其中所述制冷板适于对风道进风口处的空气进行冷却，且风扇适于将风道内的冷空气吹入集烟箱。

进一步的，所述风道斜向下设置；以及所述风扇用于向位于集烟箱下方的载具吹风。

进一步的，所述制冷板朝向风道一侧的表面设置有横向进风槽组和若干纵向进风槽组；所述风扇安装在相应纵向进风槽组与横向进风槽组的交汇区。

进一步的，所述横向进风槽组、纵向进风槽组的进风槽均延伸至制冷板的边缘。

进一步的，所述风道的进风口的若干侧边设置有缺口。

进一步的，所述制冷机构包括：若干制冷件，其制冷面连接于制冷板远离风道一侧的表面；以及换热板，连接于制冷件的散热面。

进一步的，所述换热板朝向制冷件一侧的表面设置有与制冷件一一对应的安装槽；所述制冷件嵌装在相应的安装槽内。

进一步的，所述换热板朝向制冷件一侧的表面还设置有布线槽，用于容纳制冷件的线缆。

进一步的，所述换热板内设置有水冷通道；以及所述换热板上设置有与水冷通道连通的进水口和出水口。

又一方面，本实用新型还提供了一种激光掺杂集烟箱，用于罩设在光伏硅片的载具上方，所述集烟箱的下部至少一侧面上设置有如上所述的冷却装置。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的冷却装置安装在集烟箱的下部，装配板上设置有若干风道，相应风道里设置有风扇，且制冷板可以对进入风道的空气进行制冷，风扇适于将风道内的冷空气吹入集烟箱内，以对位于集烟箱下方的载具进行降温，可以解决因载具温度过高变形影响激光掺杂质量的技术问题。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的冷却装置的优选实施例的立体图；

图2是本实用新型的冷却装置的优选实施例的装配示意图；

图3是本实用新型的冷却装置的优选实施例的换热板的剖视图；

图4是本实用新型的冷却装置的优选实施例的装配板的后视图；

图5是本实用新型的冷却装置的优选实施例的集烟箱的示意图；

图6是本实用新型的冷却装置的优选实施例的掺杂设备示意图；

图7是本实用新型的冷却装置的优选实施例的载具的示意图。

图中：

冷却装置100、集烟箱200、载具300；

装配板1、风道11、缺口111、制冷板2、横向进风槽组21、纵向进风槽组22、风扇3、制冷机构4、制冷件41、线缆411、换热板42、安装槽421、布线槽422、水冷通道423、进水口424、出水口425。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2和图5所示，本实用新型的第一方面实施例提供了一种冷却装置，包括：装配板1，用于安装在集烟箱200的下部，且所述装配板1上设置有若干风道11，所述风道11的出风口与集烟箱200的内部连通；制冷板2，盖置在风道11的进风口；若干风扇3，设置在相应的风道11内；以及制冷机构4，用于降低制冷板2的温度；其中所述制冷板2适于对风道11进风口处的空气进行冷却，且风扇3适于将风道11内的冷空气吹入集烟箱200。

在一些实施例中，优选的，所述风道11斜向下设置；以及所述风扇3用于向位于集烟箱200下方的载具300吹风。

在本实施例中，制冷机构4降低制冷板2的温度，制冷板2再对进入风道11内的空气进行降温，风扇3将冷空气吹向集烟箱200下方的载具300，以对位于集烟箱下方的载具进行降温，可以解决因载具温度过高变形影响激光掺杂质量的技术问题。

如图2所示，在一些实施例中，优选的，所述制冷板2朝向风道11一侧的表面设置有横向进风槽组21和若干纵向进风槽组22；所述风扇3安装在相应纵向进风槽组22与横向进风槽组21的交汇区。

在本实施例中，可选的，风扇3安装在制冷板2朝向风道11一侧的表面上后，再将制冷板2安装在装配板1的背面，风扇3位于对应的风道11内；空气从横向进风槽组21和若干纵向进风槽组22进入风道11的进风口，可以与制冷板2充分接触，以提升空气的降温效率。

