CN217895153U - 视镜装置和还原炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种视镜装置，视镜装置包括筒体和视镜，筒体具有沿其轴向相对的第一端和第二端，第一端用于与还原炉的视窗管可拆卸地相连，筒体的外周面设有用于与氢气管路相连的接头，接头上设有连通外界和筒体的内腔的通孔，视镜与筒体相连并封闭筒体的第二端开口，通孔位于视镜朝向第一端的一侧。本实用新型提供的视镜装置具有便于清洗、不易腐蚀、维护简单以及维护成本低的优点。

Description

视镜装置和还原炉

技术领域

本实用新型涉及还原炉视窗技术领域，具体地，涉及一种视镜装置和还原炉。

背景技术

采用改良西门子法生产多晶硅过程中，需要通过安装在CVD炉/还原炉上的视窗，观察炉内的多晶硅生长状况，以及进行温度测定等。由于CVD炉运行过程中，炉内的硅棒正常反应阶段一般为950～1100℃，氢气、三氯氢硅在炉内发生系列氧化还原反应后，除了沉积多晶硅外，还会在炉内形成其它氯硅烷、无定型硅粉等副产物，部分会沉积到视镜内侧，阻碍观察炉内运行状况；尤其是在规模化生产太阳能级多晶硅过程中，为追求高产出和低电耗，往往采用较低的混合气配比(氢气和三氯氢硅的体积比)，因此容易出现雾化等状况，视镜内侧会进一步沉积反应副产物，严重时通过视镜完全看不到炉内状况。

为提高视镜的观察效果，相关技术中在还原炉本体的视窗部位设置了吹扫孔。然而，该吹扫孔存在不便清洗、容易腐蚀以及维护困难的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种视镜装置，该视镜装置具有便于清洗、不易腐蚀、维护简单以及维护成本低的优点。

本实用新型的实施例还提出一种还原炉。

根据本实用新型实施例的视镜装置包括筒体和视镜，所述筒体具有沿其轴向相对的第一端和第二端，所述第一端用于与还原炉的视窗管可拆卸地相连，所述筒体的外周面设有用于与氢气管路相连的接头，所述接头上设有连通所述外界和所述筒体的内腔的通孔；所述视镜与所述筒体相连并封闭所述筒体的第二端开口，所述通孔位于所述视镜朝向所述第一端的一侧。

根据本实用新型实施例的视镜装置，在要清洗还原炉时，可将筒体从还原炉的视窗管上拆下。由此，视镜装置与还原炉分离。可单独清洗视镜装置及其上的通孔，视镜装置的死角区域也可进行反复冲洗，简单便捷，由此，清洗的洁净度高，清洗效果好。另外，该清洗方式使得还原炉内的酸性物质不能进入到视镜装置，减少了视镜装置的腐蚀。由此，通孔所在区域更不易形成漏点，减少了视镜装置的维护。另外，长时间使用后，当视镜装置上形成了漏点时，可将该视镜装置整体更换，免于截割还原炉本体。由此，维护简单，工作量少，降低了维护成本。

在一些实施例中，所述视镜装置还包括压件，所述筒体内设有第一限位环面，所述视镜的第一端面止抵于所述第一限位环面，所述压件与所述筒体相连并止抵所述视镜的第二端面。

在一些实施例中，所述筒体内具有第二限位环面，所述第一限位环面和所述第二限位环面在所述筒体的轴向上间隔开，所述第二限位环面内径大于或等于所述第一限位环面的外径，所述压件包括压环，所述压环的第一端面止抵所述视镜的第二端面，所述压环的第二端设有限位凸缘，所述限位凸缘止抵所述第二限位环面并和所述筒体相连。

