CN219462993U - 废气处理设备用循环水箱 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体废气处理技术领域，提供一种废气处理设备用循环水箱，包括水箱本体，水箱本体构造有连通反应塔的进气口及连通洗涤塔的出气口，出液口，及用于放置收集盒的固定口；泵压机构，泵压机构的进液端通过管道与出液口连接；泥水分离机构，通过管道与泵压机构的出液端连接，适于将从水箱本体流出的液体进行固体杂物与水分离。本申请通过泵压机构将水箱本体内的液体泵入泥水分离机构中，并通过泥水分离机构利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水继续在废气处理设备中再次使用，分离出的固体杂物从泥水分离机构下方排至收集盒内，该种设置能够有效减少水箱内部泥沙堆积。

Description

废气处理设备用循环水箱

技术领域

本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理设备用循环水箱。

背景技术

随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，在生产过程中会产生各种废气，这些气体大多对人体和环境危害严重。排放出的无组织废气多数比空气重，如果排放进大气，经过蔓延后会沉积在地面上，并达到很高的浓度，造成严重的环境污染，危害人体健康。如若遇到火种，将造成火灾，甚至产生爆炸。因此废气处理设备市场需求量非常大，不过由于半导体厂商内部设施及环境的不一样，废气处理设备也对各类实用的专用装置有较大需求。

为了防止废气排放中存在的问题发生，人们通常将其集中起来烧掉，然后再经过水箱和水洗塔等洗涤降温，但在降温过程中废气随喷淋水进入水箱中，废气中的污泥等杂质也会进入水箱中，一般需要污泥自动沉积后再清理水箱，需要停机处理，而且清理过程耗时耗力；而且水箱中的水在管路中循环往复使用时，很容易由于污泥堵塞循环管路。

实用新型内容

本实用新型提供一种废气处理设备用循环水箱，用以解决现有技术中随废气进入水箱中的污泥等杂质沉积在水箱中，清洗困难且耗时耗力，并容易堵塞循环管路的缺陷，实现水箱中固定杂质的有效收集，别不需要停机处理，保证了废气处理设备对废气的处理效率。

本实用新型提供一种废气处理设备用循环水箱，包括：

水箱本体，所述水箱本体构造有连通反应塔的进气口及连通洗涤塔的出气口，所述水箱的侧板构造有出液口，且所述水箱的顶板构造有用于放置收集盒的固定口；

泵压机构，所述泵压机构的进液端通过管道与所述出液口连接；

泥水分离机构，通过管道与所述泵压机构的出液端连接，适于将从所述水箱本体流出的液体进行固体杂物与水分离，所述固体杂物流入所述收集盒内，所述水进入废气处理设备的循环管路中。

根据本实用新型提供的一个实施例，还包括气动隔膜阀，设置在所述泥水分离机构与所述收集盒之间，所述气动隔膜阀适于控制流向所述收集盒的所述固体杂物的流量大小。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述气动隔膜阀包括限位组件，所述限位组件适于保持所述气动隔膜阀位于常开状态，且在所述泥水分离机构中的所述固体杂物堆积到预设高度时，控制所述气动隔膜阀切换至全开状态。

根据本实用新型提供的一个实施例，还包括承漏壳体，所述水箱本体置于所述承漏壳体内，所述承漏壳体内设有漏液传感器。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述泵压机构置于所述承漏壳体内，靠近所述泵压机构的所述承漏壳体的一侧设有挡板，且所述挡板与所述承漏壳体之间可拆卸连接。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述进气口和所述出气口设于所述水箱本体的顶板上，所述顶板还构造有用于固定过滤组件的安装口，且所述安装口设于所述进气口和所述出气口之间。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述过滤组件包括固定板和与所述固定板可拆卸连接的过滤筛，所述过滤筛为分子筛或过滤网至少一种。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述固定板上安装有多个水喷嘴，所述水喷嘴的出口位于所述水箱本体内，所述水喷嘴的进口与所述循环管路连通。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述水箱本体的顶板上穿设有液位监测器和温度监测器，所述顶板还安装有透明板。

