CN219454457U - 一种硅片甩干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片甩干机，包括甩干桶，甩干桶内壁的底部转动连接有转动轴，转动轴的顶端设有转动盘，转动盘的顶部设有四个以环形阵列排布的定位机构，定位机构包括固定连接于转动盘顶部的镂空U形板，镂空U形板内放置有硅片承载机构，甩干桶的顶部铰接有桶盖，桶盖顶部的中部设有硬质导气管，硬质导气管的底端穿过桶盖的顶部且连接有喷管。该硅片甩干机，通过转动盘带动定位机构转动，产生离心力，从而对放置在硅片承载机构上的多个硅片进行甩干处理，通过设置的软质导气管、硬质导气管、喷管和喷头，可以对甩干过程中的硅片进行吹干，从而提高硅片的甩干效率。

Description

一种硅片甩干机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片甩干机。

背景技术

硅片在生产过程中，在切割过后需进行清洗，清洗过后需要进行甩干，在对硅片进行甩干操作时会使用到硅片甩干机。

公开号为CN210165665U的专利公开了一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，转盘上安装有转动机构，转动机构包括多个固定架和多个连接板，固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有连接板，本实用新型解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。

上述现有技术在具体使用过程中，通过驱动机构驱动转盘转动，从而使转盘带动多个转动机构转动，实现对硅片的甩干操作，但是上述现有技术的驱动机构是直接安装在甩干桶内部底部的，硅片在甩干的过程中会将水甩到甩干桶的内壁上，水会沿着甩干桶的内壁向下流，当积水较多时就会将驱动机构淹没，甚至造成驱动机构损坏，并且上述现有技术仅仅依靠离心甩干，导致硅片的甩干效率较慢，鉴于此，我们提出一种硅片甩干机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片甩干机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片甩干机，包括甩干桶，所述甩干桶内壁底部的中部转动连接有转动轴，所述转动轴的顶端固定连接有转动盘，通过转动轴带动转动盘转动，所述转动盘的顶部且靠近外边缘的位置设有四个以环形阵列排布的定位机构，转动盘带动四个定位机构转动，产生离心力，从而对放置在硅片承载机构上的多个硅片进行甩干处理；

所述定位机构包括固定连接于转动盘顶部的镂空U形板，所述镂空U形板内放置有硅片承载机构，所述甩干桶的顶部铰接有桶盖，便于使用者取放硅片；

所述桶盖顶部的中部设有硬质导气管，所述硬质导气管的底端穿过桶盖的顶部且连接有喷管，所述喷管的外壁设有四组呈环形阵列排布的喷头，每组由多个呈上下等距排布的所述喷头组成，用于喷出热氮气，配合离心甩干，可以提高硅片的甩干效率。

优选的，所述甩干桶外壁的底部设有排水管，用于排出甩干处理时产生的水，同时用于排出气体，所述排水管上设有控制阀，便于使用者控制排水管的开关。

优选的，所述甩干桶的底部设有四个以环形阵列排布的支腿，同于支撑甩干桶。

优选的，所述镂空U形板的开口朝向转动盘的中部，所述镂空U形板的顶部铰接有翻盖，便于使用者取放硅片承载机构。

优选的，所述翻盖的左右两侧且靠近活动端的位置均设有固定凸块，两个所述固定凸块相对的侧面均嵌设有正极磁铁块，所述镂空U形板的左右两侧且靠近开口端顶部的位置均嵌设有负极磁铁块，当所述翻盖闭合时，两个所述正极磁铁块分别与两个负极磁铁块吸附，使翻盖在闭合后可以固定位置，避免翻盖在甩干过程中被打开。

优选的，所述硅片承载机构包括两个呈左右对称设置的U形侧板，两个所述U形侧板之间设有两个呈前后对称设置的第一条形板，两个所述第一条形板相对的侧面均设有多个呈左右等距排布的第一间隔板，用于定位硅片的两侧。

优选的，两个所述U形侧板之间且位于底部中部的位置设有第二条形板，所述第二条形板的顶部设有多个呈左右等距排布的第二间隔板，用于定位硅片的底部，配合两组第一间隔板，可以使硅片的位置固定。

