CN219549542U - 用于硅片镀膜装置的减速机油封机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，包括：油液密封组件，油液密封组件套设于减速机的输出轴的外周；减速机连接板，减速机连接板套设于输出轴的外周，减速机连接板可拆卸连接于油液密封组件的第一端；端盖，端盖套设于输出轴的外周，且端盖可拆卸连接于油液密封组件的第二端；油液密封组件、减速机连接板、端盖和输出轴之间形成油液收集腔；油液收集器，油液收集器可拆卸连接于油液密封组件油液收集器连通油液收集腔，油液收集器能够吸取油液收集腔内的润滑油。其有益效果是，油液收集腔用于收集减速机的输出轴上的润滑油，以避免输出轴上的润滑油进入减速机导致减速机受损失效。

Description

用于硅片镀膜装置的减速机油封机构

技术领域

本实用新型涉及硅片镀膜技术领域，尤其涉及一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构。

背景技术

参见公开号为CN113983147A的现有技术所公开的一种自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置。该现有技术中的减速机的输出轴通过螺母连接镀膜工艺炉，为便于将减速机的输出轴和螺母调节至同轴状态，采用自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置方便快捷实现将减速机的输出轴和螺母调节至同轴状态。该现有技术的结构为：内转向套套设于输出轴上，内转向套间隙设置且转动连接外转向套内，外转向套转动连接于安装固定板，安装固定板固定连接镀膜工艺炉，以使安装固定板可绕减速机的输出端的轴线偏转，便捷调节减速机的输出轴和螺母同轴。

为减小外转向套和内转向套的转动连接部位以及外转向套和安装固定板之间的转动连接部位的摩擦力，在外转向套和内转向套上设置用于注入润滑油的油道，以便于转动安装固定板。然而，该润滑油易由内转向套流至减速机的输出轴并进入减速机内，进而导致减速机受损失效。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其解决了现有技术中的自适应减速机轴和螺母不同心的调节装置，易导致润滑油流至减速机的输出轴并进入减速机内，进而导致减速机受损失效的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

本实用新型实施例提供一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，包括：

油液密封组件，所述油液密封组件能够套设于减速机的输出轴的外周；

减速机连接板，所述减速机连接板能够套设于所述输出轴的外周，所述减速机连接板可拆卸连接于所述油液密封组件的第一端；

端盖，所述端盖能够套设于所述输出轴的外周，且所述端盖可拆卸连接于所述油液密封组件的第二端；

所述油液密封组件、所述减速机连接板、所述端盖和所述输出轴之间能够形成油液收集腔；

油液收集器，所述油液收集器可拆卸连接于所述油液密封组件，且所述油液收集器连通所述油液收集腔，所述油液收集器能够吸取所述油液收集腔内的润滑油。

根据本实用新型，所述油液密封组件包括：

内环，所述内环能够套设于所述输出轴的外周，所述内环的内周向侧壁上设置刮板，所述内环的周向侧壁设置内环油孔；

外环，所述外环套设并可拆卸连接于所述内环的外周，所述外环的周向侧壁设置外环油孔，所述外环油孔和所述内环油孔连通；

所述内环、所述减速机连接板、所述端盖和所述输出轴之间能够形成所述油液收集腔。

根据本实用新型，所述内环的内周向侧壁沿周向间隔设置多个所述刮板，所述刮板的延伸方向倾斜于所述内环的轴向。

根据本实用新型，所述内环的外周向侧壁设置凹槽，所述凹槽沿所述内环的轴向延伸设置；

所述外环的内周向侧壁设置凸起，所述凸起沿所述外环的轴向延伸设置；

所述凸起能够卡接于所述凹槽内。

根据本实用新型，所述外环的外周向侧壁沿所述外环的径向向外延伸形成筒状的连接台，所述连接台和所述油液收集器螺纹连接，且所述连接台的空腔连通所述油液收集器和所述外环油孔。

