CN221086625U - 一种pecvd炉管粉尘复合吹扫装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，属于光伏电池技术领域，包括一级吹扫盘、二级吹扫盘、第一进气管及第二进气管，一级吹扫盘内部设有中空腔，外侧面上设有第一吹气孔；二级吹扫盘内部设有中空腔，外侧面上设有第二吹气孔，二级吹扫盘与进出桨固定连接；第一进气管与一级吹扫盘、压缩气源连接；第二进气管与二级吹扫盘固定连接，第二进气管的另一端用于与压缩气源连接，用于向中空腔中输入高压气体。本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，借助一级吹扫盘和二级吹扫盘所形成的环形风刀而先后对炉管内壁上的粉尘进行重复清理，从而将炉管内壁上的粉尘吹落，提高了炉管内壁的清理效果。

Description

一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置

技术领域

本实用新型属于光伏电池技术领域，更具体地说，是涉及一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置。

背景技术

PECVD，即等离子增强化学气相沉积，在太阳能电池生产制备过程中，用于太阳能电池表面沉积深蓝色减反膜。管式PECVD系统，即，使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。管式PECVD石英管在长时间使用后或真空泵停机死机时，反应物会沉积在石英管管壁，造成粉尘堆积，在使用时粉尘将在腔体内流动，吸附在太阳能电池的表面，造成产品表面污染。在这种情况发生时，需要对炉管内进行降温，清理石英管管壁粉尘。

目前在对炉管内壁进行粉尘清理时，多采用石英耙子把炉管内粉尘清理出炉管，虽简单好操作，但清理不彻底，炉管内沉积的氮化硅颗粒物及粉尘无法有效彻底清理出炉管。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，以解决现有技术中存在的炉管内沉积的氮化硅粉尘清理效果较差的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，包括：

一级吹扫盘，内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第一吹气孔；所述第一吹气孔与所述中空腔相连通；

二级吹扫盘，平行且并列布置于所述一级吹扫盘的一侧，且与所述一级吹扫盘固定连接；所述二级吹扫盘内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第二吹气孔；所述第二吹气孔与所述中空腔相连通；所述二级吹扫盘远离所述一级吹扫盘的一侧用于与镀膜设备的进出桨固定连接；

第一进气管，一端与所述一级吹扫盘固定连接，且与所述一级吹扫盘上的中空腔相连通，所述第一进气管的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体；

第二进气管，一端与所述二级吹扫盘固定连接，且与所述二级吹扫盘上的中空腔相连通，所述第二进气管的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体。

在一种可能的实现方式中，多个所述第一吹气孔形成多个呈环形布置的第一吹气孔组，多个所述第一吹气孔组间隔布置于所述一级吹扫盘的外侧面上；多个所述第二吹气孔形成多个呈环形布置的第二吹气孔组，多个所述第二吹气孔组间隔布置于所述二级吹扫盘的外侧面上。

在一种可能的实现方式中，所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘的外侧面均设有环形斜面，所述第一吹气孔组、所述第二吹气孔组分别设于所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘的环形斜面上，所述第一吹气孔的轴线方向、所述第二吹气孔的轴线方向均与对应的所述环形斜面相垂直。

在一种可能的实现方式中，所述环形斜面设于所述一级吹扫盘、所述二级吹扫盘靠近进出桨的一侧。

在一种可能的实现方式中，多个所述第一吹气孔与多个所述第二吹气孔一一对应，且相对应的所述第一吹气孔和所述第二吹气孔交错设置。

在一种可能的实现方式中，所述二级吹扫盘上设有贯穿孔，所述第一进气管穿过所述贯穿孔且与所述贯穿孔的孔壁密封连接。

在一种可能的实现方式中，所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘之间设有若干连接杆，所述连接杆的两端分别与所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘固定连接。

在一种可能的实现方式中，所述连接杆包括第一固定管、第二固定管及紧固件，所述第一固定管的一端固定连接于所述一级吹扫盘上，所述第二固定管的一端固定于所述二级吹扫盘上，且所述第一固定管的另一端滑动配合连接于所述第二固定管中；所述紧固件用于锁紧固定所述第一固定管和所述第二固定管。

