CN219470191U - 一种顶升装置和镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种顶升装置和镀膜设备，所述顶升装置包括支撑组件和升降组件，所述支撑组件包括支撑架和多个支撑件，所述多个支撑件接地设置，所述多个支撑件间隔设置于所述支撑架上，所述多个支撑件的支撑端沿第一方向凸出于所述支撑架设置，所述第一方向为所述支撑组件用于承载的方向；所述升降组件的升降端与所述支撑架沿第一方向驱动连接。多个支撑件在实际应用中更灵活，即可以根据实际待支撑部位而做相应可支撑设置，从而能够做到保证托盘与所有的支撑件都支撑作用，使得托盘与支撑件贴合紧密从而接地良好，同时，升降组件仅用于驱动支撑组件承载托盘升降，升降组件不需要具备较大的驱动，降低了制造成本。

Description

一种顶升装置和镀膜设备

技术领域

本申请涉及控制升降器械技术领域，尤其涉及一种顶升装置和镀膜设备。

背景技术

PECVD又叫等离子增强型化学气相沉积，该镀膜工艺是在一个箱体内完成的，其中箱体内的顶部设有导电的布气板，该布气板一般连接阳极，在镀膜准备阶段，需要将载有待镀膜基板的托盘接地作为阴极，然后升降托盘以改变电场阴阳极距离，得到所需的电场。

相关技术中是将设置在箱体内侧底部的加热板同时作为承载托盘的升降板，然后托盘通过加热板接地，加热板的板面与托盘的底面均是平面设置，为了使加热板与托盘贴合紧密。但实际生产应用中，因为需要将加热板和托盘同时升降，所以要配备较大的驱动机构，这就要提高设备制造的预算；而且，实际制造出的加热板表面的平面度和托盘底面的平面度难免会存在一定的误差，所以存在局部贴合不紧密的情况，如此会导致布气板与托盘之间的电场存在不均匀现象，从而影响镀膜的均匀性。

因此，如何在不提高或降低成本的前提下，提高镀膜质量，有待解决。

实用新型内容

本申请实施例是一种顶升装置和镀膜设备，能够以分散式且分别接地设置的支撑件仅用于支撑托盘，如此，既可以使支撑件与托盘接触良好，还可以通过采用较小的驱动机构提供升降动力，从而实现在不提高或降低成本的前提下，提高镀膜质量。

本申请实施例公开了一种顶升装置，所述顶升装置包括支撑组件和升降组件，所述支撑组件包括支撑架和多个支撑件，所述多个支撑件接地设置，所述多个支撑件间隔设置于所述支撑架上，所述多个支撑件的支撑端沿第一方向凸出于所述支撑架设置，所述第一方向为所述支撑组件用于承载的方向；所述升降组件的升降端与所述支撑架沿第一方向驱动连接。

可选的，所述支撑件包括具有导电性的支撑部和承载部，所述支撑部接地设置，所述支撑部设置于所述支撑架上，所述承载部沿第一方向弹性设置于所述支撑部上，所述承载部沿第一方向凸出于所述支撑架设置，所述支撑部和所述承载部可电性接触。

可选的，所述支撑件包括具有导电性的支撑部和承载部，所述支撑部接地设置，所述支撑部设置于所述支撑架上，所述承载部设置于所述支撑部上，所述承载部沿第一方向凸出于所述支撑架设置。

可选的，所述多个支撑件的承载部沿第一方向的端部对齐设置。

可选的，所述支撑件还包括弹性部，所述弹性部设置于所述支撑部和所述承载部之间；当所述承载部未受到压力时，所述承载部与所述支撑部被所述弹性部隔开，所述承载部处于未接地状态；当所述承载部受到一定压力后，所述承载部克服所述弹性部的弹力与所述支撑部接触至接地状态。

可选的，所述支撑组件还包括多个接地设置的接地件，每个所述接地件与一个所述支撑部电性连接。

可选的，所述接地件为柔性结构，所述接地件设置于所述支撑架上。

可选的，所述支撑组件还包括至少一个接地设置的接地件，所述接地件设置于所述支撑架上，每个所述接地件与多个所述支撑部电性连接。

可选的，所述支撑架为条状结构且有多个，所述升降组件包括多个升降驱动件，每个所述支撑架沿长度方向的两端分别设置有所述升降驱动件，每个所述支撑架沿长度方向上设有多个等间距的所述支撑件。

