CN221016881U - 一种半导体设备气体喷淋头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备气体喷淋头，包括喷淋头本体、喷淋板和液压杆，所述喷淋头本体的上端安装有凸出板，所述凸出板的内部安装有连接管，所述连接板的内部开设有定位孔，所述电动伸缩杆的末端安装有清扫板，所述螺纹杆的末端安装有固定块，所述刮板的上方安装有过滤板，所述过滤板的下方安装有承托板，所述过滤板的右侧安装有拉板，所述液压杆的末端安装有刮板，所述刮板的内部安装有拓展板。该半导体设备气体喷淋头，设置可拆卸喷淋板便于拆装、更换，移动式清扫板方便对喷淋板的上下表面进行清理，防止副产物堵塞喷淋孔，可调节式喷淋头便于安装不同宽度尺寸的喷淋板，刮板能够将内壁水渍刮出，防止水渍堆积。

Description

一种半导体设备气体喷淋头

技术领域

本实用新型涉及气体喷淋头技术领域，具体为一种半导体设备气体喷淋头。

背景技术

半导体设备是一种由半导体元件制成的设备，半导体是一种在室温下电导率介于导体和绝缘体之间的材料，广泛应用于各个领域，其中包括半导体设备气体喷淋头。随着科学技术的发展，半导体设备气体喷淋头的种类逐渐增多，其功能也逐渐完善。

但现有的气体喷淋头存在不便拆装更换且喷淋头易沉积副产物，导致喷水不流畅，构造复杂不易检修、清理的问题，如授权公告号为CN219490154U的中国实用新型专利公开了一种高精度半导体设备气体喷淋头，存在喷淋头上易沉积副产物，对喷淋头部位造成一定污染，从而影响喷淋气孔的气体正常流通，且喷淋头不便进行快速拆卸更换，影响整体实用性的问题。因此，我们提出一种半导体设备气体喷淋头，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备气体喷淋头，以解决上述背景技术中提出现有的气体喷淋头存在不便拆装更换且喷淋头易沉积副产物，导致喷水不流畅，构造复杂不易检修、清理的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备气体喷淋头，包括喷淋头本体、喷淋板和液压杆，

所述喷淋头本体的上端安装有凸出板，所述凸出板的内部安装有连接管，所述凸出板的内部安装有转轴，所述喷淋头本体上端的内部安装有连接板，所述连接板的内部开设有定位孔，所述喷淋头本体的右侧壁开设有滑槽，所述喷淋头本体左侧壁的内部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的末端安装有清扫板；

所述喷淋板安装在喷淋头本体内部的下端，所述喷淋板的左右两侧安装有螺纹杆，所述螺纹杆的末端安装有固定块，所述喷淋板的上方安装有刮板，所述刮板的上方安装有过滤板，所述过滤板的下方安装有承托板，所述过滤板的右侧安装有拉板；

所述液压杆安装在喷淋头本体上端的内部，所述液压杆的末端安装有刮板，所述刮板的内部安装有拓展板。

优选的，所述过滤板通过承托板、拉板和滑槽与喷淋头本体构成左右滑动结构。

优选的，所述喷淋板通过螺纹杆和固定块与喷淋头本体构成拆卸结构。

优选的，所述刮板的外侧面与喷淋头本体的内壁贴合，所述刮板通过液压杆和凹槽与喷淋头本体构成上下滑动结构。

优选的，所述清扫板通过电动伸缩杆与喷淋板构成前后滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体设备气体喷淋头；

1、设置可拆卸式喷淋板，喷淋板通过螺纹杆和固定块与喷淋头固定，操作简单快捷，缩短喷淋板拆装时间，提高检修效率，无需更换整个喷淋头，节约成本；

2、设置移动式清扫板，无需清扫时，清扫板位于喷淋板的侧面收纳，保证清扫板不阻碍喷淋孔，需要清理喷淋板时，电动伸缩杆带动清扫板前后移动，便于对喷淋板上下表面的副产物进行清理；

3、设置可调节式喷淋头和刮板，可调节式喷淋头便于根据不同宽度尺寸的喷淋板进行左右调节，方便安装不同宽度尺寸的喷淋板，具有实用性，刮板能够将喷淋头内壁的水渍刮出，清理内壁。