根据本实用新型提供的一个实施例，所述泵压机构与所述泥水分离机构之间的管路上设有压力检测器，所述压力检测器适于判断所述泵压机构运行是否正常；和/或，

所述泵压机构与所述水箱本体之间的管路上设有三通球阀，所述三通球阀适于通断调节所述水箱本体和所述泵压机构。

本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱，通过泵压机构将水箱本体内的液体泵入泥水分离机构中，并通过泥水分离机构利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水继续在废气处理设备中再次使用，分离出的固体杂物从泥水分离机构下方排至收集盒内，该种设置能够有效减少水箱内部泥沙堆积，而且避免了带有泥沙的水流堵塞循环管路。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱的结构示意图之一；

图2是本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱的结构示意图之二；

图3是本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱的结构示意图之三；

图4是本实用新型提供的废气处理设备用循环水箱的剖视结构示意图。

附图标记：

10、水箱本体；101、进气口；102、出气口；103、出液口；104、固定口；105、过滤组件；1051、固定板；1052、过滤筛；106、液位监测器；107、温度监测器；108、透明板；109、水喷嘴；

20、泵压机构；201、压力检测器；202、三通球阀；

30、泥水分离机构；

40、收集盒；

50、气动隔膜阀；

60、承漏壳体；601、挡板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本申请，但不能用来限制本申请的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

在本申请实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

本示例实施方式提供一种废气处理设备用循环水箱，应用于对半导体制造产生的废气处理工艺中。如图1所示，本示例的废气处理设备用循环水箱包括水箱本体10、泵压机构20和泥水分离机构30。

水箱本体10构造有连通反应塔的进气口101及连通洗涤塔的出气口102，所述水箱的侧板构造有出液口103，且所述水箱的顶板构造有用于放置收集盒40的固定口104；泵压机构20，所述泵压机构20的进液端通过管道与所述出液口103连接；泥水分离机构30，通过管道与所述泵压机构20的出液端连接，适于将从所述水箱本体10流出的液体进行固体杂物与水分离，所述固体杂物流入所述收集盒40内，所述水进入废气处理设备的循环管路中。

进气口101和出气口102的设置为本领域的常规设置，为保证与进气口101连接反应塔之间，及与出气口102连接洗涤塔之间连接的密封性，在连接处均使用密封圈密封或螺纹密封，在此不做具体限制。进气口101和出气口102一般设置在水箱本体10的顶板上，但不作具体限制。

出液口103一般设置在水箱本体10侧板的下方，以便于水箱本体10内的液体经出液口103流到泵压机构20中。本示例中的泵压机构20为循环水泵，设置在水箱本体10的侧边，将水箱本体10内的液体抽至泥水分离机构30中。

泥水分离机构30利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水由泥水分离器的上方排出，继续在废气处理设备中再次使用。分离出的固体杂物从泥水分离机构30下方排出，并通过管道排至位于水箱本体10内的收集盒40内，收集盒40为网状结构，能够便于固体杂物夹杂的水流入水箱本体10内。在收集盒40内的固体杂物充满后，从水箱本体10顶板的固定口104将收集盒40拿出，并清空收集盒40内的固体杂物。泥水分离机构30的具体结构可参考相关技术进行理解，在此不再赘述。

本实施例中，通过泵压机构20将水箱本体10内的液体泵入泥水分离机构30中，并通过泥水分离机构30利用水流离心力将液体中的固体杂物与水进行分离，分离出的水继续在废气处理设备中再次使用，分离出的固体杂物从泥水分离机构30下方排至收集盒40内，该种设置能够有效减少水箱内部泥沙堆积，而且避免了带有泥沙的水流堵塞循环管路。

下面将参考图1至图4对本示例实施方式中的上述废气处理设备用循环水箱的各部分结构进行更详细的说明。

如图2和图3所示，在一个实施例中，还包括气动隔膜阀50，设置在所述泥水分离机构30与所述收集盒40之间，所述气动隔膜阀50适于控制流向所述收集盒40的所述固体杂物的流量大小。