在一种可能的实现方式中，所述第一进气管和所述第二进气管上均设有开关阀和调压阀。

在一种可能的实现方式中，所述二级吹扫盘远离所述一级吹扫盘的一侧设有固定部，所述固定部远离所述二级吹扫盘的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设有多个与所述连接孔相连通的螺孔，且多个所述螺孔沿所述连接孔的轴向间隔布置，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。

本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，使用时，先将一级吹扫盘和二级吹扫盘并列间隔设置，且两者固定连接，使用第一进气管与一级吹扫盘相连通、使用第二进气管与二级吹扫盘相连通，然后将二级吹扫盘与镀膜设备上的进出桨固定连接。启动镀膜设备的进出桨，由进出桨控制整个装置进入到炉管内部，然后反向驱动进出桨控制整个装置自内向外运动，且同时开启与第一进气管和第二进气管连接的压缩气源。其中，第一进气管内的高压气体进入一级吹扫盘的中空腔后穿过多个第一吹气孔，形成环形风刀而吹扫掉吸附在炉管内壁的氮化硅粉尘；同时，第二进气管内的高压气体进入二级吹扫盘的中空腔后穿过多个第二吹气孔，形成环形风刀而吹扫掉吸附在炉管内壁上剩余的氮化硅粉尘。通过这种方式，借助一级吹扫盘和二级吹扫盘所形成的环形风刀而先后对炉管内壁上的粉尘进行重复清理，从而将炉管内壁上的粉尘吹落，提高了炉管内壁的清理效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一级吹扫盘的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的二级吹扫盘的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的连接杆的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的固定部与进出桨的连接示意图；

图6为本实用新型实施例提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的使用状态示意图。

其中，图中各附图标记：

1、一级吹扫盘；11、第一吹气孔；12、环形斜面；13、连接杆；14、第一固定管；15、第二固定管；16、紧固件；2、二级吹扫盘；21、第二吹气孔；22、贯穿孔；23、固定部；24、连接孔；25、螺孔；26、紧固螺栓；3、第一进气管；31、开关阀；32、调压阀；4、第二进气管；5、进出桨；6、炉管。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图6，现对本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置进行说明。一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，包括一级吹扫盘1、二级吹扫盘2、第一进气管3及第二进气管4，一级吹扫盘1内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第一吹气孔11；第一吹气孔11与中空腔相连通；二级吹扫盘2平行且并列布置于一级吹扫盘1的一侧，且与一级吹扫盘1固定连接；二级吹扫盘2内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第二吹气孔21；第二吹气孔21与中空腔相连通；二级吹扫盘2远离一级吹扫盘1的一侧用于与镀膜设备的进出桨5固定连接；第一进气管3的一端与一级吹扫盘1固定连接，且与一级吹扫盘1上的中空腔相连通，第一进气管3的另一端用于与压缩气源连接，用于向中空腔中输入高压气体；第二进气管4的一端与二级吹扫盘2固定连接，且与二级吹扫盘2上的中空腔相连通，第二进气管4的另一端用于与压缩气源连接，用于向中空腔中输入高压气体。

本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，与现有技术相比，使用时，先将一级吹扫盘1和二级吹扫盘2并列间隔设置，且两者固定连接，使用第一进气管3与一级吹扫盘1相连通、使用第二进气管4与二级吹扫盘2相连通，然后将二级吹扫盘2与镀膜设备上的进出桨5固定连接。启动镀膜设备的进出桨5，由进出桨5控制整个装置进入到炉管6内部，然后反向驱动进出桨5控制整个装置自内向外运动，且同时开启与第一进气管3和第二进气管4连接的压缩气源。其中，第一进气管3内的高压气体进入一级吹扫盘1的中空腔后穿过多个第一吹气孔11，形成环形风刀而吹扫掉吸附在炉管6内壁的氮化硅粉尘；同时，第二进气管4内的高压气体进入二级吹扫盘2的中空腔后穿过多个第二吹气孔21，形成环形风刀而吹扫掉吸附在炉管6内壁上剩余的氮化硅粉尘。通过这种方式，借助一级吹扫盘1和二级吹扫盘2所形成的环形风刀而先后对炉管6内壁上的粉尘进行重复清理，从而将炉管6内壁上的粉尘吹落，提高了炉管6内壁的清理效果。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，多个第一吹气孔11形成多个呈环形布置的第一吹气孔11组，多个第一吹气孔11组间隔布置于一级吹扫盘1的外侧面上；多个第二吹气孔21形成多个呈环形布置的第二吹气孔21组，多个第二吹气孔21组间隔布置于二级吹扫盘2的外侧面上；多个第一吹气孔11分为多组，且各第一吹气孔11组间隔并列设置于一级吹扫盘1的外侧面上，从而增大了一级吹扫盘1的有效出气面积，进而使炉管6内壁上粉尘更容易被吹落。同时将多个第二吹气孔21分为多组，且各第二吹气孔21组间隔并列设置于二级吹扫盘2的外侧面上，从而增大了二级吹扫盘2的有效出气面积，进而使二级吹扫盘2可以更容易的吹落炉管6内壁残留的粉尘。