附图说明

图1为本实用新型轴侧结构示意图；

图2为本实用新型正视剖切结构示意图；

图3为本实用新型侧视剖切结构示意图；

图4为本实用新型正视剖切结构示意图。

图中：1、喷淋头本体；2、连接管；3、凸出板；4、转轴；5、连接板；6、定位孔；7、喷淋板；8、螺纹杆；9、固定块；10、过滤板；11、承托板；12、拉板；13、滑槽；14、液压杆；15、刮板；16、拓展板；17、电动伸缩杆；18、清扫板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备气体喷淋头，包括喷淋头本体1、连接管2、凸出板3、转轴4、连接板5、定位孔6、喷淋板7、螺纹杆8、固定块9、过滤板10、承托板11、拉板12、滑槽13、液压杆14、刮板15、拓展板16、电动伸缩杆17和清扫板18，如图1和图2所示，喷淋头本体1的上端安装有凸出板3，凸出板3的内部安装有转轴4，需要调整喷淋头本体1的角度时，转动喷淋头本体1，转轴4转动，从而调整喷淋头本体1的角度位置，凸出板3的内部安装有连接管2，连接管2与喷淋头本体1连通，连接管2将水流引至喷淋头本体1中；

喷淋头本体1内部的底端安装有喷淋板7，将喷淋板7放置在喷淋头本体1的底端，喷淋头本体1的左右两侧均开设有凹槽，凹槽的内部安装有螺纹杆8，螺纹杆8的末端安装有固定块9，工作人员转动螺纹杆8，螺纹杆8带动固定块9左右移动，将固定块9移动至喷淋板7左右侧开设的凹槽中，固定喷淋板7，防止喷淋板7掉落；

如图3和图4所示，喷淋板7的上方安装有刮板15，刮板15的上方安装有过滤板10，水流从连接管2进入喷淋头本体1内，再经过过滤板10送至喷淋板7处，过滤板10的下方固定安装有承托板11，承托板11支撑稳固过滤板10，过滤板10的右侧安装有拉板12，喷淋头本体1的右臂开设有滑槽13，工作人员握住拉板12，向右侧拉出拉板12，过滤板10随之抽出，方便清理、更换过滤板10，当喷淋头本体1的宽度尺寸调整时，更换适合的过滤板10对准滑槽13进行安装，适应喷淋头本体1的尺寸；

喷淋头本体1上端的内部安装有液压杆14，液压杆14的底端安装有刮板15，打开液压杆14，液压杆14带动刮板15对喷淋头本体1内壁的水渍刮除，当需要更换喷淋板7的宽度尺寸较大时，拧开喷淋头本体1前侧面的螺钉，左右拉喷淋头本体1，喷淋头本体1上端的内部安装有连接板5，将喷淋头本体1调整至合适位置，再用螺钉对准相应的定位孔6，固定连接板5，宽度调整完成后，再安装喷淋板7，刮板15的内部安装有拓展板16，拉动刮板15，将刮板15调整至贴合喷淋头本体1的内壁，用螺钉固定拓展板16，喷淋头本体1左侧的内部安装有电动伸缩杆17，电动伸缩杆17的末端安装有清扫板18，打开电动伸缩杆17，电动伸缩杆17带动清扫板18前后滑动，清扫板18对喷淋头本体1上下表面进行清理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体设备气体喷淋头，包括喷淋头本体（1）、喷淋板（7）和液压杆（14），其特征在于：

所述喷淋头本体（1）的上端安装有凸出板（3），所述凸出板（3）的内部安装有连接管（2），所述凸出板（3）的内部安装有转轴（4），所述喷淋头本体（1）上端的内部安装有连接板（5），所述连接板（5）的内部开设有定位孔（6），所述喷淋头本体（1）的右侧壁开设有滑槽（13），所述喷淋头本体（1）左侧壁的内部安装有电动伸缩杆（17），所述电动伸缩杆（17）的末端安装有清扫板（18）；

所述喷淋板（7）安装在喷淋头本体（1）内部的下端，所述喷淋板（7）的左右两侧安装有螺纹杆（8），所述螺纹杆（8）的末端安装有固定块（9），所述喷淋板（7）的上方安装有刮板（15），所述刮板（15）的上方安装有过滤板（10），所述过滤板（10）的下方安装有承托板（11），所述过滤板（10）的右侧安装有拉板（12）；

所述液压杆（14）安装在喷淋头本体（1）上端的内部，所述液压杆（14）的末端安装有刮板（15），所述刮板（15）的内部安装有拓展板（16）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体喷淋头，其特征在于：所述过滤板（10）通过承托板（11）、拉板（12）和滑槽（13）与喷淋头本体（1）构成左右滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体喷淋头，其特征在于：所述喷淋板（7）通过螺纹杆（8）和固定块（9）与喷淋头本体（1）构成拆卸结构。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体喷淋头，其特征在于：所述刮板（15）的外侧面与喷淋头本体（1）的内壁贴合，所述刮板（15）通过液压杆（14）和凹槽与喷淋头本体（1）构成上下滑动结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体喷淋头，其特征在于：所述清扫板（18）通过电动伸缩杆（17）与喷淋板（7）构成前后滑动结构。