CN219342266U - 一种真空镀膜机加热设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机加热设备，包括转动盘，所述转动盘底部均匀固定安装有多个底座，底座内部对称贯穿开设有收纳槽，收纳槽内固定安装有固定环，收纳槽内滑动安装有挤压块，挤压块贯穿固定环，挤压块与固定环之间固定安装有第一弹簧，底座中部插接有加热管。活动块顶部为弧形设计，活动块顶部受到垂直力挤压时，弧形可产生分力使得活动块进入加热管内，安装时，直接将加热管插入底座中，即可实现加热管与底座的自锁固定，拆卸时，只需按压挤压块，使得挤压块进入底座内，拔出加热管即可，简单、便捷，有利于提高加热管的维修、安装效率。

Description

一种真空镀膜机加热设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机加热设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射等。主要思路是分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

对于蒸发镀膜而言，加热设备尤为关键，最初，真空镀膜的加热设备为一体式构造，不方便拆卸和维修，加热设备一旦损坏，维修难度较高，所以部分专利开始设计容易拆卸的加热设备。

如授权公告号为CN218345531U的专利中，公开了一种真空镀膜机加热装置，通过设置转柄、螺纹杆、螺纹套、限位杆、限位孔和定位筒，可以对加热管进行固定，同时也方便在加热管损坏时对其进行拆卸更换，简而言之，使用双向丝杆的旋转实现对加热管的固定与拆卸，该专利仍存有改进之处：

第一，旋转双向丝杆仅可固定、拆卸一个加热管，而真空镀膜机加热设备需要的加热管数量较多，为此可能需要旋转多次，拆卸效率有待提高，而且，双向丝杆与滑块之间的螺纹连接，当连接处因时间长久而生锈后，两者的摩擦阻力即旋转阻力增大，进一步降低拆卸效率。

第二，加热管及其固定装置整体不可旋转，当维修人员的身高高于加热管时，则需要屈膝或者俯身转头去观察加热管与固定装置连接处的情况，然后再进行加热管的安装或拆除，增加了工作人员的作业难度。

鉴于这样的情况，本实用新型的目的在于，提供一种真空镀膜机加热设备，安装、拆卸效率更高，且可以旋转加热管及其固定装置，使加热管连接处更易被工作人员观察。

实用新型内容

针对上述问题，本申请提供了一种真空镀膜机加热设备，解决使用上述专利中加热管拆除效率不高以及加热管无法旋转的问题：

一种真空镀膜机加热设备，包括转动盘，所述转动盘底部均匀固定安装有多个底座，底座内部对称贯穿开设有收纳槽，收纳槽内固定安装有固定环，收纳槽内滑动安装有挤压块，挤压块贯穿固定环，挤压块与固定环之间固定安装有第一弹簧，底座中部插接有加热管，加热管中部对称固定安装有两个第四弹簧，第四弹簧远离加热管的一端固定安装有活动块，活动块顶部为弧形，活动块滑动插接在加热管外侧。

进一步的，所述转动盘外围安装有壳体，转动盘与壳体之间安装有两个支撑杆，其一支撑杆外侧固定安装有电机和下齿轮，下齿轮固定安装在电机的输出端。

进一步的，所述下齿轮顶部啮合安装有上齿轮，上齿轮中部固定安装有支撑杆，支撑杆的两端转动安装在壳体内侧，此支撑杆靠近中部位置的外侧固定安装有凸块。

进一步的，所述凸块底部滑动安装有顶板，顶板滑动安装在转动盘内侧，转动盘与顶板底部之间固定安装有第三弹簧。

进一步的，所述转动盘底部贯穿滑动安装有多个连接柱，连接柱与底座同轴且数量相等，连接柱顶部固定安装在顶板底部。

进一步的，所述底座中部滑动安装有挤压板，挤压板与连接柱底部之间固定安装有第二弹簧。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的一种真空镀膜机加热设备，采用了活动块，活动块顶部为弧形设计，活动块顶部受到垂直力挤压时，弧形可产生分力使得活动块进入加热管内，安装时，直接将加热管插入底座中，即可实现加热管与底座的自锁固定，拆卸时，只需按压挤压块，使得挤压块进入底座内，拔出加热管即可，简单、便捷，有利于提高加热管的维修、安装效率。

本实用新型所述的一种真空镀膜机加热设备，采用了电机，电机转动带动转动盘、底座转动，工作人员更易观察底座，降低安装难度，特别是对于安装高度低于工作人员身高的加热管。

