CN204220362U - 基板涂布设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板涂布设备，包括一第一XY轴向移动机构、一Z轴向旋转机构、一承载台、一喷头装置及一翻转机构。Z轴向旋转机构连接在第一XY轴向移动机构上并跟随第一XY轴向移动机构移动。喷头装置包含一Z轴向移动机构及安装在Z轴向移动机构的一喷头组件。喷头组件跟随Z轴向移动机构移动并对应凹槽配置。翻转机构包含一翻转台及连接翻转台的一驱动部。翻转机构连接Z轴向旋转机构并相对喷头组件设置，Z轴向旋转机构与承载台跟随翻转台翻转。借此，达到喷涂膜层品质优良及厚度均匀等特点。

Description

基板涂布设备

技术领域

本实用新型有关于一种涂布设备，尤指一种可于内缘表面形成膜层的基板涂布设备。

背景技术

传统的基板成膜方式包括一机械手臂及一喷头，喷头安装在机械手臂上，再使用自动控制系统控制机械手臂的来回移动，而令喷头直接对基板进行喷涂动作。喷涂过程中，喷头配合基板的表面形状及面积主动的移动。

然而上述基板成膜方式大多针对基板的正面、背面等大面积表面进行涂布作业，但若将基板成膜方式使用于基板的内缘表面等小面积表面，例如孔、洞等内表面时，则容易有涂料不均匀及溢料到基板其他表面的问题，造成涂料成膜品质不佳、厚度不均匀等缺点。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种可于内缘表面形成品质优良及厚度均匀膜层的基板涂布设备。

本实用新型提供一种基板涂布设备，包括一机座、一第一XY轴向移动机构、一Z轴向旋转机构、一承载台、一喷头装置及一翻转机构。第一XY轴向移动机构固定在机座上。翻转机构包含一翻转台及连接翻转台的一驱动部。翻转机构连接第一XY轴向移动机构并跟随第一XY轴向移动机构移动。Z轴向旋转机构设置在翻转机构上并相对翻转机构移动。承载台连接在Z轴向旋转机构上并跟随Z轴向旋转机构移动喷头装置包含一Z轴向移动机构及安装在Z轴向移动机构的一喷头组件。喷头组件跟随Z轴向移动机构移动并对应凹槽配置，其中Z轴向旋转机构与承载台跟随翻转台翻转。

作为优选技术方案，该翻转机构更包含一动力源，该动力源与该驱动部枢接，该动力源提供该驱动部动力并使该翻转台旋转一倾斜角。

进一步优选地，该动力源与该第一XY轴向移动机构连接并跟随该第一XY轴向移动机构移动。

作为优选技术方案，上述的基板涂布设备更包含一第二XY轴向移动机构，设置于该承载台与该Z轴向旋转机构之间并固定在该Z轴向旋转机构上，该第二XY轴向移动机构跟随该Z轴向旋转机构旋转，其中该承载台连接在该第二XY轴向移动机构上并跟随该第二XY轴向移动机构移动。

作为优选技术方案，该喷头组件的喷嘴方向朝向该凹槽配置。

作为优选技术方案，上述的基板涂布设备更包含一检测组件，该检测组件对应该喷头组件及该承载台配置。

优选地，该检测组件安装于该Z轴向移动机构并跟随该Z轴向移动机构移动。

优选地，该检测组件包含一第一摄影机、一照明元件及一第二摄影机，该第一摄影机对应该承载台的上方配置，该第二摄影机对应该喷头组件及该承载台配置，该照明元件对应该喷头组件及该承载台配置。

优选地，该第一摄影机、该第二摄影机及该照明元件安装于该Z轴向移动机构）并跟随该Z轴向移动机构移动，该照明元件配置在该第一摄影机的一侧。

较佳地，利用第二XY轴向移动机构带动基板的形状中心与Z轴向旋转机构的轴心重叠，Z轴向旋转机构再带动承载台旋转。此时，第一XY轴向移动机构用以调整喷头组件与内缘表面之间的距离，使得本实用新型涂布设备能在基板的内缘表面等小面积表面，如孔、洞等内表面进行喷涂作业，以达到膜层品质优良及厚度均匀等特点。

