CN219417650U - 一种晶圆检测装置及其探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种探针台，其包括大理石平台、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；X向运动机构包括设置在大理石平台上的第一活动基座，X向导向机构包括X向导轨，X向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台上，以对第一活动基座导向；Y向运动机构包括设置在第一活动基座上的第二活动基座，第二活动基座用于供探针安装；Y向导向机构包括Y向导轨，Y向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座上，以对第二安装座导向。根据本实用新型的技术方案，其可以提高探针台的运动导向的直线度和平面度，并且能够有效控制平台运动时产生的pitch/yaw值范围。

Description

一种晶圆检测装置及其探针台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种晶圆检测装置及其探针台。

背景技术

晶圆检测装置具有探针台，探针台上设有运动机构，运动机构可以带动探针沿X向和Y向运动。运动机构作为探针台的核心部件，对各项技术指标提出了更高的要求，不仅要求常用的运动精度，也要求在平台运动时产生的pitch/yaw能控制在一定范围内，因此对探针台的运动导向的直线度、平面度也有严格要求。

在通常的XY控制平台中，受导向精度、驱动精度以及安装方法等因素影响，往往会使运动导向的直线度、平面度不能做到5微米级以下，从而导致平台运动时产生的pitch/yaw偏大，对探针台应用端产生极大误差，制约着探针台的检测能力。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆检测装置及其探针台，主要所要解决的技术问题是：如何提高探针台的运动导向的直线度和平面度。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

第一方面，本实用新型的实施例提供一种探针台，包括大理石平台、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；

所述X向运动机构包括设置在大理石平台上的第一活动基座，所述X向导向机构包括X向导轨，X向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台上，以对第一活动基座导向；

所述Y向运动机构包括设置在第一活动基座上的第二活动基座，所述第二活动基座用于供探针安装；所述Y向导向机构包括Y向导轨，Y向导轨的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座上，以对第二安装座导向。

在一些实施例中，所述探针台还包括X向驱动机构，所述X向驱动机构用于驱动第一活动基座沿X向运动；

和/或，

所述探针台还包括Y向驱动机构，所述Y向驱动机构用于驱动第二活动基座沿Y向运动。

在一些实施例中，所述X向驱动机构包括设置在大理石平台上的第一直线电机，以通过第一直线电机驱动所述第一活动基座沿X向运动；其中，第一直线电机的两侧均设有所述的X向导轨；

和/或，

所述Y向驱动机构包括设置在第一活动基座上的第二直线电机，以通过第二直线电机驱动所述第二活动基座沿Y向运动；其中，第二直线电机的两侧均设有所述的Y向导轨。

在一些实施例中，所述的探针台还包括用于对第一活动基座的位移量进行检测的第一光栅尺；

所述大理石平台上设有沿X向延伸的凸板，所述第一光栅尺的标尺光栅设置在凸板的侧面；

所述探针台还包括第一遮挡板，所述第一遮挡板包括第一支臂和第二支臂，第一支臂和第二支臂两者呈L形连接，所述第一遮挡板通过第一支臂与凸板的上端连接，以遮挡第一光栅尺的标尺光栅的上侧；所述第一遮挡板的第二支臂与第一光栅尺的标尺光栅相对，且两者之间具有间隔；所述第一光栅尺的读数头位于所述间隔内，且与第一活动基座连接。

在一些实施例中，所述探针台包括第一连接件，所述第一连接件包括第一支撑板和第一连接板，所述第一支撑板与第一连接板两者呈L形连接；其中，所述第一光栅尺的读数头设置在所述第一连接件的第一支撑板上，且通过第一连接件的第一连接板与第一活动基座连接，所述第一遮挡板的第二支臂位于第一连接板与所述第一光栅尺的读数头之间。

在一些实施例中，所述的探针台还包括用于对第二活动基座的位移量进行检测的第二光栅尺；

所述第二光栅尺的标尺光栅设置在所述第一活动基座上；

所述探针台包括第二连接件，所述第二连接件包括第二支撑板和第二连接板，所述第一支撑板与第一连接板两者呈L形连接；其中，所述第二光栅尺的读数头设置在所述第二连接件的第二支撑板上，且通过第二连接件的第二连接板与第二活动基座连接。