优选的，所述桶盖的顶部且靠近前端的位置设有提手，便于使用者打开桶盖。

优选的，所述硬质导气管的顶端连接有软质导气管，软质导气管外接热氮气产生设备，将热氮气导入硬质导气管，再通过硬质导气管将热氮气导入喷管内，最后从多个喷头喷出，对甩干过程中的硅片进行吹干，从而提高硅片的甩干效率。

优选的，所述甩干桶底部的中部通过U形支架安装有减速电机，所述减速电机输出轴的端部穿过甩干桶的底部且与转动轴的底端同轴连接，通过减速电机驱动转动轴转动，从而使转动轴带动转动盘转动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该硅片甩干机，通过减速电机驱动转动轴转动，从而使转动轴带动转动盘转动，转动盘带动定位机构转动，产生离心力，从而对放置在硅片承载机构上的多个硅片进行甩干处理，通过设置的软质导气管、硬质导气管、喷管和喷头，可以对甩干过程中的硅片进行吹干，从而提高硅片的甩干效率。

2、通过设置的排水管可以排出甩干处理时产生的水，同时用于排出气体。

3、定位机构中设置的翻盖可以便于使用者取放硅片承载机构，从而便于使用者取放硅片。

附图说明

图1为本实用新型的整体第一视角结构示意图；

图2为本实用新型的整体第二视角结构示意图；

图3为本实用新型的部分结构示意图之一；

图4为本实用新型的部分结构示意图之二；

图5为本实用新型的部分结构示意图之三；

图6为本实用新型中的转动盘、定位机构和硅片承载机构的装配结构示意图；

图7为本实用新型中的定位机构和硅片承载机构的装配结构示意图。

图中：甩干桶1、排水管10、转动轴2、转动盘3、定位机构4、镂空U形板40、翻盖41、负极磁铁块42、固定凸块43、正极磁铁块44、硅片承载机构5、U形侧板50、第一条形板51、第一间隔板52、第二条形板53、第二间隔板54、桶盖6、提手60、硬质导气管7、喷管8、喷头80、软质导气管9、支腿11、U形支架12、减速电机13。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-图7，本实用新型提供一种技术方案：

一种硅片甩干机，包括甩干桶1，甩干桶1内壁底部的中部转动连接有转动轴2，转动轴2的顶端固定连接有转动盘3，通过转动轴2带动转动盘3转动，转动盘3的顶部且靠近外边缘的位置设有四个以环形阵列排布的定位机构4，转动盘3带动四个定位机构4转动，产生离心力，从而对放置在硅片承载机构5上的多个硅片进行甩干处理；

定位机构4包括固定连接于转动盘3顶部的镂空U形板40，镂空U形板40内放置有硅片承载机构5，甩干桶1的顶部铰接有桶盖6，便于使用者取放硅片；

桶盖6顶部的中部设有硬质导气管7，硬质导气管7的底端穿过桶盖6的顶部且连接有喷管8，喷管8的外壁设有四组呈环形阵列排布的喷头80，每组由多个呈上下等距排布的喷头80组成，用于喷出热氮气，配合离心甩干，可以提高硅片的甩干效率。

本实施例中，甩干桶1外壁的底部设有排水管10，用于排出甩干处理时产生的水，同时用于排出气体，排水管10上设有控制阀，便于使用者控制排水管10的开关。

具体的，甩干桶1的底部设有四个以环形阵列排布的支腿11，同于支撑甩干桶1。

进一步的，镂空U形板40的开口朝向转动盘3的中部，镂空U形板40的顶部铰接有翻盖41，便于使用者取放硅片承载机构5。

进一步的，翻盖41的左右两侧且靠近活动端的位置均设有固定凸块43，两个固定凸块43相对的侧面均嵌设有正极磁铁块44，镂空U形板40的左右两侧且靠近开口端顶部的位置均嵌设有负极磁铁块42，当翻盖41闭合时，两个正极磁铁块44分别与两个负极磁铁块42吸附，使翻盖41在闭合后可以固定位置，避免翻盖41在甩干过程中被打开。

进一步的，硅片承载机构5包括两个呈左右对称设置的U形侧板50，两个U形侧板50之间设有两个呈前后对称设置的第一条形板51，两个第一条形板51相对的侧面均设有多个呈左右等距排布的第一间隔板52，用于定位硅片的两侧。

进一步的，两个U形侧板50之间且位于底部中部的位置设有第二条形板53，第二条形板53的顶部设有多个呈左右等距排布的第二间隔板54，用于定位硅片的底部，配合两组第一间隔板52，可以使硅片的位置固定。