优选地，该承载台更开设有一凹槽，该喷头组件对应该凹槽配置。

优选地，该喷头组件的喷嘴方向朝向该凹槽配置。

本实用新型还具有以下功效:

第一、翻转机构搭配与驱动部枢接的一动力源，提供驱动部动力并使翻转台旋转一倾斜角，进而使喷头组件对应所述内缘表面。当基板经Z轴向旋转机构旋转一圈之后，即完成喷涂作业，因此使本实用新型喷涂的膜层达到均匀及效率提高的优点。 第二、在喷涂作业中，喷头组件对基板的内缘表面进行喷涂时，承载台的凹槽具有避免与基板的开孔/开槽边缘接触，造成喷涂不良的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型基板涂布设备的立体图。

图2为本实用新型基板涂布设备的侧视图。

图3为本实用新型部分翻转机构的立体图。

图4为本实用新型进行喷涂作业的立体图。

图5为本实用新型进行喷涂作业的另一立体图。

图6为本实用新型进行喷涂作业又一立体图。

图7为图6喷头组件与与基板喷涂作业的部分剖视图。

附图标记说明：

10涂布设备；

1机座；

2第一XY轴向移动机构 ；

3 Z轴向旋转机构；

4第二XY轴向移动机构；

5承载台；

51凹槽；

7喷头装置；

71 Z轴向移动机构；

72喷头组件；

9检测组件；

91第一摄影机；

92照明元件；

93第二摄影机；

11翻转机构；

11a翻转台；

11b驱动部；

11c动力源；

12转轴；

100基板；

101内缘表面；

102形状中心；

103开孔/开槽；

200膜层；

L 轴心；

S 倾斜角。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

请参考图1~图7所示，本实用新型提供一种基板涂布设备。在此所述的基板100较佳为面板业者使用的玻璃基板或其他材质的基板。基板100可为圆形、三角形、矩形、多角形等几何外型，基板100设有一开孔/开槽103，开孔/开槽103具有一内缘表面101及其内缘表面101定义出的一形状中心102，其中开孔/开槽103形状并不限定。本实用新型的涂布设备10包括一机座1、一第一XY轴向移动机构2、一Z轴向旋转机构3、一承载台5、一喷头装置7及一翻转机构11。

如图1及图2所示，承载台5表面形成有一凹槽51。第一XY轴向移动机构2固定在机座1上。第一XY轴向移动机构2能够在机座1上进行X轴方向及Y轴方向的移动。此外，请同时参考图3所示，本实用新型更包含一第二XY轴向移动机构4，设置于承载台5与Z轴向旋转机构3之间并固定在Z轴向旋转机构3上。基板100是以真空吸附或其他适合方式定位于承载台5上。第二XY轴向移动机构4能够在Z轴向旋转机构3上进行X轴方向及Y轴方向的移动，并跟随Z轴向旋转机构3旋转。承载台5连接在第二XY轴向移动机构4上并跟随第二XY轴向移动机构4进行X轴方向及Y轴方向的移动。因此当第二XY轴向移动机构4带动形状中心102与Z轴向旋转机构3的轴心L重叠后就会定位不移动。Z轴向旋转机构3会带动第二XY轴向移动机构4、承载台5及基板100一起转动。

喷头装置7包含一Z轴向移动机构71及安装在Z轴向移动机构71的一喷头组件72。喷头组件72跟随Z轴向移动机构71进行Z轴方向移动并对应承载台5配置。喷头组件72的喷嘴(图略)方向较佳是朝向承载台5的凹槽51配置。第二XY轴向移动机构4带动形状中心102与Z轴向旋转机构3的轴心L重叠，第一XY轴向移动机构2用以调整喷头组件72与内缘表面101之间的距离。

