CN219210954U - 一种炉管内壁清扫装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种炉管内壁清扫装置，属于光伏电池技术领域，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；吹扫机构包括圆盘块体和出气孔组，刷除机构包括承载块体和多个毛刷，多个毛刷之间设有避让缺口；连接杆安装于圆盘块体和承载块体之间，固定部固设于承载块体上，且与镀膜设备的进出桨固定连接；进气管道一端与圆盘块体固定连接，进气管道的另一端用于与压缩气源连接。本实用新型提供的炉管内壁清扫装置，由多个毛刷将石英部件两侧的区域上的杂质进行清扫，由多个出气孔形成的环形风刀对镀膜炉管内壁上的杂质吹掉清除，因而可以彻底、有效地将镀膜炉管内壁杂质清理掉，也消除了镀膜炉管被污染的风险。

Description

一种炉管内壁清扫装置

技术领域

本实用新型属于光伏电池技术领域，更具体地说，是涉及一种炉管内壁清扫装置。

背景技术

太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400℃-450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用管式设备，管式PECVD设备中的石英管为卧式炉管，长度约3.0m-3.5m，内有长约2.5m的热电偶探测仪。太阳能硅片在石英炉管中易产生碎片，若不及时清理，碎片压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，碎片还容易与石英管中的石墨舟接触，导致石墨舟短路，同时沉积的氮化硅也会附着的炉管内壁，形成氮化硅颗粒物。目前清理石英炉管内碎片的常用办法为炉管降温停产后，用石英耙子或普通吸尘器清理石英炉管内碎片，这两种清理方法功能单一，清理不彻底，又存在污染石英炉管的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种炉管内壁清扫装置，以解决现有技术中存在的镀膜炉管内杂质清理效果差，且存在污染炉管的风险的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种炉管内壁清扫装置，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；

所述吹扫机构包括圆盘块体和出气孔组，所述圆盘块体内设有中空腔，所述出气孔组设于所述圆盘块体外圆面上，且所述出气孔与所述中空腔相连通，所述出气孔组中的多个所述出气孔沿所述圆盘块体的周向间隔布置；

所述刷除机构包括承载块体和多个毛刷，所述承载块体与所述圆盘块体平行间隔设置，所述承载块体的外侧面上设有弧形安装面；多个所述毛刷固定安装于所述弧形安装面上，且多个所述毛刷之间设有用于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺口；

所述连接杆安装于所述圆盘块体和所述承载块体之间，且两端分别与所述圆盘块体和所述承载块体相靠近的侧面固定连接；

所述固定部固设于所述承载块体远离所述圆盘块体的一侧；所述固定部用于与镀膜设备的进出桨固定连接；

所述进气管道一端与所述圆盘块体固定连接，且与所述中空腔相连通；所述进气管道的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体。

在一种可能的实现方式中，所述出气孔为长条孔，且长度方向与所述圆盘块体的轴向相垂直。

在一种可能的实现方式中，所述圆盘块体上设有环形斜面，所述出气孔组开设于所述环形斜面上，所述出气孔的深度方向与所述环形斜面相垂直。

在一种可能的实现方式中，所述出气孔组为多个，均开设于所述环形斜面上；相邻的两个所述出气孔组交错布置。

在一种可能的实现方式中，所述环形斜面与所述圆盘块体的轴线之间的夹角为30-60度。

在一种可能的实现方式中，所述承载块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。

在一种可能的实现方式中，所述圆盘块体和所述承载块体同轴布置，且所述承载块体上设有贯穿孔，所述进气管道穿设于所述贯穿孔中。

在一种可能的实现方式中，所述进气管道上设有开关阀和调压阀。

在一种可能的实现方式中，所述固定部远离所述承载块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。

在一种可能的实现方式中，所述连接孔贯穿所述固定部。

本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型炉管内壁清扫装置，使用时，先将吹扫机构中的圆盘块体和刷除机构中的承载块体并列间隔设置，并使用连接杆将圆盘块体和承载块体相固定连接，进而使用进气管道与圆盘块体固定连接且相连通，然后将固定部与镀膜设备上的进出桨固定连接。启动进出桨，由进出桨控制整个装置的下端高于镀膜炉管的底部的状态下而运动至镀膜炉管的封闭端，然后由进出桨控制整个清扫装置向下移动，且承载块体上的避让开口与镀膜炉管内的石英部件配合安装，且毛刷与镀膜炉管底部相接触；启动压缩气源向进气管道内通入高压气体，高压气体进入到中空腔内后而穿过出气孔组中的多个出气孔，并且形成向外吹动的环形风刀，同时再次启动进出桨驱动整个装置自镀膜炉管的封闭端朝向镀膜炉管的开口端运动，由多个毛刷将石英部件两侧的区域上的杂质进行清扫，由多个出气孔形成的环形风刀对镀膜炉管内壁上的杂质吹掉清除，因而可以彻底、有效地将镀膜炉管内壁杂质清理掉，也消除了镀膜炉管被污染的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的炉管内壁清扫装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的吹扫机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的刷除机构的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的固定部和进出桨的连接示意图；