在一些实施例中，所述的探针台还包括走线板和X向拖链；所述X向拖链设置在所述大理石平台上；所述走线板上设有走线槽，所述走线板设置在所述第一活动基座上、且与所述X向拖链连接。

在一些实施例中，所述的探针台还包括第三连接件，所述第三连接件包括第一走线臂板、第二走线臂板和支臂连接板，所述第一走线臂板和支臂连接板两者呈L形设置，所述第二走线臂板与第一走线臂板连接、且相对第一走线臂板倾斜设置；

其中，所述第三连接件通过第一走线臂板与X向拖链连接、且通过第二走线臂板与走线板的一端连接，以连接X向拖链和走线板；所述第三连接件还通过支臂连接板与第一活动基座连接。

在一些实施例中，所述的探针台还包括第一Y向拖链和第二Y向拖链，第一Y向拖链和第二Y向拖链两者均位于第二活动基座的一侧，且两者的一端均安装在所述走线板上，且两者的另一端均与第二活动基座连接；

其中，第一Y向拖链和第二Y向拖链均呈U形设置，第一Y向拖链的所述一端位于第二Y向拖链的U形槽内，第二Y向拖链的所述另一端位于第一Y向拖链的U形槽内。

第二方面，本实用新型的实施例还提供一种晶圆检测装置，其可以包括上述任一种的探针台。

借由上述技术方案，本实用新型晶圆检测装置及其探针台至少具有以下

有益效果：

在本实用新型提供的技术方案中，通过增加X向导轨和Y向导轨的数量，可以提高探针台的运动导向的直线度；另外，通过设置的大理石平台，可以提高探针台的平面度。其中，在平台导向的直线度、平面度达到5微米级以内时，在提高XY运动精度的同时，能有效控制平面运动末端产生的pitch/yaw值，从而为晶元检测提供更高精度的定位系统。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例提供的一种探针台的结构示意图；

图2是图1中A处的放大示意图；

图3是第一光栅尺的安装示意图；

图4是第二光栅尺的安装示意图。

附图标记：1、大理石平台；2、第一活动基座；3、第二活动基座；4、X向导轨；5、第一直线电机；6、Y向导轨；7、第二直线电机；8、走线板；9、第三连接件；10、X向拖链；11、第二Y向拖链；12、第一Y向拖链；13、凸板；14、第一遮挡板；15、第一光栅尺；16、第一连接件；17、第二连接件；18、第二光栅尺；19、第二遮挡板；91、第一走线臂板；92、支臂连接板；93、第二走线臂板；801、走线槽；110、第二Y向拖链的U形槽；120、第一Y向拖链的U形槽；111、第二Y向拖链的另一端；121、第一Y向拖链的一端；141、第一支臂；142、第二支臂；151、第一光栅尺的标尺光栅；152、第一光栅尺的读数头；161、第一支撑板；162、第一连接板；171、第二支撑板；172、第二连接板；181、第二光栅尺的标尺光栅；182、第二光栅尺的读数头；191、第一连接臂；192、第二连接臂。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

如图1所示，本实用新型的一个实施例提出的一种探针台，其包括大理石平台1、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构。X向运动机构包括第一活动基座2，第一活动基座2设置在大理石平台1上。X向导向机构包括X向导轨4，X向导轨4的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台1上，以对第一活动基座2导向。在一个具体的应用示例中，各X向导轨4的轨道固定在大理石平台1上，各X向导轨4的滑块与第一活动基座2连接，第一活动基座2通过X向导轨4与大理石平台1连接。各X向导轨4可以为第一活动基座2导向，使第一活动基座2沿X向运动。

如图1所示，前述的Y向运动机构包括第二活动基座3，第二活动基座3设置在第一活动基座2上。第二活动基座3用于供探针安装。前述的Y向导向机构包括Y向导轨6，Y向导轨6的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座2上，以对第二安装座导向。在一个具体的应用示例中，各Y向导轨6的轨道固定在第一活动基座2上，各Y向导轨6的滑块与第二活动基座3连接，第二活动基座3通过Y向导轨6与第一活动基座2连接。各Y向导轨6可以为第二活动基座3导向，使第二活动基座3沿Y向运动。

