CN204939599U - 一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备 - Google Patents

Abstract

一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体(1)，所述炉体(1)由炉座架支撑，一端设有炉盖(9)，另一端设有炉底板，所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3)，炉体(1)内壁上设置有布气管(4)，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；所述炉体(1)竖向设置，所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部，所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上，所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。本实用新型可适于不锈钢长管如6M长不锈钢管镀膜的离子镀膜设备。

Description

一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及一种不锈钢制品离子镀膜设备。

背景技术

在不锈钢制品上离子镀彩色装饰膜是一种新兴的建筑装饰手段，已广泛用于天花板，柱壁、室內墙、门窗、浴室、电梯围板、门把手等的装饰，应用范围越来越广。

目前的现有技术，大多采用基于真空阴极电弧技术的离子镀膜机进行大尺寸如1.2MX3～4M的不锈钢板的镀制。大型镀膜机如直径2.3MX4M、直径3.3MX2.5M的大型镀膜机，可以同时镀多张不锈钢板，可以镀TiN膜，呈金黄色，镀TiCN膜，呈玫瑰金色，镀TiO₂膜，呈蓝色，镀TiCN膜，呈咖啡色、棕褐色或紫红色，镀TiC膜，呈黑色等彩色膜。且镀膜技术日臻成熟，可满足国内的生产要求。

6M标准长不同口径的不锈钢管往往用于建筑的配套设施，如楼梯扶手、围栏等。可用于6M长不锈钢管镀膜的大型离子镀膜机，国内外均罕见。目前，国内多通过切成短管来镀膜，再由短管拼接成长管，但想要这种长管的焊接口保持颜色一致十分困难，所以必需开发出能镀6M长不锈钢管的离子镀膜机。

现有的3～4米高不锈钢板材离子镀膜机一般都采用阴极电弧沉积技术。大型镀膜机多采用直径60mm至100mm的小圆型电弧蒸发源，在炉壁上装上30至50只，沿炉轴向分几列排布，每列装若干只，可以满足钢板单面镀装饰膜生产要求。但对于6M长管的镀膜，这种结构的大型镀膜机存在许多不足之处。

一来镀件延伸至6M，相比于之前大型镀膜机的镀件，均匀镀膜区增加1/3以上，这涉及抽气口的位置安排、供入反应气体的布气方法以及电弧蒸发源的布局等。现有大型镀膜机的设计方案，不适合增长、增大炉体后镀膜均习性要求。二来管材不是单面镀，必须整个圆周面积都镀，并且要尽量多装载管件一起镀。三来管材与板材的装夹大为不同，管材装夹要复杂很多。四是，最近发现国内出现卧式机镀细长管产生形变弯曲的问题，效果不理想。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种适于不锈钢长管如6M长不锈钢管镀膜的离子镀膜设备。

本实用新型的技术问题通过如下技术方案解决：一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体，所述炉体由炉座架支撑，一端设有炉盖，另一端设有炉底板，所述炉体炉壁上设置有抽气口和电弧源，炉体内壁上设置有布气管，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；

其特征在于，所述炉体竖向设置，所述抽气口设于所述炉体一侧炉壁的中部，所述电弧源分几列轴向排布在所述抽气口对侧的炉壁上，所述布气管设置在相邻两列电弧源之间。

作为布气管的一种实施方式，所述布气管的结构如下：所述布气管的结构如下：所述布气管包括供气口、内管和外管，内管位于外管内侧，内管两端向外管两端延伸，内管管端为内管的出气口，外管管端密闭，将内管管端的出气口密封在其内侧，布气管的布气孔设置在外管的外壁，布气管的供气口从布气管的中部位置与内管相通。

作为布气管的另一种实施方式，所述布气管的结构为：所述布气管由两条并排设置的管路构成，其中一条管路的供气口靠近炉体底端，另一管路的供气口靠近炉体顶端。

本实用新型不锈钢长管离子镀膜设备竖向设置，可以避免现有技术中卧室镀膜机镀出的长管易出现形变弯曲的问题。另外，由于本实用新型的离子镀膜设备可用于镀6M长的不锈钢管，其镀膜区相比于现有技术中的镀膜机的镀膜区增加了1/3以上，现有技术中抽气口、电弧源的位置关系和布气管的布气方式，在用于本实用新型后，工件上膜层易出现厚度、颜色不一致的问题。本实用新型通过改变布气管的布气方式，采用两条分别从不同端进气的管路并排布气或采用内外套管折回布气的方式，还通过重新布置抽气口、布气管、电弧源位置，使本实用新型离子镀膜机镀出的不锈钢长管镀层厚度、颜色均匀。

