CN219337744U - 一种晶舟夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶舟夹具，属于夹持设备技术领域。为解决现有晶舟夹具夹爪行程不易控制，易对晶舟造成损坏，夹爪夹持稳定性差的问题。本申请包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；动力装置固定安装于夹具安装板，动力端与夹爪固定连接；感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；位置传感器组件固定安装于所述夹爪；行程传感器组件安装于夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。本申请的晶舟夹具整体结构简单，两个夹爪通过一个移动电机进行驱动，生产成本低，安装和调试便捷，生产效率高。同时本申请的夹爪本体设有夹持卡槽，与晶舟能有效卡接，夹持稳定性高。

Description

一种晶舟夹具

技术领域

本申请涉及一种晶舟夹具，属于夹持设备技术领域。

背景技术

随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂自动化程度的提高，晶舟自动装载设备在集成电路装备上的使用范围越来越广。对晶舟自动装载设备的自动化性能、速度、可靠性、稳定性、安全性要求越来越高，对成本降低的要求也相应提高。晶舟在半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并可放至晶圆盒内，是一种专属于晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

在生产过程中，现有技术中一般采用人工进行晶舟的搬取，或放入手推车，对其精细附加定位，然后推到放料工位进行上下料，整个搬放过程需要轻拿轻放，对操作人员的技能要求很高，而且效率低下，同时人工拿取存在损伤或掉落，造成效益损失。

随着工业机器人的发展和劳动了成本的上升，行业对自动化生产制造的需求也越来越高，利用夹具对晶舟进行夹持转运工作。其中现有夹具在对晶舟进行夹持时，对于不同尺寸的晶舟存在夹爪行程无法精准控制，容易对晶舟造成夹持过度或夹持不足的情况，都会对晶舟造成损坏。虽可采用伺服电机进行夹爪行程的精确控制，但伺服电机会导致生产成本的上升。同时不同种类的晶舟因外形形状不同，现有夹具不能做到有效夹持，夹持稳定性低，在移送过程中，造成晶舟晃动或掉落的情况，因此亟需一种晶舟夹具来解决上述问题。

实用新型内容

对现有技术中存在的问题与不足，本申请提供一种晶舟夹具，旨在解决目前存在的技术问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶舟夹具，包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；动力装置固定安装于夹具安装板，且其动力端与夹爪固定连接；感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；位置传感器组件固定安装于夹爪；行程传感器组件安装于夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。

具体的，夹具安装板的上侧设有安装孔，用于连接移送机构；下侧安装有动力装置。

具体的，动力装置包括移动电机和两个夹爪支架；移动电机固定安装于夹具安装板，且移动电机的一侧设有滑槽；两个夹爪支架滑动安装于滑槽，且两个夹爪支架分别与移动电机的动力端固定连接。

具体的，夹爪包括两个夹爪连接板和两个夹爪本体；两个夹爪连接板的一侧分别与两个夹爪支架固定连接，且两个夹爪连接板相对平行设置；两个夹爪本体分别固定安装于两个夹爪连接板的相对内侧。

具体的，两个夹爪本体相对设置，且两个夹爪相对的内侧分别设有与晶舟形状相适配的夹持卡槽。

具体的，位置传感器组件包括夹持位置传感器和夹持到位传感器；夹持位置传感器固定安装于夹爪本体；夹持到位传感器固定安装于夹爪本体，且其感应端位于夹持卡槽槽内。

具体的，夹持位置传感器为对射传感器，且数量为两组；两组对射传感器分别固定安装于夹爪本体的外侧，且其感应端分别穿过两个夹爪本体的相对内侧。

具体的，夹持到位传感器为接触式传感器，且数量为两个；两个接触式传感器固定安装于夹持卡槽所在位置的夹爪本体，且其感应端朝夹持卡槽方向延伸，并延伸至夹持卡槽槽内。

具体的，行程传感器组件包括两个安装架和两个行程限位传感器；两个安装架分别固定安装于夹具安装板的两侧；两个行程限位传感器分别安装于安装架；行程限位传感器与夹爪一一对应设置，且行程限位传感器位于夹爪的运动轨迹内。