在上述示例中，通过增加X向导轨4和Y向导轨6的数量，可以提高探针台的运动导向的直线度；另外，通过设置的大理石平台1，可以提高探针台的平面度。其中，在平台导向的直线度、平面度达到5微米级以内时，在提高XY运动精度的同时，能有效控制平面运动末端产生的pitch/yaw值，从而为晶元检测提供更高精度的定位系统。

这里需要说明的是：前面的X向导轨4和Y向导轨6可以均为直线导轨，直线导轨的具体结构为现有技术，在此不再赘述。

前述的探针台还可以包括X向驱动机构，X向驱动机构用于驱动第一活动基座2沿X向运动，以实现对平台沿X运动的自动控制。

如图1所示，前述的X向驱动机构可以包括第一直线电机5，第一直线电机5设置在大理石平台1上，X向驱动机构通过第一直线电机5驱动第一活动基座2沿X向运动。其中，第一直线电机5的两侧均设有前述的X向导轨4。在本示例中，通过在第一直线电机5的两侧均设置X向导轨4，可以平衡第一直线电机5两侧的受力，使第一活动基座2运动地更加平稳。在一个具体的应用示例中，第一直线电机5的数量可以为两个以上，相邻的两第一直线电机5之间可以共用一个X向导轨4，如此可以节省X向导轨4的数量，降低成本。

如图3所示，前述的探针台还可以包括第一光栅尺15，第一光栅尺15用于对第一活动基座2的位移量进行检测，控制器可以根据第一光栅尺15所检测的数据对第一直线电机5进行控制，其中，由高分辨率光栅尺与直线电机闭环控制，可以实现高运动精度、高刚性运动。

如图3所示，前述的大理石平台1上设有沿X向延伸的凸板13。第一光栅尺15的标尺光栅151设置在凸板13的侧面，比如固定在凸板13的侧面。前述的探针台还包括第一遮挡板14，该第一遮挡板14包括第一支臂141和第二支臂142。第一支臂141和第二支臂142两者呈L形连接。第一支臂141和第二支臂142两者可以为一体成型式结构。第一遮挡板14通过第一支臂141与凸板13的上端连接，第一支臂141可以通过螺丝等与凸板13的上端固定连接。第一支臂141可以遮挡第一光栅尺15的标尺光栅151的上侧，以对第一光栅尺15的标尺光栅151的上侧提供保护。第一遮挡板14的第二支臂142与第一光栅尺15的标尺光栅151相对，且两者之间具有间隔。第一光栅尺15的读数头152位于间隔内，且与第一活动基座2连接。

在上述示例中，第一光栅尺15位于第一遮挡板14的内侧，第一遮挡板14可以为第一光栅尺15提供遮挡保护。

为了将第一光栅尺15的读数头152安装在第一活动基座2上，如图3所示，探针台可以包括第一连接件16，第一连接件16包括第一支撑板161和第一连接板162，第一支撑板161与第一连接板162两者呈L形连接。第一支撑板161和第一连接板162两者可以为一体成型式结构。其中，第一光栅尺15的读数头152设置在第一连接件16的第一支撑板161上，且通过第一连接件16的第一连接板162与第一活动基座2连接。第一连接板162与第一活动基座2两者可以通过螺丝等进行固定。第一遮挡板14的第二支臂142位于第一连接板162与第一光栅尺15的读数头152之间。

在上述示例中，通过设置的第一连接件16，一方面可以将第一光栅尺15的读数头152安装到第一活动基座2上，另一方面也可以使第一光栅尺15的读数头152位于第一遮挡板14的内侧，使第一遮挡板14可以为第一光栅尺15的读数头152提供遮挡保护。