所述工件架整体吊装在炉盖上，所述工件架包括公转运动架，所述公转运动架包括上下相对设置的上底板和下底板，所述上底板构成所述工件架的随动公转盘，所述公转运动架通过与其随动公转盘中部相连的运动主轴组件转动吊装在所述炉盖上，所述运动主轴组件上端从所述炉盖中部开孔中穿出，与固定在所述炉盖上的所述驱动装置相连，以便由所述驱动装置通过所述运动主轴组件驱动所述公转运动架转动，所述公转运动架的上、下底板间转动安装有若干根自转轴，所述自转轴上固定套装有两个自转盘，分别为上自转盘和下自转盘，两自转盘位于所述上底板和下底板之间，分别与两底板靠近，所述上自转盘和所述下自转盘之间设有若干组管件夹持装置，所述管件夹持装置包括管件上夹持装置和管件下夹持装置，所述管件上夹持装置转动安装在所述上自转盘上，所述管件下夹持装置转动安装在所述下自转盘上，所述管件上、下夹持装置分别用于固定管件的上、下端。

作为本实用新型的优选实施例，所述自转轴和管件夹持装置转动的驱动结构如下：所述自转轴沿着所述上、下底板外边缘布置成一圆圈，所述管件夹持装置沿着所述上、下自转盘外边缘布置成一圆圈，各所述自转轴的上端穿出于所述随动公转盘后分别套装一齿轮，所述炉盖中部环围着所述运动主轴组件固定一大环形外齿轮，各所述自转轴上的齿轮与所述大环形外齿轮啮合，所述随动公转盘上对应各自转轴位置，分别固定有一小环形外齿轮，所述小环形外齿轮环围着所述自转轴设置，所述上自转盘上的各管件上夹持装置上端穿出于所述上自转盘后分别套装一齿轮，各所述上夹持装置上的齿轮与所述小环形外齿轮啮合。

所述管件上夹持装置结构如下：所述管件上夹持装置包括转动夹持套筒、弹簧、下端呈锥形的上锥形头夹持杆，所述转动夹持套筒转动安装在所述上自转盘上，上端穿出所述上自转盘，所述转动夹持套筒筒壁上轴向设置有两条限位卡槽，所述上锥形头夹持杆设置在所述转动夹持套筒内，下端伸出所述转动夹持套筒，所述上锥形头夹持杆中横向设置一螺栓，螺栓两端分别位于两所述限位卡槽中，所述弹簧设置在所述转动夹持套筒内部，下端与所述上锥形头夹持杆的上端相抵；

所述管件下夹持装置为一上端呈锥形的下锥形头夹持杆。

作为本实用新型的一种改进：所述随动公转盘呈圆形，靠近所述炉盖边缘设有三个以上定位装置，所述定位装置由转动安装在所述炉盖上的定位轮构成，所述定位轮边缘与所述随动公转盘边缘滚动接触，限制公转运动架的摆动。

作为本实用新型的进一步改进：所述上、下底板之间通过若干根侧支柱固定相连，所述侧支柱围成一圆圈，且位于所述自转轴围成的圈的内侧，各所述侧支柱上端穿出于所述上底板后分别套装一滚珠轴承，各所述滚珠轴承与所述大环形外齿轮的内环面滚动接触，进一步限制公转运动架的摆动。

相对于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：

1)本实用新型离子镀膜机在阴极电弧沉积技术的基础上，通过更合理地布局电弧源、抽气口、供气方式等，扩大了炉体内的均匀镀膜区，同时，本实用新型还通过能使管件进行三维运动的工件架(固定在工件架上的管件在随随动公转盘公转的同时，还随自转轴自转，同时还随管件夹持装置进行管件自身的旋转)，使管件能进行全方位镀膜，而且膜层均匀；

2)本实用新型采用立式悬垂管件进行镀膜的方式，克服卧式镀膜机镀出的管件易发生形变弯曲的问题。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备炉体的结构示意图；

