CN204174275U - 一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机镀膜翻转治具过重的问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。

Description

一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构。

背景技术

随着真空镀膜技术的发展,对薄膜质量和镀膜效率提出了更高的要求。许多镀膜产品，比如光学镜头、光学镜片等，在通常情况下需要进行双面镀膜。

目前的常规双面镀膜工艺是通过先后两次镀膜来完成工件两个表面的薄膜制备。两次镀膜之间，真空镀膜室需要放气和重新抽真空，也就是依次进行如下A、B、C、D四个步骤：A、将待镀膜工件装入治具,并对其一个表面进行真空镀膜；B、镀膜完成后将镀膜腔体破真空；C、把工件从治具中取出，对工件进行翻面和再装治具，某些情况下，将工件翻面前还需要一道清洗工序，以消除翻面工序带来的污染；D、镀膜腔体抽真空，并对工件的另一个表面镀膜。以上流程存在如下缺陷：两次镀膜之间的破真空、工件翻面和再抽真空工序的存在不利于生产效率的提高；另外，镀膜工序的增加不利于成膜工艺稳定性和产品良率的提高。

对于上述双面镀膜工艺流程存在的缺陷，可以采用双面连续镀膜加以避免，即采用翻转镀膜治具机构。在真空镀膜机中，承载镀膜工件的镀膜治具构成镀膜工件伞架的主体部分。工件伞架一般位于真空腔体的顶部，如图4所示。这种配置下，为实现双面连续镀膜而实施的镀膜工件伞架存在整体翻转的空间不足；另外，由于工件伞架重量较大，整体翻转的稳定性不易控制。因此，在采用翻转镀膜治具机构的镀膜机中，用于放置镀膜工件的伞架通常被等分成数个近似扇形区域，这些扇形区域的圆心均为镀膜伞架的中心，每个扇形区域即为一个翻转镀膜治具单元，如图3所示。通过机械驱动可以使翻转镀膜治具发生翻转，从而实现在镀膜腔体不破真空的情况下完成双面镀膜。

近来，随着人们对于镀膜设备的产能要求越来越高，将腔体做大并实现自动翻转基片成为很好的选择。但腔体做大时，如果不相应增加工件伞架上的镀膜治具单元的数量，从而减轻每个镀膜治具单元的重量，就会产生如下问题：因翻转板过大、过重，导致使用性能不稳定。并且，如果为了使每个翻转治具的重量减轻，而一味地将前述的镀膜工件伞架进一步细分成更多的扇形翻转镀膜治具单元，就会使这些扇形治具单元靠近工件伞架中心端的区域变得很狭窄而明显影响工件伞架的载片量，尤其是在镀膜工件较大的情况下。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，通过在分割筋板上设置分支结构，实现对翻转镀膜治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重的问题，避免其过重时所导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，设置于真空镀膜机内的镀膜伞架上，所述镀膜伞架由镀膜伞架内圈、主支架与若干分割筋板构成，所述镀膜伞架内圈位于所述主支架中心且通过若干所述分割筋板与所述主支架连接固定，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。

对于所述分支结构具有如下描述：所述分割筋板的远端设置有所述分支结构，构成所述分支机构的两个分支段的远端分别设置有所述分支结构，以此类推，在所述镀膜伞架内圈与所述主支架之间设置具有若干所述分支结构的所述分割筋板。

所述安装于所述分割筋板之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述转轴的另一端搭载在所述镀膜伞架内圈表面，两者之间构成转动配合；所述安装于所述分支段之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述分割筋板上的所述分支结构的分支口处开设有一凹槽，所述转轴的另一端搭载在凹槽内，两者之间构成转动配合。

所述翻转镀膜治具的远端固定连接有一翻转驱动拨盘。

本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形翻转镀膜治具在靠近镀膜伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形的翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。

