CN219224398U - 一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，包括主体，所述主体的内部开设有传动腔，所述主体上方的两侧设置有安装台，所述安装台上端的中间位置处均转动设置有调节套筒，所述调节套筒的上方均设置有调节头，所述调节套筒和调节头的外壁均设置有四个呈环形等距分布的压力传感器，还包括传动腔，其开设在所述主体的内部，所述传动腔内部的两侧均转动设置有第一单螺纹传动杆，所述第一单螺纹传动杆的一侧均固定设置有第二锥形齿轮。该半导体生产用薄膜的拉伸检测装置可以使薄膜两侧受到拉伸的力相等，使拉伸时薄膜的受力均匀，避免了单侧受力拉伸导致的不准确。

Description

一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置

技术领域

本实用新型涉及薄膜拉伸技术领域，具体为一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置。

背景技术

半导体是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料，主要用于气相沉积(包括物理沉积、化学气相沉积及原子气相沉积)镀膜过程，以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层，通过薄膜拉伸检测装置可以对半导体生产的薄膜进行拉伸检测，从而可以对半导体生产的薄膜质量或者性能进行检测把控，使半导体生产的薄膜符合标准。

现有公告号为CN216732985U的中国专利公开了一种薄膜拉伸装置，包括机座、竖向支撑板、横向支撑板、液压缸、活塞、连接装置、上安装板和下安装板，竖向支撑板的顶部开设有限位槽，限位槽的内表面活动连接有限位块，限位块的中部螺纹连接有螺栓，竖向支撑板的前侧固定连接有保护壳，保护壳的后侧内壁固定连接有控制器，机座的右侧设置有除尘机构，除尘机构是由吸尘器、出尘管、储尘箱和观察窗组成的。

上述方案虽然可以对横向支撑板进行拆卸，从而便于对横向支撑板上的液压缸、活塞和连接装置进行维修，但是该装置进行拉伸时只对薄膜一侧进行拉伸，为保证半导体生产的薄膜合格率需要对其两侧同时进行拉伸，使拉伸时薄膜的受力均匀，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，以解决上述背景技术中提出的薄膜拉伸装置拉伸时两侧受力不均匀导致检测不准确的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，包括主体，所述主体上方的两侧设置有安装台，所述安装台上端的中间位置处均转动设置有调节套筒，所述调节套筒的上方均设置有调节头，所述调节套筒和调节头的外壁均设置有四个呈环形等距分布的压力传感器；

还包括传动腔，其开设在所述主体的内部，所述传动腔内部的两侧均转动设置有第一单螺纹传动杆，所述第一单螺纹传动杆的一侧均固定设置有第二锥形齿轮，所述第一单螺纹传动杆的外部均设置有螺母套，且螺母套均与第一单螺纹传动杆的外壁螺纹连接，所述螺母套的上端均焊接有移动块，所述移动块的一端均贯穿并延伸至传动腔的外部，且移动块均与传动腔滑动配合，所述移动块位于传动腔外部的一端均与安装台的下端固定连接。

优选的，所述第一单螺纹传动杆的下方均焊接有导向杆，所述导向杆均贯穿限位块，且导向杆均限位块滑动配合。

优选的，所述导向杆的外部均套设有压缩弹簧，且压缩弹簧的一端均与限位块相连接。

优选的，所述传动腔内部的中间位置处设置有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的一端固定设置有第一锥形齿轮，且第二锥形齿轮均与第一锥形齿轮啮合连接。

优选的，所述安装台的内部设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端均与调节套筒通过联轴器传动连接。

优选的，所述调节头的下端均焊接有第二单螺纹传动杆，且第二单螺纹传动杆均与调节套筒螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在传动腔内部的两侧设置有第一单螺纹传动杆，进行拉伸时，通过第一伺服电机的转动可以使两个第一单螺纹传动杆进行相反方向的转动，在限位块的限位下可以使螺母套进行水平的直线移动，从而可以使移动块带动安装台朝相反的方向移动，使调节套筒和调节头上半导体生产的薄膜可以被拉伸，且使薄膜的受力均匀，使检测更加的准确。