在一些实施例中，所述筒体的内周壁设有第一环台，所述第一环台的内周壁设有第二环台，所述第二环台的轴向尺寸小于所述第一环台的轴向尺寸，其中，所述通孔设于所述第一环台和所述第二环台上，所述第一环台邻近所述筒体的第二端的端面成型所述第二限位环面，所述第二环台邻近所述筒体的第二端的端面成型所述第一限位环面；或者，所述通孔位于所述第一环台朝向所述筒体的第一端的一侧，所述第一环台相对的两端面中的至少一端面成型所述第二限位环面，所述第二环台相对的两端面中的至少一端面成型所述第一限位环面。

在一些实施例中，所述限位凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的至少两个第一安装孔，所述第二限位环面上设有与所述第一安装孔一一对应的多个第一螺纹孔，所述限位凸缘通过穿过所述第一安装孔并与相应所述第一螺纹孔螺纹配合的螺栓与所述第一环台相连。

在一些实施例中，所述视镜装置还包括第一密封件和第二密封件，所述第一密封件设于所述视镜的第一端面和所述第一限位环面之间，所述第二密封件设于所述视镜的第二端面和所述压环的第一端面之间。

在一些实施例中，所述接头有多个并沿所述筒体的周向间隔布置。

在一些实施例中，所述筒体的第一端设有第一连接凸缘，所述第一连接凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的多个第二安装孔，所述第一连接凸缘通过多个所述第二安装孔和所述视窗管密封相连。

在一些实施例中，所述筒体的第二端设有第二连接凸缘，所述第二连接凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的多个第三安装孔，所述视镜装置还包括盲板，所述第二连接凸缘通过所述第三安装孔与所述盲板密封相连。

根据本实用新型实施例的还原炉，包括视窗管和如上述任一实施例所述的视镜装置，所述视窗管的数量有多个并在所述还原炉的长度方向上间隔分布，所述视镜装置和所述视窗管的数量相等并一一对应，所述视镜装置和相应所述视窗管相连。

由此，便于操作者从多个位置观测还原炉内部情况。

根据本实用新型实施例的还原炉的其它技术优势与上述实施例的视镜装置的技术优势相同，此处不再赘述。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的还原炉的示意图。

图2是根据本实用新型实施例的视镜装置的示意图。

图3是根据本实用新型实施例的视镜装置的又一示意图。

附图标记：100、视镜装置；200、还原炉；1、筒体；11、接头；12、通孔；13、第一连接凸缘；14、第二安装孔；15、第二连接凸缘；16、第三安装孔；2、视镜；3、压件；31、压环；32、限位凸缘；33、第一安装孔；4、第一环台；41、第二限位环面；42、第一螺纹孔；5、第二环台；51、第一限位环面；6、第一密封件；7、第二密封件；8、盲板；9、视窗管；91、法兰盘。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

相关技术中，在还原炉本体的视窗部位，设置了相应吹扫孔。还原炉运行过程中，吹扫孔内通入氢气。利用氢气吹扫邻近吹扫孔的视镜，由此增加了视镜内侧的吹扫孔。

然而，由于还原炉每炉出炉后均需要进行清洗，视镜至吹扫孔的区域成为死角，不便清洗到。另外，在清洗过程中还原炉内沉积的副产物，会释放酸性物质，该酸性物质加剧了吹扫孔的腐蚀。吹扫孔被腐蚀一定时间后，其所在区域会形成漏点，该漏点给还原炉的运行造成了安全隐患，严重时需要停炉处理。由此，给生产带来了较大的经济损失。

此外，为解决上述吹扫孔的漏点问题，通常将还原炉的视窗部分整体更换，需要对还原炉本体进行截割，由此，维护成本高；或者，将该漏点所在的视镜孔彻底封堵，不利于还原炉运行过程中的监测及稳定控制。

下面结合图1-图3描述根据本实用新型实施例的视镜装置100和还原炉200。

如图2所示,根据本实用新型实施例的视镜装置100包括筒体1和视镜2，筒体1具有沿其轴向相对的第一端和第二端，第一端用于与还原炉200的视窗管9可拆卸地相连，筒体1的外周面设有用于与氢气管路相连的接头11，接头11上设有连通外界和筒体1的内腔的通孔12。视镜2与筒体1相连并封闭筒体1的第二端开口，通孔12位于视镜2朝向第一端的一侧。

