CN219311681U - 一种晶棒切磨系统 - Google Patents

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曹建伟
朱亮
卢嘉彬
王金荣
张航
朱荣辉
傅林坚
钟杨波
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Abstract

本申请属于晶体加工技术领域。本申请公开了一种晶棒切磨系统,其包括切割装置和边皮搬运装置;切割装置用于切割晶棒;边皮搬运装置设于切割装置的一侧,边皮搬运装置用于搬运切割装置在切割晶棒时产生的边皮;边皮搬运装置包括边皮拾取机构、输送机构、设置在输送机构一端的储料机构及在输送机构与储料机构之间移动的边皮盒;输送机构沿第一方向延伸,储料机构沿第一方向延伸,边皮拾取机构在切割装置与输送机构之间移动。本申请在晶棒切磨系统中设置了边皮搬运装置,实现了边皮搬运的自动化,提高了生产效率。

Description

一种晶棒切磨系统
技术领域
本实用新型属于晶棒加工技术领域,具体涉及一种晶棒切磨系统。
背景技术
在晶棒加工过程中,需要将圆柱形的晶棒切割成方棒形的晶棒,并将切割产生的边皮运出,以便对晶棒的后续加工。相关技术中,边皮的搬运需要将边皮翻转,再由人力将边皮取出,费时费力,搬运效率低下。
实用新型内容
为了解决相关技术中不足,本申请的目的在于提供一种能够自动化运输边皮的晶棒切磨系统。
为实现上述目的,本申请提供一种晶棒切磨系统,其包括切割装置和边皮搬运装置;切割装置用于切割晶棒;边皮搬运装置设于切割装置的一侧,边皮搬运装置用于搬运切割装置在切割晶棒时产生的边皮;边皮搬运装置包括边皮拾取机构、输送机构、设置在输送机构一端的储料机构及在输送机构与储料机构之间移动的边皮盒;输送机构沿第一方向延伸,储料机构沿第一方向延伸,边皮拾取机构在切割装置与输送机构之间移动。
进一步地,边皮盒的底部及侧壁设有缓冲件。
进一步地,输送机构与储料机构之间还设有能够沿第二方向在第一位置与第二位置之间移动的接驳机构。
进一步地,接驳机构包括第一槽和第二槽,第一槽沿第一方向延伸,第二槽沿第一方向延伸,接驳机构包括第一槽与输送机构对准的第一位置及第二槽与输送机构对准的第二位置,接驳机构能够沿第二方向在第一位置与第二位置之间移动。
进一步地,接驳机构还包括沿第二方向延伸的导轨及驱动第一槽和第二槽沿第二方向运动的驱动件。
进一步地,储料机构包括接驳机构处于第二位置时与第一槽对齐的第三槽及与第二槽对齐的第四槽,第三槽沿第一方向延伸,第四槽沿第一方向延伸。
进一步地,输送机构为滚筒输送机构、皮带输送机构或链板输送机构中的一种。
进一步地,输送机构中还设有导向件。
进一步地,输送机构与储料机构之间还设有计数传感器。
进一步地,输送机构的侧壁的高度与边皮盒的高度的比值为大于等于0.25且小于等于0.75。
本申请通过在晶棒切磨系统中设置了边皮搬运装置,使边皮在搬运过程中无需翻转,并实现了边皮搬运的自动化,节省人力,提高了生产效率。
附图说明
图1为本申请实施方式中晶棒切磨系统的一种结构示意图;
图2为本申请实施方式中边皮搬运装置的一种结构示意图;
图3为本申请实施方式中边皮搬运装置的一种侧视示意图;
图4为本申请实施方式中边皮搬运装置的一种俯视示意图;
图5为本申请实施方式中输送机构的一种结构示意图;
图6为本申请实施方式中输送机构的一种侧视示意图;
图7为沿图6中A-A方向的剖面示意图。
具体实施方式
为了使本领域的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施方式中的附图,对本申请具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
本实施例提供了一种如图1所示的晶棒切磨系统100,晶棒切磨系统100包括切割装置11、边皮搬运装置12、磨削装置13和上下料装置14。切割装置11用于将圆柱形的晶棒切割成方形的晶棒。边皮搬运装置12设于切割装置11的一侧,用于将切割晶棒产生的边皮搬运至晶棒切磨系统100外。磨削装置13设于切割装置11的另一侧,用于打磨切割后的晶棒。上下料装置14设于磨削装置13的一侧,用于将未切割的晶棒搬运至切割装置11中。
