CN219326822U - 承载机构及镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种承载机构及镀膜装置，涉及镀膜设备技术领域，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；承装组件用于承载工件，承托组件上形成有第一支撑部和第二支撑部，承装组件的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接；驱动组件的输出端与承装组件的一端相连接，以驱动承装组件转动。通过本申请提供的承载机构，由于采用单杆挂货形式，因此，能够极大的提升工件在每个阶段的作业节拍，即承载机构上承载的工件能够快速完成清洗、镀膜以及冷却等作业，从而能够提高整体作业效率，并实现镀膜作业的快速流水线作业。

Description

承载机构及镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种承载机构及镀膜装置。

背景技术

现有的镀膜工艺都是尽可能的增加转架上用于挂工件的承载杆，以提升一次镀膜过程中的工件数量。虽然采用此种方式能够完成较多数量的工件镀膜作业，但也使得转架的重量和结构越来越复杂，从而在搬运以及拆装工件过程中需要耗费极大的人力和时间。

相应的，为了能够承载转架，镀膜设备的尺寸也越来越大，导致现阶段的镀膜设备均需要较大的场地放置，并且，完成一次镀膜工艺的过程也极其漫长，效率较低。

因此，急需提供一种承载机构及镀膜装置，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种承载机构及镀膜装置，以在一定程度上解决现有转架尺寸较大结构复杂，导致运输和作业效率较低的问题。

本实用新型提供的一种承载机构，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；所述承装组件用于承载工件，所述承托组件上形成有第一支撑部和第二支撑部，所述承装组件的两端分别与所述第一支撑部和所述第二支撑部转动连接；所述驱动组件的输出端与所述承装组件的一端相连接，以驱动所述承装组件转动。

其中，所述承托组件包括托盘，所述第一支撑部和所述第二支撑部均沿竖直方向延伸，且相对设置于所述托盘在长度方向上的两端。

具体地，所述承装组件包括从动件和工件杆，所述工件杆的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接，所述从动件设置于所述工件杆的一端，且所述从动件与所述驱动组件的输出端相连接，以带动所述工件杆转动。

进一步地，所述驱动组件包括驱动件、传动件以及输出件，所述驱动件的输出端与所述传动件的一端相连接，所述传动件的另一端与所述输出件相连接，所述输出件与所述从动件相连接。

进一步地，所述工件杆上形成有第一定位孔和第二定位孔，所述第一定位孔和所述第二定位孔内均设有限位件；所述第一定位孔和所述第二定位孔位于所述工件杆的两端分别与第一支撑部和第二支撑部的连接位置之间，且所述第一定位孔和所述第一支撑部的距离与所述第二定位孔和所述第二支撑部的距离相同。

其中，本实用新型提供的承载机构，还包括定位件，所述定位件套设于所述工件杆的一端，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均形成有定位槽，所述定位槽的轴向尺寸与所述定位件的轴向尺寸相适配，以使所述定位件能够嵌入所述定位槽内。

具体地，所述定位件的端部呈V形结构，以对所述定位件进入所述定位槽内起导向作用。

进一步地，所述定位槽内设有承载轮，所述定位件的端部与所述承载轮相抵接，以使所述定位件能够相对所述定位槽转动。

更进一步地，所述托盘上形成有多个镂空孔，且多个所述镂空孔均布于所述托盘上。

相对于现有技术，本实用新型提供的承载机构具有以下优势：

本实用新型提供的承载机构，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；承装组件用于承载工件，承托组件上形成有第一支撑部和第二支撑部，承装组件的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接；驱动组件的输出端与承装组件的一端相连接，以驱动承装组件转动。

由此分析可知，通过承托组件上形成的第一支撑部和第二支撑部能够对承装组件进行承载，而通过承装组件能够承装工件，由于承装组件的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接，因此，通过承装组件的转动能够带动工件进行转动，以实现均匀的清洗以及镀膜等工艺。