图2为图1中炉体的俯视图；

图3为本实用新型较佳实施例的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备布气管实施例一的结构示意图(使用时，该布气管竖向设置)；

图4本实用新型较佳实施例的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备的内部结构示意图；

图5为图4中a部位的放大图；

图6为图4中b部位的放大图；

图7为图4中c部位的放大图；

图8为管件装配在自转轴的自转盘的管件夹持装置上后的效果图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步详细描述。

如图1、2所示，本实施例的炉体1呈圆筒状，上端设有炉盖9，炉盖9通过与炉体1适配的法兰盘49安装在炉体1上，炉体1下端设有炉底板(未画出)，整体由炉座架(未画出)支撑竖向设置，可用于镀各种直径的6M长不锈钢长管。

实施例中，炉体1高7米，直径为2.2米。炉体1一侧炉壁中部左右并排的设有两个抽气口2，用于外接两组抽气机组(末画出)，抽气口2对侧的半圆形炉壁上安装有54只电弧源3，沿着炉体1轴线方向分成6列，每列9只，上下相邻两只电弧源3等距，各列电弧源3沿炉体轴线方向成螺旋线形错位分布。

布气管4安装在炉体1内壁，相邻两列电弧源3之间。布气管4采用细铜管制成。现有的布气管多在管一端开供气口，另一端堵死，在管身的适当位置开布气孔以向炉内供气。

图3表示本实施例布气管4的实施方案，本实施例改在7米长布气管4的中部开供气口5，具体结构如图3所示，布气管4包括供气口5、内管6和外管7，内管6位于外管7内侧，内管6两端向外管7两端延伸，内管6管端为内管的出气口，外管7管端密闭，将内管6管端的出气口密封在其内侧，布气管4的布气孔8设置在外管7的外壁，布气管4的供气口5从布气管4的中部位置与内管6相通。

本实施例布气管4采用内外套管组合的方式，气体从中部供气口5进入内管6后，沿着内管6向炉体1的上、下两端流动，流至端部后进入外管7，再折回向炉体1中部方向流动，通过外管7上的布气孔8向炉体1内喷气。本实用新型从7米长布气管4中部向两端供气，减少了供气口5到管末端的长度，以减小供气口5与管末端之间的气压差，以便使实用新型供气更加平稳。

当然，使本实用新型供气平稳的方法不限于上述内外套管组合的技术方案，也可以采用如下技术方案，如：布气管4由两条并排设置的管路构成，其中一条管路的供气口靠近炉体1底端，另一管路的供气口靠近炉体1顶端。该方案采用双管组合布气方式，使其中一支管路的供气口开在靠近炉底端，向上供气，该管路气压下大上小，另一管路供气口开在靠近炉顶端，向下供气，该管路气压下小上大，两条管路组合布气，同一高度处布气孔的气压互相补偿拉平，使不同高度处布气孔压力均匀，进而使布气均匀。

炉体1内部设置有工件架，炉盖9上方设置有驱动装置，本实施例中驱动装置由驱动电机10与直联变速箱11构成，具体结构如下。

炉盖9的中部开孔中安装有运动主轴组件。运动主轴组件如图5所示，包括主轴轴承座12、运动主轴16、真空动密封和轴承组件15。主轴轴承座12呈圆筒状，外壁设有法兰盘。绝缘件13包括环形绝缘盘和由环形绝缘盘内环孔边缘向下延伸的圆筒构成。主轴轴承座12通过绝缘件13固定在炉盖9的中部开孔中。绝缘件13的环形绝缘盘上、下表面都设置有真空密封圈14，以实现主轴轴承座12的真空密封安装。主轴轴承座12的中腔中安装有真空动密封和轴承组件15，运动主轴16通过真空动密封和轴承组件15转动安装在主轴轴承座12上。驱动电机10与直联变速箱11安装在炉盖9的上表面，驱动电机10与直联变速箱11相连，直联变速箱11的输出轴上安装一传动齿轮17‐2。运动主轴16上端紧固一主轴传动齿轮17‐1，它与直联变速箱11输出轴上的传动齿轮17‐2啮合，以便驱动运动主轴16转动，运动主轴16下端伸入炉体1内部，与工件架相连，将整个工件架吊装在炉盖9上。