附图说明

图1为本实用新型的第一种结构示意图；

图2为本实用新型的第二种结构示意图；

图3为现有技术中的翻转镀膜治具机构的结构示意图；

图4为翻转镀膜治具机构的安装结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：

如图1-4所示，图中标记1-19分别为：主支架1、镀膜伞架中心2、镀膜伞架内圈3、翻转镀膜治具4、分割筋板5、转轴6、驱动拨盘7、防污板8、中心回转轴9、翻转驱动机构10、膜厚修正板驱动机构11、镀膜机腔体12、配重块13、镀膜伞架14、膜厚修正板15、镀膜源16、第一分支段17、第二分支段18、凹槽19。

实施例一：本实施例中的用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构设置于镀膜机腔体12内，用于承载若干待镀膜工件。如图4所示，安装翻转镀膜治具4的镀膜伞架14位于镀膜腔体12内的中心上方。镀膜伞架14中心设置有一用于安装中心回转轴9的圆孔，该圆孔的外壁为镀膜伞架内圈3，以实现承载有待镀膜工件的翻转镀膜治具4可随着镀膜伞架14绕中心回转轴9进行公转。驱动拨盘7的翻转驱动机构10位于镀膜腔体12的侧壁上。镀膜机腔体12下部设置有两个镀膜源16，镀膜源16分别对准镀膜伞架14；镀膜机腔体12的侧壁还设置有两个膜厚修正板15及其驱动机构11，膜厚修正板15位于镀膜伞架14的下方。镀膜机腔体12中安装配重块11和翻转限位销钉以实现翻转镀膜治具4的稳定翻转。如图3所示的现有技术中，用于承载若干待镀膜工件的镀膜伞架14通常被等分成数个近似扇形的区域，这些扇形区域的圆心均为镀膜伞架中心2，每个扇形区域即为一个翻转镀膜治具4，该翻转镀膜治具4的外侧设置有防污板8，用以减少镀膜过程中膜料污染。而当镀膜机腔体12做大时，在扇形翻转镀膜治具4的数量不增加的情况下，每个镀膜治具4的重量会变大，从而导致其翻转稳定性变差；如果增加扇形翻转镀膜治具4的数量，这些近似扇形的翻转镀膜治具4靠近镀膜伞架14中心端（镀膜伞架中心2）的区域变得很狭窄而明显影响镀膜伞架14的载片量。

如图1所示，本实施例中的翻转镀膜治具4设置于镀膜伞架14上。镀膜伞架14由镀膜伞架内圈3、分割筋板5以及主支架1连接构成，其中镀膜伞架内圈3与主支架1同心设置，两者的圆心均为镀膜伞架中心2，镀膜伞架内圈3的外壁表面通过分割筋板5与主支架1连接固定。分割筋板5和镀膜伞架内圈3、主支架1所配合围成的区域即为翻转镀膜治具4的安装区域。在本实施例中，镀膜伞架内圈3与主支架1之间以镀膜伞架中心2为圆心，圆周阵列设置有若干分割筋板5，每块分割筋板5的近端均连接固定于镀膜伞架内圈3的外表面，且指向镀膜伞架中心2，分割筋板5的近端是指分割筋板5离镀膜伞架中心2较近的一端。分割筋板5的远端设置有由两个第一分支段17所构成的分支结构，该远端是指分割筋板5离镀膜伞架中心2较远的一端；两个第一分支段17分别向主支架1一侧延伸并与其内侧表面连接固定，翻转镀膜治具4安装于相邻的分割筋板5之间，以及每个分割筋板5上的两个第一分支段17之间，以通过分割筋板5的分支结构对镀膜伞架14上的区域进行分割优化，即在保证每个翻转镀膜治具4大小均匀（翻转镀膜治具4的最小区域应能承载待镀膜工件）的前提下，将镀膜伞架14分割为若干区域，每个区域均为翻转镀膜治具4的安装位置，从而实现翻转镀膜治具4的轻量化，也就解决了大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重所导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形翻转镀膜治具在靠近镀膜伞架中心端载片量受限的缺陷。