可以理解的是，由于本申请提供的承载机构还包括驱动组件，且驱动组件的输出端与承装机构的一端相连接，因此，通过驱动组件能够实现上述的承装组件相对承托组件的转动。

由于本申请中的承装组件采用单杆挂货形式，因此，能够极大的精简承载机构的结构，使整体重量得到极大的降低。虽然单杆挂货的方式使工件的数量缩减，但同时也极大的缩减了工件在每个阶段的作业时间，即承载机构上承载的工件能够快速完成清洗、镀膜以及冷却等作业，从而能够保证整体作业效率，并实现镀膜作业的快速流水线作业。

此外，本实用新型还提供一种镀膜装置，包括腔体及上述的承载机构；所述腔体内形成有镀膜室和转运室，所述镀膜装置与所述转运室相连通，所述承载机构能够由所述转运室进入或离开所述镀膜装置内，所述转运室能够运送所述承载机构。

采用本申请提供的承载机构的镀膜装置，能够相应的缩小整体尺寸，并且，由于腔体内形成有镀膜室和转运室，因此，通过转运室能够实现承载机构的进入和离开，而在承载机构进入转运室后，能够通过使承载机构由转运室进入镀膜室，实现承载机构上承载的工件的镀膜工艺。

当镀膜完成后，可使承载机构再次回到转运室，通过转运室移出腔体，进行后续作业。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的承载机构第一视角的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为本实用新型实施例提供的承载机构第二视角的结构示意图。

图中：1-托盘；101-第一支撑部；102-第二支撑部；103-定位槽；1031-承载轮；104-镂空孔；2-从动件；3-工件杆；301-限位件；4-驱动件；5-传动件；6-输出件；7-定位件。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。

为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。

在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。

由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。

这里所描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本申请的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

如图1-图3所示，本实用新型提供一种承载机构，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；承装组件用于承载工件，承托组件上形成有第一支撑部101和第二支撑部102，承装组件的两端分别与第一支撑部101和第二支撑部102转动连接；驱动组件的输出端与承装组件的一端相连接，以驱动承装组件转动。

相对于现有技术，本实用新型提供的承载机构具有以下优势：

本实用新型提供的承载机构，通过承托组件上形成的第一支撑部101和第二支撑部102能够对承装组件进行承载，而通过承装组件能够承装工件，由于承装组件的两端分别与第一支撑部101和第二支撑部102转动连接，因此，通过承装组件的转动能够带动工件进行转动，以实现均匀的清洗以及镀膜等工艺。

可以理解的是，由于本申请提供的承载机构还包括驱动组件，且驱动组件的输出端与承装机构的一端相连接，因此，通过驱动组件能够实现上述的承装组件相对承托组件的转动。

由于本申请中的承装组件采用单杆挂货形式，因此，能够极大的精简承载机构的结构，使整体重量得到极大的降低。虽然单杆挂货的方式使工件的数量缩减，但同时也极大的缩减了工件在每个阶段的作业时间，即承载机构上承载的工件能够快速完成清洗、镀膜以及冷却等作业，从而能够保证整体作业效率，并实现镀膜作业的快速流水线作业。

可选地，如图1-图3所示，本申请中承托组件包括托盘1，第一支撑部101和第二支撑部102均沿竖直方向延伸，且相对设置于托盘1在长度方向上的两端。

通过设置托盘1，一方面能够为第一支撑部101和第二支撑部102提供稳定的设置位置，另一方面，由于本申请提供的承载机构主要用于镀膜装置中，且本申请提供的镀膜装置中，腔体内的镀膜室和转运室相连通，因此，通过设置托盘1，能够在一定程度上隔绝镀膜室和转运室，以避免镀膜过程中靶材析出的离子辐射至转运室内，对转运室产生影响。

此处需要补充说明的是，本申请中的托盘1以及承装组件均沿水平方向延伸，从而能够在一定程度上压缩竖直方向上的尺寸，进而能够压缩镀膜装置在竖直方向上的尺寸，缩小整体装置空间占用。