前述的探针台还可以包括Y向驱动机构，Y向驱动机构用于驱动第二活动基座3沿Y向运动，以实现对平台沿Y运动的自动控制。如图1所示，Y向驱动机构可以包括第二直线电机7，第二直线电机7设置在第一活动基座2上，Y向驱动机构通过第二直线电机7驱动第二活动基座3沿Y向运动。其中，第二直线电机7的两侧均设有前述的Y向导轨6。在本示例中，通过在第二直线电机7的两侧均设置Y向导轨6，可以平衡第二直线电机7两侧的受力，使第二活动基座3运动地更加平稳。

如图4所示，前述的探针台还包括第二光栅尺18，第二光栅尺18用于对第二活动基座3的位移量进行检测，控制器可以根据第二光栅尺18所检测的数据对第二直线电机7进行控制，其中，由高分辨率光栅尺与直线电机闭环控制，可以实现高运动精度、高刚性运动。

如图4所示，前述第二光栅尺18的标尺光栅181设置在第一活动基座2上，比如可以固定在第一活动基座2上。探针台包括第二连接件17，第二连接件17包括第二支撑板171和第二连接板172，第一支撑板161与第一连接板162两者呈L形连接，第二支撑板171和第二连接板172两者可以为一体成型式结构。其中，第二光栅尺18的读数头182设置在第二连接件17的第二支撑板171上，第二光栅尺18的读数头182通过第二连接板172与第二活动基座3连接，第二连接板172与第二活动基座3两者可以通过螺丝等进行固定。

在上述示例中，第二光栅尺18的读数头182位于第二连接件17的内侧，第二连接件17可以为其提供遮挡保护。

如图4所示，前述的探针台还包括第二遮挡板19，该第二遮挡板19包括第一连接臂191和第二连接臂192。第一连接臂191和第二连接臂192两者呈L形连接。第一连接臂191和第二连接臂192两者可以为一体成型式结构。第二光栅尺18的标尺光栅181设置在第一活动基座2的侧面。第二遮挡板19通过第一连接臂191与第一活动基座2的上端连接，第一连接臂191可以通过螺丝等与第一活动基座2的上端固定连接。第一连接臂191可以遮挡第二光栅尺18的标尺光栅181的上侧，以对第二光栅尺18的标尺光栅181的上侧提供保护。第二遮挡板19的第二连接臂192与第二光栅尺18的标尺光栅181相对，且两者之间具有间隔。第二光栅尺18的读数头182位于间隔内。

如图1和图2所示，前述的探针台还包括走线板8和X向拖链10。X向拖链10设置在大理石平台1上。走线板8上设有走线槽801，走线板8设置在第一活动基座2上、且与X向拖链10连接。走线板8可以通过螺丝等固定在第一活动基座2上。其中，第一活动基座2上的线缆可以从走线槽801内走线，然后经由走线槽801从X向拖链10内走线。

在上述示例中，走线板8与X向拖链10配合，可以方便第一活动基座2上线缆的走线。

为了方便走线板8与X向拖链10连接，如图2所示，前述的探针台还可以包括第三连接件9，第三连接件9包括第一走线臂板91、第二走线臂板93和支臂连接板92。第一走线臂板91、第二走线臂板93和支臂连接板92三者可以一体成型式结构。第一走线臂板91和支臂连接板92两者呈L形设置。第二走线臂板93与第一走线臂板91连接、且相对第一走线臂板91倾斜设置。其中，X向拖链10和走线板8两者通过第三连接件9进行连接。第三连接件9通过第一走线臂板91与X向拖链10连接，第一走线臂板91与X向拖链10两者可以通过螺丝等固定连接。第三连接件9通过第二走线臂板93与走线板8的一端连接，第二走线臂板93与走线板8的一端可以通过螺丝等固定连接。第三连接件9还通过支臂连接板92与第一活动基座2连接，支臂连接板92与第一活动基座2两者可以通过螺丝等固定连接。

在上述示例中，走线槽801可以从走线板8的一端延伸至另一端，线缆可以从走线槽801内走线，然后沿第二走线壁板和第一走线壁板进入X向拖链10内。其中，通过设置的第三连接件9，具有方便将走线板8连接到X向拖链10上的优点。