本实施例的翻转机构11包含一翻转台11a及连接翻转台的一驱动部11b。翻转机构11连接第一XY轴向移动机构2并跟随第一XY轴向移动机构2移动。Z轴向旋转机构3设置在翻转机构11上并相对翻转机构11移动。Z轴向旋转机构3、第二XY轴向移动机构4与承载台5跟随翻转台11a旋转。在如图1及图2的实施例中，翻转机构11更包含一动力源11c，例如马达或气压缸等。请一并参考图4及图5所示，动力源11c与驱动部11b枢接，动力源11c提供驱动部11b动力并使翻转台11a旋转一倾斜角S，进而使喷头组件72对应所述内缘表面101。此外，动力源11c与第一XY轴向移动机构2连接并跟随第一XY轴向移动机构2移动。驱动部11b可为转轴12与弧形齿轮(图略)组合或其他适合元件。当翻转机构11启动时，动力源11c会带动两驱动部11b与翻转台11a以X轴为中心翻转预设的倾斜角S。也就是说，翻转机构11较佳以X轴为中心并朝X轴两侧的方向翻转。然而在其他不同的实施例中，翻转机构11亦可以Y轴为中心翻转，并朝Y轴两侧的方向进行翻转，并不限制。

如图4~图6所示，本实用新型涂布设备10更包含一检测组件9。检测组件9安装于Z轴向移动机构71并跟随Z轴向移动机构71移动。检测组件9对应喷头组件72及基板100配置。详细说明如下，检测组件9包含一第一摄影机91、一第二摄影机93及一照明元件92。第一摄影机91对应基板100的上方配置，第二摄影机93对应喷头组件72及内缘表面101配置。照明元件92对应喷头组件72及基板100配置。另外，第一摄影机91、第二摄影机93及照明元件92安装于Z轴向移动机构71上并跟随Z轴向移动机构71移动。照明元件92配置在第一摄影机91的一侧。在此所述的第一摄影机91及第二摄影机93较佳为电荷耦合元件(Charge -coupled Device；CCD），但亦可为红外线检测组件，并不以本实施例为限制。

如图3、图4、图5及图6所示，当进行涂布作业时，第一XY轴向移动机构2、Z轴向移动机构71及Z轴向旋转机构3相对移动，使承载台5上的基板100移动至与喷头组件72对应。此时，如图4所示，启动翻转机构11使Z轴向旋转机构3、第二XY轴向移动机构4、承载台5及基板100一起旋转倾斜角S，进而使喷头组件72对准所述内缘表面101。然而根据不同基板100形成不同开孔103形状的内缘表面101，Z轴向旋转机构3可采用连续喷涂不间断的方式进行，以达到喷涂均匀化及作业效率提高的功效。也就是说，当Z轴向旋转机构3以内缘表面101的形状中心102旋转一周时，第一XY轴向移动机构2、Z轴向移动机构71内缘表面101与第二XY轴向移动机构4都会根据喷头组件72与形状中心102之间的距离作微调，使喷涂的膜层200厚度均匀，如图7所示。

进一步地说，当开孔/开槽103的形状中心102不对称时，第二XY轴向移动机构4能够带动基板100接近或远离喷头组件72，以微调喷头组件72与内缘表面101之间的距离。因此，针对不同形状的开孔/开槽103的涂布作业，可使喷头组件72与内缘表面101距离维持在一定的数值内，达到喷头组件72喷出的涂料均匀地覆盖于内缘表面101，以形成有厚度均匀且品质良好的膜层200(如图7所示)。

再者，借由本实用新型的检测组件9随时监控整个喷涂过程，其中第一摄影机91对应基板100的上方配置，用于提供例如电脑(图略)计算内缘表面101的偏移量，使形状中心102与轴心L准确地重叠。也就是说，第一摄影机91可提供影像资料给电脑，使开孔/开槽103的形状中心102，通过第二XY轴向移动机构4调整移动，进而使形状中心102与Z轴向旋转机构3的中心对准之用。第二摄影机93对应喷头组件72及内缘表面101配置。此第一摄影机91用于检测内缘表面101的表面状况及喷头组件72与内缘表面101在Z轴上的高低差，以提升喷头组件72的作业效率、准确性及成膜厚度均匀的优点。换言之，通过第一摄影机91监控并检测喷头组件72与内缘表面101喷涂状况，将其数据与电脑连接，以调整并控制翻转机构11、旋转机构3以及第二XY移动机构4三者的连动关系，使喷头组件72与内缘表面101距离维持一定数值。