2、本实用新型通过在调节头的下端固定设置有第二单螺纹传动杆，且第二单螺纹传动杆与调节套筒螺纹连接，通过第二单螺纹传动杆在调节套筒的内部转动，可以使调节头的位置升高，从而可以使调节头与调节套筒的距离发生变化，进而可以对不同尺寸的半导体生产的薄膜进行收轴套装，方便日常的使用。

3、本实用新型通过在导向杆的外部套设有压缩弹簧，当螺母套朝一侧移动时会带动限位块挤压压缩弹簧，压缩弹簧可以产生一个相反的作用力，限位块的逐渐移动会使半导体生产的薄膜受拉伸程度越大，同时限位块受到反作用力也会使其移动越缓慢，从而使压力传感器检测更加的准确，更加容易确定拉伸的临界点，方便使用。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构正视图；

图2为本实用新型的内部结构侧视图；

图3为本实用新型的内部结构俯视图；

图4为本实用新型的图1中A区域局部放大图。

图中：1、主体；2、传动腔；3、第一单螺纹传动杆；4、螺母套；5、移动块；6、限位块；7、导向杆；8、压缩弹簧；9、第一伺服电机；10、转轴；11、第一锥形齿轮；12、第二锥形齿轮；13、安装台；14、调节套筒；15、调节头；16、第二单螺纹传动杆；17、压力传感器；18、第二伺服电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，包括主体1，主体1上方的两侧设置有安装台13，安装台13上端的中间位置处均转动设置有调节套筒14，调节套筒14的上方均设置有调节头15，调节套筒14和调节头15的外壁均设置有四个呈环形等距分布的压力传感器17；

还包括传动腔2，其开设在主体1的内部，传动腔2内部的两侧均转动设置有第一单螺纹传动杆3，第一单螺纹传动杆3的一侧均固定设置有第二锥形齿轮12，第一单螺纹传动杆3的外部均设置有螺母套4，且螺母套4均与第一单螺纹传动杆3的外壁螺纹连接，螺母套4的上端均焊接有移动块5，移动块5的一端均贯穿并延伸至传动腔2的外部，且移动块5均与传动腔2滑动配合，移动块5位于传动腔2外部的一端均与安装台13的下端固定连接。该半导体生产用薄膜的拉伸检测装置启动第一伺服电机9可以使第一锥形齿轮11转动，在第一锥形齿轮11与两个第二锥形齿轮12的啮合传动下，可以使两个第一单螺纹传动杆3同步的转动，且两个第一单螺纹传动杆3的转动方向相反，第一单螺纹传动杆3的转动可以使螺母套4在导向杆7的限位导向作用下进行水平的移动，从而通过螺母套4可以带动移动块5同步的移动，移动块5移动会带动安装台13及其上方的薄膜同步的移动，从而可以使薄膜的两侧受到拉伸，且拉伸的力相等，使拉伸时薄膜的受力均匀，避免了单侧受力拉伸导致的不准确。

请参阅图2和图4，第一单螺纹传动杆3的下方均焊接有导向杆7，导向杆7均贯穿限位块6，且导向杆7均限位块6滑动配合，在导向杆7的限位导向作用下，可以将螺母套4的转动转化为水平的直线移动；

请参阅图4，导向杆7的外部均套设有压缩弹簧8，且压缩弹簧8的一端均与限位块6相连接，压缩弹簧8可以对限位块6产生相反的作用力，该作用力会随着限位块6的移动逐渐增加，从而可以减缓螺母套4上端移动块5的移动，使压力传感器17检测更加的准确；

请参阅图1和图3，传动腔2内部的中间位置处设置有第一伺服电机9，第一伺服电机9的输出端通过联轴器传动连接有转轴10，转轴10的一端固定设置有第一锥形齿轮11，且第二锥形齿轮12均与第一锥形齿轮11啮合连接，第一伺服电机9为转轴10的转动提供了动力，且通过第二锥形齿轮12与第一锥形齿轮11的啮合连接可以使转轴10与两个第一单螺纹传动杆3同步转动；

请参阅图1和图2，安装台13的内部设置有第二伺服电机18，第二伺服电机18的输出端均与调节套筒14通过联轴器传动连接，第二伺服电机18为调节套筒14的转动提供了动力；

