CN219363782U - 一种双面镀膜适用的夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种双面镀膜适用的夹具，包括托盘，托盘上开设有贯穿其两端面的若干通孔，通孔内至少设有沿径向凸出的用于承托在基片背面四周边沿的第一台阶；环形固定环，与通孔一一对应，包括用于伸入通孔内与基片正面四周边沿贴合的内环以及固定连接在托盘上用于使内环和第一台阶夹紧固定基片的外环,使基片可被固定在通孔内，实现基片正反面被同时镀膜，避免在镀膜期间大气中的水分和装卸中杂质对薄膜有产生了污染以及避免在镀膜期间将基片翻面，提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种双面镀膜适用的夹具。
背景技术
目前在真空溅射镀膜领域中，采用的还是单侧镀膜机构，所以无法对基片进行双面溅射，在单侧镀膜机构中，采用的是单面镀膜适用的托盘夹具，进行单面的真空溅射镀膜时，将基片放入托盘凹槽中，放入圆环，利用固定夹具对基片进行固定，放入真空喷涂室内进行单面的镀膜。待单面镀膜完成后需要进行充气达到大气状态返回承载台，再进行手动装卸片进行翻面，将基片的另一面进行真空溅射镀膜，直至镀膜完成。在双面成膜的过程中，不能在真空环境下进行切换，只能进行单面镀膜，按照现有的配置，双面真空镀膜需要两次单面镀膜，带来膜质的下降；期间在操作上，还要花更多的时间和精力去处理装卸片，不利于产品的质量和生产。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种双面镀膜适用的夹具，解决现有技术中双面真空镀膜中需要两次单面镀膜，不利于产品的质量和生产的问题。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
一种双面镀膜适用的夹具，包括：
托盘，所述托盘上开设有贯穿其两端面的若干通孔，所述通孔内至少设有沿径向凸出的用于承托在基片背面四周边沿的第一台阶；
环形固定环，与所述通孔一一对应，包括用于伸入所述通孔内与所述基片正面四周边沿贴合的内环以及固定连接在所述托盘上用于使所述内环和所述第一台阶夹紧固定基片的外环。
作为本实用新型进一步的方案：所述通孔内还设有第二台阶，所述外环通过螺栓与第二台阶固定连接。
作为本实用新型进一步的方案：所述螺栓沿所述外环的圆周方向上间隔均匀的设有四个。
作为本实用新型进一步的方案：所述内环和所述外环均设于所述通孔内。
作为本实用新型进一步的方案：基板被固定后，沿轴向上，所述基片正面与所述托盘正面之间的间距和所述基片反面与所述托盘反面之间的间距相等。
本实用新型的有益效果：通过托盘和环形固定环的结构设置，使基片可被固定在通孔内，真空溅射装置可为基片正反面同时镀膜，避免在镀膜期间大气中的水分和装卸中杂质对薄膜有产生了污染，同时，避免在镀膜期间将基片翻面，提高生产效率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型整体的结构示意图；
图2是本实用新型整体结构剖面图；
图3是图2中A处的示意图；
图4是本实用新型中环形固定环的结构示意图。
图中，1、托盘；10、基片；11、通孔；12、第一台阶；121、第一台阶面；13、第二台阶；131、第二台阶面；2、环形固定环；21、内环；22、外环；3、螺栓。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示，本实用新型为一种双面镀膜适用的夹具，可用于固定基片10，使基片10正反两面的成膜区可同时在真空溅射装置(未图示)内被镀膜。
双面镀膜适用的夹具包括托盘1以及与托盘1匹配的环形固定环2。托盘1上开设有贯穿前后两端面的若干通孔11，通孔11内设有沿径向凸出通孔11内壁的第一台阶12和第二台阶13，本实施例中，第一台阶12和第二台阶13为与通孔11同轴设置的圆环，且第一台阶12的内径小于第二台阶13的内径。
第一台阶12具有沿径向设置的第一台阶面121，第二台阶13具有沿径向设置的第二台阶面131，本实施例中，第二台阶13远离第二台阶面131的一端设于第一台阶12的第一台阶面121上。诚然，在其他实施例中，第一台阶12和第二台阶13之间也可设有其他台阶，使第一台阶12和第二台阶13间隔设置。
环形固定环2为阶梯式圆环，与所述通孔一一对应，环形固定环2具体包括同轴设置的内环21和外环22，外环22环绕于所述内环21边缘设置。使用时，基片10被放入通孔11内，使基片10背面的四周边沿出与第一台阶面121贴合。基片10外圆周面嵌入第二台阶13的内圈，内环21延伸进所述通孔11内，且内环21的端面与基片10正面的四周边沿贴合。外环22扣在所述第二台阶面131上，且通过螺栓3固定在第二台阶13上，使所述基片10被内环21和第一台阶12压紧固定。本实施例中，螺栓3沿所述外环22的圆周方向上间隔均匀的设有四个。
真空溅射装置(未图示)喷射的镀膜可通过通孔11两端孔口对基片10的正面未被内环21遮挡的区域以及对反面(背面)未被第一台阶12遮挡的区域同时进行镀膜，实现双面同时镀膜，相比于现有的单面镀膜，提高镀膜的效率，且将镀膜过程中无需将产品移出真空溅射装置的真空腔外进行翻面，保证提高镀膜质量。
进一步的，基片10被固定时，内环21和外环22均设于通孔11内，且内环21与第二台阶13内圈嵌合，外环22和通孔11嵌合，使内环21和外环22被快速定位，同时，提高环形固定环2与托盘1之间的连接强度。
沿轴向上，所述基片10正面与所述托盘1正面之间的间距和所述基片10反面与所述托盘1反面之间的间距相等，便于基片10正反两面与真空溅射装置的两喷头间距相等，使基片10正反两面的镀膜厚度一致。
本申请中，还可以通过改变环形固定环2和第一台阶12沿径向上的厚度来控制基片10的成膜范围。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (5)
1.一种双面镀膜适用的夹具，其特征在于，包括：
托盘(1)，所述托盘(1)上开设有贯穿其两端面的若干通孔(11)，所述通孔(11)内至少设有沿径向凸出的用于承托在基片(10)背面四周边沿的第一台阶(12)；
环形固定环(2)，与所述通孔(11)一一对应，包括用于伸入所述通孔(11)内与所述基片(10)正面四周边沿贴合的内环(21)以及固定连接在所述托盘(1)上用于使所述内环(21)和所述第一台阶(12)夹紧固定基片(10)的外环(22)。
2.根据权利要求1所述的一种双面镀膜适用的夹具,其特征在于，所述通孔(11)内还设有第二台阶(13)，所述外环(22)通过螺栓(3)与第二台阶(13)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种双面镀膜适用的夹具,其特征在于，所述螺栓(3)沿所述外环(22)的圆周方向上间隔均匀的设有四个。
4.根据权利要求2所述的一种双面镀膜适用的夹具,其特征在于，所述内环(21)和所述外环(22)均设于所述通孔(11)内。
5.根据权利要求1所述的一种双面镀膜适用的夹具,其特征在于，基板被固定后，沿轴向上，基片(10)正面与所述托盘(1)正面之间的间距和基片(10)反面与所述托盘(1)反面之间的间距相等。
Priority Applications (1)
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| CN202320548539.5U CN219363782U (zh) | 2023-03-20 | 2023-03-20 | 一种双面镀膜适用的夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN219363782U true CN219363782U (zh) | 2023-07-18 |
Family
ID=87114385
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2023
- 2023-03-20 CN CN202320548539.5U patent/CN219363782U/zh active Active
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