本实用新型所述的一种真空镀膜机加热设备，采用了挤压板，工作人员反向启动电机，电机反转带动凸块和顶板复位，即凸块再次挤压顶板，顶板通过连接柱、第二弹簧、挤压板挤压加热管的顶部，加热管与底座之间肯定会存在一定的配合间隙，所以加热管存在小幅的晃动空间，挤压板挤压加热管后，使得加热管的安装更加稳定。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型提供的一种真空镀膜机加热设备的整体结构示意图；

图2为本实用新型提供的一种真空镀膜机加热设备的内部结构示意图；

图3为本实用新型提供的一种真空镀膜机加热设备的底座内部结构示意图；

图4为图3的A处放大图；

图5为图3的B处放大图。

图中：1、壳体；2、支撑杆；3、凸块；4、上齿轮；5、电机；6、下齿轮；7、转动盘；8、底座；9、加热管；10、顶板；11、收纳槽；12、挤压块；13、第一弹簧；14、挤压板；15、第二弹簧；16、连接柱；17、第三弹簧；18、活动块；19、第四弹簧；20、固定环。

实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图和实施例或现有技术的描述对本实用新型作简单地介绍，显而易见地，下面关于附图结构的描述仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

如图 1-5所示，本实用新型实施例提供一种真空镀膜机加热设备，包括转动盘7，所述转动盘7底部均匀固定安装有多个底座8，底座8内部对称贯穿开设有收纳槽11，收纳槽11内固定安装有固定环20，收纳槽11内滑动安装有挤压块12，挤压块12贯穿固定环20，挤压块12与固定环20之间固定安装有第一弹簧13，第一弹簧13用于挤压块12的复位，底座8中部插接有加热管9，加热管9中部对称固定安装有两个第四弹簧19，第四弹簧19远离加热管9的一端固定安装有活动块18，第四弹簧19用于活动块18的复位，收纳槽11与活动块18配合，使得底座8与加热管9形成自锁，活动块18顶部为弧形，活动块18顶部受到垂直力挤压时，弧形可产生分力使得活动块18进入加热管9内，活动块18滑动插接在加热管9外侧。

本实施例中，加热管9安装，工作人员将加热管9顶部插入底座8内，活动块18接触底座8底部后，由于活动块18上端面为弧形，活动块18的反作用力的分力使得活动块18进入加热管9内，第四弹簧19被压缩，当活动块18到达收纳槽11时，活动块18在第四弹簧19的张力作用下复位，进入收纳槽11，形成加热管9与底座8的自锁固定；加热管9拆除，工作人员一手握住加热管9，另一只手同时按压挤压块12，使得挤压块12进入底座8内，第一弹簧13被拉伸，挤压块12推动活动块18进入加热管9内，工作人员拔出加热管9，松开挤压块12，挤压块12在第一弹簧13的张力作用下复位。

具体的，所述转动盘7外围安装有壳体1，转动盘7与壳体1之间安装有两个支撑杆2，其一支撑杆2外侧固定安装有电机5和下齿轮6，下齿轮6固定安装在电机5的输出端，电机5用于带动下齿轮6转动，如图2所示，最上部的支撑杆2两端转动安装在壳体1内侧，电机5与壳体1之间的支撑杆2两端均为固定连接，转动盘7与壳体1之间的支撑杆2，一端固定安装在转动盘7外侧，另一端转动安装在壳体1内侧。

具体的，所述下齿轮6顶部啮合安装有上齿轮4，下齿轮6用于带动上齿轮4转动，且方向相反，上齿轮4中部固定安装有支撑杆2，支撑杆2的两端转动安装在壳体1内侧，此支撑杆2靠近中部位置的外侧固定安装有凸块3。

具体的，所述凸块3底部滑动安装有顶板10，顶板10滑动安装在转动盘7内侧，转动盘7与顶板10底部之间固定安装有第三弹簧17，凸块3不挤压顶板10时，第三弹簧17可带动顶板10上移。

本实施例中，工作人员启动电机5，电机5转动带动下齿轮6转动，进而带动上齿轮4反向转动，使得转动盘7和顶板10同向转动，而凸块3与转动盘7反向转动，故凸块3不再挤压顶板10，顶板10在第三弹簧17的张力作用下上移。

具体的，所述转动盘7底部贯穿滑动安装有多个连接柱16，连接柱16与底座8同轴且数量相等，连接柱16顶部固定安装在顶板10底部。

具体的，所述底座8中部滑动安装有挤压板14，挤压板14与连接柱16底部之间固定安装有第二弹簧15，用于缓冲连接柱16传递给挤压板14的力，使二者不是刚性连接，进而降低挤压板14将加热管9挤压变形的可能。