根据本实用新型实施例的视镜装置100，氢气管路中的氢气通过接头11上的通孔12进入筒体1的内腔，由于视镜2封闭筒体1的第二端开口，该氢气只能通过筒体1的第一端进入还原炉200的视窗管9，之后，通过视窗管9进入还原炉200内，并作为还原炉200的反应物参与反应。

由此，在要清洗还原炉200时，可将筒体1从还原炉200的视窗管9上拆下。由此，视镜装置100与还原炉200分离。可单独清洗视镜装置100及其上的通孔12，视镜装置100的死角区域也可进行反复冲洗，简单便捷，由此，清洗的洁净度高，清洗效果好。另外，该清洗方式使得还原炉200内的酸性物质不能进入到视镜装置100，减少了视镜装置100的腐蚀。由此，通孔12所在区域更不易形成漏点，减少了视镜装置100的维护。另外，长时间使用后，当视镜装置100上形成了漏点时，可将该视镜装置100整体更换，免于截割还原炉200本体。由此，维护简单，工作量少，降低了维护成本。

其中，视镜2用于观察还原炉200内的硅棒生长情况。

为了便于理解，图2中的箭头A所示为视镜2朝向筒体1第一端的方向，箭头B所示为视镜2背离筒体1第一端的方向。

在一些实施例中，如图2所示，视镜装置100还包括压件3，筒体1内设有第一限位环面51，视镜2的第一端面止抵于第一限位环面51，压件3与筒体1相连并止抵视镜2的第二端面。

由此，视镜2以可拆卸的形式安装于筒体1上，便于视镜2的更换。

可以理解地，视镜2夹设于压件3和第一限位环面51之间。

在一些实施例中，如图2和图3所示，筒体1内具有第二限位环面41，第一限位环面51和第二限位环面41在筒体1的轴向上间隔开，第二限位环面41内径大于或等于第一限位环面51的外径，压件3包括压环31，压环31的第一端面止抵视镜2的第二端面，压环31的第二端设有限位凸缘31，限位凸缘31止抵第二限位环面41并和筒体1相连。

由此，压环31实现了将视镜2安装于筒体1内的效果，保证了视镜2的安装效果，避免了视镜2从筒体1上脱落。

在一些实施例中，如图2和图3所示，筒体1的内周壁设有第一环台4，第一环台4的内周壁设有第二环台5，第二环台5的轴向尺寸小于第一环台4的轴向尺寸。

其中，通孔12设于第一环台4和第二环台5上，第一环台4邻近筒体1的第二端的端面成型第二限位环面41，第二环台5邻近筒体1的第二端的端面成型第一限位环面51。

由此，避免了视镜2对氢气流通的阻断，同时保证了氢气可以对视镜2内侧(朝向筒体1第一端的一侧)吹扫的效果。

具体地，第二环台5位于第一环台4在轴向上的两端面之间，通孔12设于第一环台4的轴向尺寸的中部。

或者，通孔12位于第一环台4朝向筒体1的第一端的一侧，第一环台4相对的两端面中的至少一端面成型第二限位环面41，第二环台5相对的两端面中的至少一端面成型第一限位环面51。

需要说明地，第一环台4相对的两端面均成型第二限位环面41，第二环台5相对的两端面均成型第一限位环面51。

由此，第一环台4和第二环台5在其轴向上的任一侧均可以安装视镜2。首先可以在第一环台4和第二环台5邻近筒体1第一端的端面安装视镜2和压环31。当该处视镜2出现裂纹或微漏时，可以在第一环台4和第二环台5邻近筒体1第二端的端面安装视镜2和压环31，即可实现堵漏效果。另外，该种安装方式并不影响对于还原炉200内侧的监测，保证了操作者的观察效果。