图5为本实用新型实施例提供的炉管内壁清扫装置的使用状态示意图。

其中，图中各附图标记：

1、吹扫机构；11、圆盘块体；12、安装孔；13、出气孔组；14、出气孔；15、环形斜面；2、刷除机构；21、承载块体；22、毛刷；23、弧形安装面；24、避让缺口；25、贯穿孔；3、连接杆；4、固定部；41、连接孔；42、紧固螺栓；5、进气管道；51、开关阀；52、调压阀；6、进出桨；7、镀膜炉管。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图5，现对本实用新型提供的炉管内壁清扫装置进行说明。一种炉管内壁清扫装置，包括吹扫机构1、刷除机构2、连接杆3、固定部4及进气管道5；

吹扫机构1包括圆盘块体11和出气孔组13，圆盘块体11内设有中空腔，出气孔组13设于圆盘块体11外圆面上，且出气孔14与中空腔相连通，出气孔组13中的多个出气孔14沿圆盘块体11的周向间隔布置；

刷除机构2包括承载块体21和多个毛刷22，承载块体21与圆盘块体11平行间隔设置，承载块体21的外侧面上设有弧形安装面23；多个毛刷22固定安装于弧形安装面23上，且多个毛刷22之间设有用于与镀膜炉管7底部的石英部件相对应的避让缺口24；

连接杆3安装于圆盘块体11和承载块体21之间，且两端分别与圆盘块体11和承载块体21相靠近的侧面固定连接；

固定部4固设于承载块体21远离圆盘块体11的一侧；固定部4用于与镀膜设备的进出桨6固定连接；

进气管道5一端与圆盘块体11固定连接，且与中空腔相连通；进气管道5的另一端用于与压缩气源连接，用于向中空腔中输入高压气体。

本实用新型提供的炉管内壁清扫装置，与现有技术相比，使用时，先将吹扫机构1中的圆盘块体11和刷除机构2中的承载块体21并列间隔设置，并使用连接杆3将圆盘块体11和承载块体21相固定连接，进而使用进气管道5与圆盘块体11固定连接且相连通，然后将固定部4与镀膜设备上的进出桨6固定连接。启动进出桨6，由进出桨6控制整个装置的下端高于镀膜炉管7的底部的状态下而运动至镀膜炉管7的封闭端，然后由进出桨6控制整个清扫装置向下移动，且承载块体21上的避让开口与镀膜炉管7内的石英部件配合安装，且毛刷22与镀膜炉管7底部相接触；启动压缩气源向进气管道5内通入高压气体，高压气体进入到中空腔内后而穿过出气孔组13中的多个出气孔14，并且形成向外吹动的环形风刀，同时再次启动进出桨6驱动整个装置自镀膜炉管7的封闭端朝向镀膜炉管7的开口端运动，由多个毛刷22将石英部件两侧的区域上的杂质进行清扫，由多个出气孔14形成的环形风刀对镀膜炉管7内壁上的杂质吹掉清除，因而可以彻底、有效地将镀膜炉管7内壁杂质清理掉，也消除了镀膜炉管7被污染的风险。

操作时，借助进出桨6控制该清理装置在镀膜炉管7内往复运行多次，使镀膜炉管7清理更为干净。由于进出桨6自封闭端向出口端运动过程中进行清扫，使杂质可以更容易地从镀膜炉管7的出口端排出。

请参阅图1和图2，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，出气孔14为长条孔，且长度方向与圆盘块体11的轴向相垂直；设置出气孔14为长条孔，各出气孔14的出气形状为长条线状，且其长度方向与镀膜炉管7的轴线相垂直，从而使镀膜炉管7中在周向上清理范围更大，不易出现未清理的情况。

请参阅图1和图2，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，圆盘块体11上设有环形斜面15，出气孔组13开设于环形斜面15上，出气孔14的深度方向与环形斜面15相垂直；通过这种方式，使出气孔14的出气方向与镀膜炉管7的内壁之间具有一定的倾斜角度，出气孔14流出的高压气体不会垂直地作用于镀膜炉管7内壁上，因此可以更容易地将氮化硅颗粒物等杂质吹落。

请参阅图1和图2，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，出气孔组13为多个，均开设于环形斜面15上；相邻的两个出气孔组13交错布置；多个出气孔组13并列布置于环形斜面15上，相邻的两个出气孔组13之间具有一定的间距，因此多个出气孔组13能产生较大范围的出风面积，清理效果更佳。相邻的两个出气孔组13交错设置，进一步地减小甚至消除多个出气孔14出气时存在的清扫盲区。

可选地，环形斜面15与圆盘块体11的轴线之间的夹角为30-60度，因而自出气孔14向外流出的高压气体对镀膜炉管7内壁上的杂质的作用力夹角不会太大，也不会太小，确保高压气体可以更为有效地将镀膜炉管7内壁上杂质的清扫掉。优选地，环形斜面15与圆盘块体11的轴线之间的夹角为45度.

