CN219476655U - 一种匀胶机的吸气结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种匀胶机的吸气结构，其包括机座、匀胶腔和吸气组件，吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，真空吸盘底部与连接轴顶部连接，连接轴底部与所述主轴连接，连接轴与主轴内均设置有抽气通道，真空吸盘上开设有通气口，通气口与抽气通道连通，所述连接轴底部设置有凹槽，凹槽的内壁设置有内螺纹，主轴的顶部设置有环形槽，所述环形槽的内壁设置有外螺纹，所述连接轴与所述主轴螺纹连接，所述连接轴插入所述环形槽内，将晶圆放置在真空吸盘上，通过在抽气通道底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘上，设置连接轴和主轴可以实现对真空吸盘的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性。

Description

一种匀胶机的吸气结构

技术领域

本实用新型涉及匀胶机的领域，尤其是涉及一种匀胶机的吸气结构。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的晶圆上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在晶圆上的胶液均匀地涂覆在晶圆上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。匀胶机可用于光刻胶的均匀涂抹，匀胶机主要包括吸盘、主轴电机、真空泵以及滴胶系统，吸盘与主轴电机相连，可在主轴电机的带动下高速旋转，真空泵与吸盘相连，用于对吸盘进行抽真空，在吸力的作用下，晶圆能够稳定地固定在吸盘上，滴胶系统则用于将光刻胶滴在晶圆上。现有匀胶机的吸盘尺寸固定，一般只能够用于一定尺寸范围内的晶圆涂胶，为了保证密封性，吸盘的安装精度高，不便于更换不同尺寸的吸盘以适用于各种尺寸的晶圆。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种匀胶机的吸气结构。

本实用新型提供的一种匀胶机的吸气结构采用如下的技术方案：

一种匀胶机的吸气结构，包括机座、匀胶腔和吸气组件，所述吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，所述真空吸盘底部与所述连接轴顶部连接，所述连接轴底部与所述主轴连接，所述连接轴与所述主轴内均设置有抽气通道，所述真空吸盘上开设有通气口，所述通气口与所述抽气通道连通。

可选的，所述连接轴底部设置有凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹，所述主轴的顶部设置有环形槽，所述环形槽的内壁设置有外螺纹，所述连接轴与所述主轴螺纹连接，所述连接轴插入所述环形槽内。

可选的，所述凹槽内还设置有环形密封垫圈，所述环形密封垫圈的内壁抵接所述连接轴底部的外壁。

可选的，所述匀胶腔设置在所述机座上，所述匀胶腔上设置有凸起部。

可选的，所述匀胶腔内设置有清洗罩，所述清洗罩的外壁紧贴所述匀胶腔的内壁，所述清洗罩上开设有通孔，所述主轴穿过所述通孔。

综上所述，本实用新型包括以下至少一种有益技术效果：

1.将晶圆放置在真空吸盘上，通过在抽气通道底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘上；

2.通过设置连接轴和主轴可以实现对真空吸盘的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性；

3.当连接轴与主轴旋紧后，连接轴伸入凹槽内的部分紧抵环形密封垫圈，通过这种设计进一步提气密性。

附图说明

图1是一种匀胶机的吸气结构的示意图。

图2是一种匀胶机的吸气结构的爆炸图。

图3是图2中A部的放大图。

图4是用于体现吸气组件结构的示意图。

附图标记说明：1、机座；2、匀胶腔；3、吸气组件；31、真空吸盘；311、通气口；32、连接轴；321、内螺纹；33、主轴；331、环形槽；332、外螺纹；34、抽气通道；35、环形密封垫圈；4、凸起部；5、清洗罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

本实用新型实施例公开一种匀胶机的吸气结构。参照图1-4，一种匀胶机的吸气结构包括机座1、匀胶腔2和吸气组件3，吸气组件3包括真空吸盘31、连接轴32和主轴33，真空吸盘31底部与连接轴32顶部连接，连接轴32底部与主轴33连接，连接轴32与主轴33内均设置有抽气通道34，所述抽气通孔底部提供负压真空，真空吸盘31上开设有通气口311，通气口311与抽气通道34连通，将晶圆放置在真空吸盘31上，通过在抽气通道34底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘31上，连接轴32底部设置有凹槽，凹槽的内壁设置有内螺纹321，主轴33的顶部设置有环形槽331，环形槽331的内壁设置有外螺纹332，连接轴32与主轴33螺纹连接，通过设置连接轴32和主轴33可以实现对真空吸盘31的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性，连接轴32插入环形槽331内，凹槽内还设置有环形密封垫圈35，环形密封垫圈35的内壁抵接连接轴32底部的外壁，当连接轴32与主轴33旋紧后，连接轴32伸入凹槽内的部分紧抵环形密封垫圈35，通过这种设计进一步提气密性，匀胶腔2设置在所述机座1上，匀胶腔2上设置有凸起部4，匀胶腔2内设置有清洗罩5，清洗罩5的外壁紧贴匀胶腔2的内壁，清洗罩5上开设有通孔，主轴33穿过通孔，设置清洗罩5，可以在工作时将匀胶腔2内散落的残胶统一收集，完成匀胶操作后只需要将清洗罩5取出单独取出清洗即可。

本实用新型实施例一种匀胶机的吸气结构的实施原理为：将晶圆放置在真空吸盘31上，通过在抽气通道34底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘31上，设置连接轴32和主轴33可以实现对真空吸盘31的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性，当连接轴32与主轴33旋紧后，连接轴32伸入凹槽内的部分紧抵环形密封垫圈35，通过这种设计进一步提气密性。

以上均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：包括机座(1)、匀胶腔(2)和吸气组件(3)，所述吸气组件(3)包括真空吸盘(31)、连接轴(32)和主轴(33)，所述真空吸盘(31)底部与所述连接轴(32)顶部连接，所述连接轴(32)底部与所述主轴(33)连接，所述连接轴(32)与所述主轴(33)内均设置有抽气通道(34)，所述真空吸盘(31)上开设有通气口(311)，所述通气口(311)与所述抽气通道(34)连通。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述连接轴(32)底部设置有凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹(321)，所述主轴(33)的顶部设置有环形槽(331)，所述环形槽(331)的内壁设置有外螺纹(332)，所述连接轴(32)与所述主轴(33)螺纹连接，所述连接轴(32)插入所述环形槽(331)内。

3.根据权利要求2所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述凹槽内还设置有环形密封垫圈(35)，所述环形密封垫圈(35)的内壁抵接所述连接轴(32)底部的外壁。

4.根据权利要求1所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述匀胶腔(2)设置在所述机座(1)上，所述匀胶腔(2)上设置有凸起部(4)。

5.根据权利要求2所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述匀胶腔(2)内设置有清洗罩(5)，所述清洗罩(5)的外壁紧贴所述匀胶腔(2)的内壁，所述清洗罩(5)上开设有通孔，所述主轴(33)穿过所述通孔。