CN219286348U - cassette检测平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了cassette检测平台，包括检测台面；检测压条，设置于所述检测台面上。感应组件，设置于检测压条的一侧，用于感应检测压条上是否有cassette，所述感应组件为传感器。本实用新型的有益效果体现在：通过传感器进行感应，避免了机械开关的触动，感应精准，长期使用能保证感应的稳定性，实用性强。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体技术领域，尤其涉及一种cassette检测平台。
背景技术
晶舟（cassette），又称晶圆花篮，是晶圆盒中承载晶圆片的特制架状载具。承载过程中，通常需要一片一片地将晶圆放入架中，再把整个架子放到晶圆盒内，这个架子被称为晶舟 Cassette。Cassette通常分为专用和流转，专用是在某个制程使用，要加工时，需要把晶圆装到专用Cassette才允许在本制程加工。
在半导体封装Die Attach制程中，需要将内置晶圆的cassette置于入料检测平台，机台首先检查cassette是否放置好，检测正常后将晶圆拉入机台内生产。现有的检测平台包括一检测台面，所述检测台面上设置有检测压条，所述检测压条的一侧设置有微动开关，当cassette放置于检测台面上时，检测压条受力时会触发微动开关闭合，从而驱动后续程序将晶圆拉入机台进行下一道工序。但当压条在长期使用过后，可能导致变形，因此，当变形后的检测压条再次受力时，就无法触发微动开关，导致流程无法自动进行。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种cassette检测平台，当检测压条在长期使用后，依旧可以保证其检测的感应稳定性。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
cassette检测平台，包括
检测台面；
检测压条，设置于所述检测台面上，所述检测压条与所述检测台面之间设置有弹簧，所述检测压条受力，驱动所述弹簧进行压缩；
感应组件，设置于检测压条的一侧，用于感应检测压条上是否有cassette，所述感应组件为传感器。
优选地，所述检测压条的一侧设置有两条凹槽，所述凹槽之间设置有间隙。
优选地，所述传感器设置有两个，分别置于两个凹槽内，所述传感器的感应端垂直于所述凹槽底面向上设置。
优选地，所述传感器嵌置于所述凹槽内，且所述传感器的感应端低于所述凹槽的槽口。
优选地，两个所述传感器之间的距离不大于cassette长度。
优选地，所述检测压条受力时，其上表面与所述检测平面之间的高度差为3mm，所述传感器的感应距离≤3mm。
优选地，所述传感器距离所述检测压条的距离小于cassette的宽度。
优选地，所述传感器为红外传感器。
本实用新型的有益效果体现在：通过传感器进行感应，避免了机械开关的触动，感应精准，长期使用能保证感应的稳定性，实用性强。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图。
1检测台面，2检测压条，3感应组件，11凹槽，4 cassette检测补偿PIN，41第一限位板，42第二限位板。
实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图1及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
本实用新型揭示了一种cassette检测平台，包括检测台面1；设置于所述检测台面1上的检测压条2；所述检测压条与所述检测台面之间设置有弹簧，所述检测压条2受力，驱动所述弹簧进行压缩。
具体的，所述检测台面1上开设有支架孔，所述支架孔内设置有支架，所述支架上套置有弹簧，所述弹簧的上端与检测压条2连接，所述支架的顶部与检测台面1在同一水平面，所述检测压条2未受力时，其上表面及底面均高于所述检测台面，当所述检测压条2受力时，所述检测压条2的底面与支架及检测台面接触。
所述检测台面1的两侧设置有两组限位板，不同组的限位板用于限定不同尺寸的cassette，所述限位板之间的距离与待检测cassette尺寸相配合。所述限位板包括相对设置的第一限位板41，及设置于第一限位板41内侧的第二限位板42。
所述检测压条2的一侧设置有感应组件3，用于感应检测台面1上是否有cassette，所述感应组件3为传感器。为感应组件能感应到检测压条2上的cassette，所述感应组件3的感应距离小于检测压条2受力后其上表面与检测平面之间的高度。
本实施例中，所述传感器为红外感应器。通常，在检测压条受力后，检测压条的上表面与平台之间距离大概在3mm左右，为了能保证传感器能感应到cassette的存在，所述传感器的感应距离≤3mm。
为更好的保护传感器，所述检测压条2的一侧设置有两条凹槽11，所述凹槽11之间设置有间隙。所述传感器设置有两个，分别嵌置于两个凹槽11内，且所述传感器的感应端不高于所述凹槽11的槽口。所述传感器的接线将从凹槽11中引出，避免影响后续cassette的动作等。
两个所述传感器之间的距离不大于cassette长度。所述传感器距离所述检测压条的距离小于cassette的宽度。
本实施例中，是用感应8英寸与12英寸的cassette，故两个传感器之间的距离为145mm。当然，如果是应用其他尺寸的cassette，也可以进行传感器之间距离的调整。所述检测压条2上向上凸起设置有一检测补偿PIN 4，由于本实施例中针对的12英寸cassette其底部结构限制，导致其无法完全接触检测压条，故，通过检测补偿PIN 4辅助其与检测压条2的接触。
实际应用时，作业人员将cassette放置于将此平台1上的检测压条2上，由于cassette的尺寸，将同时覆盖至传感器上方，传感器将检测到有cassette的存在，传感器将信号传输至机台I/O接口，以便机台接收到信号后，将启动进行后续动作。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
当然本实用新型尚有多种具体的实施方式，在此就不一一列举。凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。
Claims (8)
1.cassette检测平台，其特征在于：包括
检测台面；
检测压条，设置于所述检测台面上，所述检测压条与所述检测台面之间设置有弹簧，所述检测压条受力，驱动所述弹簧进行压缩；
感应组件，设置于检测压条的一侧，用于感应检测压条上是否有cassette，所述感应组件为传感器。
2.如权利要求1所述的cassette检测平台，其特征在于：所述检测压条的一侧设置有两条凹槽，所述凹槽之间设置有间隙。
3.如权利要求2所述的cassette检测平台，其特征在于：所述传感器设置有两个，分别置于两个凹槽内，所述传感器的感应端垂直于所述凹槽底面向上设置。
4.如权利要求3所述的cassette检测平台，其特征在于：所述传感器嵌置于所述凹槽内，且所述传感器的感应端低于所述凹槽的槽口。
5.如权利要求4所述的cassette检测平台，其特征在于：两个所述传感器之间的距离不大于cassette长度。
6.如权利要求5所述的cassette检测平台，其特征在于：所述检测压条受力时，其上表面与所述检测台面之间的高度差为3mm，所述传感器的感应距离≤3mm。
7.如权利要求6所述的cassette检测平台，其特征在于：所述传感器距离所述检测压条的距离小于cassette的宽度。
8.如权利要求7所述的cassette检测平台，其特征在于：所述传感器为红外传感器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223243209.XU CN219286348U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | cassette检测平台 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223243209.XU CN219286348U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | cassette检测平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219286348U true CN219286348U (zh) | 2023-06-30 |
Family
ID=86922881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223243209.XU Active CN219286348U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | cassette检测平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219286348U (zh) |
-
2022
- 2022-12-05 CN CN202223243209.XU patent/CN219286348U/zh active Active
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