本实施例中，顶板10在第三弹簧17的张力作用下上移，进而带动连接柱16、第二弹簧15和挤压板14上移，转动盘7转动带动底座8转动后，工作人员更易观察底座8，降低安装难度，工作人员反向启动电机5，电机5反转带动凸块3和顶板10复位，即凸块3再次挤压顶板10，顶板10通过连接柱16、第二弹簧15、挤压板14挤压加热管9的顶部，加热管9与底座8之间肯定会存在一定的配合间隙，所以加热管9存在小幅的晃动空间，挤压板14挤压加热管9后，使得加热管9的安装更加稳定。

具体工作方式：

加热管9安装：工作人员启动电机5，电机5转动带动下齿轮6转动，进而带动上齿轮4反向转动，使得转动盘7和顶板10同向转动，而凸块3与转动盘7反向转动，故凸块3不再挤压顶板10，顶板10在第三弹簧17的张力作用下上移，进而带动连接柱16、第二弹簧15和挤压板14上移，转动盘7转动带动底座8转动后，工作人员更易观察底座8，降低安装难度，将加热管9顶部插入底座8内，活动块18接触底座8底部后，由于活动块18上端面为弧形，活动块18的反作用力的分力使得活动块18进入加热管9内，第四弹簧19被压缩，当活动块18到达收纳槽11时，活动块18在第四弹簧19的张力作用下复位，进入收纳槽11，形成加热管9与底座8的自锁固定；

工作人员反向启动电机5，电机5反转带动凸块3和顶板10复位，即凸块3再次挤压顶板10，顶板10通过连接柱16、第二弹簧15、挤压板14挤压加热管9的顶部，加热管9与底座8之间肯定会存在一定的配合间隙，所以加热管9存在小幅的晃动空间，挤压板14挤压加热管9后，使得加热管9的安装更加稳定。

加热管9拆卸：工作人员启动电机5，电机5转动使得挤压板14不再挤压加热管9顶部，工作人员一手握住加热管9，另一只手同时按压挤压块12，使得挤压块12进入底座8内，第一弹簧13被拉伸，挤压块12推动活动块18进入加热管9内，工作人员拔出加热管9，松开挤压块12，挤压块12在第一弹簧13的张力作用下复位，工作人员对加热管9维修或将新的加热管9重新插入底座8内，后续安装过程见上述“加热管9安装”。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机加热设备，包括转动盘（7），其特征在于：所述转动盘（7）底部均匀固定安装有多个底座（8），底座（8）内部对称贯穿开设有收纳槽（11），收纳槽（11）内固定安装有固定环（20），收纳槽（11）内滑动安装有挤压块（12），挤压块（12）贯穿固定环（20），挤压块（12）与固定环（20）之间固定安装有第一弹簧（13），底座（8）中部插接有加热管（9），加热管（9）中部对称固定安装有两个第四弹簧（19），第四弹簧（19）远离加热管（9）的一端固定安装有活动块（18），活动块（18）顶部为弧形，活动块（18）滑动插接在加热管（9）外侧。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述转动盘（7）外围安装有壳体（1），转动盘（7）与壳体（1）之间安装有两个支撑杆（2），其一支撑杆（2）外侧固定安装有电机（5）和下齿轮（6），下齿轮（6）固定安装在电机（5）的输出端。

3.如权利要求2所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述下齿轮（6）顶部啮合安装有上齿轮（4），上齿轮（4）中部固定安装有支撑杆（2），支撑杆（2）的两端转动安装在壳体（1）内侧，此支撑杆（2）靠近中部位置的外侧固定安装有凸块（3）。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述凸块（3）底部滑动安装有顶板（10），顶板（10）滑动安装在转动盘（7）内侧，转动盘（7）与顶板（10）底部之间固定安装有第三弹簧（17）。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述转动盘（7）底部贯穿滑动安装有多个连接柱（16）。

6.如权利要求5所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述连接柱（16）与底座（8）同轴且数量相等，连接柱（16）顶部固定安装在顶板（10）底部。

7.如权利要求5所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述底座（8）中部滑动安装有挤压板（14），挤压板（14）位于连接柱（16）的下方。

8.如权利要求7所述的一种真空镀膜机加热设备，其特征在于：所述挤压板（14）与连接柱（16）底部之间固定安装有第二弹簧（15）。

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