CN219440824U - 一种抛光液过滤桶 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种抛光液过滤桶，包括滤桶外壳，所述滤桶外壳的内部安装有冷却箱，所述冷却箱内部安装有冷却机构，所述出料口一的下方安装有过滤板，所述过滤板的一端连接有排污口，所述通孔上活动连接有过滤网，所述过滤网的一侧安装有固定机构，所述滤桶外壳的底部中间处安伸入滤桶外壳内部的清理机构。本实用新型的一种抛光液过滤桶，将冷水送入螺旋管，吸收热量后，从回水管排出，对送料管进行冷却，过滤板把大的颗粒和杂质进行过滤，过滤后的颗粒杂质通过过滤板的倾斜方向运动，流入排污口，启动驱动电机带动毛刷对过滤网进行清洗，防止堵塞过滤网，更换过滤网时，抽动活动插头，打开活动板，抽出过滤网，操作简单，安装方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光液技术领域，特别涉及一种抛光液过滤桶。
背景技术
抛光是制备半导体器件的重要工艺之一，在进行抛光工艺的过程中，抛光液的PH值是决定晶圆抛光量及半导体器件形貌的重要影响因素，决定了抛光工艺的品质。在实际的抛光工艺中，出于环保和节约成本等因素的考量，通常需要回收抛光液并循环使用，从而影响抛光工艺的工艺效果。
申请号为CN202023034029.1的中国专利申请就公开了一种抛光液过滤装置，包括过滤模块和拆卸模块，过滤模块上方安装有拆卸模块，过滤模块包括过滤桶、液压缸、液压板、第一过滤板和第二过滤板，过滤桶内部从上到下安装有液压板、第一过滤板和第二过滤板，第一过滤板和第二过滤板的周侧面均与过滤桶内部周侧面固定连接，液压板的周侧面与过滤桶内部周侧面滑动配合，液压板上表面固定连接有液压缸的移动端，通过液压缸伸缩带动液压板下移挤压抛光液，加快过滤速度，设置两层过滤板提高过滤能力，防止因液压板的挤压影响过滤效果，通过密封圈增加了装置的密封性，提升了装置的使用效果。
然而现有的过滤装置仍存在一些缺陷，过滤网不能及时清理，容易被杂质堵塞，抛光液温度升高，若不对其进行降温处理，会使表面加工质量受到影响。
实用新型内容
针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供了一种抛光液过滤桶，其目的是解决，过滤网不能及时清理，容易被杂质堵塞，抛光液温度升高，若不对其进行降温处理，会使表面加工质量受到影响等问题。
为了达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为：一种抛光液过滤桶，包括滤桶外壳，所述滤桶外壳的上表面安装有进料口，所述滤桶外壳的内部安装有冷却箱，所述冷却箱内部安装有冷却机构，所述冷却箱的底部安装有出料口一，所述出料口一的下方安装有过滤板，所述过滤板的一端连接有排污口，所述滤桶外壳的一侧设有通孔，所述通孔上活动连接有过滤网，所述过滤网的一侧安装有固定机构，所述滤桶外壳的底部中间处安伸入滤桶外壳内部的清理机构，所述滤桶外壳的底部一侧安装有出料口二；
所述冷却机构包括安装在冷却箱的内部的送料管，所述送料管上套设有螺旋管，所述螺旋管的一端连通有冷水管，所述螺旋管的另一端连通有回水管。
进一步的，所述清理机构包括安装在滤桶外壳底部中间处的安装架，所述安装架上固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端穿过安装架的一侧面连接有伸入滤桶外壳内部的转轴，所述转轴上安装有毛刷。
进一步的，所述固定机构包括安装在滤桶外壳一侧铰接座，所述铰接座上铰接有活动板，所述活动板的一侧安装有防水垫，所述活动板的底部安装凹槽，所述活动板的下方安装有安装座，所述安装座上安装有活动插头，所述活动插头与凹槽相插接。
进一步的，所述防水垫采用橡胶材质。
进一步的，所述滤桶外壳的底部安装有支撑座。
进一步的，所述出料口二与排污口结构相同。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型的一种抛光液过滤桶，将冷水送入螺旋管，吸收热量后，从回水管排出，对送料管进行冷却，抛光液从送料管排出经过过滤板，把大的颗粒和杂质进行过滤，过滤后的颗粒杂质通过过滤板的倾斜方向运动，流入排污口，启动驱动电机可以带动毛刷对过滤网进行清洗，防止堵塞过滤网，更换过滤网时，抽动活动插头，打开活动板，可以快速抽出过滤网，操作简单，安装方便。
附图说明
图1为本实用新型的一种抛光液过滤桶的剖视图；
图2为本实用新型的一种抛光液过滤桶的清理机构左视图；
图3为本实用新型的一种抛光液过滤桶的图1中A处放大图。
附图标记对照表：
1、滤桶外壳；2、进料口；3、冷却箱；4、冷却机构；401、送料管；402、螺旋管；403、冷水管；404、回水管；5、出料口一；6、过滤板；7、排污口；8、过滤网；9、固定机构；901、铰接座；902、活动板；903、防水垫；904、凹槽；905、活动插头；906、安装座；10、清理机构；1001、安装架；1002、驱动电机；1003、转轴；1004、毛刷；11、出料口二；12、通孔；13、支撑座。
具体实施方式
下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。
需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1至图3所示，一种抛光液过滤桶，包括滤桶外壳1，滤桶外壳1的上表面安装有进料口2，滤桶外壳1的内部安装有冷却箱3，冷却箱3内部安装有冷却机构4，冷却箱3的底部安装有出料口一5，出料口一5的下方安装有过滤板6，过滤板6的一端连接有排污口7，滤桶外壳1的一侧设有通孔12，通孔12上活动连接有过滤网8，过滤网8的一侧安装有固定机构9，滤桶外壳1的底部中间处安伸入滤桶外壳1内部的清理机构10，滤桶外壳1的底部一侧安装有出料口二11；