请参阅图1和图2，调节头15的下端均焊接有第二单螺纹传动杆16，且第二单螺纹传动杆16均与调节套筒14螺纹连接，通过第二单螺纹传动杆16在调节套筒14内转动可以改变调节头15与调节套筒14的距离，方便适应不同尺寸的半导体生产的薄膜。

工作原理：使用时，通过手持调节头15可以带动第二单螺纹传动杆16在调节套筒14内转动，从而可以改变调节头15与调节套筒14的距离，方便适应不同尺寸的半导体生产的薄膜，调节好后将半导体生产的薄膜收卷套装在调节头15和调节套筒14上，通过启动第二伺服电机18可以带动调节套筒14转动，方便收卷套装，启动第一伺服电机9，在联轴器的传动下可以带动转轴10旋转，转轴10的转动会带动第一锥形齿轮11转动，由于第一锥形齿轮11与两个第二锥形齿轮12啮合连接，故通过转轴10的转动可以带动两个第一单螺纹传动杆3同步的转动，且两个第一单螺纹传动杆3的转动方向相反，第一单螺纹传动杆3的转动可以带动螺母套4同步的转动，螺母套4的下端焊接有限位块6，由于限位块6受到导向杆7的限位导向，故可以将螺母套4的转动转化为水平的直线移动，从而通过螺母套4可以带动移动块5同步的移动，且两个移动块5的移动方向相反，移动块5移动会带动安装台13及其上方的薄膜同步的移动，从而可以使薄膜的两侧受到拉伸，且拉伸的力相等，使拉伸时薄膜的受力均匀，避免了单侧受力拉伸导致的不准确，通过压力传感器17可以实时的检测拉伸使产生的拉力，螺母套4移动时会使限位块6压缩压缩弹簧8，压缩弹簧8可以对限位块6产生相反的作用力，该作用力会随着限位块6的移动逐渐增加，从而可以减缓螺母套4上端移动块5的移动，使压力传感器17检测更加的准确，更加容易确定拉伸的临界点，从而使半导体生产的薄膜方便的进行拉伸检测。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，包括主体(1)，所述主体(1)上方的两侧设置有安装台(13)，所述安装台(13)上端的中间位置处均转动设置有调节套筒(14)，所述调节套筒(14)的上方均设置有调节头(15)，所述调节套筒(14)和调节头(15)的外壁均设置有四个呈环形等距分布的压力传感器(17)，其特征在于：

还包括传动腔(2)，其开设在所述主体(1)的内部，所述传动腔(2)内部的两侧均转动设置有第一单螺纹传动杆(3)，所述第一单螺纹传动杆(3)的一侧均固定设置有第二锥形齿轮(12)，所述第一单螺纹传动杆(3)的外部均设置有螺母套(4)，且螺母套(4)均与第一单螺纹传动杆(3)的外壁螺纹连接，所述螺母套(4)的上端均焊接有移动块(5)，所述移动块(5)的一端均贯穿并延伸至传动腔(2)的外部，且移动块(5)均与传动腔(2)滑动配合，所述移动块(5)位于传动腔(2)外部的一端均与安装台(13)的下端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，其特征在于：所述第一单螺纹传动杆(3)的下方均焊接有导向杆(7)，所述导向杆(7)均贯穿限位块(6)，且导向杆(7)均与限位块(6)滑动配合。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，其特征在于：所述导向杆(7)的外部均套设有压缩弹簧(8)，且压缩弹簧(8)的一端均与限位块(6)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，其特征在于：所述传动腔(2)内部的中间位置处设置有第一伺服电机(9)，所述第一伺服电机(9)的输出端通过联轴器传动连接有转轴(10)，所述转轴(10)的一端固定设置有第一锥形齿轮(11)，且第二锥形齿轮(12)均与第一锥形齿轮(11)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，其特征在于：所述安装台(13)的内部设置有第二伺服电机(18)，所述第二伺服电机(18)的输出端均与调节套筒(14)通过联轴器传动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用薄膜的拉伸检测装置，其特征在于：所述调节头(15)的下端均焊接有第二单螺纹传动杆(16)，且第二单螺纹传动杆(16)均与调节套筒(14)螺纹连接。

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