工件架包括公转运动架，公转运动架包括上下相对设置的上底板18、下底板19和位于上底板18与下底板19之间将两者固定在一起的若干根侧支柱20，上底板18构成工件架的随动公转盘18。运动主轴16下端与随动公转盘18固连，随动公转盘18随运动主轴16同步旋转。

随动公转盘18呈圆形，靠近炉盖9边缘均布有6个上定位装置。定位装置包括绝缘垫21，短轴22，轴承23和定位轮24，定位轮24通过轴承23转动安装在短轴22下端，短轴22上端通过绝缘垫21固定在炉盖9上。各定位轮24边缘与随动公转盘18边缘滚动接触，用于限制公转运动架摆动。

此外，一大环状外齿轮25固定在炉盖9中部，环围着运动主轴16。6根侧支柱20围成一圆圈，各侧支柱20上端穿出于上底板19后分别套装一滚珠轴承26，各滚珠轴承26与大环形外齿轮25的内环面滚动接触，用于进一步限制公转运动架摆动。

在侧支柱20围成的圆圈的外围，设有若干根自转轴29，自转轴29转动安装在上、下底板18、19间，沿着上、下底板18、19外边缘围成一圆圈。

自转轴29上端通过自转轴上轴承座27和位于自转轴上轴承座27内的轴承28转动安装在随动公转盘18上，自转轴29下端通过自转轴下轴承座32和位于自转轴下轴承座32内的轴承33转动安装在下底板29上。

自转轴29上端穿出随动公转盘18套装一齿轮30，它与大环状外齿轮25啮合。当随动公转盘18带动自转轴29公转运动时，自转轴29上的齿轮30也跟随公转运动，因受大环状外齿轮25作用，齿轮30转动，从而带动自转轴29自转。

自转轴29上固定套装有两个自转盘，分别为上自转盘31和下自转盘34，两自转盘设于上底板18和下底板19之间，分别与两底板18、19靠近。上自转盘31和下自转盘34之间设有若干组管件夹持装置，管件夹持装置包括管件上夹持装置和管件下夹持装置，管件上夹持装置转动安装在上自转盘31上，管件下夹持装置转动安装在下自转盘34上。

上自转盘31上开有若干个孔，每孔中安装一管件转动上轴承座35，管件转动上轴承座35内设置有轴承36。管件上夹持装置包括转动夹持套筒37、弹簧40、下端呈锥形的上锥形头夹持杆41，转动夹持套筒37通过管件转动上轴承座35和轴承36转动安装在上自转盘31上，上端穿出上自转盘31，套装一齿轮38，转动夹持套筒37筒壁上轴向设置有两条限位卡槽42，上锥形头夹持杆41设置在转动夹持套筒37内，且下端伸出转动夹持套筒37，下锥形头夹持杆41中横向设置一螺栓42‐1，螺栓42‐1两端分别位于两限位卡槽42中，弹簧40设置在转动夹持套筒37内部，下端与上锥形头夹持杆41的上端相抵。下自转盘34上管件下夹持装置的安装结构与管件上夹持装置大致相同。下夹持装置为一上端呈锥形的下锥形头夹持杆46，下锥形头夹持杆46通过管件转动下轴承座44和位于管件转动下轴承座44内的轴承45转动安装在下自转盘34上。

安装管件时，把管件43下端套在下锥形头夹持杆46上，推动上锥形头夹持杆41，压缩弹簧40，让出位置，把管件43另一端套在上锥形头夹持杆41上，再松开上锥形头夹持杆41，让弹簧40回弹，压紧管件43并自动完成对中。

随动公转盘18上对应各自转轴29的上轴承座27下方附近位置，分别固定有一小环形外齿轮39，小环形外齿轮39环围着自转轴29设置，各转动夹持套筒37上的齿轮38与小环形外齿轮39啮合。当自转轴29带动上自转盘31转动时，转动夹持套筒37上的齿轮38也一起转动，因小环状外齿轮39的作用，齿轮38也会发生转动，从而带动转动夹持套筒37转动。

本实用新型的工件架整体吊装在炉盖9上，因此可通过将炉盖整体吊出并翻转到水平状态，再进行管件43的装卸。本实用新型可通过调节侧支柱20、自转轴29的长度，或者淍节下自转盘34的高度，来镀各种长度的管件43。