与现有技术相比，本申请的有益效果在于：

1.本申请的晶舟夹具通过设置感应装置，感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件，位置传感器组件设有夹持位置传感器，用于感应晶舟的夹持位置，即当晶舟夹具随移送机构运动至待夹取晶舟时，由于夹持位置传感器为对射传感器，其感应端被待夹取晶舟阻挡而切断，移送机构停止移动，此时即为待夹取晶舟的夹持位置。同时通过设置夹持到位传感器和行程限位传感器，用于感应夹爪的运动行程和夹爪夹持住晶舟时，及时停止夹持动作，避免夹持过度或夹持不足的情况，从而实现对于不同尺寸的晶舟都能做到有效夹持。晶舟夹具整体结构简单，两个夹爪通过一个移动电机进行驱动，生产成本低，安装和调试便捷，生产效率高。

2.在前述的基础上，在两个夹爪本体的相对内侧分别设有与待夹取晶舟形状相适配的夹持卡槽，实现夹爪本体对晶舟进行夹持时，夹持卡槽与晶舟能有效卡接，提高对晶舟的夹持稳定性，避免晶舟在移送过程中发动晃动或掉落。

附图说明

图1为本实施例的晶舟夹具的结构示意图；

图2为本实施例的晶舟夹具的结构主视图；

图3为本实施例的晶舟夹具的结构侧视图；

图4为本实施例的晶舟夹具的结构俯视图。

图中：1、夹具安装板；2、夹爪；3、移动电机；4、夹爪支架；5、夹爪连接板；6、夹爪本体；7、夹持卡槽；8、夹持位置传感器；9、夹持到位传感器； 10、安装架；11、晶舟。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，进一步阐述本申请。

请参阅图1-3本实施例公开了一种晶舟夹具，包括夹具安装板1、动力装置、夹爪2和感应装置；动力装置固定安装于夹具安装板1，且其动力端与夹爪2固定连接；感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；夹爪2在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；位置传感器组件固定安装于夹爪2；行程传感器组件安装于夹具安装板1，且其位于夹爪2的运动轨迹内。

进一步的，夹具安装板1的上侧设有安装孔，用于连接移送机构；下侧安装有动力装置。

进一步的，动力装置包括移动电机3和两个夹爪支架4；移动电机3固定安装于夹具安装板1，且移动电机的一侧设有滑槽；两个夹爪支架4滑动安装于滑槽，且两个夹爪支架4分别与移动电机3的动力端固定连接。

进一步的，夹爪包括两个夹爪连接板5和两个夹爪本体6；两个夹爪连接板5的一侧分别与两个夹爪支架4固定连接，且两个夹爪连接板5相对平行设置；两个夹爪本体6分别固定安装于两个夹爪连接板5的相对内侧。

进一步的，两个夹爪本体相对设置，且两个夹爪相对的内侧分别设有与晶舟形状相适配的夹持卡槽7。

进一步的，位置传感器组件包括夹持位置传感器8和夹持到位传感器9；夹持位置传感器8固定安装于夹爪本体；夹持到位传感器固定安装于夹爪本体，且其感应端位于夹持卡槽槽内。

进一步的，夹持位置传感器为对射传感器，且数量为两组；两组对射传感器分别固定安装于夹爪本体的外侧，且其感应端分别穿过两个夹爪本体的相对内侧。

进一步的，夹持到位传感器9为接触式传感器，且数量为两个；两个接触式传感器固定安装于夹持卡槽所在位置的夹爪本体，且其感应端朝夹持卡槽方向延伸，并延伸至夹持卡槽槽内。

进一步的，行程传感器组件包括两个安装架10和两个行程限位传感器（未图示）；两个安装架分别固定安装于夹具安装板1的两侧；两个行程限位传感器分别安装于安装架10；行程限位传感器与夹爪2一一对应设置，且行程限位传感器位于夹爪的运动轨迹内。