如图7所示，在喷涂作业中，喷头组件72对基板100的内缘表面101进行喷涂时，承载台5的凹槽51具有避免与基板100的开孔/开槽103边缘接触而污染，造成喷涂不良的情况发生。然而在其他不同的实施例中，承载台5亦可为形成不同形状的开孔/开槽103的框架(图未绘示)，也可同样达到上述相同的效果。此外，作业人员甚至可以通过与涂布设备10连线的运算装置(图略)，例如电脑等，与检测组件9一起进行微调，进而提升涂布设备10的作业效率及操作便利性。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种基板涂布设备，其特征在于，包括：

一机座（1）；

一第一XY轴向移动机构（2），固定在该机座（1）上；

一翻转机构（11），包含一翻转台（11a）及连接该翻转台的一驱动部（11b），该翻转机构（11）连接该第一XY轴向移动机构（2）并跟随该第一XY轴向移动机构（2）移动，

一Z轴向旋转机构（3），设置在该翻转机构（11）上并相对该翻转机构（11）移动；

一承载台（5），该承载台（5）连接在该Z轴向旋转机构（3）上并跟随该Z轴向旋转机构（3）移动；以及

一喷头装置（7），包含一Z轴向移动机构（71）及安装在该Z轴向移动机构（71）的一喷头组件（72），该喷头组件（72）跟随该Z轴向移动机构（71）移动，

其中该Z轴向旋转机构（3）与该承载台（5）跟随该翻转台（11a）翻转。

2.如权利要求1所述的基板涂布设备，其特征在于，该翻转机构（11）更包含一动力源（11c），该动力源（11c）与该驱动部（11b）枢接，该动力源（11c）提供该驱动部（11b）动力并使该翻转台（11a）旋转一倾斜角（S）。

3.如权利要求2所述的基板涂布设备，其特征在于，该动力源（11c）与该第一XY轴向移动机构（2）连接并跟随该第一XY轴向移动机构（2）移动。

4.如权利要求1所述的基板涂布设备，其特征在于，更包含一第二XY轴向移动机构（4），设置于该承载台（5）与该Z轴向旋转机构（3）之间并固定在该Z轴向旋转机构（3）上，该第二XY轴向移动机构（4）跟随该Z轴向旋转机构（3）旋转，其中该承载台（5）连接在该第二XY轴向移动机构（4）上并跟随该第二XY轴向移动机构（4）移动。

5.如权利要求1所述的基板涂布设备，其特征在于，更包含一检测组件（9），该检测组件（9）对应该喷头组件（72）及该承载台（5）配置。

6.如权利要求5所述的基板涂布设备，其特征在于，该检测组件（9）安装于该Z轴向移动机构（71）并跟随该Z轴向移动机构（71）移动。

7.如权利要求5所述的基板涂布设备，其特征在于，该检测组件（9）包含一第一摄影机（91）、一照明元件（92）及一第二摄影机（93），该第一摄影机（91）对应该承载台（5）的上方配置，该第二摄影机（93）对应该喷头组件（72）及该承载台（5）配置，该照明元件（92）对应该喷头组件（72）及该承载台（5）配置。

8.如权利要求7所述的基板涂布设备，其特征在于，该第一摄影机（91）、该第二摄影机（93）及该照明元件（92）安装于该Z轴向移动机构（71）并跟随该Z轴向移动机构（71）移动，该照明元件（92）配置在该第一摄影机（91）的一侧。

9.如权利要求1所述的基板涂布设备，其特征在于，该承载台（5）更开设有一凹槽（51），该喷头组件（72）对应该凹槽（51）配置。

10.如权利要求9所述的基板涂布设备，其特征在于，该喷头组件（72）的喷嘴方向朝向该凹槽（51）配置。