CN219195218U - 长晶炉循环水回水装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种长晶炉循环水回水装置，用于解决现有长晶炉回水装置冷却效果差导致机台故障率高的问题。该长晶炉循环水回水装置包括：回水盒(14)，回水盒(14)的顶部水平排置有若干进水口(18)，回水盒(14)的底部设有总出水口；每个进水口连接一个高温回水支管；直管(17)，沿竖直方向设置，直管(17)的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及排水软管(16)，排水软管(16)的一端连接直管(17)的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。本装置在回水盒的进水口水平排置，出水方式改为竖直向下的下出水，回水盒中不存在压力，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率，方便各个支管安装拆卸，提高了安装维修效率。

Description

长晶炉循环水回水装置

技术领域

本公开涉及长晶炉水处理技术领域，尤其涉及一种长晶炉循环水回水装置。

背景技术

长晶炉作为晶体生长的一种高温设备，生产工艺要求设备具有良好的循环水冷却性能，以保证其不会因高温产生运行故障，因此其冷却系统及其重要，而回水装置为冷却系统中的一个重要组成部分。

现有的长晶炉循环水回水装置的结构如图1所示，右侧的多路高温回水支管通过宝塔接头13直接接入回水总管10，每路高温回水支管出口设置有回水温度传感器11、流量计12。该种回水装置中，来自于右侧的多路高温回水通过供水泵将高温回水压进回水总管10，然后混合高温回水排出回水总管10。此种回水装置虽结构较为简单。

但是，这种回水方式由于回水总管10中存在水压，回水总管10中的水压反而会对接入的各支管中的水流形成阻碍，从而使各个支管中的水流量减小，进而降低了冷却效果，导致长晶炉机台的故障率较高。

实用新型内容

本公开所要解决的一个技术问题是：现有长晶炉回水装置冷却效果差导致机台故障率高的问题。

为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种长晶炉循环水回水装置，包括：

回水盒，回水盒的顶部水平排置有若干进水口，回水盒的底部设有总出水口；每个进水口连接一个高温回水支管；

直管，沿竖直方向设置，直管的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及

排水软管，排水软管的一端连接直管的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。

其中，排水软管通过重力排水方式进行排水。

在一些实施例中，回水盒的底部为上宽下小的漏斗形状。

在一些实施例中，回水盒的至少一个侧面为透明封板。将回水盒外侧采用透明板材作为封板，可肉眼观察到各个回水支管的水流状况。

在一些实施例中，每个高温回水支管通过第一宝塔接头与回水盒的进水口连接。

在一些实施例中，第一宝塔接头上设有流量计，第一宝塔接头的进水端设有回水温度传感器。

在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括：低温进水模块。

在一些实施例中，低温进水模块包括：

水泵；

金属软管，其与水泵连接，用于输送经水泵增压后的低温进水；金属软管的进水侧依次设置有过滤器、第一球阀；

进水主管，其连接于金属软管的出水侧，进水主管上安装有用于检测进水主管内的低温进水水压的水压表；

若干根低温进水支管，每根低温进水支管的一端依次通过第二宝塔接头、第二球阀连接至进水主管，另一端通过发热体以吸收发热体的热量后连接至高温回水支管；第二球阀和进水主管之间的连接管路上设有流量传感器和进水温度传感器。

在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括：

显示器，流量传感器、进水温度传感器、回水温度传感器和流量计的输出端与显示器连接；流量传感器、进水温度传感器、回水温度传感器和流量计将自身采集的低温进水支管的流量数据和进水温度数据以及高温回水支管的回水温度数据和流量数据输出到显示器上实时显示。

通过上述技术方案，本公开提供的长晶炉循环水回水装置通过对现有的高温回水总管进行改进，设计了新的回水盒，回水盒上进水口水平排置，出水方式改为竖直向下的下出水，依靠重力让回水盒中的水流出，回水盒中不存在压力，不会对各个支管的水流量造成影响，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率；此外，由于水盒上进水口水平排置，方便各个支管安装拆卸，提高了安装维修效率；再者，本公开提供的装置能够可视化各支管的流量大小和水温，便于及时发现问题，进一步提高了长晶炉循环水回水装置的维护效率。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有的长晶炉循环水回水装置的结构示意图；

图2是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的局部结构示意图；

图3是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的整体结构示意图。

附图标记说明：

1、金属软管；2、过滤器；3、第一球阀；4、进水主管；5、第二宝塔接头；6、第二球阀；7、流量传感器；8、进水温度传感器；9、水压表；10、回水总管；11、回水温度传感器；12、流量计；13、第一宝塔接头；14、回水盒；15、透明封板；16、排水软管；17、直管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本公开的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本公开的原理，但不能用来限制本公开的范围，本公开可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

图2是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的结构示意图，如图2中所示，本公开实施例提供的长晶炉循环水回水装置包括：

回水盒14，回水盒14的顶部水平排置有若干进水口18，回水盒14的底部设有总出水口；每个进水口18连接一个高温回水支管；

直管17，沿竖直方向设置，直管17的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及

排水软管16，排水软管16的一端连接直管17的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。

在一些实施例中，如图2所示，回水盒14的底部为上宽下小的漏斗形状。

本公开提供的长晶炉循环水回水装置通过对现有的高温回水总管进行改进，设计了新的回水盒，回水盒上进水口18水平排置，出水口通过竖直向下的直管段外接排水软管，出水方式改为竖直向下的下出水，依靠重力让回水盒中的水流出，回水盒中不存在压力，不会对各个支管的水流量造成影响，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率