根据本实用新型，所述外环的第一端和所述减速机连接板可拆卸连接；

所述外环的第二端和所述端盖可拆卸连接。

根据本实用新型，还包括轴承，所述轴承位于所述输出轴和所述外环之间。

根据本实用新型，所述油液收集器的内部设置油液吸取腔，所述油液吸取腔连通所述连接台的空腔，所述油液吸取腔为负压环境。

根据本实用新型，所述油液收集器包括离心泵，所述离心泵通过管道连通所述油液吸取腔。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，通过设置油液密封组件、减速机连接板和端盖，油液密封组件、减速机连接板和端盖均套设于减速机的输出轴的外周，且减速机连接板可拆卸连接于油液密封组件的第一端，减速机连接板可拆卸连接于减速机的外壳，端盖可拆卸连接于油液密封组件的第二端，以在油液密封组件、减速机连接板、端盖和输出轴之间形成油液收集腔，油液收集腔用于收集减速机的输出轴上的润滑油，以避免输出轴上的润滑油进入减速机导致减速机受损失效。同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构还包括油液收集器，油液收集器可拆卸连接于油液密封组件，且油液收集器连通油液收集腔，油液收集器能够吸取油液收集腔内的润滑油，以排出油液收集腔内的润滑油。

同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构中的油液密封组件、减速机连接板、端盖、输出轴和减速机的外壳之间均可采用拆卸连接，以便于装卸和维护。

附图说明

图1为本实用新型的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构的装配图；

图2为图1的分解视图(未示出轴承)；

图3为图1的剖视图。

【附图标记说明】

1：油液密封组件；11：内环；111：刮板；112：内环油孔；113：凹槽；12：外环；121：外环油孔；122：凸起；123：连接台；124：外环连接孔；

2：油液收集器；

3：减速机连接板；31：减速机连接孔；

4：端盖；41：端盖孔；

5：轴承；

6：输出轴；

a：油液收集腔。

具体实施方式

为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型作详细描述。

参见图1-3，本实用新型实施例提出的一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，包括油液密封组件1、减速机连接板3、端盖4和油液收集器2。

油液密封组件1能够套设于减速机的输出轴6的外周。减速机连接板3能够套设于输出轴6的外周，减速机连接板3可拆卸连接于油液密封组件1的第一端。端盖4能够套设于输出轴6的外周，且端盖4可拆卸连接于油液密封组件1的第二端。油液密封组件1、减速机连接板3、端盖4和输出轴6之间能够形成油液收集腔a。油液收集器2可拆卸连接于油液密封组件1，且油液收集器2连通油液收集腔a，油液收集器2能够吸取油液收集腔a内的润滑油。

通过设置油液密封组件1、减速机连接板3和端盖4。油液密封组件1、减速机连接板3和端盖4均套设于减速机的输出轴6的外周，且减速机连接板3可拆卸连接于油液密封组件1的第一端，减速机连接板3可拆卸连接于减速机的外壳，端盖4可拆卸连接于油液密封组件1的第二端，以在油液密封组件1、减速机连接板3、端盖4和输出轴6之间形成油液收集腔a。油液收集腔a用于收集减速机的输出轴6上的润滑油，以避免输出轴6上的润滑油进入减速机导致减速机受损失效。同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构还包括油液收集器2，油液收集器2可拆卸连接于油液密封组件1，且油液收集器2连通油液收集腔a，油液收集器2能够吸取油液收集腔a内的润滑油，以排出油液收集腔a内的润滑油。同时，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构中的油液密封组件1、减速机连接板3、端盖5、输出轴6和减速机的外壳之间均可采用拆卸连接，以便于装卸和维护。

进一步，油液密封组件1包括内环11和外环12。

内环11能够套设于输出轴6的外周，内环11的内周向侧壁上设置刮板111，内环11的周向侧壁设置内环油孔112。外环12套设并可拆卸连接于内环11的外周，外环12的周向侧壁设置外环油孔121，外环油孔121和内环油孔112连通。内环11、减速机连接板3、端盖4和输出轴6之间能够形成油液收集腔a。

使用时，减速机的输出轴6相对内环11绕输出轴6的轴线转动，内环11上的刮板111能够刮取输出轴6上的润滑油并将润滑油收集至油液收集腔a内。

具体地，内环11的内周向侧壁沿周向间隔设置多个刮板111，刮板111的延伸方向倾斜于内环11的轴向，以便于刮取输出轴6上的润滑油。

进一步，内环11的外周向侧壁设置凹槽113，凹槽113沿内环11的轴向延伸设置。外环12的内周向侧壁设置凸起122，凸起122沿外环12的轴向延伸设置。凸起122能够卡接于凹槽113内，以将内环11可拆卸连接于外环12上。

进一步，外环12的外周向侧壁沿外环12的径向向外延伸形成筒状的连接台123，连接台123和油液收集器2螺纹连接，且连接台123的空腔连通油液收集器2和外环油孔121，油液收集器2能够将油液收集腔内的润滑油依次由油液收集腔、内环油孔112、外环油孔121和连接台123的空腔吸取至油液收集器2内，以排出油液收集腔内的润滑油。

