CN219486218U - 一种石英样块固定夹具 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种石英样块固定夹具，包括：滑轨组件，其数量为两个，任一滑轨组件包括滑轨和位于滑轨滑槽内的滑块，两个滑轨平行设置于线切割机工作台上；固定块，其数量为两个，且两个固定块分别滑动设置于两个滑轨上，任一固定块沿滑轨宽度方向开设有通孔，石英样块两端伸入两个通孔内；锁紧件，贯穿固定块外壁，并伸入在通孔内与石英样块抵持，用于将石英样块锁紧在固定块内；调节件，贯穿固定块外壁，并与滑块连接，用于调节滑块面向/远离固定块移动，以使滑块与固定块两者锁紧/松开滑轨。该夹具能够对不规则石英样块进行固定，取代了固溶胶的作用，在达到良好固定效果的同时，降低了固溶胶的使用成本。

Description

一种石英样块固定夹具

技术领域

本申请涉及石英砂加工设备技术领域，特别涉及一种石英样块固定夹具。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，石英坩埚也迅速崛起，因为石英坩埚是晶片制作过程中必不可少的一环，石英坩埚的质量关系到晶片的质量，石英砂的质量也关系到石英坩埚的质量，因此，判断石英砂品质的好坏是必不可少的。

石英坩埚制作过程中必不可少的原材料-石英砂，关系到石英坩埚的质量。而石英砂有很多种类，针对每种石英砂的品质，我们现在采用测粘度的方法，粘度测试中，需要用到石英砂制成的样块，然而刚制成的石英砂样块形状是不规则的，对实验结果影响比较大，这就需要我们用线割的方式将样块切成规则的长方体。针对不规则的样块，目前使用的方法是用固溶胶固定样品，技术存在的缺点是：定位比较麻烦，胶水污染样品，清理也比较麻烦，浪费资源、人力、物力、财力。

因此，针对上述技术问题，如何设计一种替代固溶胶固定，并具有良好固定效果的石英样块固定夹具是本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种石英样块固定夹具，该夹具能够对不规则石英样块进行固定，取代了固溶胶的作用，在达到良好固定效果的同时，降低了固溶胶的使用成本。

为实现上述目的，本申请提供一种石英样块固定夹具，包括：

滑轨组件，其数量为两个，任一所述滑轨组件包括滑轨和位于所述滑轨滑槽内的滑块，两个所述滑轨平行设置于线切割机工作台上；

固定块，其数量为两个，且两个所述固定块分别滑动设置于两个所述滑轨上，任一所述固定块沿所述滑轨宽度方向开设有通孔，石英样块两端伸入两个所述通孔内；

锁紧件，贯穿所述固定块外壁，并伸入在所述通孔内与所述石英样块抵持，用于将所述石英样块锁紧在所述固定块内；

调节件，贯穿所述固定块外壁，并与所述滑块连接，用于调节所述滑块面向/远离所述固定块移动，以使所述滑块与所述固定块两者锁紧/松开所述滑轨。

优选地，所述锁紧件为第一螺栓，且其数量至少为三个，分别与所述固定块的上壁和侧壁螺纹连接。

优选地，伸入在所述通孔内的多个所述第一螺栓，其端部分别与所述石英样块的多个侧壁抵持。

优选地，所述调节件转动设置在所述固定块的下壁上，并与所述滑块螺纹连接，所述调节件与所述滑块构成丝杆传动。

优选地，所述调节件为第二螺栓，且分别位于两个所述固定块上，任一所述第二螺栓分别贯穿所述上壁、所述通孔和所述下壁，且转动的第二螺栓在其轴向上保持高度恒定。

优选地，所述石英样块位于两个所述第二螺栓之间，且与所述第二螺栓间隔设置。

优选地，所述固定块为矩形块，且所述矩形块下壁的外侧面与所述滑轨端面贴合。

优选地，所述通孔为矩形孔，且所述矩形孔下壁面与所述石英样块端面贴合。

相对于上述背景技术，本申请通过锁紧件将石英样块固定在固定块内，且固定块的数量为两个，可以分别固定在石英样块两端，同时，两个固定块还滑动设置于两个滑轨上，能够使石英样块沿滑块长度方向稳定滑动，以到达合适的切割位置；此外，固定块上还设置有贯穿其侧壁的调节件，调节件端部与滑轨内的滑块连接，且调节件能够调节滑块面向或远离固定块运动，当滑块面向固定块移动时，在移动一定距离后，滑块能够与滑轨抵紧，从而使滑块与滑轨锁紧，以达到将固定块固定在滑轨上的目的，提高切割稳定性；当滑块远离固定块运动时，滑块脱离与滑轨的锁紧状态，即滑块与滑轨松开，从而实现滑块和固定块的正常滑动。