本实用新型的运行过程如下：

管件清洗干净后待装夹入炉，用天车把炉盖连同工件架从炉体内吊出，放置在一垂直‐‐水平翻转装置的翻转板上，固定后再天车吊拖炉盖连同工件架，使它们一边被拖行一边完成垂直到水平的翻转，直到工件架平稳的地躺在翻转装置上再进行管件的装卸作业。

一人把管件的一端套在某下自转盘上的某个下锥形头夹持杆上，另一人拿着该管件的另一端，推动对应位置处的上自转盘上相应位置处的上锥形头夹持杆上的螺栓，让螺栓沿着转动夹持套筒限位卡槽滑动以压缩弹簧，令上锥形头夹持杆后退，以让出管件长度，把管件套在上锥形头夹持杆上，松开手让弹簧回弹，压紧管件并自动对中。

重复上述作业装夹好所有管件。用天车吊拖炉盖连同工件架再使其由水平位置翻转回垂直装置，松开固定工件架的紧固机构，把炉盖连同工件架稍吊起，在装炉前检查工件架的运动状况：启动炉盖上的驱动电机，使公转运动架转动，安装在公转运动架的随动公转盘上的自转轴随之公转，由于大环形外齿轮的作用，使自转轴在公转时产生自转，固定在自转轴上的自转盘也随之转动，，安装在自转盘上的管件夹持装置由于小环形外齿轮的作用，在随自转盘转动的同时自身也发生旋转，使管件实现随公转运动架公转、随自转盘自转并且自身也发生转动的三维运动。细仔观察管件的运动状况，检查确认管件三维运动正常后，关闭炉盖上的驱动电机，使工件架停止转动，吊起工件架装入炉内，合上炉盖，重新启动管件的三维运动，抽真空，达到预定真空度后，充入氩气，施加高偏压，分别逐列起动电弧进行离子轰击清洗，然后降低偏压，启动全部电弧沉积过渡底层，再后进入镀膜作业，继续启动全部电弧，调至合适偏压，通入反应气体(如氮、乙炔或氧)进行镀膜，由于合理设计电弧源的方位、数量和布局，布气管的气体又从中部供气口进入内管，从内管管端折回进入外管，再从外管管壁上的布气孔喷出，气体压差小，且在管内充分缓冲，使喷入炉内的气体更平稳均匀。以上措施保证在如此高大的炉体内，气体可以均匀的扩散到整个镀膜区，使炉内可镀区内等离子体更加均匀，有利于使镀膜质量更加稳定。完成镀膜作业后，关停电弧和供气，冷却后充气。用天车吊起炉盖连同工件架，将其置于垂直‐‐水平翻转装置的翻转板上并固定，甪天车拖吊炉盖连同工件架，一边移动一边下降，使工件架由垂直位置翻转至水平位置，进行卸管作业。一人拿着一条已镀膜管件靠炉盖的一端，推动该管件上夹持装置上的螺栓，让螺栓沿着转动夹持套筒上的限位卡槽滑动从而压缩弹簧，令该管件的上锥形头夹持杆后退，从而取下管件，另一人拿着该管件的另一端，就可以把该管件卸下。重复该作业卸下所有管件，即完成一个管件镀膜作业周期。

Claims (9)

1.一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体(1)，所述炉体(1)由炉座架支撑，一端设有炉盖(9)，另一端设有炉底板，所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3)，炉体(1)内壁上设置有布气管(4)，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；

其特征在于，所述炉体(1)竖向设置，所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部，所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上，所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。

2.根据权利要求1所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述布气管(4)的结构如下：所述布气管(4)包括供气口(5)、内管(6)和外管(7)，内管(6)位于外管(7)内侧，内管(6)两端向外管(7)两端延伸，内管(6)管端为内管的出气口，外管(7)管端密闭，将内管(6)管端的出气口密封在其内侧，布气管(4)的布气孔(8)设置在外管(7)的外壁，布气管(4)的供气口(5)从布气管(4)的中部位置与内管(6)相通。

3.根据权利要求1所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述布气管(4)的结构为：所述布气管(4)由两条并排设置的管路构成，其中一条管路的供气口靠近炉体(1)底端，另一管路的供气口靠近炉体(1)顶端。