安装于分割筋板5之间的翻转镀膜治具4的近端固定设置有一转轴6，转轴6的另一端搭载在镀膜伞架内圈3的外壁表面，两者之间构成转动配合；安装于两个第一分支段17之间的翻转镀膜治具4的近端固定亦设置有一转轴6，分割筋板5的分支口上开设有一凹槽19，转轴6的另一端搭载在该凹槽19内，两者之间构成转动配合，翻转镀膜治具4的近端均指其本体离镀膜伞架中心2较近的一端。在每个翻转镀膜治具4的远端均固定连接有一驱动拨盘7，该驱动拨盘7可被翻转驱动机构10拨动旋转，从而带动翻转镀膜治具4绕各自的转轴6旋转，以实现翻转镀膜治具4的翻面。此处额外需要说明的是：为了使每个翻转镀膜治具4的翻转稳定，转轴6均可设置在每个翻转镀膜治具4宽度方向的中线上，该宽度方向是指翻转镀膜治具4与镀膜伞架14的半径方向相垂直的本体方向。

实施例二：本实施例相较实施例一的不同之处在于：设置于分割筋板5远端的两个第一分支段17的远端又分别设置了由两个第二分支段18所构成的分支结构，第二分支段18分别向主支架1延伸并与其内表面连接固定，从而在镀膜伞架14面积相同的情况下，将镀膜伞架14分割为与实施例一相比面积更小、但数量更多的翻转镀膜治具4安装区域，以满足腔体更大时，通过增加翻转镀膜治具4的数量，来相应减轻每个翻转镀膜治具4的重量，解决大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重所导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形翻转镀膜治具在靠近镀膜伞架中心端载片量受限的缺陷。在第二分支段18之间的翻转镀膜治具4的转轴设置方式与第一分支段17之间的翻转镀膜治具4的转轴设置方式类同。 

上述实施例在具体实施时：在分割筋板5的远端设置由两个第一分支段17所构成分支结构或进而在第一分支段17的远端再设置由两个第二分支段18所构成的分支结构，都是可根据镀膜机腔体12的体积设计要求进行选择的，即当镀膜机腔体12的体积越大，设置在分割筋板5上的分支结构的数量可按照上述结构依次增设，例如，在第二分支段18的远端再分别设置分支结构，从而将镀膜伞架14分割为更多块的翻转镀膜治具4，以保证每块翻转镀膜治具4的重量并不影响其翻转的稳定性。

上述实施例中的分段式翻转镀膜治具4具有分支和分割性，即相邻两个翻转镀膜治具4的边界不一定总是在镀膜伞架的半径上，也就是说由分段式的翻转镀膜治具4所构成的镀膜伞架14的特征可表述为：镀膜伞架14的部分半径线（为虚拟线，图中未标示）可穿越两个或两个以上翻转镀膜治具4。

虽然以上述实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，上述实施例的实质是将镀膜伞架14通过具有分支结构的分割筋板5将翻转镀膜治具4划分成数量更多，但面积相对较小的若干部分。所以在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，如：增加或减少分支结构的数量、改变用于翻转镀膜治具4的翻转机构等，故在此不一一赘述。

Claims (4)

1.一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，设置于真空镀膜机内的镀膜伞架上，所述镀膜伞架由镀膜伞架内圈、主支架与若干分割筋板构成，所述镀膜伞架内圈位于所述主支架中心且通过若干所述分割筋板与所述主支架连接固定，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。

2.根据权利要求1所述的一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：对于所述分支结构具有如下描述：所述分割筋板的远端设置有所述分支结构，构成所述分支机构的两个分支段的远端分别设置有所述分支结构，以此类推，在所述镀膜伞架内圈与所述主支架之间设置具有若干所述分支结构的所述分割筋板。

3.根据权利要求1所述的一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述安装于所述分割筋板之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述转轴的另一端搭载在所述镀膜伞架内圈表面，两者之间构成转动配合；所述安装于所述分支段之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述分割筋板上的所述分支结构的分支口处开设有一凹槽，所述转轴的另一端搭载在凹槽内，两者之间构成转动配合。

4.根据权利要求1所述的一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述翻转镀膜治具的远端固定连接有一翻转驱动拨盘。