冷却机构4包括安装在冷却箱3的内部的送料管401，送料管401上套设有螺旋管402，螺旋管402的一端连通有冷水管403，螺旋管402的另一端连通有回水管404。
具体的，冷水经过冷水管403送入螺旋管402，对送料管401进行吸收热量，然后通过回水管404把吸收热量后的水排出，进行冷却。
清理机构10包括安装在滤桶外壳1底部中间处的安装架1001，安装架1001上固定安装有驱动电机1002，驱动电机1002的输出端穿过安装架1001的一侧面连接有伸入滤桶外壳1内部的转轴1003，转轴1003上安装有毛刷1004。
具体的，启动驱动电机1002，带动转轴1003旋转，从而带动毛刷1004在过滤网8上转动，清理过滤网8上的杂质，防止过滤网8堵塞。
固定机构9包括安装在滤桶外壳1一侧铰接座901，铰接座901上铰接有活动板902，活动板902的一侧安装有防水垫903，活动板902的底部安装凹槽904，活动板902的下方安装有安装座906，安装座906上安装有活动插头905，活动插头905与凹槽904相插接。
防水垫903采用橡胶材质。
滤桶外壳1的底部安装有支撑座13。
出料口二11与排污口7结构相同。
具体的，拉动活动插头905，活动插头905远离凹槽904，转动活动板902，从而抽出过滤网8进行更换，安装好后，放下活动板902，拉动活动插头905插入凹槽904进行固定，更换简单，安装方便。
以上所述仅为本实用新型专利的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型专利，凡在本实用新型专利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型专利的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种抛光液过滤桶，包括滤桶外壳(1)，其特征在于，所述滤桶外壳(1)的上表面安装有进料口(2)，所述滤桶外壳(1)的内部安装有冷却箱(3)，所述冷却箱(3)内部安装有冷却机构(4)，所述冷却箱(3)的底部安装有出料口一(5)，所述出料口一(5)的下方安装有过滤板(6)，所述过滤板(6)的一端连接有排污口(7)，所述滤桶外壳(1)的一侧设有通孔(12)，所述通孔(12)上活动连接有过滤网(8)，所述过滤网(8)的一侧安装有固定机构(9)，所述滤桶外壳(1)的底部中间处安伸入滤桶外壳(1)内部的清理机构(10)，所述滤桶外壳(1)的底部一侧安装有出料口二(11)；
所述冷却机构(4)包括安装在冷却箱(3)的内部的送料管(401)，所述送料管(401)上套设有螺旋管(402)，所述螺旋管(402)的一端连通有冷水管(403)，所述螺旋管(402)的另一端连通有回水管(404)。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液过滤桶，其特征在于：所述清理机构(10)包括安装在滤桶外壳(1)底部中间处的安装架(1001)，所述安装架(1001)上固定安装有驱动电机(1002)，所述驱动电机(1002)的输出端穿过安装架(1001)的一侧面连接有伸入滤桶外壳(1)内部的转轴(1003)，所述转轴(1003)上安装有毛刷(1004)。
3.根据权利要求1所述的一种抛光液过滤桶，其特征在于：所述固定机构(9)包括安装在滤桶外壳(1)一侧铰接座(901)，所述铰接座(901)上铰接有活动板(902)，所述活动板(902)的一侧安装有防水垫(903)，所述活动板(902)的底部安装凹槽(904)，所述活动板(902)的下方安装有安装座(906)，所述安装座(906)上安装有活动插头(905)，所述活动插头(905)与凹槽(904)相插接。
4.根据权利要求3所述的一种抛光液过滤桶，其特征在于：所述防水垫(903)采用橡胶材质。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液过滤桶，其特征在于：所述滤桶外壳(1)的底部安装有支撑座(13)。
6.根据权利要求1所述的一种抛光液过滤桶，其特征在于：所述出料口二(11)与排污口(7)结构相同。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202320014343.8U CN219440824U (zh) | 2023-01-04 | 2023-01-04 | 一种抛光液过滤桶 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN219440824U true CN219440824U (zh) | 2023-08-01 |
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ID=87422711
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2023
- 2023-01-04 CN CN202320014343.8U patent/CN219440824U/zh active Active
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