可选的，所述支撑架为一个，所述升降组件包括一个升降驱动件，所述升降驱动件对应所述支撑架的重心设置，所述多个支撑件以所述支撑架的重心为中心围设。

本申请实施例还公开了一种镀膜设备，所述镀膜设备包括密封箱、布气件以及如上任意所述的顶升装置，所述布气件设置于所述密封箱内沿第一方向的一端，所述升降组件设置于所述密封箱外沿第一方向的另一端，所述支撑件设置于所述密封箱内侧。

因为本申请实施例采用了多个接地分散设置的支撑件，相对于采用一整板支撑托盘的方案来说，本申请实施例中的多个支撑件在实际应用中更灵活，即可以根据实际待支撑部位而做相应可支撑设置，从而能够做到保证托盘与所有的支撑件都支撑作用，使得托盘与支撑件贴合紧密从而接地良好，同时，升降组件仅用于驱动支撑组件承载托盘升降，升降组件不需要具备较大的驱动，降低了制造成本；进而克服了相关技术升降驱动成本高以及托盘局部无法接地而导致布气板与托盘之间的电场存在不均匀现象的问题，达到了在不提高或降低成本的前提下，提高镀膜质量的效果。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请实施例公开的一种顶升装置的结构示意图；

图2是本申请实施例公开的另一种顶升装置的结构示意图；

图3是本申请实施例公开的一种顶升装置与托盘配合的结构示意图；

图4是本申请实施例公开的一种镀膜设备的一侧视的内部布局的结构示意图。

其中，10、顶升装置；11、支撑组件；12、升降组件；13、支撑架；14、支撑件；15、支撑部；16、承载部；17、接地件；18、升降驱动件；19、镀膜设备；20、密封箱；21、布气件。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

另外，“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。

如图1和图2所示，本申请实施例公开了一种顶升装置10，顶升装置10包括支撑组件11和升降组件12，支撑组件11包括支撑架13和多个支撑件14，多个支撑件14接地设置，多个支撑件14间隔设置于支撑架13上，多个支撑件14的支撑端沿第一方向凸出于支撑架13设置，第一方向为支撑组件11用于承载的方向；升降组件12的升降端与支撑架13沿第一方向驱动连接。

本申请实施例中的第一方向记为X，以下以竖直方向作为第一方向为例进行说明。支撑架13作为所有支撑件14的载体，可以是结构形状固定的钣金件或其他材质，支撑架13主要起到使所有支撑件14被升降组件12同时驱动的作用；支撑件14可以是结构尺寸固定的结构，支撑件14也可以是沿第一方向长度可调节的结构，具体支撑架13和支撑件14的结构形状不作限制，满足使用均可。而升降组件12可以是任何满足驱动支撑组件11升降运动的驱动机构，不做限制。

如图3所示，多个支撑件14的分布以实际支撑需要而定，可以是均匀或不均匀分布，但所有支撑件14的支撑端均沿第一方向凸出于支撑架13设置，以确保在支撑使用时可以使所有支撑件14都做到有效支撑。如此，相对于采用一整板支撑托盘的方案来说，本申请实施例中的多个支撑件14在实际应用中更灵活，即能够做到根据实际待支撑部位而做相应可支撑设置，从而保证托盘与所有的支撑件14都支撑作用，使得托盘与支撑件14贴合紧密从而使托盘接地良好。同时，支撑架13可以是简单的框架结构，而支撑件14可以是杆状结构，如此的构建成的支撑组件11结构较为轻便，而升降组件12仅用于驱动支撑组件11承载托盘升降，即升降组件12不需要具备较大的驱动，降低了相关的制造成本；进而克服了相关技术的升降驱动成本高以及托盘局部无法接地而导致布气板与托盘之间的电场存在不均匀现象的问题，达到了在不提高或降低成本的前提下，提高镀膜质量的效果。

可以理解的是，如图1所示，本申请实施例公开了一种实施方案，即支撑件14包括具有导电性的支撑部15和承载部16，支撑部15接地设置，支撑部15设置于支撑架13上，承载部16沿第一方向弹性设置于支撑部15上，承载部16沿第一方向凸出于支撑架13设置，支撑部15和承载部16电性接触。

本实施例中的支撑件14主要由能够导电的支撑部15和承载部16构成，其中支撑部15是设置于支撑架13上，可以是固定设置，且支撑部15始终处于接地设置的状态，而承载部16是沿第一方向弹性设置于支撑部15上，该弹性可以是承载部16具有的性质，也可以是支撑部15具有的性质，还可以是采用弹性的中间连接件将支撑部15和承载部16连接，使承载部16在载重时可以起到缓冲作用，而且该弹性设置还可有助于使多个承载部16分别接触支撑到待支撑物，其中，承载部16与支撑部15可以是始终电性连接状态，即承载部16始终处于接地状态，还可以是承载部16载重后被压至与支撑部15接触而至接地状态。