在一些实施例中，如图2和图3所示，限位凸缘31设有沿筒体1的周向上间隔分布的至少两个第一安装孔32，第二限位环面41上设有与第一安装孔32一一对应的多个第一螺纹孔42，限位凸缘31通过穿过第一安装孔32并与相应第一螺纹孔42螺纹配合的螺栓与第一环台4相连。

由此，实现了限位凸缘31和第一环台4之间的可拆卸相连。从而，实现了视镜2和筒体1的分体式结构布置，便于更换视镜2。

具体地，至少两个第一安装孔32在筒体1的周向上等间隔分布。

具体地，第一安装孔32可以是与穿过其中的螺栓配合的螺纹孔，也可以是过孔。

在一些实施例中，如图3所示，视镜装置100还包括第一密封件6和第二密封件7，第一密封件6设于视镜2的第一端面和第一限位环面51之间，第二密封件7设于视镜2的第二端面和压环31的第一端面之间。

第一密封件6和第二密封件7均用于密封，避免还原炉200内的气体由视镜2的安装位置外溢。

具体地，第一密封件6和第二密封件7均为垫片，该垫片采用石墨等耐高温材质制成。

在一些实施例中，如图2所示，接头11有多个并沿筒体1的周向间隔布置。

由此，氢气管路通过多个接头11向筒体1内通入氢气，可以在视镜2的内侧共同形成气帘，由此，进一步保障视镜2的清晰度。

在一些实施例中，如图2所示，筒体1的第一端设有第一连接凸缘13，第一连接凸缘13设有沿筒体1的周向上间隔分布的多个第二安装孔14，第一连接凸缘13通过多个第二安装孔14和视窗管9密封相连。

由此，筒体1通过第一连接凸缘13实现了与视窗管9可拆卸相连的效果，保证了两者连接的可靠性。

具体地，第一连接凸缘13通过穿过第二安装孔14的螺栓和视窗管9相连。

在一些实施例中，如图2所示，筒体1的第二端设有第二连接凸缘15，第二连接凸缘15设有沿筒体1的周向上间隔分布的多个第三安装孔16，视镜装置100还包括盲板8，第二连接凸缘15通过第三安装孔16与盲板8密封相连。

当视镜装置100中用于观察的视镜2出现裂纹或微漏时，除了加装第二层视镜2的应急措施外，还可以将盲板8直接与第二连接凸缘15相连，由此实现了筒体1的彻底封堵，防控潜在风险。

具体地，盲板8设有与第三安装孔16一一对应的多个第四安装孔，盲板8通过穿过第四安装孔和相应第三安装孔16的螺栓和第二连接凸缘15相连，由此，实现了两者的连接的可拆卸的效果，便于还原炉200反应结束后检修出现裂纹或微漏的视镜2。

需要说明地，第二连接凸缘15与盲板8的结合面共同构成密封面，密封面的形状可以是平面、凹凸面或榫槽面等。由此增强第二连接凸缘15和盲板8之间的密封效果。

如图1所示，根据本实用新型实施例的还原炉200包括视窗管9和如上述任一实施例的视镜装置100，视窗管9的数量有多个并在还原炉200的长度方向上间隔分布，视镜装置100和视窗管9的数量相等并一一对应，视镜装置100和相应视窗管9相连。

由此，便于操作者从多个位置观测还原炉200内部情况。

根据本实用新型实施例的还原炉200的其它技术优势和上述实施例的视镜装置100的技术优势相同，此处不再赘述。

具体地，视窗管9上设有法兰盘91，第一连接凸缘13通过多个第二安装孔14和相应视窗管9的法兰盘91相连，保证了两者可拆卸相连的效果。

根据本实用新型实施例的视镜装置100和还原炉200，具体安装步骤为：

1.将第一密封件6安装于第一限位环面51，在第一密封件6上安装第一层视镜2。

2.该视镜2的第二端面上安装第二密封件7，然后将凸环安装上，完成视镜装置100的组装。

3.视镜装置100和还原炉200的视窗管9的法兰盘91。

4.当视镜2处出现泄漏时，可以在筒体1上加装第二层视镜2；或者，在第二连接凸缘15处安装盲板8，即可起到堵漏作用，且不影响还原炉200的继续运行。

5.运行一炉后，可以将视镜装置100整体拆卸下来并进行清洗烘干，使用时再重新将视镜装置100安装在还原炉200上。

6.还原炉200正常运行时，接头11外接氢气管路，氢气管路内的氢气通过通孔12，向视镜装置100内吹入氢气，由此，实现了对于视镜2内侧的吹扫效果。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种视镜装置，其特征在于，包括：