在一个具体的应用示例中，如图1所示，前述X向拖链10和第三连接件9两者的数量均为两个，两个X向拖链10分布在大理石平台1的两侧，走线板8的一端通过一个第三连接件9与一个X向拖链10连接，走线板8的另一端通过另一个第三连接件9与另一个X向拖链10连接。

如图2所示，前述的探针台还可以包括第一Y向拖链12和第二Y向拖链11。第一Y向拖链12和第二Y向拖链11两者均位于第二活动基座3的一侧。第一Y向拖链12和第二Y向拖链11两者的一端均安装在走线板8上，第一Y向拖链12和第二Y向拖链11两者的另一端均与第二活动基座3连接。

其中，第一Y向拖链12和第二Y向拖链11均呈U形设置，第一Y向拖链12的所述一端121位于第二Y向拖链11的U形槽110内，第二Y向拖链11的所述另一端111位于第一Y向拖链12的U形槽120内。

在上述示例中，通过将第一Y向拖链12和第二Y向拖链11两者的一端均设置在对方的U形槽内，如此具有水平方向空间的效果，使第一Y向拖链12和第二Y向拖链11两者在竖向上排布，以充分地利用平台的竖向上的空间。

本实用新型的一个实施例还提出一种晶圆检测装置，其可以包括上述任一种的探针台。在本示例中，由于晶圆检测装置设置上述探针台的缘故，其可以提高探针台的运动导向的直线度，并且还可以提高探针台的平面度。其中，在平台导向的直线度、平面度达到5微米级以内时，在提高XY运动精度的同时，能有效控制平面运动末端产生的pitch/yaw值，从而为晶元检测提供更高精度的定位系统。

下面介绍一下本实用新型的工作原理和优选实施例。

本实用新型在于设计一种晶圆检测装置及其探针台，其使用多导轨多滑块作为导向机构，提高导向的直线度，由大理石平台1的平面度保证导向平面度，同时由高分辨率光栅尺与直线电机闭环控制，实现高运动精度、高刚性运动。

本实用新型可以解决如下技术问题：1、解决运动导向的直线度、平面度问题；2、有效控制平台运动时产生的pitch/yaw值范围。

本实用新型的有益效果：在平台导向直线度、平面度达到5微米级以内时，在提高XY运动精度的同时，能有效控制平面运动末端产生的pitch/yaw值，从而为晶元检测提供更高精度的定位系统。

高精度运动平台是探针台定位的核心部件，其定位精度以及运行过程中的pitch/yaw值直接影响着检测精度，影响机台功能。在高精密运动平台的设计安装中，需重点保证结构刚性，直线度、平面度，才以保证整体运动的pitch/yaw。在设计中使用多导轨，多滑块，增加导向接触面，以提高结构稳定性。

这里需要说明的是：在不冲突的情况下，本领域的技术人员可以根据实际情况将上述各示例中相关的技术特征相互组合，以达到相应的技术效果，具体对于各种组合情况在此不一一赘述。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种探针台，其特征在于，包括大理石平台(1)、X向运动机构、Y向运动机构、X向导向机构和Y向导向机构；

所述X向运动机构包括设置在大理石平台(1)上的第一活动基座(2)，所述X向导向机构包括X向导轨(4)，X向导轨(4)的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在大理石平台(1)上，以对第一活动基座(2)导向；

所述Y向运动机构包括设置在第一活动基座(2)上的第二活动基座(3)，所述第二活动基座(3)用于供探针安装；所述Y向导向机构包括Y向导轨(6)，Y向导轨(6)的数量为两个以上、且依次间隔平行设置在第一活动基座(2)上，以对第二安装座导向。

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，

所述探针台还包括X向驱动机构，所述X向驱动机构用于驱动第一活动基座(2)沿X向运动；

和/或，

所述探针台还包括Y向驱动机构，所述Y向驱动机构用于驱动第二活动基座(3)沿Y向运动。

3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，

所述X向驱动机构包括设置在大理石平台(1)上的第一直线电机(5)，以通过第一直线电机(5)驱动所述第一活动基座(2)沿X向运动；其中，第一直线电机(5)的两侧均设有所述的X向导轨(4)；