经泥水分离机构30分离出的固体杂物通过管道连接气动隔膜阀50导入水箱本体10内的收集盒40内，该气动隔膜阀50能够控制流向收集盒40的固体杂物的流量大小。例如可以使得流向收集盒40的固体杂物的流量与泥水分离机构30分离出的固体杂物保持平衡状态，但在实际应用中由于水箱本体10内液体杂质含量不稳定，导致气动隔膜阀50的流量调节较为困难。基于此，在平常状态下可以使得气动隔膜阀50开小流量口，以保证经泥水分离机构30分离的固体杂物能够流动，并在固定杂物堆积到一定程度后，使得气动隔膜阀50开大流量口，将堆积的固体杂物全部冲至收集盒40中，以避免固体杂物堵塞泥水分离机构30。

在一个实施例中，所述气动隔膜阀50包括限位组件，所述限位组件适于保持所述气动隔膜阀50位于常开状态，且在所述泥水分离机构30中的所述固体杂物堆积到预设高度时，控制所述气动隔膜阀50切换至全开状态。

气动隔膜阀50内限位器的设置，可以保证气动隔膜阀50位于常开状态，以保证经泥水分离机构30分离的固体杂物能够流动，并在固定杂物堆积到一定程度后，将气动隔膜阀50全开，将堆积的固体杂物全部冲至收集盒40中，该种设置能够有助于泵压机构20排污。

需要说明的是，由于泥水分离机构30内固体杂物的堆积不容易测量，因此可在废气处理设备中的循环管路中设置流量计，该流量计主要用于计量从泥水分离机构30分离的水的流量，当固定杂物堆积到一定程度，分离出的水的流量也会变化，由流量计的变化更容易控制气动隔膜阀50的由小流量状态切换到大流量状态。

如图2所示，在一个实施例中，还包括承漏壳体60，所述水箱本体10置于所述承漏壳体60内，所述承漏壳体60内设有漏液传感器。

水箱本体10内部一般是融入了废气形成的由酸性的废水，承漏壳体60作用主要是防止水箱本体10出现破损或者渗漏导致有危害的废水流出设备。承漏壳体60的容积硬大于110％水箱本体10的容积。漏壳体内设的漏液传感器能够在出现漏液时发出信号，从而控制废气处理设备停止运行。

如图2所示，在一个实施例中，所述泵压机构20置于所述承漏壳体60内，靠近所述泵压机构20的所述承漏壳体60的一侧设有挡板601，且所述挡板601与所述承漏壳体60之间可拆卸连接。

承漏壳体60靠近泵压机构20的一侧设置有可拆卸的挡板601，该挡板601的设置能够便于更换泵压机构20，为保证承漏壳体60的密封性，挡板601与承漏壳体60之间可以通过密封条密封。

需要说明的是，承漏壳体60与水箱本体10之间，以及承漏壳体60和泵压机构20之间均通过紧固件紧固连接。

如图1所示，在一个实施例中，所述进气口101和所述出气口102设于所述水箱本体10的顶板上，所述顶板还构造有用于固定过滤组件105的安装口，且所述安装口设于所述进气口101和所述出气口102之间。

进气口101与出气口102结构和大小均一样，可以进行互换，进气口101与出气口102均使用O型圈径向密封。使用径向密封在保证密封的情况下还可以对进气口101与出气口102处水箱本体10连接件进行上下调整，也可以避免水箱本体10与其他部件进行硬连接。

安装口用于固定可拆卸的过滤组件105，因为过滤组件105位置在进气口101与出气口102的中部，所以废气必须经过过滤组件105，该过滤组件105可根据废气成分调整安装在过滤组件105上的功能部件，

如图4所示，在一个实施例中，所述过滤组件105包括固定板1051和与所述固定板1051可拆卸连接的过滤筛1052，所述过滤筛1052为分子筛或过滤网至少一种。

固定板1051上可以加装分子筛或过滤网等功能部件，可以按照废气成分灵活调整安装在固定板1051上的过滤功能部件。

如图4所示，在一个实施例中，所述固定板1051上安装有多个水喷嘴109，所述水喷嘴109的出口位于所述水箱本体10内，所述水喷嘴109的进口与所述循环管路连通。

固定板1051上有安装多个循环水喷嘴109，通过泥水分离机构30分离出的部分水可通过该固定板1051上的多个循环水喷嘴109回到水箱本体10。此外，水喷嘴109可增加废气与水的接触面积，加快可溶于水的废气与水的反应。