具体地说，本申请的石英样块固定夹具包括滑轨组件、固定块、锁紧件和调节件，滑轨组件的数量为两个，且任一个滑轨组件均包括滑轨和位于滑轨滑槽内的滑块，两个滑轨平行设置于线切割机工作台上；固定块与滑轨数量一致，如上所述，固定块通过连接件与滑块连接，从而实现固定块沿滑轨滑动，以及固定块与滑轨锁紧；另外，固定块沿滑轨宽度方向开设有通孔，石英样块的两端伸入在两个通孔内，并由锁紧件锁紧。采用上述方式设置的夹具，能够对不规则石英样块进行有效固定，取代了固溶胶的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例所提供的石英样块固定夹具立体结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的石英样块固定夹具的固定块设置结构示意图；

图3为本申请实施例所提供的石英样块固定夹具的滑块设置结构示意图；

图4为本申请实施例所提供的石英样块固定夹具的锁紧件设置结构示意图。

图中：1、滑轨 2、滑槽 3、固定块 4、通孔 5、锁紧件6、调节件 7、石英样块 8、滑块。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。

需要说明的是，在本实施例中，“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

如图1至图4所示，在本实施例中，提供一种石英样块固定夹具，该夹具主要包括滑轨组件、固定块3、锁紧件5以及调节件6，滑轨组件的数量为两个，且任意一组滑轨组件包括滑轨1和位于滑轨1滑槽2内的滑块8，如图3所示，滑块8可以呈倒梯形设置，滑块8能够在滑槽2内滑动，并且滑块8与滑槽2之间留有一定上下活动的间隙，以便于调节件6带动滑块8在滑槽2内上下运动。需要说明的是，上述两个滑轨1平行相互平行设置于线切割机工作台上，能够使两个固定块3在滑动过程中，保持相同的间距。

固定块3数量与滑轨组件数量相同，如上所述，两个固定块3分别滑动设置于滑轨1上，并且任意一个固定块3沿滑轨1宽度方向开设通孔4，也就是说，通孔4的开孔方向与固定块3的滑动方向垂直；而两个固定块3均如此设置，从而使两个通孔4的位置能够对应，同时，石英样块7的两端伸入在两个通孔4内，并通过锁紧件5固定石英样块7。

锁紧件5设置在固定块3外壁上，具体为贯穿固定块3外壁设置，并且锁紧件5能够伸入在通孔4内，并与石英样块7抵持，从而将石英样块7锁紧在固定块3内。需要说明的是，锁紧件5的数量可以为多个，并且可以设置在固定块3的不同外壁上，从而能够对石英样块7多个方向进行固定，固定效果更好；同时，为了满足不规则的石英样块7，可以将锁紧件5设置为可调形，如采用螺栓等部件，通过转动实现抵紧以及长度可调，从而适应石英样块7的不规则轮廓。

当然，对于上述锁紧件5也可以采用限位杆加弹簧的形式实现，限位杆外周套设弹簧，弹簧的弹力驱使限位杆抵紧在石英样块7端面上，以达到锁紧目的。但是需要确保弹簧有足够弹力，石英样块7在固定后，不会出现松动或晃动的情况；对于锁紧件5的设置方式还可以有多种，这里不再一一详述。

另外，上述调节件6同样贯穿固定块3的外壁设置，且调节件6一端与滑块8连接，用于调节滑块8面向或远离固定块3移动，以使滑块8与固定块3两者锁紧或松开滑轨1；上述已经指出了，滑块8与滑槽2之间留有一定上下活动的间隙，以便于调节件6带动滑块8在滑槽2内上下运动，滑块8朝固定块3方向运动一定距离后，滑块8上端面会与滑槽2上壁抵紧，并且在调节件6的作用下，使固定块3、滑块8和滑轨1三者成为一个整体，即固定块3相对滑轨1固定设置，当两个固定块3固定后，两个固定块3之间的石英样块7便能够稳定在线切割机工作台上，从而完成对石英样块7的切割。

综合上述实施例，本申请的固定夹具通过锁紧件5将石英样块7固定在固定块3内，且固定块3的数量为两个，可以分别固定在石英样块7两端，同时，两个固定块3还滑动设置于两个滑轨1上，能够使石英样块7沿滑块8长度方向稳定滑动，以到达合适的切割位置；此外，固定块3上还设置有贯穿其侧壁的调节件6，调节件6端部与滑轨1内的滑块8连接，且调节件6能够调节滑块8面向或远离固定块3运动，当滑块8面向固定块3移动时，在移动一定距离后，滑块8能够与滑轨1抵紧，从而使滑块8与滑轨1锁紧，以达到将固定块3固定在滑轨1上的目的，提高切割稳定性；当滑块8远离固定块3运动时，滑块8脱离与滑轨1的锁紧状态，即滑块8与滑轨1松开，从而实现滑块8和固定块3的正常滑动。

上述指出了，锁紧件5可以为螺栓等部件，在本实施例中，锁紧件5采用第一螺栓，并且为了满足对石英样块7多方位的固定，第一螺栓的数量至少为三个，且分别于固定块3的上壁和侧壁螺纹连接；需要说明的是，由于固定块3中部设置有通孔4，通孔4将固定块3分割为上、下、左、右四个外壁，上部的外壁称之为上壁，左、右两个外壁称之为侧壁，下部的外壁称之为下壁。