还可以理解的是，如图2所示，本申请实施例还公开了另一种实施方案，即支撑件14包括具有导电性的支撑部15和承载部16，支撑部15接地设置，支撑部15设置于支撑架13上，承载部16设置于支撑部15上，承载部16沿第一方向凸出于支撑架13设置。

本实施例中的承载部16是设置于支撑部15上的，可以是固定设置，也可以是沿第一方向可移动调节设置，具体调节方式不限，即承载部16与支撑部15始终处于接地状态，使得被支撑物与承载部16都可接触，且接触后均可顺利接地。

其中，如图1和图2所示，对于上述两个实施方案中，承载部16和支撑部15的结构形状不作限制，支撑部15与支撑架13可以是直接连接设置，也可以是采用中间连接件间接连接设置，而的多个支撑件14的承载部16沿第一方向的端部对齐设置。本申请实施例主要实施环境是用于支撑托盘，托盘的底部是平面设置，将多个支撑部15沿第一方向的端部对齐设置可以使多个支撑部15作用在多盘底面时更方便全部接触，有利于托盘接地。

进一步的，如图1所示，在一实施例中，的支撑件14还可包括弹性部(图中未示出)，弹性部(图中未示出)设置于支撑部15和承载部16之间，该弹性部(图中未示出)可以是具有导电性的弹簧，即承载部16与支撑部15由弹簧连接始终处于接地状态。

当然，在另一实施例中，弹性部(图中未示出)还可以是绝缘件，具体绝缘材质不限，只要可以满足弹性和绝缘均可。此时，当承载部16未受到压力时，承载部16与支撑部15被绝缘的弹性部(图中未示出)隔开，承载部16处于未接地状态；当承载部16受到一定压力后，承载部16克服弹性部(图中未示出)的弹力与支撑部15接触至接地状态。

可以理解的是，如图1所示，对于上述两个实施方案中，支撑组件11还可包括多个接地设置的接地件17，每个接地件17与一个支撑部15电性连接。接地件17与支撑部15一一对应设置，以确保每个支撑部15均接地设置。而且，本实施例中的接地件17采用柔性结构，且设置于支撑架13上，接地件17的结构形状不限，可以理解为柔性导线，接地件17的局部固定于支撑架13上，以免缠绕打结，还可以方便随着支撑架13移动而舒展收缩。

可替代的是，如图2所示，对于上述两个实施方案中，支撑组件11还可包括至少一个接地设置的接地件17，接地件17设置于支撑架13上，每个接地件17与多个支撑部15电性连接。与前述实施例不同的是，本实施例中的接地件17与支撑部15不是一一对应设置，而是采用一个接地件17能够同时完成多个支撑部15接地设置，如此支撑组件11的结构比较优化，接地件17的安装也更加简便。

针对升降组件12与支撑组件11的关系，如图2所示，其中一个实施例中，支撑架13为一个，升降组件12包括一个升降驱动件18，升降驱动件18对应支撑架13的重心设置，多个支撑件14以支撑架13的重心为中心围设。

本实施例中，每个顶升装置10配备一个升降驱动件18驱动一个支撑架13沿第一方向即竖直方向上下移动，具体是升降驱动件18的驱动端对应支撑架13的重心位置设置，如此在驱动支撑架13时可以更稳，而支撑件14作为支撑托盘时的直接接触件，将多个支撑件14以支撑架13的重心为中心围设，使多个支撑件14的受力的合力与升降驱动件18的顶升力共线，这样支撑架13能够始终保持稳定的状态，提供稳定的支撑作用。

如图1所示，可以理解，支撑架13也可以为条状结构且有多个，升降组件12包括多个升降驱动件18，每个支撑架13沿长度方向的两端分别设置有升降驱动件18，每个支撑架13沿长度方向上设有多个等间距的支撑件14。

本实施例中的每个支撑架13以条状为例，当然也可以是其他可作为单体的结构形状，然后每个支撑架13的两端分别设置有升降驱动件18，当然升降驱动件18也可以是设置在支撑架13的中部位置，具体以实际需要而定，只要是每个支撑架13都有对应的升降驱动件18驱动连接均可，而且每个支撑架13上都设置有多个支撑件14，多个支撑件14以等间距设置为例，如此，可以将每个支撑架13、该支撑架13上的多个支撑件14以及对应的升降驱动件18看作成一个升降单元，在实际应用中，以升降单元作为单位应用。