如图1所示，在一个实施例中，所述水箱本体10的顶板上穿设有液位监测器106和温度监测器107，所述顶板还安装有透明板108。

液位监测器106可以为液位计，用于实时监测水箱本体10内液面的位置。温度监测器107可以为热电偶，用于实时监测水箱本体10内的实时温度。透明板108的设置便于工作人员观察水箱本体10内部情况，以便于及时作出应对措施。

如图2所示，在一个实施例中，所述泵压机构20与所述泥水分离机构30之间的管路上设有压力检测器201，所述压力检测器201适于判断所述泵压机构20运行是否正常；和/或，所述泵压机构20与所述水箱本体10之间的管路上设有三通球阀202，所述三通球阀202适于通断调节所述水箱本体10和所述泵压机构20。

压力检测器201可以监测泵压机构20出口管路的压力，通过压力的变化有助于判断泵压机构20是否需要维护或是管路是否堵塞等。

三通球阀202为手动三通球阀202，该三通球阀202可以在泵压机构20需要更换时关闭水箱本体10与泵压机构20的管路，并且可以排出泵压机构20中残留的液体，有助于工作人员更换检修泵压机构20，且有效保证了工作人员的安全。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种废气处理设备用循环水箱，其特征在于，包括：

水箱本体，所述水箱本体构造有连通反应塔的进气口及连通洗涤塔的出气口，所述水箱的侧板构造有出液口，且所述水箱的顶板构造有用于放置收集盒的固定口；

泵压机构，所述泵压机构的进液端通过管道与所述出液口连接；

泥水分离机构，通过管道与所述泵压机构的出液端连接，适于将从所述水箱本体流出的液体进行固体杂物与水分离，所述固体杂物流入所述收集盒内，所述水进入废气处理设备的循环管路中。

2.根据权利要求1所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，还包括气动隔膜阀，设置在所述泥水分离机构与所述收集盒之间，所述气动隔膜阀适于控制流向所述收集盒的所述固体杂物的流量大小。

3.根据权利要求2所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述气动隔膜阀包括限位组件，所述限位组件适于保持所述气动隔膜阀位于常开状态，且在所述泥水分离机构中的所述固体杂物堆积到预设高度时，控制所述气动隔膜阀切换至全开状态。

4.根据权利要求1所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，还包括承漏壳体，所述水箱本体置于所述承漏壳体内，所述承漏壳体内设有漏液传感器。

5.根据权利要求4所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述泵压机构置于所述承漏壳体内，靠近所述泵压机构的所述承漏壳体的一侧设有挡板，且所述挡板与所述承漏壳体之间可拆卸连接。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述进气口和所述出气口设于所述水箱本体的顶板上，所述顶板还构造有用于固定过滤组件的安装口，且所述安装口设于所述进气口和所述出气口之间。

7.根据权利要求6所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述过滤组件包括固定板和与所述固定板可拆卸连接的过滤筛，所述过滤筛为分子筛或过滤网至少一种。

8.根据权利要求7所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述固定板上安装有多个水喷嘴，所述水喷嘴的出口位于所述水箱本体内，所述水喷嘴的进口与所述循环管路连通。

9.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述水箱本体的顶板上穿设有液位监测器和温度监测器，所述顶板还安装有透明板。

10.根据权利要求1至5中任意一项所述的废气处理设备用循环水箱，其特征在于，所述泵压机构与所述泥水分离机构之间的管路上设有压力检测器，所述压力检测器适于判断所述泵压机构运行是否正常；和/或，

所述泵压机构与所述水箱本体之间的管路上设有三通球阀，所述三通球阀适于通断调节所述水箱本体和所述泵压机构。