工作原理：1.本实施的晶舟夹具在使用时，首先操作员将晶舟夹具与移送机构进行连接。再根据晶舟11的种类，调整夹持位置传感器的安装高度，以使之与待夹取晶舟的夹持高度相适配。再根据晶舟的尺寸，调整行程限位传感器的安装位置，使其与晶舟的尺寸相适配，接着进行部件安装，完成晶舟夹具的安装和调试。

2.本实施的晶舟夹具在工作时，晶舟夹具由移送机构移送至待夹取晶舟位置时，晶舟夹具移动至晶舟的上方，再沿径向向下移动，当夹持位置传感器的感应端被晶舟阻挡而断开后，移送机构停止移送，此时夹具达到晶舟的夹持位置。接着移动电机驱动两个夹爪支架沿滑槽进行相向运动，带动连个夹爪本体对晶舟进行夹持。当两个夹爪本体运动至行程限位传感器的位置时，停止运动，则移动电机停止动作。同时晶舟的两侧与两个夹持到位传感器的感应端相接触，则判断夹爪本体对晶舟的有效夹持，移送机构可进行移送工作，完成对晶舟的夹持工作。

3.完成夹持后，移送机构带动晶舟夹具进行移送，并进行后续的生产工序。

上面结合实施例对本申请的实施方式作了详细说明，但是本申请并不限于上述实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在获知本申请中记载内容后，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对其作出若干同等变换和替代，这些同等变换和替代也应视为属于本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种晶舟夹具，包括夹具安装板、动力装置、夹爪和感应装置；其特征在于：所述动力装置固定安装于夹具安装板，且其动力端与所述夹爪固定连接；所述感应装置包括位置传感器组件和行程传感器组件；所述夹爪在动力装置的动力端的驱动下做相向或背向运动；所述位置传感器组件固定安装于所述夹爪；所述行程传感器组件安装于所述夹具安装板，且其位于夹爪的运动轨迹内。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹具安装板的上侧设有安装孔，用于连接移送机构；下侧安装有所述动力装置。

3.根据权利要求2所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述动力装置包括移动电机和两个夹爪支架；所述移动电机固定安装于夹具安装板，且移动电机的一侧设有滑槽；两个所述夹爪支架滑动安装于所述滑槽，且两个夹爪支架分别与所述移动电机的动力端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹爪包括两个夹爪连接板和两个夹爪本体；两个所述夹爪连接板的一侧分别与两个夹爪支架固定连接，且两个夹爪连接板相对平行设置；两个所述夹爪本体分别固定安装于两个夹爪连接板的相对内侧。

5.根据权利要求4所述的一种晶舟夹具，其特征在于：两个所述夹爪本体相对设置，且两个夹爪相对的内侧分别设有与晶舟形状相适配的夹持卡槽。

6.根据权利要求5所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述位置传感器组件包括夹持位置传感器和夹持到位传感器；所述夹持位置传感器固定安装于夹爪本体；所述夹持到位传感器固定安装于夹爪本体，且其感应端位于所述夹持卡槽槽内。

7.根据权利要求6所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹持位置传感器为对射传感器，且数量为两组；两组所述对射传感器分别固定安装于夹爪本体的外侧，且其感应端分别穿过两个夹爪本体的相对内侧。

8.根据权利要求6所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述夹持到位传感器为接触式传感器，且数量为两个；两个所述接触式传感器固定安装于夹持卡槽所在位置的夹爪本体，且其感应端朝夹持卡槽方向延伸，并延伸至夹持卡槽槽内。

9.根据权利要求2所述的一种晶舟夹具，其特征在于：所述行程传感器组件包括两个安装架和两个行程限位传感器；两个所述安装架分别固定安装于夹具安装板的两侧；两个所述行程限位传感器分别安装于安装架；所述行程限位传感器与所述夹爪一一对应设置，且行程限位传感器位于夹爪的运动轨迹内。

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