4.根据权利要求1～3任一项权利要求所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述工件架整体吊装在炉盖(9)上，所述工件架包括公转运动架，所述公转运动架包括上下相对设置的上底板(18)和下底板(19)，所述上底板(18)构成所述工件架的随动公转盘(18)，所述公转运动架通过与其随动公转盘(18)中部相连的运动主轴组件转动吊装在所述炉盖(9)上，所述运动主轴组件上端从所述炉盖(9)中部开孔中穿出，与固定在所述炉盖上的所述驱动装置相连，以便由所述驱动装置通过所述运动主轴组件驱动所述公转运动架转动，所述公转运动架的上、下底板(18)、(19)间转动安装有若干根自转轴(29)，所述自转轴(29)上固定套装有两个自转盘，分别为上自转盘(31)和下自转盘(34)，两自转盘位于所述上底板(18)和下底板(19)之间，分别与两底板(18)、(19)靠近，所述上自转盘(31)和所述下自转盘(34)之间设有若干组管件夹持装置，所述管件夹持装置包括管件上夹持装置和管件下夹持装置，所述管件上夹持装置转动安装在所述上自转盘(31)上，所述管件下夹持装置转动安装在所述下自转盘(34)上，所述管件上、下夹持装置分别用于固定管件的上、下端。

5.根据权利要求4所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述自转轴(29)和管件夹持装置转动的驱动结构如下：所述自转轴(29)沿着所述上、下底板(18)、(19)外边缘布置成一圆圈，所述管件夹持装置沿着所述上、下自转盘(31)、(34)外边缘布置成一圆圈，各所述自转轴(29)的上端穿出于所述随动公转盘(18)后分别套装一齿轮(30)，所述炉盖(9)中部环围着所述运动主轴组件固定一大环形外齿轮(25)，各所述自转轴(29)上的齿轮(30)与所述大环形外齿轮(25)啮合，所述随动公转盘(18)上对应各自转轴(29)位置，分别固定有一小环形外齿轮(39)，所述小环形外齿轮(39)环围着所述自转轴(29)设置，所述上自转盘(31)上的各管件上夹持装置上端穿出于所述上自转盘(31)后分别套装一齿轮(38)，各所述上夹持装置上的齿轮(38)与所述小环形外齿轮(39)啮合。

6.根据权利要求5所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述管件上夹持装置结构如下：所述管件上夹持装置包括转动夹持套筒(37)、弹簧(40)、下端呈锥形的上锥形头夹持杆(41)，所述转动夹持套筒(37)转动安装在所述上自转盘(31)上，其上端穿出所述上自转盘(31)，所述转动夹持套筒(37)筒壁上轴向设置有两条限位卡槽(42)，所述上锥形头夹持杆(41)设置在所述转动夹持套筒(37)内，下端伸出所述转动夹持套筒(37)，所述上锥形头夹持杆(41)中横向设置一螺栓(42‐1)，螺栓(42‐1)两端分别位于两所述限位卡槽(42)中，所述弹簧(40)设置在所述转动夹持套筒(37)内部，下端与所述上锥形头夹持杆(41)的上端相抵；

所述管件下夹持装置为一上端呈锥形的下锥形头夹持杆(46)。

7.根据权利要求6所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述随动公转盘(18)呈圆形，靠近所述炉盖(9)边缘设有三个以上定位装置，所述定位装置由转动安装在所述炉盖(9)上的定位轮(24)构成，所述定位轮(24)边缘与所述随动公转盘(18)边缘滚动接触。

8.根据权利要求6所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述上、下底板(18)、(19)之间通过若干根侧支柱(20)固定相连，所述侧支柱(20)围成一圆圈，且位于所述自转轴(29)围成的圈的内侧，各所述侧支柱(20)上端穿出于所述上底板(18)后分别套装一滚珠轴承(26)，各所述滚珠轴承(26)与所述大环形外齿轮(25)的内环面滚动接触。

9.根据权利要求7所述的大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，其特征在于，所述上、下底板(18)、(19)之间通过若干根侧支柱(20)固定相连，所述侧支柱(20)围成一圆圈，且位于所述自转轴(29)围成的圈的内侧，各所述侧支柱(20)上端穿出于所述上底板(19)后分别套装一滚珠轴承(26)，各所述滚珠轴承(26)与所述大环形外齿轮(25)的内环面滚动接触。