进一步，油液收集器2的内部设置油液吸取腔，油液吸取腔连通连接台123的空腔，油液吸取腔为负压环境。

油液收集器2包括离心泵，离心泵通过管道连通油液吸取腔，离心泵能够使油液吸取腔形成负压环境。

进一步，减速机连接板3可拆卸连接外环12的第一端，端盖4可拆卸连接外环12的第二端。优选地，外环12的第一端和减速机连接板3螺纹连接。减速机连接板3上设置减速机连接孔31，螺栓穿过减速机连接孔31以将减速机连接板3可拆卸连接于减速机的外壳上。外环12的第二端的端面设置外环连接孔123，端盖4上设置端盖孔41，螺栓穿过外环连接孔123和端盖孔41以将外环12可拆卸连接于端盖4上。

优选地，减速机连接板3的内周向侧壁设置密封圈，以密封减速机连接板3和输出轴6之间的缝隙，减少进入油液收集腔a内的润滑油，，降低润滑油进入减速机的风险。

端盖4的内周向侧壁设置密封圈，以密封端盖4和输出轴6之间的缝隙，减少进入油液收集腔a内的润滑油，降低润滑油进入减速机的风险。

进一步，本用于硅片镀膜装置的减速机油封机构还包括轴承5，轴承5位于输出轴6和外环12之间，轴承5用于支撑输出轴6的转动。轴承5的内圈固定在输出轴6上，轴承5的外圈固定在外环12上。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，包括：

油液密封组件(1)，所述油液密封组件(1)能够套设于减速机的输出轴(6)的外周；

减速机连接板(3)，所述减速机连接板(3)能够套设于所述输出轴(6)的外周，所述减速机连接板(3)可拆卸连接于所述油液密封组件(1)的第一端；

端盖(4)，所述端盖(4)能够套设于所述输出轴(6)的外周，且所述端盖(4)可拆卸连接于所述油液密封组件(1)的第二端；

所述油液密封组件(1)、所述减速机连接板(3)、所述端盖(4)和所述输出轴(6)之间能够形成油液收集腔(a)；

油液收集器(2)，所述油液收集器(2)可拆卸连接于所述油液密封组件(1)，且所述油液收集器(2)连通所述油液收集腔(a)，所述油液收集器(2)能够吸取所述油液收集腔(a)内的润滑油。

2.如权利要求1所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液密封组件(1)包括：

内环(11)，所述内环(11)能够套设于所述输出轴(6)的外周，所述内环(11)的内周向侧壁上设置刮板(111)，所述内环(11)的周向侧壁设置内环油孔(112)；

外环(12)，所述外环(12)套设并可拆卸连接于所述内环(11)的外周，所述外环(12)的周向侧壁设置外环油孔(121)，所述外环油孔(121)和所述内环油孔(112)连通；

所述内环(11)、所述减速机连接板(3)、所述端盖(4)和所述输出轴(6)之间能够形成所述油液收集腔(a)。

3.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述内环(11)的内周向侧壁沿周向间隔设置多个所述刮板(111)，所述刮板(111)的延伸方向倾斜于所述内环(11)的轴向。

4.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述内环(11)的外周向侧壁设置凹槽(113)，所述凹槽(113)沿所述内环(11)的轴向延伸设置；

所述外环(12)的内周向侧壁设置凸起(122)，所述凸起(122)沿所述外环(12)的轴向延伸设置；

所述凸起(122)能够卡接于所述凹槽(113)内。

5.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述外环(12)的外周向侧壁沿所述外环(12)的径向向外延伸形成筒状的连接台(123)，所述连接台(123)和所述油液收集器(2)螺纹连接，且所述连接台(123)的空腔连通所述油液收集器(2)和所述外环油孔(121)。

6.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述外环(12)的第一端和所述减速机连接板(3)可拆卸连接；

所述外环(12)的第二端和所述端盖(4)可拆卸连接。

7.如权利要求2所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，还包括轴承(5)，所述轴承(5)位于所述输出轴(6)和所述外环(12)之间。

8.如权利要求5所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液收集器(2)的内部设置油液吸取腔，所述油液吸取腔连通所述连接台(123)的空腔，所述油液吸取腔为负压环境。

9.如权利要求8所述的用于硅片镀膜装置的减速机油封机构，其特征在于，所述油液收集器(2)包括离心泵，所述离心泵通过管道连通所述油液吸取腔。