请参阅图1和图3，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，承载块体21为扇形结构，扇形结构的外侧面为弧形安装面23；扇形结构的承载块体21的总重量较小，并且扇形结构的外侧面即为弧形安装面23，且将多个毛刷22安装在弧形安装面23上。

请参阅图1至图3、图5，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，圆盘块体11和承载块体21同轴布置，且承载块体21上设有贯穿孔25，进气管道5穿设于贯穿孔25中；使用连接杆3将圆盘块体11和承载块体21固定连接在一起，然后安装进气管道5，进气管道5穿设于贯穿孔25中，且一端与圆盘块体11端面上的安装孔12对接且相连通，进气管道5与圆盘块体11固定连接；借助贯穿孔25，使进气管道5穿过承载块体21，使整个清扫装置结构更为紧凑，且整个清扫装置重量也有所减小。

请参阅图1和图5，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，进气管道5上设有开关阀51和调压阀52。设置开关阀51使工作人员可以准确、快速地控制传输管的连通状态，使镀膜炉管7的清扫过程更为方便。设置调压阀52控制传输管中的气体压力，使针对不同的镀膜炉管7可以调节为不同的气体压力，使清扫过程更为有效、节能。对于难以清理的镀膜炉管7，则借助调压阀52增大传输管内的气流压力。

请参阅图1和图4，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，固定部4远离承载块体21的一端开设连接孔41，固定部4的外侧面上开设与连接孔41相连通的螺孔，螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓42，镀膜设备的进出桨6的端部穿设于连接孔41内，并使用紧固螺栓42锁紧固定；固定部4为柱状结构，一端固定在圆柱块体的端面，另一端向外延伸，且固定部4的轴线方向与承载块体21的轴线方向相同；在固定部4上分别开设连接孔41和螺孔，镀膜设备的进出桨6一端穿进连接孔41内，并旋拧紧固螺栓42将进出桨6固定于固定部4上。通过这种方式，使进出桨6与固定部4之间的安装、拆卸均较为方便、快捷。

请参阅图1和图4，作为本实用新型提供的炉管内壁清扫装置的一种具体实施方式，连接孔41贯穿固定部4；固定部4为管状中空结构，使固定部4的重量降低，进而减小了整个清扫装置的重量，在镀膜设备的进出桨6与固定部4连接后，可以更为平稳、可靠地驱动该清扫装置在镀膜炉管7内移动，并进行清扫工作。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种炉管内壁清扫装置，其特征在于，包括吹扫机构、刷除机构、连接杆、固定部及进气管道；

所述吹扫机构包括圆盘块体和出气孔组，所述圆盘块体内设有中空腔，所述出气孔组设于所述圆盘块体外圆面上，且所述出气孔与所述中空腔相连通，所述出气孔组中的多个所述出气孔沿所述圆盘块体的周向间隔布置；

所述刷除机构包括承载块体和多个毛刷，所述承载块体与所述圆盘块体平行间隔设置，所述承载块体的外侧面上设有弧形安装面；多个所述毛刷固定安装于所述弧形安装面上，且多个所述毛刷之间设有用于与镀膜炉管底部的石英部件相对应的避让缺口；

所述连接杆安装于所述圆盘块体和所述承载块体之间，且两端分别与所述圆盘块体和所述承载块体相靠近的侧面固定连接；

所述固定部固设于所述承载块体远离所述圆盘块体的一侧；所述固定部用于与镀膜设备的进出桨固定连接；

所述进气管道一端与所述圆盘块体固定连接，且与所述中空腔相连通；所述进气管道的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体。

2.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述出气孔为长条孔，且长度方向与所述圆盘块体的轴向相垂直。

3.如权利要求2所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述圆盘块体上设有环形斜面，所述出气孔组开设于所述环形斜面上，所述出气孔的深度方向与所述环形斜面相垂直。

4.如权利要求3所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述出气孔组为多个，均开设于所述环形斜面上；相邻的两个所述出气孔组交错布置。

5.如权利要求3所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述环形斜面与所述圆盘块体的轴线之间的夹角为30-60度。

6.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述承载块体为扇形结构，所述扇形结构的外侧面为所述弧形安装面。

7.如权利要求6所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述圆盘块体和所述承载块体同轴布置，且所述承载块体上设有贯穿孔，所述进气管道穿设于所述贯穿孔中。

8.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述进气管道上设有开关阀和调压阀。

9.如权利要求1所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述固定部远离所述承载块体的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设与所述连接孔相连通的螺孔，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨的端部穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。

10.如权利要求9所述的炉管内壁清扫装置，其特征在于，所述连接孔贯穿所述固定部。

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