请参阅图2和图3，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，一级吹扫盘1和二级吹扫盘2的外侧面均设有环形斜面12，第一吹气孔11组、第二吹气孔21组分别设于一级吹扫盘1和二级吹扫盘2的环形斜面12上，第一吹气孔11的轴线方向、第二吹气孔21的轴线方向均与对应的环形斜面12相垂直；通过这种方式，使第一吹气孔11和第二吹气孔21的出气方向与炉管6的内壁之间具有一定的倾斜角度，第一吹气孔11和第二吹气孔21吹出的高压气体不会垂直地作用于炉管6内壁上，而使以一定角度作用于炉管6内壁上的粉尘上，因此可以更容易地将氮化硅颗粒物等杂质吹落。

请参阅图2和图3，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，环形斜面12设于一级吹扫盘、二级吹扫盘靠近进出桨5的一侧；即，一级吹扫盘上的第一吹气孔11、二级吹扫盘上的第二吹气孔21对炉管6内壁粉尘吹落时，由于，第一吹气孔11和第二吹气孔21的出气方向均朝向炉管6之外倾斜，因此，自炉管6内壁脱落的粉尘的下落轨迹也是自外向内，粉尘不会落在炉管6内部，清理更完整彻底，效果更好。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，多个第一吹气孔11与多个第二吹气孔21一一对应，且相对应的第一吹气孔11和第二吹气孔21交错设置；通过这种方式，使第一吹气孔11所吹动炉管6内壁的位置与第二吹气孔21所吹动的炉管6内壁的位置具有一定错位，使炉管6内壁上粉尘受力方向等参数发生变化，粉尘更容易从炉管6内壁上脱落下来。

请参阅图1至图3，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，二级吹扫盘2上设有贯穿孔22，第一进气管3穿过贯穿孔22且与贯穿孔22的孔壁密封连接；具体地，在贯穿孔22的内壁上设置密封圈，第一进气管3穿设于贯穿孔22内时，第一进气管3与贯穿孔22之间形成密封连接，防止二级吹扫盘2出现漏气现象。并且通过这种方式，也使第一进气管3与一级吹扫盘1之间连接更为方便，整个装置结构更为紧凑。

请参阅图1，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，一级吹扫盘1和二级吹扫盘2之间设有若干连接杆13，连接杆13的两端分别与一级吹扫盘1和二级吹扫盘2固定连接。连接杆13呈水平设置于一级吹扫盘1和二级吹扫盘2之间，且两端分别与一级吹扫盘1和二级吹扫盘2的外侧固定连接，从而一级吹扫盘1和二级吹扫盘2连为一体。

请参阅图1和图4，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，连接杆13包括第一固定管14、第二固定管15及紧固件16，第一固定管14的一端固定连接于一级吹扫盘1上，第二固定管15的一端固定于二级吹扫盘2上，且第一固定管14的另一端滑动配合连接于第二固定管15中；紧固件16用于锁紧固定第一固定管14和第二固定管15；在需要调整一级吹扫盘1和二级吹扫盘2的间距时，松开紧固件16，然后操控第一固定管14与第二固定管15之间发生相对滑动，改变一级吹扫盘1和二级吹扫盘2的距离，最后在使用紧固件16将第一固定管14和第二固定管15锁紧固定即可，操作方便、安装牢靠。

请参阅图1和图6，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，第一进气管3和第二进气管4上均设有开关阀31和调压阀32；设置开关阀31使工作人员可以准确、快速地控制第一进气管3和第二进气管4的连通状态，使炉管6的清扫过程更为方便。设置调压阀32控制第一进气管3和第二进气管4中的气体压力，使针对不同的炉管6可以调节为不同的气体压力，使清扫过程更为有效、节能。对于难以清理的炉管6，则借助调压阀32增大第一进气管3和第二进气管4内的气流压力。