在本实施例中，可选的，所述横向进风槽组21、纵向进风槽组22的进风槽均延伸至制冷板2的边缘。

如图4所示，在本实施例中，可选的，为了便于进风，所述风道11的进风口的若干侧边设置有缺口111，可以充分利用风扇产生的负压进风，提升进风量。

如图2所示，在一些实施例中，优选的，所述制冷机构4包括：若干制冷件41，其制冷面连接于制冷板2远离风道11一侧的表面；以及换热板42，连接于制冷件41的散热面。

在本实施例中，可选的，制冷件41可以是半导体制冷片，可以与控制模块电性相连，以便于根据需要控制其降温的温度。

如图2所示，在一些实施例中，优选的，所述换热板42朝向制冷件41一侧的表面设置有与制冷件41一一对应的安装槽421；所述制冷件41嵌装在相应的安装槽421内。

在本实施例中，制冷件41嵌装在相应的安装槽421内，可以更好的贴合换热板42，且可以减小整体装配体积。

如图2所示，在一些实施例中，优选的，所述换热板42朝向制冷件41一侧的表面还设置有布线槽422，用于容纳制冷件41的线缆411，可以减小整体装配体积。

如图3所示，在一些实施例中，优选的，所述换热板42内设置有水冷通道423；以及所述换热板42上设置有与水冷通道423连通的进水口424和出水口425。

在本实施例中，换热板42采用水冷设计，可以通过水冷机供应冷水，以与制冷件41进行换热；此外，水冷机也可以与控制模块电性相连，便于根据换热需要控制水冷机输出冷水的温度。

如图5所示，在上述实施例的基础上，本实用新型的第二方面实施例提供了一种激光掺杂集烟箱，用于罩设在光伏硅片的载具300上方，所述集烟箱200的下部至少一侧面上设置有如上所述的冷却装置100。

在本实施例中，可选的，集烟箱200可以有多个侧面，也可以是圆弧面，冷却装置100可以是一个或多个，根据需要设置在集烟箱200的侧面上；冷却装置100可以是设置在集烟箱200的外侧，也可以部分的位于集装箱200内。

如图6和图7所示，在一些应用场景中，载体300可以是旋转式转运，当部分载具300位于集烟箱200下方时，其他载具300可以在集烟箱200外进行上下料；在对位于集烟箱200下方载具300上的硅片进行掺杂时，集烟箱200可以用于收集加热产生的烟尘，且冷却装置100可以持续对载具300进行降温，防止持续生产后其变形；当位于集烟箱200下方载具300上的硅片掺杂完后，该载具300被转移出集烟箱200下方，再将上料完成的载具300转移至集烟箱200下方。

综上所述，本实用新型的冷却装置100的制冷机构4降低制冷板2的温度，制冷板2再对进入风道11内的空气进行降温，风扇3将冷空气吹向集烟箱200下方的载具300，以对位于集烟箱下方的载具进行降温，可以解决因载具温度过高变形影响激光掺杂质量的技术问题；制冷件41可以是半导体制冷片，可以与控制模块电性相连，以便于根据需要控制其降温的温度；水冷机也可以与控制模块电性相连，便于根据换热需要控制水冷机输出冷水的温度。

本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种冷却装置，其特征在于，包括：

装配板(1)，用于安装在集烟箱(200)的下部，且所述装配板(1)上设置有若干风道(11)，所述风道(11)的出风口与集烟箱(200)的内部连通；

制冷板(2)，盖置在风道(11)的进风口；

若干风扇(3)，设置在相应的风道(11)内；以及

制冷机构(4)，用于降低制冷板(2)的温度；其中

所述制冷板(2)适于对风道(11)进风口处的空气进行冷却，且风扇(3)适于将风道(11)内的冷空气吹入集烟箱(200)。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，

所述风道(11)斜向下设置；以及

所述风扇(3)用于向位于集烟箱(200)下方的载具(300)吹风。

3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，

所述制冷板(2)朝向风道(11)一侧的表面设置有横向进风槽组(21)和若干纵向进风槽组(22)；

所述风扇(3)安装在相应纵向进风槽组(22)与横向进风槽组(21)的交汇区。

4.根据权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，

所述横向进风槽组(21)、纵向进风槽组(22)的进风槽均延伸至制冷板(2)的边缘。

5.根据权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，

所述风道(11)的进风口的若干侧边设置有缺口(111)。

6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，

所述制冷机构(4)包括：

若干制冷件(41)，其制冷面连接于制冷板(2)远离风道(11)一侧的表面；以及

换热板(42)，连接于制冷件(41)的散热面。

7.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，

所述换热板(42)朝向制冷件(41)一侧的表面设置有与制冷件(41)一一对应的安装槽(421)；

所述制冷件(41)嵌装在相应的安装槽(421)内。

8.根据权利要求7所述的冷却装置，其特征在于，

所述换热板(42)朝向制冷件(41)一侧的表面还设置有布线槽(422)，用于容纳制冷件(41)的线缆(411)。

9.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，

所述换热板(42)内设置有水冷通道(423)；以及

所述换热板(42)上设置有与水冷通道(423)连通的进水口(424)和出水口(425)。

10.一种激光掺杂集烟箱，用于罩设在光伏硅片的载具(300)上方，其特征在于，

所述集烟箱(200)的下部至少一侧面上设置有如权利要求1～9任一项所述的冷却装置(100)。