此外，多个第一螺栓的端部伸入在通孔4内，其端部还分别与石英样块7的多个侧壁抵持；由于第一螺栓与固定块3外壁螺纹连接，因此第一螺栓的伸出长度可以根据石英样块7的外部形状进行调节，以适应多种不规则的石英样块7，同时，还可以通过控制侧壁上的第一螺栓，来改变石英样块7的斜度，以达到切割时样品整体都能被线切割机切到。

调节件6转动设置在固定块3的下壁上，并且与滑块8螺纹连接，从而使调节件6与滑块8构成丝杆传动；也就是说，转动调节件6能够带动滑块8沿调节件6轴向运动，从而使滑块8与滑轨1抵紧。当然，对于调节件6的设置方式可以有多种，包括但不限于上述给出的实施方式，确保调节件6能够带动滑块8运动，同时使固定块3与滑块8加紧在滑轨1上即可，均落入本申请保护范围。

另外，对于上述调节件6，其一方面是连接滑块8与固定块，另一方面是使固定块3锁紧在滑轨1上，以便于对石英样块7进行切割；也就是说，在固定块3与滑块8连接的基础上，也可以采用其它方式将固定块3锁紧在滑轨1上，这里不再一一详述，但是需要确保固定块3在非锁紧状态时，能够相对滑轨1稳定滑动。

进一步地，在上述实施例的基础上，这里将调节件6设置为第二螺栓，并且为了便于调节第二螺栓转动，将第二螺栓贯穿固定块3的上壁、通孔4和下壁设置，且转动的第二螺栓在其轴向上保持高度恒定，从而使沿第二螺栓轴向运动的滑块8能够抵紧在滑槽2内；对于转动的螺栓在其轴向上保持高度恒定的方式可以有多种，这里不再详述。需要说明的是，由于固定块3需要与调节件6、滑块8固定在滑轨1上，因此固定块3对调节件6在其轴向上需要有一定的限位作用，以确保第二螺栓能够将固定块3和滑块8连接为一个整体，并整体固定在滑轨1上。

另外，为了不影响石英样块7的固定效果，两个第二螺栓分别位于石英样块7两端外侧，即石英样块7位于两个第二螺栓之间；也就是说，两个第二螺栓之间的间距大于石英样块7的长度，而第一螺栓与石英样块7侧壁抵持，因此第二螺栓同样位于第一螺栓外侧，并不影响第一螺栓对石英样块7的固定。

进一步地，如图2和图4所示，这里将固定块3设置为矩形块，矩形块下壁的外侧面与滑轨1端面贴合；通孔4为矩形孔，且矩形孔下壁面与石英样块7端面贴合。固定块3设置为矩形结构，能够使固定块3在于滑轨1锁紧过程中，接触面积更大，固定效果更好；同样的，矩形孔的设置也能够提高石英样块7与矩形孔下壁面的贴合面积，从而起到对石英样块7的稳定支撑。

需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。

Claims (8)

1.一种石英样块固定夹具，其特征在于，包括：

滑轨组件，其数量为两个，任一所述滑轨组件包括滑轨和位于所述滑轨滑槽内的滑块，两个所述滑轨平行设置于线切割机工作台上；

固定块，其数量为两个，且两个所述固定块分别滑动设置于两个所述滑轨上，任一所述固定块沿所述滑轨宽度方向开设有通孔，石英样块两端伸入两个所述通孔内；

锁紧件，贯穿所述固定块外壁，并伸入在所述通孔内与所述石英样块抵持，用于将所述石英样块锁紧在所述固定块内；

调节件，贯穿所述固定块外壁，并与所述滑块连接，用于调节所述滑块面向/远离所述固定块移动，以使所述滑块与所述固定块两者锁紧/松开所述滑轨。

2.根据权利要求1所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述锁紧件为第一螺栓，且其数量至少为三个，分别与所述固定块的上壁和侧壁螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的石英样块固定夹具，其特征在于，伸入在所述通孔内的多个所述第一螺栓，其端部分别与所述石英样块的多个侧壁抵持。

4.根据权利要求3所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述调节件转动设置在所述固定块的下壁上，并与所述滑块螺纹连接，所述调节件与所述滑块构成丝杆传动。

5.根据权利要求4所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述调节件为第二螺栓，且分别位于两个所述固定块上，任一所述第二螺栓分别贯穿所述上壁、所述通孔和所述下壁，且转动的第二螺栓在其轴向上保持高度恒定。

6.根据权利要求5所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述石英样块位于两个所述第二螺栓之间，且与所述第二螺栓间隔设置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述固定块为矩形块，且所述矩形块下壁的外侧面与所述滑轨端面贴合。

8.根据权利要求7所述的石英样块固定夹具，其特征在于，所述通孔为矩形孔，且所述矩形孔下壁面与所述石英样块端面贴合。