在一些实施例中，如图2所示，回水盒14的至少一个侧面为透明封板15。则可以通过回水盒14上的透明封板15观测到回水流量情况。

在一些实施例中，如图2所示，每个高温回水支管通过第一宝塔接头13与回水盒14的进水口18连接。

在一些实施例中，如图2所示，第一宝塔接头13上设有流量计12，第一宝塔接头13的进水端设有回水温度传感器11。高温回水通过回水盒上方的流量计12和回水温度传感器11后进入回水盒14。流量计12用于采集高温回水支管的流量数据，回水温度传感器11用于采集高温回水支管的回水温度数据，以便于实时监控。

在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括：低温进水模块。

在一些实施例中，如图3所示，低温进水模块包括：

水泵(图中未示出)；

金属软管1，其与水泵连接，用于输送经水泵增压后的低温进水；金属软管1的进水侧依次设置有过滤器2、第一球阀3；过滤器2用于对低温进水进行过滤，第一球阀3用于控制流入金属软管1的低温进水的开关；

进水主管4，其连接于金属软管1的出水侧，进水主管4上安装有用于检测进水主管4内的低温进水水压的水压表9；

若干根低温进水支管，每根低温进水支管的一端依次通过第二宝塔接头5、第二球阀6连接至进水主管4，另一端通过发热体连接至高温回水支管，从而使低温进水支管内的低温进水吸收发热体的热量后成为高温回水，高温回水在水泵提供的压力作用下排出发热体，最后经高温回水支管进入回水盒14。其中，第二球阀6和进水主管4之间的连接管路上设有流量传感器7和进水温度传感器8。流量传感器7用于采集低温进水支管的流量数据，进水温度传感器8用于采集低温进水支管的进水温度数据，以便于实时监控。

在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括显示器，其中，流量传感器7、进水温度传感器8、回水温度传感器11和流量计12的输出端与显示器连接。流量传感器7、进水温度传感器8、回水温度传感器11和流量计12将自身采集的低温进水支管的流量数据和进水温度数据以及高温回水支管的回水温度数据和流量数据输出到显示器上实时显示，可由此直观的根据数据掌握长晶炉循环水运行情况。

图2和图3中排水软管16通过重力排水方式进行排水。

本公开提供这些实施例是为了使本公开透彻且完整，并且向本领域技术人员充分表达本公开的范围。应注意到：除非另外具体说明，这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、材料的组分、数字表达式和数值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。

需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是大于或等于两个；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

此外，本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的部分。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。“包括”或者“包含”等类似的词语意指在该词前的要素涵盖在该词后列举的要素，并不排除也涵盖其他要素的可能。

还需要说明的是，在本公开的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。当描述到特定器件位于第一器件和第二器件之间时，在该特定器件与第一器件或第二器件之间可以存在居间器件，也可以不存在居间器件。

本公开使用的所有术语与本公开所属领域的普通技术人员理解的含义相同，除非另外特别定义。还应当理解，在诸如通用字典中定义的术语应当被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义相一致的含义，而不应用理想化或极度形式化的意义来解释，除非这里明确地这样定义。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

至此，已经详细描述了本公开的各实施例。为了避免遮蔽本公开的构思，没有描述本领域所公知的一些细节。本领域技术人员根据上面的描述，完全可以明白如何实施这里公开的技术方案。

虽然已经通过示例对本公开的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上示例仅是为了进行说明，而不是为了限制本公开的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本公开的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改或者对部分技术特征进行等同替换。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。

Claims (8)

1.长晶炉循环水回水装置，其特征在于，包括：

回水盒(14)，所述回水盒(14)的顶部水平排置有若干进水口(18)，所述回水盒(14)的底部设有总出水口；每个所述进水口(18)连接一个高温回水支管；

直管(17)，沿竖直方向设置，所述直管(17)的顶端入口连接所述回水盒的总出水口；以及

排水软管(16)，所述排水软管(16)的一端连接所述直管(17)的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。

2.根据权利要求1所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述回水盒(14)的底部为上宽下小的漏斗形状。

3.根据权利要求1或2所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述回水盒(14)的至少一个侧面为透明封板(15)。

4.根据权利要求1所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，每个高温回水支管通过第一宝塔接头(13)与所述回水盒(14)的进水口(18)连接。

5.根据权利要求4所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述第一宝塔接头(13)上设有流量计(12)，所述第一宝塔接头(13)的进水端设有回水温度传感器(11)。

6.根据权利要求5所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述长晶炉循环水回水装置还包括：低温进水模块。

7.根据权利要求6所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述低温进水模块包括：

水泵；

金属软管(1)，其与所述水泵连接，用于输送经所述水泵增压后的低温进水；所述金属软管(1)的进水侧依次设置有过滤器(2)、第一球阀(3)；

进水主管(4)，其连接于所述金属软管(1)的出水侧，所述进水主管(4)上安装有用于检测所述进水主管(4)内的低温进水水压的水压表(9)；

若干根低温进水支管，每根低温进水支管的一端依次通过第二宝塔接头(5)、第二球阀(6)连接至所述进水主管(4)，另一端通过发热体以吸收所述发热体的热量后连接至所述高温回水支管；所述第二球阀(6)和所述进水主管(4)之间的连接管路上设有流量传感器(7)和进水温度传感器(8)。

8.根据权利要求7所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述长晶炉循环水回水装置还包括：

显示器，所述流量传感器(7)、进水温度传感器(8)、回水温度传感器(11)和流量计(12)的输出端与所述显示器连接；所述流量传感器(7)、进水温度传感器(8)、回水温度传感器(11)和流量计(12)将自身采集的低温进水支管的流量数据和进水温度数据以及高温回水支管的回水温度数据和流量数据输出到所述显示器上实时显示。

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