作为一种可选的实施方式,如图2所示,边皮搬运装置12包括边皮拾取机构121、输送机构122、储料机构123和边皮盒124。边皮拾取机构121能够在切割装置11与输送机构122之间移动,拾取切割装置11中产生的边皮200并将边皮200搬运至输送机构122中。输送机构122设于边皮搬运装置12中靠近切割装置11的一侧,用于将边皮200输送至储料机构123中。输送机构122与切割装置11的距离较近,能够使边皮拾取机构121在切割装置11与输送机构122之间往返一次的时间较短,提高边皮拾取机构121的搬运效率。为方便阐述,还定义了第一方向101、第二方向102和第三方向103,其中第一方向101为输送机构122延伸的方向,第二方向102为边皮拾取机构121在切割装置11与输送机构122之间移动的方向,以竖直方向为第三方向103,第二方向102垂直于第一方向101,第三方向103垂直于第一方向101和第二方向102所在的平面。储料机构123设于输送机构122一端,用于接收由输送机构122输送的边皮200。储料机构123沿第一方向101延伸。边皮盒124能够在输送机构122与储料机构123之间移动,用于承载边皮200。晶棒一次切割完成后会产生两块边皮200,边皮拾取机构121夹紧边皮200后,会先沿第三方向103竖向运动,使边皮200脱离晶棒,再沿第二方向102将边皮200搬运至切割装置11两侧的输送机构122上方,边皮盒124位于输送机构122上。然后根据边皮盒124位置,将边皮200搬运至空的边皮盒124上方。在边皮拾取机构121在达到边皮盒124上方后,会根据边皮200的长度下降至合适的位置,随后释放边皮200,便完成将边皮200由切割装置11搬运到位于输送机构122的边皮盒124的过程。输送机构122将装满边皮200的边皮盒124沿第一方向101输送至储料机构123,再将储料机构123中的空的边皮盒124输送至边皮拾取机构121附近,以此循环工作。
作为一种可选的实施方式,边皮盒124的底部和侧壁设有缓冲件。边皮盒124在输送机构122与储料机构123之间移动,用于承载边皮200并将承载的边皮200输送到储料机构123中进行储存。边皮拾取机构121释放边皮200后,边皮200会落入到边皮盒124中。虽然边皮拾取机构121已经将边皮200搬运至距边皮盒124较近的位置,但边皮200在落入到边皮盒124时仍有破碎的风险,缓冲件能够缓冲边皮200下落至边皮盒124中时所受的冲击力,防止边皮200破碎。
作为一种可选的实施方式,如图3和图4所示,边皮搬运装置12还包括接驳机构125。接驳机构125设于输送机构122与储料机构123之间,能够接收输送机构122输送的装满边皮200的边皮盒124并将装满边皮200的边皮盒124输送至储料机构123。接驳机构125还能够接收储料机构123中的空的边皮盒124并将空的边皮盒124输送到输送机构122中。
作为一种可选的实施方式,如图4所示,接驳机构125能够沿第二方向102在第一位置与第二位置之间移动。接驳机构125包括第一槽1251和第二槽1252。第一槽1251沿第一方向101延伸,第二槽1252沿第一方向101延伸。储料机构123包括第三槽1231和第四槽1232。第四槽1232沿第一方向101延伸,用于储放空的边皮盒124。第三槽1231沿第一方向101延伸,用于储放装满边皮200的边皮盒124。当接驳机构125位于第一位置时,接驳机构125的第一槽1251与输送机构122对准,接驳机构125的第二槽1252与储料机构123的第四槽1232对准。当接驳机构125位于第一位置时,接驳机构125的第一槽1251接收由输送机构122输送的装满边皮200的边皮盒124,接驳机构125的第二槽1252接收储料机构123的第四槽1232中的空的边皮盒124。当接驳机构125位于第二位置时,接驳机构125的第一槽1251与储料机构123的第三槽1231对准,接驳机构125的第二槽1252与输送机构122对准。当接驳机构125位于第二位置时,接驳机构125的第一槽1251将接收的装满边皮200的边皮盒124输送至储料机构123的第三槽1231中,接驳机构125的第二槽1252将接收的空的边皮盒124输送至输送机构122中。接驳机构125通过沿第二方向102在第一位置与第二位置之间交替移动,使接驳机构125接收输送机构122输送的装满边皮200的边皮盒124并向输送机构122输送空的边皮盒124,以此循环工作,保证边皮200搬运装置12稳定的运行。
作为一种可选的实施方式,如图4所示,接驳机构125还包括导轨1253和驱动件1254。导轨1253设于第一槽1251和第二槽1252的底部,导轨1253沿第二方向102延伸。导轨1253保证第一槽1251和第二槽1252在沿第二方向102在第一位置与第二位置之间移动时不会发生偏移。驱动件1254与第一槽1251或第二槽1252相连,用于驱动第一槽1251和第二槽1252沿第二方向102运动。导轨1253和驱动件1254能够保证接驳机构125在移动时更加稳定,提高了接驳机构125的可靠性。
作为一种可选的实施方式,输送机构122为滚筒输送机构122、皮带输送机构122或链板输送机构122中的一种。滚筒输送机构122结构简单,可靠性高,具有输送量大,输送速度快等特点。皮带输送机构122结构简单,维修方便。链板输送机构122的输送面平坦光滑,摩擦力小,输送速度准确稳定。实际生产中,可根据需求选用合适的输送机构122。