需要说明的是，本申请实施例中的升降驱动件18可以是任何满足驱动要求的机构，当然，升降组件12还可以包括升降传动件，用于与升降驱动件18连接以传导动力。

如图4所示，本申请实施例还公开了一种镀膜设备19，镀膜设备19包括密封箱20、布气件21以及如上任意所述的顶升装置10，布气件21设置于密封箱20内沿第一方向的一端，升降组件12设置于密封箱20外沿第一方向的另一端，支撑件14设置于密封箱20内侧。

本申请实施例中的布气件21一般是板状，该布气件21具有导电性，密封箱20是用于提供密封环境，布气件21设置在密封箱20的内部沿第一方向的一端，以第一方向为竖直方向为例，布气件21设置于密封箱20的顶部作为上极板，而顶升装置10的升降组件12则是设置在密封箱20的底部外侧，顶升装置10的支撑组件11中的支撑件14是设置于密封箱20的底部内侧，支撑件14设置于密封箱20内用于支撑托盘。而支撑架13可以完全设置于密封箱20内，也可以部分结构设置于密封箱20内，还可以完全不设置于密封箱20内。而支撑件14可以完全设置于密封箱20内，也可以部分设置于密封箱20内，具体以实际应用为准，只要满足使用均可。对于支撑架13的部分结构设置于密封箱20内的情况，支撑架13与密封箱20的接触部位密封设置。同理，对于支撑件14的部分结构设置于密封箱20内的情况，支撑件14与密封箱20的接触部位密封设置。

本申请实施中的顶升装置10设置于镀膜设备19上后，其工作原理为：支撑架13位于密封箱20底部时即升降驱动件18向上顶升距离为零时作为初始位置，开始工作时，升降驱动件18驱动支撑架13沿第一方向向上移动，支撑架13带动多个支撑件14同步向上移动，然后支撑件14的承载部16承接到托盘，使托盘接地，然后根据程序设定驱动支撑架13带动托盘，以调节托盘距布气板的距离从而完成电场调节，然后开始镀膜；当完成镀膜后，升降驱动件18驱动支撑架13将托盘载至下料位置，然后托盘被取走后，升降驱动件18驱动支撑架13回归初始位置。

以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (11)

1.一种顶升装置，其特征在于，包括：

支撑组件，所述支撑组件包括支撑架和多个支撑件，所述多个支撑件接地设置，所述多个支撑件间隔设置于所述支撑架上，所述多个支撑件的支撑端沿第一方向凸出于所述支撑架设置，所述第一方向为所述支撑组件用于承载的方向；以及

升降组件，所述升降组件的升降端与所述支撑架沿第一方向驱动连接。

2.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑件包括具有导电性的支撑部和承载部，所述支撑部接地设置，所述支撑部设置于所述支撑架上，所述承载部沿第一方向弹性设置于所述支撑部上，所述承载部沿第一方向凸出于所述支撑架设置，所述支撑部和所述承载部可电性接触。

3.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑件包括具有导电性的支撑部和承载部，所述支撑部接地设置，所述支撑部设置于所述支撑架上，所述承载部设置于所述支撑部上，所述承载部沿第一方向凸出于所述支撑架设置。

4.如权利要求2或3所述的顶升装置，其特征在于，所述多个支撑件的承载部沿第一方向的端部对齐设置。

5.如权利要求2所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑件还包括弹性部，所述弹性部设置于所述支撑部和所述承载部之间；

当所述承载部未受到压力时，所述承载部与所述支撑部被所述弹性部隔开，所述承载部处于未接地状态；

当所述承载部受到一定压力后，所述承载部克服所述弹性部的弹力与所述支撑部接触至接地状态。

6.如权利要求2或3所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑组件还包括多个接地设置的接地件，每个所述接地件与一个所述支撑部电性连接。

7.如权利要求6所述的顶升装置，其特征在于，所述接地件为柔性结构，所述接地件设置于所述支撑架上。

8.如权利要求2或3所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑组件还包括至少一个接地设置的接地件，所述接地件设置于所述支撑架上，每个所述接地件与多个所述支撑部电性连接。

9.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑架为条状结构且有多个，所述升降组件包括多个升降驱动件，每个所述支撑架沿长度方向的两端分别设置有所述升降驱动件，每个所述支撑架沿长度方向上设有多个等间距的所述支撑件。

10.如权利要求1所述的顶升装置，其特征在于，所述支撑架为一个，所述升降组件包括一个升降驱动件，所述升降驱动件对应所述支撑架的重心设置，所述多个支撑件以所述支撑架的重心为中心围设。

11.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括密封箱、布气件以及如权利要求1-10任意一项所述的顶升装置，所述布气件设置于所述密封箱内沿第一方向的一端，所述升降组件设置于所述密封箱外沿第一方向的另一端，所述支撑件设置于所述密封箱内。