可选地，如图1结合图3所示，本申请中的承装组件包括从动件2和工件杆3，工件杆3的两端分别与第一支撑部101和第二支撑部102转动连接，从动件2设置于工件杆3的一端，且从动件2与驱动组件的输出端相连接，以带动工件杆3转动。

本申请中的从动件2与工件杆3的一端固定连接，且从动件2与驱动组件相连接，从而能够实现将驱动组件的动力传递至工件杆3，使工件杆3产生转动。

可以理解的是，本申请中工件杆3的两端与第一支撑部101和第二支撑部102的转动连接可通过轴承实现，即工件杆3上套设有轴承，且轴承的外环与第一支撑部101和第二支撑部102相连接，从而实现工件杆3相对第一支撑部101和第二支撑部102的转动。

优选地，如图1所示，本申请中的驱动组件包括驱动件4、传动件5以及输出件6，驱动件4的输出端与传动件5的一端相连接，传动件5的另一端与输出件6相连接，输出件6与从动件2相连接。

本申请中的驱动件4可以为电机，传动件5为传动轴，传动轴的一端与电机的输出轴相连接，另一端与输出件6相连接。基于此种结构，本申请中的输出件6可以为传动轮或链轮，相应地，当输出件6为传动轮时，则从动件2也为传动轮，且两个传动轮之间连接有传送带，从而实现动力传递。而当输出件6为链轮时，则从动轮也为链轮，两个链轮之间连接有链条，从而实现动力传递。

优选地，本申请中的输出件6和从动件2均为齿轮，且输出件6和从动件2互相啮合，从而能够实现动力的传递。

可选地，如图1所示，本申请中工件杆3上形成有第一定位孔和第二定位孔，第一定位孔和第二定位孔内均设有限位件301；第一定位孔和第二定位孔位于工件杆3的两端分别与第一支撑部101和第二支撑部102的连接位置之间，且第一定位孔和第一支撑部101的距离与第二定位孔和第二支撑部102的距离相同。

本申请中的限位件301为销钉，通过在工件杆3上形成的第一定位孔和第二定位孔，且使第一定位孔与第一支撑部101的距离等于第二定位孔与第二支撑部102的距离，从而能够避免第一定位孔和第二定位孔对工件杆3与第一支撑部101和第二支撑部102的连接产生影响。并且，由于在清洗及镀膜过程中具有最佳的作业区域，因此，通过形成的第一定位孔和第二定位孔，在第一定位孔和第二定位孔内设置限位件301，能够限定工件杆3上挂装工件的区域，进而保证工件始终挂装在最佳的作业区域内，保证工件的清洗及镀膜效果。

可选地，如图1结合图2所示，本实用新型提供的承载机构，还包括定位件7，定位件7套设于工件杆3的一端，第一支撑部101和第二支撑部102上均形成有定位槽103，定位槽103的轴向尺寸与定位件7的轴向尺寸相适配，以使定位件7能够嵌入定位槽103内。

本申请中的定位件7为定位轮，且在实际应用时，定位件7与工件杆3的任一端相连接，由于第一支撑部101和第二支撑部102上均形成的定位槽103，且定位槽103在轴向上的尺寸与定位件7的轴向尺寸相适配，即定位槽103的宽度较大于定位件7的厚度，从而使定位件7能够嵌设于定位槽103内，实现对整体承装组件在轴向上的定位。

优选地，如图2所示，本申请中定位件7的端部呈V形结构，以对定位件7进入定位槽103内起导向作用。

通过使定位件7的端部呈V形结构，能够在定位件7进入定位槽103的过程中起到一定程度的导向作用，从而提高承装组件和承托组件的组装速度和精度。

可选地，如图2所示，本申请中定位槽103内设有承载轮1031，定位件7的端部与承载轮1031相抵接，以使定位件7能够相对定位槽103转动。

如图1结合图2所示，本申请中定位件7嵌设于第一支撑部101的定位槽103内，由于本申请中的定位件7与工件杆3为固定连接，因此，在工作中定位件7跟随工件杆3同时转动，从而需要使定位件7不与第一支撑部101或第二支撑部102相接触，本申请通过在定位槽103内设置承载轮1031，一方面能够为定位件7提供支撑，另一方面，由于承载轮1031能够相对第一支撑部101转动，因此，在定位件7跟随工件杆3转动的过程中，承载轮1031能够产生转动，从而避免对定位件7和工件杆3的转动产生影响，提高整体结构的传动稳定性。