请参阅图1、图5和图6，作为本实用新型提供的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置的一种具体实施方式，二级吹扫盘2远离一级吹扫盘1的一侧设有固定部23，固定部23远离二级吹扫盘2的一端开设连接孔24，固定部23的外侧面上开设有多个与连接孔24相连通的螺孔25，且多个螺孔25沿连接孔24的轴向间隔布置，螺孔25上设有螺纹连接的紧固螺栓26，镀膜设备的进出桨5穿设于连接孔24内，并使用紧固螺栓26锁紧固定；设置固定部23便于实现进出桨5与二级吹扫盘2的固定连接，且连接牢靠；具体地，固定部23为柱状结构，一端固定在二级吹扫盘2的端面，另一端向外延伸，且固定部23的轴线方向与二级吹扫盘2的轴线方向相同；在固定部23上分别开设连接孔24和螺孔25，镀膜设备的进出桨5一端穿进连接孔24内，并旋拧紧固螺栓26将进出桨5固定于固定部23上。通过这种方式，使进出桨5与固定部23之间的安装、拆卸均较为方便、快捷。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，包括：

一级吹扫盘，内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第一吹气孔；所述第一吹气孔与所述中空腔相连通；

二级吹扫盘，平行且并列布置于所述一级吹扫盘的一侧，且与所述一级吹扫盘固定连接；所述二级吹扫盘内部设有中空腔，外侧面上设有多个沿周向布置的第二吹气孔；所述第二吹气孔与所述中空腔相连通；所述二级吹扫盘远离所述一级吹扫盘的一侧用于与镀膜设备的进出桨固定连接；

第一进气管，一端与所述一级吹扫盘固定连接，且与所述一级吹扫盘上的中空腔相连通，所述第一进气管的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体；

第二进气管，一端与所述二级吹扫盘固定连接，且与所述二级吹扫盘上的中空腔相连通，所述第二进气管的另一端用于与压缩气源连接，用于向所述中空腔中输入高压气体。

2.如权利要求1所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，多个所述第一吹气孔形成多个呈环形布置的第一吹气孔组，多个所述第一吹气孔组间隔布置于所述一级吹扫盘的外侧面上；多个所述第二吹气孔形成多个呈环形布置的第二吹气孔组，多个所述第二吹气孔组间隔布置于所述二级吹扫盘的外侧面上。

3.如权利要求2所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘的外侧面均设有环形斜面，所述第一吹气孔组、所述第二吹气孔组分别设于所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘的环形斜面上，所述第一吹气孔的轴线方向、所述第二吹气孔的轴线方向均与对应的所述环形斜面相垂直。

4.如权利要求3所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述环形斜面设于所述一级吹扫盘、所述二级吹扫盘靠近进出桨的一侧。

5.如权利要求2所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，多个所述第一吹气孔与多个所述第二吹气孔一一对应，且相对应的所述第一吹气孔和所述第二吹气孔交错设置。

6.如权利要求1所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述二级吹扫盘上设有贯穿孔，所述第一进气管穿过所述贯穿孔且与所述贯穿孔的孔壁密封连接。

7.如权利要求1所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘之间设有若干连接杆，所述连接杆的两端分别与所述一级吹扫盘和所述二级吹扫盘固定连接。

8.如权利要求7所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述连接杆包括第一固定管、第二固定管及紧固件，所述第一固定管的一端固定连接于所述一级吹扫盘上，所述第二固定管的一端固定于所述二级吹扫盘上，且所述第一固定管的另一端滑动配合连接于所述第二固定管中；所述紧固件用于锁紧固定所述第一固定管和所述第二固定管。

9.如权利要求1所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述第一进气管和所述第二进气管上均设有开关阀和调压阀。

10.如权利要求1所述的PECVD炉管粉尘复合吹扫装置，其特征在于，所述二级吹扫盘远离所述一级吹扫盘的一侧设有固定部，所述固定部远离所述二级吹扫盘的一端开设连接孔，所述固定部的外侧面上开设有多个与所述连接孔相连通的螺孔，且多个所述螺孔沿所述连接孔的轴向间隔布置，所述螺孔上设有螺纹连接的紧固螺栓，镀膜设备的进出桨穿设于所述连接孔内，并使用所述紧固螺栓锁紧固定。