作为一种可选的实施方式,如图5所示,输送机构122中还设有导向件1221。导向件1221能够保持边皮盒124在输送机构122中的运动方向,使边皮200搬运的过程更加稳定有序。导向件1221还能够避免边皮盒124在运输过程中发生偏移翻倒,使边皮盒124的输送过程更加平稳。
作为一种可选的实施方式,如图6所示,输送机构122中还设有硅渣收集盒1222,硅渣收集盒1222设于输送机构122底部。边皮盒124在输送过程中可能会有硅渣掉落到输送机构122中,硅渣收集盒1222用于收集输送机构122中的可能残留的硅渣,使输送机构122保持整洁。
作为一种可选的实施方式,如图6所示,边皮搬运装置12还包括计数传感器126。计数传感器126设于输送机构122与储料机构123之间。计数传感器126能够统计输送边皮盒124的数量,从而对边皮200搬运装置12的工作进程进行反馈。
作为一种可选的实施方式,输送机构122的侧壁的高度H1与边皮盒124的高度H2的比值为大于等于0.25且小于等于0.75。输送机构122的侧壁起导向作用,还能够防止边皮盒124发生侧向翻倒。若输送机构122的侧壁过高则会使边皮盒124与侧壁的接触面积过大,摩擦力更大,阻碍边皮盒124的运输。输送机构122的侧壁的高度H1与边皮盒124的高度H2的比值大于等于0.25且小于等于0.75时,边皮盒124可以稳定顺畅的在输送机构122上移动。
综上所述,本申请提供了一种晶棒切磨系统100,晶棒切磨系统100包括切割装置11和和边皮搬运装置12。边皮200在搬运过程中,无需对晶棒进行翻转,在切割装置11中无需设置翻转机构,节省了切割装置11的内部空间。边皮搬运装置12可以将切割产生的边皮200搬运出切割装置11并将边皮200收集储存,实现了边皮200运输的自动化,大大提高了生产效率。
应当理解的是,对于本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,而所有这些改进和变换都应属于本申请所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶棒切磨系统,其特征在于,包括:
切割装置,用于切割晶棒;
边皮搬运装置,设于所述切割装置的一侧,所述边皮搬运装置用于搬运所述切割装置在切割所述晶棒时产生的边皮;
所述边皮搬运装置包括边皮拾取机构、输送机构、设置在输送机构一端的储料机构及在输送机构与储料机构之间移动的边皮盒;所述输送机构沿第一方向延伸,所述储料机构沿第一方向延伸,所述边皮拾取机构在所述切割装置与输送机构之间移动。
2.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述边皮盒的底部及侧壁设有缓冲件。
3.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述输送机构与所述储料机构之间还设有接驳机构,所述接驳机构包括第一位置和第二位置,所述接驳机构能够在第一位置与第二位置之间移动。
4.根据权利要求3所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述接驳机构包括当所述接驳机构处于所述第一位置时与所述输送机构对准的第一槽及当所述接驳机构处于所述第二位置时与所述输送机构对准的第二槽。
5.根据权利要求4所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述接驳机构还包括沿第二方向延伸的导轨及驱动所述第一槽和所述第二槽沿所述第二方向运动的驱动件。
6.根据权利要求4所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述储料机构包括所述接驳机构处于第二位置时与所述第一槽对齐的第三槽及所述接驳机构处于第一位置时与所述第二槽对齐的第四槽,所述第三槽沿第一方向延伸,所述第四槽沿第一方向延伸。
7.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述输送机构为滚筒输送机构、皮带输送机构或链板输送机构中的一种。
8.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述输送机构中还设有导向件。
9.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述输送机构与所述储料机构之间还设有计数传感器。
10.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:
所述输送机构的侧壁的高度与所述边皮盒的高度的比值为大于等于0.25且小于等于0.75。
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