优选地，如图3所示，本申请中的托盘1上形成有多个镂空孔104，且多个镂空孔104均布于托盘1上。通过形成的多个镂空孔104能够在一定程度上降低托盘1的重量，从而便于对承载机构进行运输。

此外，本实用新型还提供一种镀膜装置，包括腔体及上述的承载机构；腔体内形成有镀膜装置和转运室，镀膜装置与转运室相连通，承载机构能够由转运室进入或离开镀膜装置内，转运室能够运送承载机构。

采用本申请提供的承载机构的镀膜装置，能够相应的缩小整体尺寸，并且，由于腔体内形成有镀膜室和转运室，因此，通过转运室能够实现承载机构的进入和离开，而在承载机构进入转运室后，能够通过使承载机构由转运室进入镀膜室，实现承载机构上承载的工件的镀膜工艺。

当镀膜完成后，可使承载机构再次回到转运室，通过转运室移出腔体，进行后续作业。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种承载机构，其特征在于，包括承托组件、承装组件以及驱动组件；

所述承装组件用于承载工件，所述承托组件上形成有第一支撑部和第二支撑部，所述承装组件的两端分别与所述第一支撑部和所述第二支撑部转动连接；

所述驱动组件的输出端与所述承装组件的一端相连接，以驱动所述承装组件转动。

2.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述承托组件包括托盘，所述第一支撑部和所述第二支撑部均沿竖直方向延伸，且相对设置于所述托盘在长度方向上的两端。

3.根据权利要求1所述的承载机构，其特征在于，所述承装组件包括从动件和工件杆，所述工件杆的两端分别与第一支撑部和第二支撑部转动连接，所述从动件设置于所述工件杆的一端，且所述从动件与所述驱动组件的输出端相连接，以带动所述工件杆转动。

4.根据权利要求3所述的承载机构，其特征在于，所述驱动组件包括驱动件、传动件以及输出件，所述驱动件的输出端与所述传动件的一端相连接，所述传动件的另一端与所述输出件相连接，所述输出件与所述从动件相连接。

5.根据权利要求3所述的承载机构，其特征在于，所述工件杆上形成有第一定位孔和第二定位孔，所述第一定位孔和所述第二定位孔内均设有限位件；

所述第一定位孔和所述第二定位孔位于所述工件杆的两端分别与第一支撑部和第二支撑部的连接位置之间，且所述第一定位孔和所述第一支撑部的距离与所述第二定位孔和所述第二支撑部的距离相同。

6.根据权利要求3所述的承载机构，其特征在于，还包括定位件，所述定位件套设于所述工件杆的一端，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均形成有定位槽，所述定位槽的轴向尺寸与所述定位件的轴向尺寸相适配，以使所述定位件能够嵌入所述定位槽内。

7.根据权利要求6所述的承载机构，其特征在于，所述定位件的端部呈V形结构，以对所述定位件进入所述定位槽内起导向作用。

8.根据权利要求7所述的承载机构，其特征在于，所述定位槽内设有承载轮，所述定位件的端部与所述承载轮相抵接，以使所述定位件能够相对所述定位槽转动。

9.根据权利要求2所述的承载机构，其特征在于，所述托盘上形成有多个镂空孔，且多个所述镂空孔均布于所述托盘上。

10.一种镀膜装置，其特征在于，包括腔体及上述权利要求1-9中任一项所述的承载机构；

所述腔体内形成有镀膜室和转运室，所述镀膜室与所述转运室相连通，所述承载机构能够由所述转运室进入或离开所述镀膜室内，所述转运室能够运送所述承载机构。

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