筒体，所述筒体具有沿其轴向相对的第一端和第二端，所述第一端用于与还原炉的视窗管可拆卸地相连，所述筒体的外周面设有用于与氢气管路相连的接头，所述接头上设有连通外界和所述筒体的内腔的通孔；和

视镜，所述视镜与所述筒体相连并封闭所述筒体的第二端开口，所述通孔位于所述视镜朝向所述第一端的一侧。

2.根据权利要求1所述的视镜装置，其特征在于，所述视镜装置还包括压件，所述筒体内设有第一限位环面，所述视镜的第一端面止抵于所述第一限位环面，所述压件与所述筒体相连并止抵所述视镜的第二端面。

3.根据权利要求2所述的视镜装置，其特征在于，所述筒体内具有第二限位环面，所述第一限位环面和所述第二限位环面在所述筒体的轴向上间隔开，所述第二限位环面内径大于或等于所述第一限位环面的外径，所述压件包括压环，所述压环的第一端面止抵所述视镜的第二端面，所述压环的第二端设有限位凸缘，所述限位凸缘止抵所述第二限位环面并和所述筒体相连。

4.根据权利要求3所述的视镜装置，其特征在于，所述筒体的内周壁设有第一环台，所述第一环台的内周壁设有第二环台，所述第二环台的轴向尺寸小于所述第一环台的轴向尺寸，

其中，所述通孔设于所述第一环台和所述第二环台上，所述第一环台邻近所述筒体的第二端的端面成型所述第二限位环面，所述第二环台邻近所述筒体的第二端的端面成型所述第一限位环面；或者，

所述通孔位于所述第一环台朝向所述筒体的第一端的一侧，所述第一环台相对的两端面中的至少一端面成型所述第二限位环面，所述第二环台相对的两端面中的至少一端面成型所述第一限位环面。

5.根据权利要求4所述的视镜装置，其特征在于，所述限位凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的至少两个第一安装孔，所述第二限位环面上设有与所述第一安装孔一一对应的多个第一螺纹孔，所述限位凸缘通过穿过所述第一安装孔并与相应所述第一螺纹孔螺纹配合的螺栓与所述第一环台相连。

6.根据权利要求3所述的视镜装置，其特征在于，所述视镜装置还包括第一密封件和第二密封件，所述第一密封件设于所述视镜的第一端面和所述第一限位环面之间，所述第二密封件设于所述视镜的第二端面和所述压环的第一端面之间。

7.根据权利要求1所述的视镜装置，其特征在于，所述接头有多个并沿所述筒体的周向间隔布置。

8.根据权利要求1所述的视镜装置，其特征在于，所述筒体的第一端设有第一连接凸缘，所述第一连接凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的多个第二安装孔，所述第一连接凸缘通过多个所述第二安装孔和所述视窗管密封相连。

9.根据权利要求8所述的视镜装置，其特征在于，所述筒体的第二端设有第二连接凸缘，所述第二连接凸缘设有沿所述筒体的周向上间隔分布的多个第三安装孔，所述视镜装置还包括盲板，所述第二连接凸缘通过所述第三安装孔与所述盲板密封相连。

10.一种还原炉，其特征在于，包括视窗管和如权利要求1-9任一项所述的视镜装置，所述视窗管的数量有多个并在所述还原炉的长度方向上间隔分布，所述视镜装置和所述视窗管的数量相等并一一对应，所述视镜装置和相应所述视窗管相连。

Images