和/或，

所述Y向驱动机构包括设置在第一活动基座(2)上的第二直线电机(7)，以通过第二直线电机(7)驱动所述第二活动基座(3)沿Y向运动；其中，第二直线电机(7)的两侧均设有所述的Y向导轨(6)。

4.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于，还包括用于对第一活动基座(2)的位移量进行检测的第一光栅尺(15)；

所述大理石平台(1)上设有沿X向延伸的凸板(13)，所述第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)设置在凸板(13)的侧面；

所述探针台还包括第一遮挡板(14)，所述第一遮挡板(14)包括第一支臂(141)和第二支臂(142)，第一支臂(141)和第二支臂(142)两者呈L形连接，所述第一遮挡板(14)通过第一支臂(141)与凸板(13)的上端连接，以遮挡第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)的上侧；所述第一遮挡板(14)的第二支臂(142)与第一光栅尺(15)的标尺光栅(151)相对，且两者之间具有间隔；所述第一光栅尺(15)的读数头(152)位于所述间隔内，且与第一活动基座(2)连接。

5.根据权利要求4所述的探针台，其特征在于，所述探针台包括第一连接件(16)，所述第一连接件(16)包括第一支撑板(161)和第一连接板(162)，所述第一支撑板(161)与第一连接板(162)两者呈L形连接；其中，所述第一光栅尺(15)的读数头(152)设置在所述第一连接件(16)的第一支撑板(161)上，且通过第一连接件(16)的第一连接板(162)与第一活动基座(2)连接，所述第一遮挡板(14)的第二支臂(142)位于第一连接板(162)与所述第一光栅尺(15)的读数头(152)之间。

6.根据权利要求3所述的探针台，其特征在于，还包括用于对第二活动基座(3)的位移量进行检测的第二光栅尺(18)；

所述第二光栅尺(18)的标尺光栅(181)设置在所述第一活动基座(2)上；

所述探针台包括第二连接件(17)，所述第二连接件(17)包括第二支撑板(171)和第二连接板(172)，所述第一支撑板(161)与第一连接板(162)两者呈L形连接；其中，所述第二光栅尺(18)的读数头(182)设置在所述第二连接件(17)的第二支撑板(171)上，且通过第二连接件(17)的第二连接板(172)与第二活动基座(3)连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的探针台，其特征在于，还包括走线板(8)和X向拖链(10)；

所述X向拖链(10)设置在所述大理石平台(1)上；

所述走线板(8)上设有走线槽(801)，所述走线板(8)设置在所述第一活动基座(2)上、且与所述X向拖链(10)连接。

8.根据权利要求7所述的探针台，其特征在于，还包括第三连接件(9)，所述第三连接件(9)包括第一走线臂板(91)、第二走线臂板(93)和支臂连接板(92)，所述第一走线臂板(91)和支臂连接板(92)两者呈L形设置，所述第二走线臂板(93)与第一走线臂板(91)连接、且相对第一走线臂板(91)倾斜设置；

其中，所述第三连接件(9)通过第一走线臂板(91)与X向拖链(10)连接、且通过第二走线臂板(93)与走线板(8)的一端连接，以连接X向拖链(10)和走线板(8)；所述第三连接件(9)还通过支臂连接板(92)与第一活动基座(2)连接。

9.根据权利要求7所述的探针台，其特征在于，还包括第一Y向拖链(12)和第二Y向拖链(11)，第一Y向拖链(12)和第二Y向拖链(11)两者均位于第二活动基座(3)的一侧，且两者的一端均安装在所述走线板(8)上，且两者的另一端均与第二活动基座(3)连接；

其中，第一Y向拖链(12)和第二Y向拖链(11)均呈U形设置，第一Y向拖链(12)的所述一端(121)位于第二Y向拖链(11)的U形槽(110)内，第二Y向拖链(11)的所述另一端(111)位于第一Y向拖链(12)的U形槽(120)内。

10.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的探针台。