进一步的，桶盖6的顶部且靠近前端的位置设有提手60，便于使用者打开桶盖6。

进一步的，硬质导气管7的顶端连接有软质导气管9，软质导气管9外接热氮气产生设备，将热氮气导入硬质导气管7，再通过硬质导气管7将热氮气导入喷管8内，最后从多个喷头80喷出，对甩干过程中的硅片进行吹干，从而提高硅片的甩干效率。

进一步的，甩干桶1底部的中部通过U形支架12安装有减速电机13，减速电机13输出轴的端部穿过甩干桶1的底部且与转动轴2的底端同轴连接，通过减速电机13驱动转动轴2转动，从而使转动轴2带动转动盘3转动。

本实施例的硅片甩干机在使用时，使用者将待甩干的硅片依次放置在硅片承载机构5内，然后将硅片承载机构5放置在镂空U形板40内，再盖上翻盖41，在负极磁铁块42和正极磁铁块44的作用下，可以使翻盖41的位置固定，然后使用者盖上桶盖6，打开排水管10的控制阀，并启动减速电机13，同时向软质导气管9输入热氮气，减速电机13驱动转动轴2转动，转动轴2带动转动盘3转动，转动盘3带动定位机构4转动，产生离心力，从而对放置在硅片承载机构5上的多个硅片进行甩干处理，软质导气管9将热氮气导入硬质导气管7，再通过硬质导气管7将热氮气导入喷管8内，最后从多个喷头80喷出，对甩干过程中的硅片进行吹干，从而提高硅片的甩干效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种硅片甩干机，包括甩干桶(1)，所述甩干桶(1)内壁底部的中部转动连接有转动轴(2)，所述转动轴(2)的顶端固定连接有转动盘(3)，其特征在于：所述转动盘(3)的顶部且靠近外边缘的位置设有四个以环形阵列排布的定位机构(4)，所述定位机构(4)包括固定连接于转动盘(3)顶部的镂空U形板(40)，所述镂空U形板(40)内放置有硅片承载机构(5)，所述甩干桶(1)的顶部铰接有桶盖(6)，所述桶盖(6)顶部的中部设有硬质导气管(7)，所述硬质导气管(7)的底端穿过桶盖(6)的顶部且连接有喷管(8)，所述喷管(8)的外壁设有四组呈环形阵列排布的喷头(80)，每组由多个呈上下等距排布的所述喷头(80)组成。

2.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述甩干桶(1)外壁的底部设有排水管(10)，所述排水管(10)上设有控制阀。

3.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述甩干桶(1)的底部设有四个以环形阵列排布的支腿(11)。

4.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述镂空U形板(40)的开口朝向转动盘(3)的中部，所述镂空U形板(40)的顶部铰接有翻盖(41)。

5.根据权利要求4所述的硅片甩干机，其特征在于：所述翻盖(41)的左右两侧且靠近活动端的位置均设有固定凸块(43)，两个所述固定凸块(43)相对的侧面均嵌设有正极磁铁块(44)，所述镂空U形板(40)的左右两侧且靠近开口端顶部的位置均嵌设有负极磁铁块(42)，当所述翻盖(41)闭合时，两个所述正极磁铁块(44)分别与两个负极磁铁块(42)吸附。

6.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述硅片承载机构(5)包括两个呈左右对称设置的U形侧板(50)，两个所述U形侧板(50)之间设有两个呈前后对称设置的第一条形板(51)，两个所述第一条形板(51)相对的侧面均设有多个呈左右等距排布的第一间隔板(52)。

7.根据权利要求6所述的硅片甩干机，其特征在于：两个所述U形侧板(50)之间且位于底部中部的位置设有第二条形板(53)，所述第二条形板(53)的顶部设有多个呈左右等距排布的第二间隔板(54)。

8.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述桶盖(6)的顶部且靠近前端的位置设有提手(60)。

9.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述硬质导气管(7)的顶端连接有软质导气管(9)。

10.根据权利要求1所述的硅片甩干机，其特征在于：所述甩干桶(1)底部的中部通过U形支架(12)安装有减速电机(13)，所述减速电机(13)输出轴的端部穿过甩干桶(1)的底部且与转动轴(2)的底端同轴连接。